CN103256211B - 流体输送装置 - Google Patents

Abstract

一种流体输送装置，用以传送一流体，其中阀体承载部具有入口及出口流道；第一及第二流体输送模块分别设于阀体承载部的第一及第二表面上，且两者均具有致动组件、阀体盖体及阀体薄膜，阀体薄膜设于阀体承载部及阀体盖体之间，致动组件设于阀体盖体上，且与其表面形成第一及第二压力腔室；其中第一及第二流体输送模块的致动组件以相同振动频率且具有一相位差作动，使第一及第二压力腔室体积改变，产生压力差以推动流体由阀体承载部的入口流道流入，经第一流体输送模块、阀体承载部及第二流体输送模块，再由阀体承载部的出口流道流出。

Description

流体输送装置

技术领域

本发明关于一种流体输送装置，尤指一种可有效缩减体积且减少成本的流体输送装置。

背景技术

随着科技的进步，医药、能源、电脑科技、打印等各种工业领域的产品无不朝精致化及薄型化的方向发展，其中微泵、喷雾器、喷墨头、工业打印设备等产品所包含的流体输送装置为其关键技术，是以如何藉创新技术突破原有瓶颈，实为当前发展的重要内容。

请参阅图1，其为已知流体输送装置的结构示意图，已知流体输送装置1由阀体座11、阀体盖体12、阀体薄膜13、致动组件14及盖体15所组成，其中，阀体薄膜13包含入口阀门结构131及出口阀门结构132，阀体座11包含入口流道111及出口流道112、阀体盖体12与致动组件14间定义形成一压力腔室123，阀体薄膜13设置在阀体座11与阀体盖体12之间。

当一电压作用在致动组件14的上下两极时，会产生一电场，使得致动组件14在此电场的作用下产生弯曲，当致动组件14朝箭号x所指的方向向上弯曲变形，将使得压力腔室123的体积增加，因而产生一吸力，使阀体薄膜13的入口阀门结构131开启，故液体可自阀体座11上的入口流道111被吸取进来，并流经阀体薄膜13的入口阀门结构131及阀体盖体12上的入口阀门通道121而流入压力腔室123内，反之当致动组件14因电场方向改变而朝箭号x的反方向向下弯曲变形时，则会压缩压力腔室123的体积，使得压力腔室123对内部的流体产生一推力，并使阀体薄膜13的入口阀门结构131、出口阀门结构132承受一向下推力，而出口阀门结构132将开启，并使液体由压力腔室123经由阀体盖体12上的出口阀门通道122、阀体薄膜13的出口阀门结构132，而从阀体座11的出口流道112流出流体输送装置1外，因而完成流体的传输过程。

然而由于已知流体输送装置1使用单一致动器配合单一压力腔室、单一流通管道、单一进出口以及单一对的阀门结构的设计实难以增加流体传输量，因此若要使用流体输送装置1来提升流量，必须先利用衔接机构将多个流体输送装置1进行连接，例如额外设置管路于多个流体输送装置1的阀体座之间，使该些阀体座彼此连通，再将多个流体输送装置1以上下堆迭的方式进行设置，此种连接方式不但需额外耗费衔接机构的成本外，多个流体输送装置1所组合起来的体积将过大，使得最终产品的体积增加而无法符合薄型化的趋势。

有鉴于此，如何发展一种可改善上述已知技术缺失的流体输送装置，实为目前迫切需要解决的问题。

发明内容

本发明的主要目的为提供一种流体输送装置，经由该流体输送装置的阀体承载部上下堆迭架组第一流体输送模块及第二流体输送模块整合为一，相较于已知流体输送装置使用单一流体输送模块的设计，可经由架组的第一流体输送模块及第二流体输送模块来增加流体传输量及扬程，且无须已知流体输送装置欲提升流量时需利用衔接机构，例如管线，将多个已知流体输送装置进行连接及连通方式进行设置，而且整合两组流体输送模块可同步或非同步作动的方式，进而提升流体传输的流量及扬程，无需额外耗费于衔接机构而可减少生产成本，且缩小流体输送装置的整体体积的符合薄型化等优点。

为达到上述目的，本发明较广义实施样态为提供一种流体输送装置，用以传送流体，包含阀体承载部、第一流体输送模块以及第二流体输送模块，其中阀体承载部具有第一表面、入口流道、出口流道、第二表面及连通腔室，第一表面具有与入口流道连通的开口及出口暂存腔，第二表面具有开口及与出口流道连通的出口暂存腔，而第一表面的出口暂存腔及第二表面的开口分别与连通腔室相连接而彼此相连通；第一流体输送模块组设于阀体承载部的第一表面上，具有致动组件、阀体盖体及阀体薄膜，其中阀体薄膜设置于阀体承载部及阀体盖体之间，具有数个镂空阀开关分别对应于第一表面的开口及出口暂存腔，致动组件设置于阀体盖体上，且与阀体盖体的表面形成第一压力腔室；以及第二流体输送模块组设于阀体承载部的第二表面上，与第一流体输送模块呈上下相对设置，具有致动组件、阀体盖体及阀体薄膜，其中阀体薄膜设置于阀体承载部及阀体盖体之间，具有数个镂空阀开关分别对应于第二表面的开口及出口暂存腔，致动组件设置于阀体盖体上，且与阀体盖体的表面形成第二压力腔室；藉此，第一流体输送模块及第二流体输送模块的致动组件以相同振动频率且具有一相位差作动，分别致使第一压力腔室及该第二压力腔室体积改变，进而产生压力差以推动流体由阀体承载部的入口流道流入，经第一流体输送模块、阀体承载部及第二流体输送模块之间流动，再由阀体承载部的出口流道流出。

附图说明

图1为已知微泵浦结构的结构示意图。

图2A为为本发明的较佳实施例的流体输送装置的正面分解结构示意图。

图2B为图2A所示的流体输送装置的反面分解结构示意图。

图2C为本发明较佳实施例的流体输送装置的俯视图。

图2D为本发明较佳实施例的流体输送装置AA’线段的剖面结构示意图。

图2E为图2A所示的阀体薄膜的结构放大图。

图3A为图2D第一流体输送模块及第二流体输送模块的致动组件同向作动时的第一示意图。

图3B为图2A第一流体输送模块及第二流体输送模块的致动组件同向作动时的第二示意图。

图4A为图2D第一流体输送模块及第二流体输送模块的致动组件反向作动时的第一示意图。

图4B为图2A第一流体输送模块及第二流体输送模块反向作动时的第二示意图。

图5A为第一流体输送模块及第二流体输送模块的同向作动振动频率示意图。

图5B为第一流体输送模块及第二流体输送模块的反向作动振动频率示意图。

图5C为第一流体输送模块及第二流体输送模块的相位差作动振动频率示意图。

【主要元件符号说明】

已知元件符号:

流体输送装置：1阀体座：11

入口流道：111出口流道：112

阀体盖体：12入口阀门通道：121

出口阀门通道：122压力腔室：123

阀体薄膜：13入口阀门结构：131

出口阀门结构：132致动组件：14

盖体：15

本发明构件符号:

流体输送装置：3阀体承载部：30

第一表面：301入口流道：302

出口流道：303第二表面：304

连通腔室：305开口：3010、3040

出口暂存腔：3011、3041

第一流体输送模块：31

第二流体输送模块：32

阀体薄膜：310、320

镂空阀开关：3100、3101、3200、3201

阀片：3100a、3101a、3200a、3201a

镂空孔洞：3100b、3101b、3200b、3201b

延伸部：3100c、3101c、3200c、3201c

阀体盖体：311、321

入口阀门通道：3110、3210

出口阀门通道：3111、3211

入口暂存腔：3112、3212

第一压力腔室：3113

第二压力腔室：3213

致动组件：312、322

振动薄膜：3120、3220

致动器：3121、3221

盖体：313、323

第一密封环：314、324

第二密封环：315、325

第三密封环：316、326

凹槽：300a、300b、301a、301b、311a、311b、311c、321a、321b、321c

微凸结构：306、307、317、327

具体实施方式

体现本发明特征与优点的一些典型实施例将在后段的说明中详细叙述。应理解的是本发明能够在不同的方面上具有各种的变化，其皆不脱离本发明的范围，且其中的说明及附图在本质上是当作说明之用，而非用以限制本发明。

本发明的流体输送装置3可应用于医药生技、能源、电脑科技或是打印工程，用以传送气体或液体等流体，但不以此为限。请参阅如图2A至图2E所示，本发明以第一流体输送模块31及第二流体输送模块32上下堆迭的方式进行一较佳实施样态。在本实施例中，流体输送装置3包括阀体承载部30、第一流体输送模块31及第二流体输送模块32。阀体承载部30大致成一矩形结构，具有一第一表面301、入口流道302、出口流道303、一第二表面304及一连通腔室305。其中第一流体输送模块31包括一阀体薄膜310、一阀体盖体311、一致动组件312及一盖体313等结构，该阀体薄膜310位于阀体承载部30及阀体盖体311之间，并与阀体承载部30及阀体盖体311相对应设置，而于阀体盖体311上相对应的位置则设置有致动组件312，该致动组件312包含一振动薄膜3120及一致动器3121，且该致动组件312可受电压驱动而振动，而盖体313设置于致动组件312上相对于阀体盖体311设置的一侧，用以密封整个第一流体输送模块31，如此阀体薄膜310、阀体盖体311、致动组件312及盖体313依序堆迭并利用锁固元件(未图示)等设置于阀体承载部30上后，便可构成第一流体输送模块31。另外，该致动组件312设置于阀体盖体311上定义出一第一压力腔室3113。而第二流体输送模块32包括一阀体薄膜320、一阀体盖体321、一致动组件322及一盖体323等结构，由于阀体薄膜320、阀体盖体321、致动组件322及盖体323等元件的结构特征及组装方式皆相似于第一流体输送模块31的阀体薄膜310、阀体盖体311、致动组件312及盖体313等元件，故于此不再赘述。此外，第二流体输送模块32的致动组件322亦包含振动薄膜3220以及致动器3221，且该致动组件322设置于阀体盖体321上定义出第二压力腔室3213。第一流体输送模块31及第二流体输送模块32分别对应设置于阀体承载部30的上下两侧，亦即第一流体输送模块31对应设置于阀体承载部30的第一表面301上，第二流体输送模块32对应设置于阀体承载部30的第二表面304上。

阀体承载部30的第一表面301具有一与该入口流道302连通的一开口3010及一与第一流体输送模块31的阀体薄膜310所构成的出口暂存腔3011，而该第二表面304具有一开口3040及一与第二流体输送模块32的阀体薄膜320所构成的一出口暂存腔3041，且该出口暂存腔3041与该出口流道303连通，而该第一表面301的出口暂存腔3011及该第二表面304的开口3040分别与该连通腔室305相连接而彼此相连通，且该连通腔室305由第一表面301的出口暂存腔3011沿该第二表面304的开口3040方向呈渐缩的锥体形态，用以汇流并增加流体传输速率，故通过渐缩的锥体形态的连通腔305导引流体可快速地通过第一流体输送模块31的阀体薄膜310，并朝向第二流体输送模块32的阀体薄膜320流动，藉此以加速流体自第一流体输送模块31传输至第二流体输送模块32的速度。

当该第一流体输送模块31的致动组件312及第二流体输送模块32的致动组件322受一电压驱动而产生形变，将分别致使第一压力腔室3113及第二压力腔室3213体积改变，进而产生压力差以推动该流体由入口流道302流入，且于第一流体输送模块31、阀体承载部30及第二流体输送模块32之间流动，再由出口流道303流出。

第一流体输送模块31的阀体薄膜310及第二流体输送模块32的阀体薄膜320均为厚度实质上相同的薄片结构，其上皆具有数个镂空的阀门结构，第一流体输送模块31的阀体薄膜310上设有两个镂空阀开关3100、3101，该镂空阀开关3100、3101由阀片3100a、3101a及数个环绕于阀片3100a、3101a周围设置的镂空孔洞3100b、3101b组成，另外，在镂空孔洞3100b、3101b之间还具有与阀片3100a、3101a相连接的延伸部3100c、3101c。由于第一流体输送模块31的阀体薄膜310的结构与第二流体输送模块32的阀体薄膜320相同，故在此仅以第一流体输送模块31的阀体薄膜310为例进行说明，不再赘述阀体薄膜320的结构。相同地，第二流体输送模块32的阀体薄膜320结构具有镂空阀开关3200、3201，阀片3200a、3201a，镂空孔洞3200b、3201b，延伸部3200c、3201c等结构。

第一流体输送模块31的阀体盖体311包含一入口阀门通道3110及一出口阀门通道3111，分别对应于阀体薄膜310的镂空阀开关3100、3101的位置，在镂空阀开关3100及阀体盖体311之间且连通入口阀门通道3110具有一入口暂存腔3112，用以暂存流体，而在阀体盖体311一表面可与致动组件312定义出一第一压力腔室3113(如图2D所示)，该第一压力腔室3113具有一通口经由入口阀门通道3110连通于入口暂存腔3112，也具有另一通口与出口阀门通道3111相连通。同样的，第二流体输送模块32的阀体盖体321包含一入口阀门通道3210及一出口阀门通道3211，分别对应于阀体薄膜320上的镂空阀开关3200、3201的位置，而在镂空阀开关3200及阀体盖体321之间且连通入口阀门通道3210具有一入口暂存腔3212，用以暂存流体，而在阀体盖体321一表面可与致动组件322定义出一第二压力腔室3213(如图2D所示)，该第二压力腔室3213具有一通口经由入口阀门通道3210连通于入口暂存腔3212，也具有另一通口与出口阀门通道3211相连通。

在一些实施例中，如图2A及图2B所示，第一流体输送模块31的内具有数个第一密封环314、第二密封环315、第三密封环316。此外，在阀体承载部30的第一表面301上具有数个凹槽300a、300b，以供第一密封环314设置其中，以使阀体承载部30的第一表面301与阀体薄膜310之间紧密贴合，以防止流体外泄。在阀体盖体311的表面上亦分别具有数个凹槽结构311a、311b及311c，其中一表面具有以入口阀门通道3110及出口阀门通道3111为中心环绕设置的凹槽311a、311b，供第二密封环315设置其中，以使阀体盖体311的表面与阀体薄膜310之间紧密贴合，以防止流体外泄；而另一表面设有环绕第一压力腔室3113的凹槽311c，供第三密封环316设置于中，以使致动组件312与阀体盖体311之间可紧闭贴合，以防止流体外泄。至于第二流体输送模块32的第一密封环324、第二密封环325、第三密封环326所设置的方式及其所对应的凹槽结构321a、321b、321c亦与第一流体输送模块31的第一密封环314、第二密封环315、第三密封环316及凹槽结构311a、311b、311c相同，故不再赘述。

此外，在一些实施例中，如图2A、图2B及图2D所示，该阀体承载部30在第一表面301的开口3010边缘具有微凸结构306，供与该第一流体输送模块31的阀体薄膜310的镂空阀开关3100的阀片3100a相抵触施加一预力作用，以及第二表面304的开口3040边缘也具有微凸结构307，供与该第二流体输送模块32的阀体薄膜320的镂空阀开关3200的阀片3200a相抵触施加一预力作用。以及，在该第一流体输送模块31的阀体盖体311的出口阀门通道3111边缘具有微凸结构317，供与阀体薄膜310的镂空阀开关3101的阀片3101a相抵触施加一预力作用，而第二流体输送模块32的阀体盖体321的出口阀门通道3211边缘具有微凸结构327，供与第二流体输送模块32的阀体薄膜320的镂空阀开关3201的阀片3201a相抵触施加一预力作用。

在本实施例中，入口流道302与出口流道303设置于阀体承载部30的两相邻侧面上。然而，于另一些实施例中，入口流道302与出口流道303亦可设置于阀体承载部30的两相对侧面上，设置的位置可依照实际施作情形而任施变化，并不以此为限。

请参阅图3A所示，当第一流体输送模块31的致动组件312与第二流体输送模块32的致动组件322同时受一电压驱动且相同振动频率时，将会同步弯曲变形，由于第二流体输送模块32设置于阀体承载部30的第二表面304，因此第一流体输送模块31的致动组件312向上弯曲变形，第二流体输送模块32的致动组件322则向下弯曲变形，如此第一压力腔室3113的体积扩张，因而产生一吸力，并使阀体薄膜310的镂空阀开关3100因吸力而向上，镂空阀开关3100便可经由阀体承载部30的微凸结构306提供的预力迅速开启，使流体大量地由阀体承载部30的入口流道302被汲取进来，并依序流经镂空阀开关3100、阀体盖体311上的入口暂存腔3112、入口阀门通道3110，进而流入第一压力腔室3113内；同样的，设置于阀体薄膜310另一侧的镂空阀开关3101亦承受向上的拉力，且由于出口阀门通道3111的微凸结构317可提供一预盖紧效果，故能关闭镂空阀开关3101，并可防止流体逆流，同时第二流体输送模块32的致动组件322亦会向下弯曲变形，使得第二压力腔室3213的体积扩张，因而产生一吸力，并使阀体薄膜320的镂空阀开关3200因吸力而向下，镂空阀开关3200便可经由阀体承载部30的微凸结构307提供的预力迅速开启，使流体大量地由阀体承载部30的连通腔室305被汲取进来，并依序流经镂空阀开关3200、阀体盖体321上的入口暂存腔3212、入口阀门通道3210，进而流入第二压力腔室3213中，阀体薄膜320的镂空阀开关3201亦承受向下的拉力，且因出口阀门通道3211的微凸结构327已提供镂空阀开关3201一预盖紧效果，故流体不会逆流。藉此，通过第一流体输送模块31的致动组件312及第二流体输送模块32的致动组件322同时受一电压驱动，而使得第一压力腔室3113及第二压力腔室3213同时扩张，进而驱动流体同时流入第一压力腔室3113及第二压力腔室3213中。

请参阅图3B所示，当第一流体输送模块31的致动组件312及第二流体输送模块32的致动组件322同时受与前述实施例相反之间的电压作用时，第一流体输送模块31的致动组件312向下弯曲变形，进而压缩第一压力腔室3113的体积，而产生一推力，此时设置于微凸结构317上的镂空阀开关3101便可迅速开启，使流体大量地由第一压力腔室3113宣泄，并流经镂空阀开关3101进入阀体承载部30的连通腔室305内，阀体薄膜310的镂空阀开关3100亦承受向下的压力，并可由阀体承载部30的微凸结构306提供的预盖紧效果，而可关闭镂空阀开关3100，同时第二流体输送模块32的第二致动组件322同步向上弯曲变形，进而压缩第二压力腔室3213的体积，因而产生一推力，设置于微凸结构327上的镂空阀开关3201便可迅速开启，使流体大量地由第二压力腔室3213宣泄，并流经镂空阀开关3201而进入阀体承载部30的出口暂存腔3041中，最后再由阀体承载部30的出口流道303流出流体输送装置3的外，第二流体输送模块32的阀体薄膜320的镂空阀开关3200亦因该阀体承载部30的微凸结构307的预盖紧效果而关闭，故流体不会逆流。

由此可见，当本发明的流体输送装置3受相同电压而使第一流体输送模块31的致动组件312及第二流体输送模块32的致动组件322具有相同振动频率作动时，进而可使流体输送装置3依序汲取、释出液体，以达到提升流体传输流量及扬程的目的。

请参阅图4A所示，当第一流体输送模块31的致动组件312与第二流体输送模块32的致动组件322分别受一电压驱动为反相作动时，第一流体输送模块31的致动组件312将会向上弯曲变形，使得第一压力腔室3113的体积扩张，因而产生一吸力，并使阀体薄膜310的镂空阀开关3100因应该吸力而开启，使流体由阀体承载部30的入口流道302被汲取进来，且阀体薄膜310的镂空阀开关3101亦同时承受向上的拉力而关闭。另一方面，第二流体输送模块32的致动组件322则会向上弯曲变形，进而压缩第二压力腔室3213的体积，而产生一推力，让镂空阀开关3201开启，并使流体由第二压力腔室3213宣泄至阀体承载部30的出口流道303，并流出流体输送装置3之外。至于，镂空阀开关3200亦会因该阀体承载部30的微凸结构307的预盖紧效果而关闭，故流体不会逆流回阀体承载部30的连通腔室305内。因此，通过第一流体输送模块31的致动组件312及第二流体输送模块32的致动组件322同时受一电压驱动，具有相同振动频率且反相作动，即第一流体输送模块31的第一压力腔室3113体积扩张，而第二流体输送模块32的第二压力腔室3213则为压缩体积，进而驱动入口流道302中的流体流入第一流体输送模块31，并同时驱动第二流体输送模块32的第二压力腔室3213中的流体流至出口流道303，亦即可同时驱动流体流入及流出流体输送装置3。

请参阅图4B所示，第一流体输送模块31的致动组件312与第二流体输送模块32的致动组件322受一与前述实施例反向电压驱动，第一流体输送模块31的致动组件312将会向下弯曲变形，进而压缩第一压力腔室3113的体积，而产生一推力，并使镂空阀开关3101随之开启，使流体大量地由第一压力腔室3113宣泄，进入阀体承载部30的连通腔室305内，至于另一侧镂空阀开关3100则同样因承受向下的压力以及阀体承载部30的微凸结构306的预盖紧效果而关闭，进而防止流体逆流至第一流体输送模块31内。相同地，第二流体输送模块32的致动组件322亦会向下弯曲变形，因而扩张第二压力腔室3213的体积，进而产生吸力，以使镂空阀开关3200因吸力而向下开启，使流体大量地由阀体承载部30的连通腔室305流入第二流体输送模块32的第二压力腔室3213中，以及镂空阀开关3201亦承受向下的拉力及出口阀门通道3211的微凸结构327的预盖紧效果而关闭，故流体不会流入出口流道303中。

除前述图3A、图3B、图4A及图4B所示的相同振动频率的同向作动及反向作动实施例之外，在另一些实施例中，第一流体输送模块31的致动组件312及第二流体输送模块32的致动组件322亦可非同步作动，亦即具有相同振动频率但具有一θ相位差，经由非同步改变电场，则可通过控制以一定的时间差来依序驱动第一流体输送模块31的致动组件312及第二流体输送模块32中的致动组件322，使其进行非同步作动，以达到流体传输的目的。

请参阅图5C、图5B，并配合图3A、3B、4A、4B图所示，当第一流体输送模块31的致动组件312及第二流体输送模块32的致动组件322亦可相同振动频率，但以非同步压缩或扩张第一压力腔室3113与第二压力腔室3213的方式作动，使第一流体输送模块31的致动组件312及第二流体输送模块32的致动组件322的作动具有一相位差θ，如图5C所示，如此便可经由调整该θ相位差的大小，得以调整流体输送装置的传输流量及扬程。又如图5B所示，第一流体输送模块31的致动组件312及第二流体输送模块32的致动组件322也可为反方向的方式作动，进而控制流体输送装置3的运作性能、流量及扬程，以配合各种不同需求而达到最适流量及扬程的输出，进而更灵活地运用于多样的产品，更富应用性。

在一些实施例中，若流体输送装置仅采用单一微泵浦结构，则其在45Hz电压的趋动下，仅可达到每分钟输送50ml的流速，且扬程为45kPa。若采用本发明具有两重迭设置的流体输送模块31、32的流体输送装置3，其作动具有相同振动频率，且第一流体输送模块31的致动组件312与第二流体输送模块32的致动组件322为同向作动时，在同样条件的45Hz的电压驱动下，流体输送装置3可达到每分钟输送80ml的流速，且其扬程可提升为65kPa。此外，若振动频率相同，且第一流体输送模块31的致动组件312与第二流体输送模块32的致动组件322为反向作动时，则在45Hz的电压驱动下，流体输送装置3的扬程更可提升至100kPa，足见本发明的流体输送装置3相较于已知单一微泵浦结构，实可大幅提升其传输流率及扬程。

综合上述，本发明的流体输送装置可应用于微泵浦结构，经由该流体输送装置的阀体承载部上下堆迭架组第一流体输送模块及第二流体输送模块整合为一，相较于已知流体输送装置使用单一流体输送模块的设计，可经由架组的第一流体输送模块及第二流体输送模块来增加流体传输量及扬程，且无须已知流体输送装置欲提升流量时需利用衔接机构，例如管线，将多个已知流体输送装置进行连接及连通方式进行设置，而且整合两组流体输送模块可同步或非同步作动的方式，进而提升流体传输的流量及扬程，无须需额外耗费于衔接机构而可减少生产成本，且缩小流体输送装置的整体体积的符合薄型化等优点。

虽然本发明已由上述的实施例详细叙述而可由熟悉本技艺的人士任施匠思而为诸般修饰，但是皆不脱离如所附权利要求书所限定的保护范围。

Claims (8)

1.一种流体输送装置，用以传送一流体，包含：

一阀体承载部，包含一第一表面、一入口流道、一出口流道、一第二表面及一连通腔室，该第一表面具有一与该入口流道连通的一开口及一出口暂存腔，该第二表面具有一开口及一与该出口流道连通的出口暂存腔，而该第一表面的该出口暂存腔及该第二表面的该开口分别与该连通腔室相连接而彼此相连通；

一第一流体输送模块，组设于该阀体承载部的该第一表面上，具有一致动组件、一阀体盖体及一阀体薄膜，该阀体薄膜设置于该阀体承载部及该阀体盖体之间，具有数个镂空阀开关分别对应于该第一表面的该开口及该出口暂存腔，该致动组件设置于该阀体盖体上，且与该阀体盖体一表面形成一第一压力腔室；以及

一第二流体输送模块，组设于该阀体承载部的该第二表面上，与该第一流体输送模块呈上下相对设置，具有一致动组件、一阀体盖体及一阀体薄膜，其特征在于该阀体薄膜设置于该阀体承载部及该阀体盖体之间，具有数个镂空阀开关分别对应于该第二表面的该开口及该出口暂存腔，该致动组件设置于该阀体盖体上，且与该阀体盖体一表面形成一第二压力腔室；

其中，该第一流体输送模块的该致动组件及该第二流体输送模块的该致动组件以相同振动频率且具有一相位差作动，分别致使该第一压力腔室及该第二压力腔室体积改变，进而产生压力差以推动该流体由该阀体承载部的该入口流道流入，流经该第一流体输送模块、该阀体承载部及该第二流体输送模块，再由该阀体承载部的该出口流道流出；

其中该连通腔室由该第一表面的该出口暂存腔朝该第二表面的该开口方向呈渐缩的锥体形态。

2.如权利要求1所述的流体输送装置，其特征在于该第一及该第二流体输送模块的该阀体薄膜为一厚度实质上相同的薄片结构，其上该镂空阀开关具有一阀片及数个环绕该阀片周边而设置的镂空孔洞，且该镂空孔洞之间具有数个与该阀片相连接的延伸部。

3.如权利要求1所述的流体输送装置，其特征在于该第一流体输送模块的该阀体盖体具有一入口阀门通道及一出口阀门通道，分别对应该阀体薄膜的该镂空阀开关，在该入口阀门通道及该镂空阀开关之间且对应该第一表面的该开口该阀体盖体还具有一入口暂存腔，且该入口暂存腔连通该第一压力腔室，并经由该第一压力腔室连通该出口阀门通道，而该出口阀门通道与该第一表面的该出口暂存腔相对应连通。

4.如权利要求1所述的流体输送装置，其特征在于该第二流体输送模块的该阀体盖体具有一入口阀门通道及一出口阀门通道，分别对应该阀体薄膜的该镂空阀开关，在该入口阀门通道及该镂空阀开关之间且对应该阀体承载部的该第二表面的该开口该阀体盖体还具有一入口暂存腔，且该入口暂存腔连通该第二压力腔室，并经由该第二压力腔室连通该出口阀门通道，而该出口阀门通道与该第二表面的出口暂存腔、该出口流道相对应连通。

5.如权利要求2所述的流体输送装置，其特征在于该阀体承载部的该第一表面及该第二表面的该开口边缘分别具有一微凸结构，分别与该第一及该第二流体输送模块的阀体薄膜的该镂空阀开关的该阀片相抵触施加一预力作用。

6.如权利要求2所述的流体输送装置，其特征在于该第一流体输送模块的该阀体盖体的该出口阀门通道边缘具有一微凸结构，与该阀体薄膜的该镂空阀开关的该阀片相抵触施加一预力作用。

7.如权利要求2所述的流体输送装置，其特征在于该第二流体输送模块的该阀体盖体的该出口阀门通道边缘具有一微凸结构，与该阀体薄膜的该镂空阀开关的该阀片相抵触施加一预力作用。

8.如权利要求1所述的流体输送装置，其特征在于该第一流体输送模块及该第二流体输送模块的该致动组件可为同步或非同步作动，以调整该流体输送装置的传输流量及扬程。