CN103236409B - 封闭式销用陶瓷支板 - Google Patents

Abstract

封闭式销用陶瓷支板，主要解决现有的产品结构容易变形、各处支点高低不一的技术问题。本发明采用等边三角闭合式，其结构是针对在设备上共设有三处位于等圆周上销的结构形式。该结构形式利用三点决定一个圆，来实现对晶圆的支撑。它包括支板使用侧和支板固定侧。采用陶瓷材料，充分利用了陶瓷强度高，高温变形小等优势。销用陶瓷支板是通过销孔来实现与升降机构的定位，通过安装通孔来实现与升降机构的紧固连接。具有结构相对简单，强度高，性能好的特点。主要应用于半导体镀膜设备中，属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域。

Description

封闭式销用陶瓷支板

技术领域

本发明涉及一种销用陶瓷支板，确切地说是一种封闭式销用陶瓷支板，主要应用于半导体镀膜设备中，属于半导体薄膜沉积应用及制备技术领域。

背景技术

现有的半导体镀膜设备，尤其是12英寸半导体镀膜设备中，销支板在整个工艺过程中，通过自身的升降来实现不同位置上的销的统一升降，从而实现传片过程中晶圆的升降。销一般是按圆周均匀分布的，数量一般为三个或多个不等。为保证晶圆在整个工艺过程中无偏移、滑片等现象，需要保证不同位置上的销的高度是一致的，即无论在任何状态下，销的提升和下降的速度是一样的。这就对销支板的要求提高了。需要销支板在任何状态下，位于不同位置的销所处的面的升降是一致的，并保证这些面始终处于同一平面上。考虑腔体的密封以及安装空间有限，销支板一般只设有一个升降支点。这又对销支板的强度要求提高了，不允许其在高温状态下有较大的变形存在。以保证各处销的高度不会有大的差异，从而确保晶圆的传输顺畅。同时，销支板其自身也不能太重，避免因重力作用导致变形。

现有的半导体镀膜设备中采用的销支板的结构样式很多，有开口式的“V”型铝制支板，有结构复杂的发射型支板，有圆弧型支板等等。但在高温状态下，除了升降支点处的支撑面外，各个分支端部均会有很大的变形。变形产生后，各处销的最高点的位置就存在差异，从而导致晶圆不能处于一个相对水平的状态，或倾斜或滑片。

发明内容

本发明是针对上述现有技术结构容易严重、各处支点高低不一的技术问题，而提供一种结构相对简单，强度高，性能较好的新的结构形式。采用陶瓷材料，充分利用了陶瓷强度高，高温变形小等优势。该发明采用等边三角闭合式，其结构是针对在设备上共设有三处位于等圆周上的销的结构形式。该结构形式利用三点决定一个圆，来实现对晶圆的支撑。

为实现上述目的，本发明采用下述技术方案：封闭式销用陶瓷支板，包括支板使用侧(15)和支板固定侧(18)。所述的支板使用侧(15)是由分支面A(2)、分支面B(4)及分支面C(8)组成。上述支板使用侧(15)上的销支撑用面A(1)、销支撑用面B(3)及销支撑用面C(7)是在支板使用侧15的基础上下沉一定高度而制成的。上述销支撑用面A(1)、销支撑用面B(3)及销支撑用面C(7)上分别有位于同一同心圆上的三个支撑点，为了加工方便，也为减轻端部的重量，将其端部的材料整体加工掉，成为现有的销支撑用面A(1)、销支撑用面B(3)及销支撑用面C(7)。上述三个销支撑用面位于同一平面上，拥有相同的平面度。

支板固定侧(18)由分支面D(9)、分支面E(11)共同组成。固定端处设有圆柱台(19)，并在端面设有倒角(20)，其端面(14)是整个销支板最厚的地方。支板固定侧(18)的分支面E(11)上设有2条对称的加强筋(10)，加强筋(10)整体采用锥面(17)的结构。加强筋(10)的起始端设有圆角(12)，使其在高温状态下应力变形减小。支板固定侧(18)上设有圆柱台(19)其内设有一个沉孔B(21)，在支板使用侧也设有一沉孔A(16)，上述圆柱台(19)内部设有销孔(6)和安装通孔(5)。销支板通过销孔(6)来实现与升降机构的定位，通过通孔(5)来实现与升降机构的紧固连接。

本发明的有益效果是：该结构更好的避免了因支板的变形而导致的销高度不一，从而导致晶圆倾斜或是滑片现象的出现。而且与现有技术相比更具合理性，其零部件精度要求相对不高，结构简单，加工、安装方便，强度好，在高温状态下变形小，能很好的保障销对晶圆的支撑作用，同时价格也相对低廉。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图2是图1的后视图。

图3是图2A-A向的剖视图。

具体实施方式

实施例

参照图1-3，封闭式销用陶瓷支板，是由一整体的陶瓷材料加工而成的。整体外形为等边三角形，图1为其使用侧，图2为其固定侧。支板使用侧15是由分支面A2、分支面B4及分支面C8组成。上述三个分支面拥有相同的平面度，是加工其余特征的基准面。其加工精度的高低，影响到整个销用支板所有尺寸链的精度，其在整个件的加工过程中起着重要的作用。其销支撑用面A1、销支撑用面B3及销支撑用面C7是在支板使用侧15的基础上下沉一定高度而制成的。销支撑用面A1、销支撑用面B3及销支撑用面C7的顶端均采用圆角结构，避免尖角，同时起到减轻自身的重量的作用。上述销支撑用面A1、销支撑用面B3及销支撑用面C7上分别有位于同一同心圆上的三个支撑点，为了加工方便，也为减轻端部的重量，将其端部的材料整体加工掉，成为现有的销支撑用面A1、销支撑用面B3及销支撑用面C7。上述三个销支撑用面位于同一平面上，拥有相同的平面度，从而更好的确保了三个支撑点处高度的一致性。

销支板固定侧的结构相对复杂。销支板有一角作为整个支板升降时用的支撑端。从强度方面考虑，该端是材料最厚的地方，通过剖视图(图3)能看得出。因支板是安装在腔体内部，考虑腔体开孔处的密封、销支板的安装、升降等方面，固定端处设为圆柱台19，并在端面设有倒角20，其端面14是整个销支板最厚的地方。从整体的强度要求及加热受力变形方面考虑，由分支面D9、分支面E11共同组成的支板固定侧18是整个销支板最薄的地方，故在支板固定侧18的分支面E11上设有2条对称的加强筋10。加强筋10整体采用锥面17的结构，其从圆柱台19根部平面13开始，到分支面D9、分支面E11结束，充分保证了除升降点处的支撑点外，另两处支撑点的强度。加强筋10的起始端设有圆角12，使其在高温状态下应力变形减小。支板固定侧18上设有圆柱台19其内设有一个沉孔B21，在支板使用侧也设有一沉孔A16，上述圆柱台19内部设有一个销孔6和三个安装通孔5。

安装时，沉孔B21直接与销升降机构接触，在与销升降机构连接时起导向限位作用。在整体安装固定的时候，紧固件的端部处于沉孔内，不会高出销支板的整个使用侧的面，保证无论在任何状态，整个销支板的使用面始终是一平面状态。销支板通过销孔6来实现与升降机构的定位，通过安装通孔5来实现与升降机构的紧固连接。

使用时，将销支板的圆柱台19通过腔体对准销升降机构，调整销孔6的位置，使销孔6与升降机构上的销对准，缓慢落下，直到沉孔B21与升降机构的上表面充分接触，同时细微调整销支板的角度，使三个安装通孔5与升降机构上的三个螺纹孔充分对齐。将紧固件先手动带上，调整整个销支板的水平度，也就是保证了销支撑用面A1、销支撑用面B3及销支撑用面C7的水平度，将紧固件拧紧。这样整个销支板的安装就完成了。

Claims (4)

1.一种封闭式销用陶瓷支板，包括支板使用侧(15)和支板固定侧(18)，其特征在于：支板使用侧(15)是由分支面A(2)、分支面B(4)及分支面C(8)组成，支板使用侧(15)上的销支撑用面A(1)、销支撑用面B(3)及销支撑用面C(7)是在支板使用侧(15)的基础上下沉而制成的，三个销支撑用面上分别有位于同一同心圆上的三个支撑点，其销支撑用面位于同一平面上，拥有相同的平面度；支板固定侧(18)由分支面D(9)、分支面E(11)共同组成，固定端处设有圆柱台(19)，并在端面设有倒角(20)，其端面(14)是整个销支板最厚的地方，上述支板固定侧(18)上设有圆柱台(19)，其内设有一个沉孔B(21)，在支板使用侧也设有一沉孔A(16)，上述圆柱台(19)内部设有销孔(6)和安装通孔(5)。

2.如权利要求1所述的封闭式销用陶瓷支板，其特征在于：所述的支板固定侧(18)的分支面E(11)上设有2条对称的加强筋(10)，加强筋(10)整体采用锥面(17)的结构，加强筋(10)的起始端设有圆角(12)。

3.如权利要求1所述的封闭式销用陶瓷支板，其特征在于：所述的销孔(6)为1个，安装通孔(5)为3个。

4.如权利要求1所述的封闭式销用陶瓷支板，其特征在于：所述的销支撑用面A(1)、销支撑用面B(3)及销支撑用面C(7)的顶端均采用圆角结构。