CN103178172B - 一种台阶结构的高亮度发光二极管 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种台阶结构的发光二极管,所述发光二极管的结构为:在蓝宝石衬底上依次具有低温缓冲层、n型掺杂的Al0.05In0.05Ga0.9N层、交替形成的超晶格结构的n-Al0.05In0.05Ga0.9N/n-AI0.05In0.05Ga0.9P多量子阱层、p型掺杂的AlGaN层、p型掺杂的In0.05Ga0.95N层、交替形成的超晶格结构的p-In0.1Ga0.95N/p-In0.1Ga0.95P多量子阱层,第一透明金属层以及p型电极,其中在所述n型掺杂的Al0.05In0.05Ga0.9N层上具有第二透明金属层以及n电极。
Description
技术领域
本发明属于半导体技术领域,特别涉及一种台阶结构的高亮度发光二极管。
背景技术
半导体发光二极管应用日益广泛,特别是在照明方面有取代白炽灯和荧光灯的趋势,但是目前还面临一些技术上的问题,特别是光取出效率比较低。这导致了发光二极管的亮度不足等缺陷。
近年来,为了提高发光二极管的亮度,发展了垂直结构的发光二极管,相对于正装结构的发光二极管来说,垂直结构的发光二极管诸多优点。垂直结构发光二极管的两个电极分别处于发光二极管的两侧,电流几乎全部垂直流过外延层,没有横向流动的电流,因此电流分布均匀,产生的热量相对较少。并且由于垂直结构的两个电极处于两侧,因此出光过程中不会受到同侧电极的阻挡,其出光效率更高。
现在较为常见的GaN基发光二极管的结构在蓝宝石衬底上依次具有GaN缓冲层、n型掺杂的GaN层、InGaN/GaN多量子阱、p型掺杂的AlGaN层和p型掺杂的GaN层、n型欧姆接触层,在衬底下具有p型欧姆接触层,这种结构存在以下明显缺点:由于纤锌矿结构的GaN总是沿着[0001]或者[000-1]方向垂直于衬底生长,而这两个方向恰恰是极性轴方向,因此GaN基材料会表现出强烈的晶格极化,这导致InGaN/GaN多量子阱区强烈的极化效应。
发明内容
本发明针对现有技术的问题,提出了一种量子阱材料交替变化的台阶结构的发光二极管,通过这种量子阱材料交替变化的结构,增强了对电子和空穴的限制作用,有效提高了发光二极管的发光效率,从而有效提高发光二极管的亮度。
首先对本发明所采用的“上”、“下”进行定义,在本发明中,通过参照附图,本发明所述的“上”为附图中面向附图时垂直向上的方向。本发明所述的“下”为附图中面向附图时垂直向下的方向。
本发明提出的发光二极管结构为:在蓝宝石衬底上依次具有低温缓冲层、n型掺杂的Al0.05In0.05Ga0.9N层、交替形成的超晶格结构的n-Al0.05In0.05Ga0.9N/n-Al0.05In0.05Ga0.9P多量子阱层、p型掺杂的AlGaN层、p型掺杂的In0.05Ga0.95N层、交替形成的超晶格结构的p-In0.1Ga0.9N/p-In0.1Ga0.9P多量子阱层,第一透明金属层以及p型电极,其中在所述n型掺杂的Al0.05In0.05Ga0.9N层上具有第二透明金属层以及n型电极。
其中,交替形成的n-Al0.05In0.05Ga0.9N/n-Al0.05In0.05Ga0.9P多量子阱层的具体结构为:先形成n-Al0.05In0.05Ga0.9N多量子阱层,然后在该n-Al0.05In0.05Ga0.9N多量子阱层上形成n-Al0.05In0.05Ga0.9P多量子阱层,以该两层作为一个周期,共形成8-15个周期;
其中,交替形成的超晶格结构的p-In0.1Ga0.9N/p-In0.1Ga0.9P多量子阱层的具体结构为:先形成p-In0.1Ga0.9N多量子阱层,然后在该p-In0.1Ga0.9N多量子阱层上形成p-In0.1Ga0.9P多量子阱层,以该两层作为一个周期,共形成15-25个周期。
其中,第一透明金属层和第二透明金属层的材料为ITO。
附图说明
附图1为本发明提出的高亮度发光二极管结构示意图。
图2为附图1中的局部放大示意图。
图3为附图1中的局部放大示意图。
具体实施方式
实施例1
参见图1-3,本发明提出的发光二极管结构为:在蓝宝石衬底2上依次具有低温缓冲层3、n型掺杂的Al0.05In0.05Ga0.9N层4、交替形成的超晶格结构的n-Al0.05In0.05Ga0.9N/n-Al0.05In0.05Ga0.9P多量子阱层5、p型掺杂的AlGaN层6、p型掺杂的In0.05Ga0.95N层7、交替形成的超晶格结构的p-In0.1Ga0.9N/p-In0.1Ga0.9P多量子阱层8,第一透明金属层9以及p型电极10,其中在所述n型掺杂的Al0.05In0.05Ga0.9N层4上具有第二透明金属层11以及n型电极1。
其中,交替形成的n-Al0.05In0.05Ga0.9N/n-Al0.05In0.05Ga0.9P多量子阱层5的具体结构为:先形成n-Al0.05In0.05Ga0.9N多量子阱层501,然后在该n-Al0.05In0.05Ga0.9N多量子阱层501上形成n-Al0.05In0.05Ga0.9P多量子阱层502,以该两层501和502作为一个周期,共形成8-15个周期;
其中,交替形成的超晶格结构的p-In0.1Ga0.9N/p-In0.1Ga0.9P多量子阱层8的具体结构为:先形成p-In0.1Ga0.9N多量子阱层801,然后在该p-In0.1Ga0.9N多量子阱层801上形成p-In0.1Ga0.9P多量子阱层802,以该两层作为一个周期,共形成15-25个周期。
其中,第一透明金属层和第二透明金属层的材料为ITO。
实施例2
下面介绍本发明的优选实施例,该优选实施例为本发明提出的发光二极管结构中,亮度最优的结构。
参见图1-3,本发明提出的发光二极管结构为:在蓝宝石衬底2上依次具有低温缓冲层3、n型掺杂的Al0.05In0.05Ga0.9N层4、交替形成的超晶格结构的n-Al0.05In0.05Ga0.9N/n-Al0.05In0.05Ga0.9P多量子阱层5、p型掺杂的AlGaN层6、p型掺杂的In0.05Ga0.95N层7、交替形成的超晶格结构的p-In0.1Ga0.9N/p-In0.1Ga0.9P多量子阱层8,第一透明金属层9以及p型电极10,其中在所述n型掺杂的Al0.05In0.05Ga0.9N层4上具有第二透明金属层11以及n型电极1。
其中,交替形成的n-Al0.05In0.05Ga0.9N/n-Al0.05In0.05Ga0.9P多量子阱层5的具体结构为:先形成n-Al0.05In0.05Ga0.9N多量子阱层501,然后在该n-Al0.05In0.05Ga0.9N多量子阱层501上形成n-Al0.05In0.05Ga0.9P多量子阱层502,以该两层501和502作为一个周期,共形成10个周期;
其中,交替形成的超晶格结构的p-In0.1Ga0.9N/p-In0.1Ga0.9P多量子阱层8的具体结构为:先形成p-In0.1Ga0.9N多量子阱层801,然后在该p-In0.1Ga0.9N多量子阱层801上形成p-In0.1Ga0.9P多量子阱层802,以该两层作为一个周期,共形成20个周期。
至此,上述描述已经详细的说明了本发明的发光二极管结构,相对于现有的发光二极管,本发明提出的结构能够大幅度提高发光亮度。前文的描述的实施例仅仅只是本发明的优选实施例,其并非用于限定本发明。本领域技术人员在不脱离本发明精神的前提下,可对本发明做任何的修改,而本发明的保护范围由所附的权利要求来限定。
Claims (4)
1.一种台阶结构的发光二极管,其特征在于:所述发光二极管的结构为:在蓝宝石衬底上依次具有低温缓冲层、n型掺杂的Al0.05In0.05Ga0.9N层、交替形成的超晶格结构的n-Al0.05In0.05Ga0.9N/n-Al0.05In0.05Ga0.9P多量子阱层、p型掺杂的AlGaN层、p型掺杂的In0.05Ga0.95N层、交替形成的超晶格结构的p-In0.1Ga0.9N/p-In0.1Ga0.9P多量子阱层,第一透明金属层以及p型电极,其中在所述n型掺杂的Al0.05In0.05Ga0.9N层上具有第二透明金属层以及n型电极。
2.如权利要求1所述的发光二极管,其特征在于:
其中,交替形成的n-Al0.05In0.05Ga0.9N/n-Al0.05In0.05Ga0.9P多量子阱层的具体结构为:先形成n-Al0.05In0.05Ga0.9N多量子阱层,然后在该n-Al0.05In0.05Ga0.9N多量子阱层上形成n-Al0.05In0.05Ga0.9P多量子阱层,以该两层作为一个周期,共形成8-15个周期。
3.如权利要求1或2所述的发光二极管,其特征在于:
其中,交替形成的超晶格结构的p-In0.1Ga0.9N/p-In0.1Ga0.9P多量子阱层的具体结构为:先形成p-In0.1Ga0.9N多量子阱层,然后在该p-In0.1Ga0.9N多量子阱层上形成p-In0.1Ga0.9P多量子阱层,以该两层作为一个周期,共形成15-25个周期。
4.如权利要求3所述的发光二极管,其特征在于:
所述第一透明金属层和所述第二透明金属层的材料为ITO。
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CN101740691A (zh) * | 2009-12-22 | 2010-06-16 | 苏州纳晶光电有限公司 | 一种新型结构的大功率氮化镓基led |
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