CN103091259A - 在线检测托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的太赫兹方法 - Google Patents
在线检测托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的太赫兹方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN103091259A CN103091259A CN2013100357599A CN201310035759A CN103091259A CN 103091259 A CN103091259 A CN 103091259A CN 2013100357599 A CN2013100357599 A CN 2013100357599A CN 201310035759 A CN201310035759 A CN 201310035759A CN 103091259 A CN103091259 A CN 103091259A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- terahertz
- thickness
- dust
- tungsten
- wall
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims abstract description 63
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 39
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 39
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 title claims abstract description 39
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims abstract description 28
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims abstract description 26
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims abstract description 22
- 230000004927 fusion Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000001328 terahertz time-domain spectroscopy Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 6
- 238000004088 simulation Methods 0.000 claims description 8
- 239000013049 sediment Substances 0.000 claims description 6
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 claims description 3
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 abstract description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 3
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 abstract description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 17
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 3
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052790 beryllium Inorganic materials 0.000 description 2
- ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N beryllium atom Chemical compound [Be] ATBAMAFKBVZNFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 239000012770 industrial material Substances 0.000 description 1
- 238000000329 molecular dynamics simulation Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
本发明涉及核聚变与光学诊断领域,公开了一种在线检测托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的太赫兹方法。首先从窗口外向检测区域垂直射入太赫兹波,探头测量并记录由钨第一壁反射回的太赫兹时域波谱;将其在有效频域内做傅里叶变换得到频域谱;数据自动选取特征谱线,与数据库中不同灰尘的太赫兹特征谱线位置相比对,确定灰尘成分;确定灰尘成分后,将该灰尘成分与数据库标定厚度的太赫兹特征谱线比较得到相对强度比,再与数据库中的沉积层厚度-相对强度比的函数关系进行对照,确定沉积层厚度。本发明利用反射太赫兹时域谱技术结合计算机数据库,能够达到同步在线且无接触无损伤检测磁约束聚变托卡马克装置钨第一壁灰尘沉积层成分以及厚度。
Description
技术领域
本发明涉及核聚变与光学诊断领域,特别涉及在线检测托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的太赫兹方法,本发明与传统的热电偶温度计相比,能够快速、同步地返回温度数据,且无接触无损伤。
背景技术
太赫兹(Terahertz or THz)波通常指的是频率处在0.1THz~10THz之间的电磁波,介于微波和红外之间。太赫兹时域光谱系统是一种相干探测技术,能够同时获得太赫兹脉冲的振幅信息和相位信息,通过对时间波形进行傅立叶变换能直接得到样品的吸收系数和折射率等光学参数。太赫兹时域光谱技术探测灵敏度很高,所以已经广泛应用于材料性质的分析中。理论及实验研究表明,很多工业材料用太赫兹时域光谱技术探测,能有效的产生共振吸收峰,从而提供了特征指纹谱,并可以进行探测识别。同时,在某些环境下,太赫兹波具有独特的强透射能力和低辐射能量的特点,不会对材料造成伤害,而且具有高功率及高分辨率。在高密度、高温、磁化等离子体中,太赫兹波同样也表现出零吸收的特性,这就使用太赫兹波来检测托卡马克装置中灰尘沉积层的厚度以及成分提供了可能性。
在核聚变托卡马克装置中,等离子体与壁材料相互作用将会产生灰尘。灰尘的成因非常复杂,涉及到多种等离子过程,同时灰尘颗粒打击或者沉积到第一壁上时有可能改变壁材料的热传导率及其他性质。灰尘问题已经成为聚变领域的一个热点问题。到目前为止,观察灰尘的主要方法是快速相机拍摄的方法,或者使用气凝胶采集器壁上灰尘样本颗粒的方法,从而得到灰尘颗粒的速度、尺寸等方面的信息,因此在实际工作条件中,有这样一种可以在线无损伤检测托卡马克装置灰尘沉积层厚度及成分的方法就显得十分重要。
托卡马克装置中灰尘成分主要有钨(W)、铍(Be)、钼(Mo)、碳(C)、硼(B)、氧(O)、硅(Si)、铬(Cr)、锰(Mn)等,理论模拟计算表明,这些成分沉积在钨第一壁上在太赫兹波段的吸收谱可以特征识别,不同成分与钨表面结合的太赫兹频域谱特征谱线出现的位置不同,同时同一成分随着沉积在钨上薄膜厚度的变化,虽然太赫兹波射入第一壁反射回的太赫兹频域谱的特征谱线位置不变,但是谱线强度会发生相应的变化,根据这一特征,可以结合模拟实验及分子动力学方法确定不同成分沉积在钨表面若干条特征谱线峰值位置,将实验所得与理论计算结果对比,从而首先确定沉积层成分,对于每一种成分,随着薄膜厚度的增加,太赫兹频域谱相对强度比会发生变化,由此推演出相对强度比R随薄膜厚度d变化的函数关系R=f(d),将以上模拟结果集成为计算机数据库,将钨表面灰尘沉积层与该沉积层标定厚度(如1μm)的谱线强度相比得到相对强度比,带入到数据库函数关系,以此确定出托卡马克装置钨第一壁灰尘沉积层厚度,从而达到同步在线且无损伤检测沉积层成分及厚度。
发明内容
本发明的目的:为了解决上述现有技术中的技术问题,提供在线检测托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的太赫兹方法,利用反射太赫兹时域谱技术结合计算机数据库,能够快速、同步检测磁约束聚变托卡马克装置钨第一壁灰尘沉积层成分以及厚度。
为达到上述目的,本发明才有的技术方案是:提供了一种在线检测托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的太赫兹方法,包括以下步骤:
步骤3:计算机理论模拟不同灰尘成分沉积在钨第一壁上的太赫兹频域谱,并记录不同灰尘成分的太赫兹特征谱线位置;对于同一种灰尘成分,模拟不同厚度与标定厚度(如1μm)时太赫兹特征谱线的相对强度比,得到每一种灰尘成分的沉积层厚度d与相对强度比R的函数关系R=f(d),集成为计算机数据库;
步骤5:确定灰尘成分后,将该灰尘成分的太赫兹特征谱线与数据库标定厚度的太赫兹特征谱线相比较,得到相对强度比,再与数据库中的沉积层厚度-相对强度比的函数关系进行对照,确定沉积层厚度;
步骤6:将托卡马克钨第一壁沉积层成分及厚度信息输出,并保存于计算机系统中,完成对托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的检测。
本发明的有益效果是:本发明利用反射太赫兹时域谱技术结合计算机数据库,为快速、同步检测磁约束聚变托卡马克装置钨第一壁灰尘沉积层成分以及厚度提供了条件,在磁约束装置窗口外向托卡马克第一壁探测区域发射太赫兹波,并接收反射时域谱,将其转换成频域谱,最后与计算机数据库进行比对,确定灰尘成分和沉积层厚度,从而达到同步在线且无接触无损伤检测。
附图说明
图1为本发明在线检测托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的太赫兹方法流程示意图。
图2为不同灰尘成分沉积在钨表面上的太赫兹频域谱特征谱线示意图。
图3为同一种灰尘成分不同厚度沉积在钨表面的太赫兹频域谱特征谱线示意图。
图4为数据库中不同灰尘成分沉积层厚度-相对强度比关系示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行详细说明。
参照图1,一种在线检测托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的太赫兹方法,如托卡马克装置中灰尘成分主要有钨(W)、铍(Be)、钼(Mo)、碳(C)、硼(B)、氧(O)、硅(Si)、铬(Cr)、锰(Mn)等,具体实施包括以下步骤:
步骤3:计算机理论模拟不同灰尘成分沉积在钨第一壁上的太赫兹频域谱,并记录不同灰尘成分的太赫兹特征谱线位置;对于同一种灰尘成分,模拟不同厚度与标定厚度(如1μm)时太赫兹特征谱线的相对强度比,得到每一种灰尘成分的沉积层厚度d与相对强度比R的函数关系R=f(d),集成为计算机数据库;
步骤5:确定灰尘成分后,将该灰尘成分的太赫兹特征谱线与数据库标定厚度的太赫兹特征谱线相比较,得到相对强度比,再与数据库中的沉积层厚度-相对强度比的函数关系进行对照,确定沉积层厚度;
步骤6:将托卡马克钨第一壁沉积层成分及厚度信息输出,并保存于计算机系统中,完成对托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的检测。
图2为不同灰尘成分沉积在钨表面上的太赫兹频域谱特征谱线频移示意图,模拟结果为:不同的成分沉积在钨表面上,由于在太赫兹区域可以特征识别,因此在太赫兹频域谱特征谱线峰值位置不同,因此,根据这一特性,可以由频域谱特征谱线位置来推断灰尘成分。
图3为同一种灰尘成分当沉积厚度不同时,太赫兹频域谱特征谱线位置相同,但是特征谱线的强度不同,因此根据这一特征,可以在确定灰尘成分后,将得到的太赫兹频域谱特征谱线与数据库该成分标定厚度(如1μm)的特征谱线强度相对比得到相对强度比,据此来推断灰尘沉积层厚度。
图4为数据库模拟的沉积层厚度-相对强度比函数关系图。理论上可计算出该灰尘沉积在钨表面不同厚度与标定厚度(如1μm)的频域谱特征谱线的相对强度比,得到沉积层厚度d与相对强度比R的函数关系R=f(d),读取该灰尘成分,选取特征谱线,得到该厚度与标定厚度谱线的相对强度比,与数据库函数关系比对,从而确定灰尘沉积层厚度。
理论模拟计算后,可以拟合不同沉积成分的沉积层厚度-相对强度比的函数变化关系,从而将实验与理论结果相比照,可得沉积层厚度。
以上内容是结合优选技术方案对本发明所做的进一步详细说明,不能认定发明的具体实施仅限于这些说明。对本发明所属技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明的构思的前提下,还可以做出简单的推演及替换,都应当视为本发明的保护范围。
Claims (1)
1.在线检测托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的太赫兹方法,包括以下步骤:
步骤1:在托卡马克磁约束聚变装置工作时,将太赫兹波垂直入射到需要检测的区域,即托卡马克钨第一壁,探头测量并记录由托卡马克钨第一壁反射回的太赫兹时域波谱 ;
步骤3:计算机理论模拟不同灰尘成分沉积在钨第一壁上的太赫兹频域谱,并记录不同灰尘成分的太赫兹特征谱线位置;对于同一种灰尘成分,模拟不同厚度与标定厚度时太赫兹特征谱线的相对强度比,得到每一种灰尘成分的沉积层厚度d与相对强度比R的函数关系R=f(d),集成为计算机数据库;
步骤5:确定灰尘成分后,将该灰尘成分的太赫兹特征谱线与数据库标定厚度的太赫兹特征谱线相比较,得到相对强度比,再与数据库中的沉积层厚度-相对强度比的函数关系进行对照,确定沉积层厚度;
步骤6:将托卡马克钨第一壁沉积层成分及厚度信息记录保存于计算机系统并输出,达到同步、快速检测托卡马克装置钨第一壁灰尘沉积层成分及厚度。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310035759.9A CN103091259B (zh) | 2013-01-30 | 2013-01-30 | 在线检测托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的太赫兹方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201310035759.9A CN103091259B (zh) | 2013-01-30 | 2013-01-30 | 在线检测托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的太赫兹方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN103091259A true CN103091259A (zh) | 2013-05-08 |
CN103091259B CN103091259B (zh) | 2014-10-22 |
Family
ID=48204098
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201310035759.9A Expired - Fee Related CN103091259B (zh) | 2013-01-30 | 2013-01-30 | 在线检测托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的太赫兹方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN103091259B (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018105332A1 (ja) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | パイオニア株式会社 | 検査装置、検査方法、コンピュータプログラム及び記録媒体 |
CN108519059A (zh) * | 2018-04-20 | 2018-09-11 | 中国矿业大学 | 基于反射型太赫兹时域光谱技术的热障涂层多层厚度检测方法 |
CN111929127A (zh) * | 2020-07-23 | 2020-11-13 | 核工业西南物理研究院 | 一种原位实时定量诊断聚变装置面壁部件腐蚀沉积的方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101178355A (zh) * | 2007-11-01 | 2008-05-14 | 浙江大学 | 基于太赫兹时域光谱技术的纸页定量检测装置及方法 |
KR100875873B1 (ko) * | 2000-06-20 | 2008-12-24 | 가부시키가이샤 니콘 | 반도체의 불순물농도 검사장치 및 검사방법 |
JP2009250062A (ja) * | 2008-04-02 | 2009-10-29 | Toyota Motor Corp | 粒子状物質の捕集量検出方法及び捕集量検出装置と排ガス浄化装置 |
JP2010223169A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質の堆積量検出装置 |
JP2011137445A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-07-14 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質の堆積量検出方法および装置 |
WO2012050612A1 (en) * | 2010-10-12 | 2012-04-19 | Enertechnix, Inc. | Terahertz/mm-wave imaging in boilers |
CN102621083A (zh) * | 2012-03-08 | 2012-08-01 | 中国石油大学(北京) | 一种基于太赫兹时域光谱测定岩石光学参数的方法及系统 |
JP2012225718A (ja) * | 2011-04-19 | 2012-11-15 | Aisin Seiki Co Ltd | 膜厚の検査装置および検査方法 |
-
2013
- 2013-01-30 CN CN201310035759.9A patent/CN103091259B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100875873B1 (ko) * | 2000-06-20 | 2008-12-24 | 가부시키가이샤 니콘 | 반도체의 불순물농도 검사장치 및 검사방법 |
CN101178355A (zh) * | 2007-11-01 | 2008-05-14 | 浙江大学 | 基于太赫兹时域光谱技术的纸页定量检测装置及方法 |
JP2009250062A (ja) * | 2008-04-02 | 2009-10-29 | Toyota Motor Corp | 粒子状物質の捕集量検出方法及び捕集量検出装置と排ガス浄化装置 |
JP2010223169A (ja) * | 2009-03-25 | 2010-10-07 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質の堆積量検出装置 |
JP2011137445A (ja) * | 2009-12-01 | 2011-07-14 | Ngk Insulators Ltd | 粒子状物質の堆積量検出方法および装置 |
WO2012050612A1 (en) * | 2010-10-12 | 2012-04-19 | Enertechnix, Inc. | Terahertz/mm-wave imaging in boilers |
JP2012225718A (ja) * | 2011-04-19 | 2012-11-15 | Aisin Seiki Co Ltd | 膜厚の検査装置および検査方法 |
CN102621083A (zh) * | 2012-03-08 | 2012-08-01 | 中国石油大学(北京) | 一种基于太赫兹时域光谱测定岩石光学参数的方法及系统 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
温海燕: "连续小波变换在太赫兹时域光谱技术中的应用", 《中国优秀硕士学位论文全文数据库 信息科技辑》 * |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018105332A1 (ja) * | 2016-12-06 | 2018-06-14 | パイオニア株式会社 | 検査装置、検査方法、コンピュータプログラム及び記録媒体 |
US11099001B2 (en) | 2016-12-06 | 2021-08-24 | Pioneer Corporation | Inspection apparatus, inspection method, computer program and recording medium |
CN108519059A (zh) * | 2018-04-20 | 2018-09-11 | 中国矿业大学 | 基于反射型太赫兹时域光谱技术的热障涂层多层厚度检测方法 |
CN111929127A (zh) * | 2020-07-23 | 2020-11-13 | 核工业西南物理研究院 | 一种原位实时定量诊断聚变装置面壁部件腐蚀沉积的方法 |
CN111929127B (zh) * | 2020-07-23 | 2023-06-13 | 核工业西南物理研究院 | 一种原位实时定量诊断聚变装置面壁部件腐蚀沉积的方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103091259B (zh) | 2014-10-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103115893A (zh) | 一种检测托卡马克钨第一壁灰尘沉积层成分及厚度的装置 | |
Sun | Analysis of pulsed thermography methods for defect depth prediction | |
Mulaveesala et al. | Pulse compression approach to infrared nondestructive characterization | |
Feser et al. | Pump-probe measurements of the thermal conductivity tensor for materials lacking in-plane symmetry | |
Balageas et al. | Common tools for quantitative time-resolved pulse and step-heating thermography–part I: theoretical basis | |
Delanthabettu et al. | Defect depth quantification using lock-in thermography | |
CN110081826B (zh) | 基于太赫兹技术的热障涂层陶瓷层厚度测量方法 | |
CN104864817B (zh) | 基于太赫兹时域光谱技术的塑料薄膜厚度检测装置及方法 | |
CN103743349B (zh) | 一种纳米薄膜的测量方法及装置 | |
Sfarra et al. | Ceramics and defects: Infrared thermography and numerical simulations—a wide-ranging view for quantitative analysis | |
CN105319174B (zh) | 同时获取半透明材料温变导热系数及吸收系数的测量方法 | |
CN104007115A (zh) | 一种利用太赫兹时域光谱技术检测珠宝结构的方法及系统 | |
CN102590724A (zh) | 一种用于精确测量半导体薄膜界面热阻的方法 | |
CN103091259B (zh) | 在线检测托卡马克钨第一壁灰尘成分及厚度的太赫兹方法 | |
CN104007075B (zh) | 利用太赫兹时域光谱技术检测晶体生长环境的方法及系统 | |
CN103472036B (zh) | 基于脉冲激光辐照的半透明介质辐射特性测量方法 | |
Luo et al. | Nondestructive detection of CFRP subsurface defects using transient lock-in thermography | |
CN103048061B (zh) | 反射太赫兹谱技术检测偏滤器石墨瓦瞬态温度的装置 | |
CN207798707U (zh) | 一种基于矩阵分解的微波热成像无损检测系统 | |
Tu et al. | Rapid diagnosis of corrosion beneath epoxy protective coating using non-contact THz-TDS technique | |
CN106525764A (zh) | 基于太赫兹时域光谱的材料表面光洁度检测方法 | |
CN103033282A (zh) | 一种检测磁约束聚变装置偏滤器石墨瓦瞬态温度的方法 | |
CN103389272A (zh) | 基于脉冲激光的半透明介质衰减系数和散射反照率的快速测量方法 | |
Battaglia et al. | Photothermal radiometric characterization of a thin deposit using a linear swept-frequency heat flux waveform | |
CN103105368A (zh) | 一种分析聚变装置第一镜杂质沉积层厚度及其结构的方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20141022 Termination date: 20180130 |