CN103104493A - 一种用于无油干式真空泵双驱动主轴控制系统 - Google Patents
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Application publication date: 20130515 Assignee: Shanghai Kai Kai Vacuum Technology Co., Ltd. Assignor: Shenyang Scientific Apparatus Co., Ltd. of Chinese Academy of Sciences Contract record no.: 2016210000009 Denomination of invention: Oil-free dry vacuum pump double-driving main shaft control system Granted publication date: 20151209 License type: Exclusive License Record date: 20160203 |
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