CN103090995A - 真空环境下温度比对试验系统 - Google Patents

真空环境下温度比对试验系统 Download PDF

Info

Publication number
CN103090995A
CN103090995A CN2013100475010A CN201310047501A CN103090995A CN 103090995 A CN103090995 A CN 103090995A CN 2013100475010 A CN2013100475010 A CN 2013100475010A CN 201310047501 A CN201310047501 A CN 201310047501A CN 103090995 A CN103090995 A CN 103090995A
Authority
CN
China
Prior art keywords
vacuum chamber
chamber
vacuum
under vacuum
pilot system
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2013100475010A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103090995B (zh
Inventor
张书锋
贾军伟
栗继军
张明志
杨力
刘展
李绍飞
宋瑞海
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
514 Institute of China Academy of Space Technology of CASC
Beijing Dongfang Measurement and Test Institute
Original Assignee
514 Institute of China Academy of Space Technology of CASC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 514 Institute of China Academy of Space Technology of CASC filed Critical 514 Institute of China Academy of Space Technology of CASC
Priority to CN201310047501.0A priority Critical patent/CN103090995B/zh
Publication of CN103090995A publication Critical patent/CN103090995A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103090995B publication Critical patent/CN103090995B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Measuring Fluid Pressure (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

真空环境下温度比对试验系统，所述计量系统有利于通过真空环境下的标准温度传感器对被检的真空环境下温度传感器进行计量，其特征在于，包括均温真空室，所述均温真空室分别连接缓冲真空室和稳压配气室，所述缓冲真空室通过过渡真空室连接分子泵，所述缓冲真空室、所述稳压配气室和所述分子泵各自通过预抽管路连接机械泵。

Description

真空环境下温度比对试验系统
技术领域
本发明涉及温度传感器计量技术，特别是一种真空环境下温度比对试验系统。
背景技术
由于采用常压下计量的温度传感器测量真空环境下气体温度存在诸多不确定性因素，所以本发明人认为，很有必要建立真空环境下温度比对试验系统。
发明内容
本发明针对目前真空环境下温度传感器温度测量的溯源性问题，提供一种真空环境下温度比对试验系统，有效的解决了真空环境下温度传感器的溯源问题。所述计量系统有利于通过真空环境下的标准温度传感器对被检的真空环境下温度传感器进行计量。
本发明的技术方案如下：
真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，包括均温真空室，所述均温真空室分别连接缓冲真空室和稳压配气室，所述缓冲真空室通过过渡真空室连接分子泵，所述缓冲真空室、所述稳压配气室和所述分子泵各自通过预抽管路连接机械泵。
所述稳压配气室分别连接三个气体罐，所述稳压配气室上设置有电容薄膜真空计。
所述缓冲真空室设置有电容薄膜真空计以及温度传感器真空转换头。
所述均温真空室通过面密封阀连接所述稳压配气室。
所述缓冲真空室通过隔断阀连接所述过渡真空室，所述隔断阀与所述缓冲真空室的中间管路上设置有放气阀，所述过渡真空室与所述分子泵之间设置有插板阀。
所述预抽管路上设置有电磁隔断阀。
所述过渡真空室上设置有电离规和电阻规。
所述稳压配气室通过三个隔断充气阀对应连接所述三个气体罐。
所述均温真空室浸泡在恒温槽中，所述均温真空室的外壁设置有容纳标准测温探头的铜管，所述铜管底端被封堵。
所述分子泵、机械泵、过渡真空室和稳压配气室都安装在机架上，所述机架的底部设置有带自锁功能的万向轮。
本发明技术效果如下：1.通过稳压配气室实现气体种类的控制，通过高精度电容薄膜规实现气体浓度的精确配比，通过该稳压配气室实现样气的均匀混合从而为均温真空室提供标准样气。2.通过机械泵和电磁隔断阀的切换实现分子泵的前级预抽，稳压配气室的预抽及均温真空室的预抽。3.整套系统的便携性：系统集成可通过带自锁功能的万向轮实现移动，通过安装系统固定高纯气瓶，从而保证整套系统的便携性和移动性。进而能够同各温度段的不同标准温度槽配合使用。4.均温真空室提供所需要的均温环境和真空环境。
附图说明
图1是实施本发明的真空环境下温度比对试验系统结构示意图。
图2是实施本发明的真空环境下温度比对试验系统总体结构简图。
附图标记列示如下：1-均温真空室；2-温度标准安装口；3-过渡波纹管；4-恒温槽；5,6,19,20-电容薄膜真空计；7-温度传感器真空转换头；8-缓冲真空室；9-放气阀；10-隔断阀；11-电离规；12-电阻规；13-面密封阀；14-过渡真空室；15-分子泵；16,17,18-电磁隔断阀；21-配气稳压室；22，23，24-隔断充气阀；25，26，27-（高纯）气体罐；28-插板阀；29-机械泵；30-可移动控制系统；31-安装系统。
具体实施方式
下面结合附图（图1-图2）对本发明进行说明。
图1是实施本发明的真空环境下温度比对试验系统结构示意图。图2是实施本发明的真空环境下温度比对试验系统总体结构简图。如图1和图2所示，真空环境下温度比对试验系统，包括均温真空室1，所述均温真空室1分别连接缓冲真空室8和稳压配气室21，所述缓冲真空室8通过过渡真空室14连接分子泵15，所述缓冲真空室8、所述稳压配气室21和所述分子泵15各自通过预抽管路连接机械泵29。所述稳压配气室21分别连接三个气体罐25、26、27，所述稳压配气室21上设置有电容薄膜真空计19、20。所述缓冲真空室8设置有电容薄膜真空计5、6以及温度传感器真空转换头7。所述均温真空室1通过面密封阀13连接所述稳压配气室21。所述缓冲真空室8通过隔断阀10连接所述过渡真空室14，所述隔断阀10与所述缓冲真空室8的中间管路上设置有放气阀9，所述过渡真空室14与所述分子泵15之间设置有插板阀28。所述预抽管路上设置有电磁隔断阀16、17、18。所述过渡真空室14上设置有电离规11和电阻规12。所述稳压配气室21通过三个隔断充气阀22、23、24对应连接所述三个气体罐25、26、27。所述均温真空室1浸泡在恒温槽4中，所述均温真空室1的外壁设置有容纳标准测温探头的铜管，所述铜管底端被封堵。所述铜管的上端连接温度标准安装口2。所述分子泵15、机械泵29、过渡真空室14和稳压配气室21都安装在机架上，所述机架的底部设置有带自锁功能的万向轮。所述机架上设置有可移动控制系统30和安装系统31。
真空环境下温度比对试验系统装置分四个部分，真空机组、配气稳压室、均温真空室、缓冲真空室。真空机组为稳压室或真空室提供真空，真空机组由分子泵和机械泵组成，配气稳压室是一个混气室，可以把三路气体进行混合，三个高纯气体罐提供三种气源，气体用微调阀送入试验真空腔，获得设定的真空度。均温真空室（也称试验真空腔）可以放置标准温度传感器和被检温度传感器。在适当的位置有真空测量规管。均温真空室1与其他部分的连接采用波纹管3以保证系统同不同高度和尺寸的标准温度槽的匹配性。
真空环境下温度比对试验系统装置涉及温度传感器在真空状态下的校准工作。试验真空腔（室）浸泡在恒温槽中，恒温槽提供所需的温度条件。被检验件放置到真空腔的内部，标准测温探头放在真空室的外壁的铜管中。真空腔内的真空度可以在一定范围内变化，真空的变化主要靠真空抽气装置和充气装置配合实现，实现方式为手动阀门控制。
在机械泵的进气口有一个四通，将抽气分成三路，分别用三个电磁阀隔断，其中一路和混气室连接，一路和分子泵出气口连接，一路和预抽管路连接。在抽气过程中，只允许一路抽气，其他两路隔断阀保持关闭。
在此指明，以上叙述有助于本领域技术人员理解本发明创造，但并非限制本发明创造的保护范围。任何没有脱离本发明创造实质内容的对以上叙述的等同替换、修饰改进和/或删繁从简而进行的实施，均落入本发明创造的保护范围。

Claims (10)

1.真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，包括均温真空室，所述均温真空室分别连接缓冲真空室和稳压配气室，所述缓冲真空室通过过渡真空室连接分子泵，所述缓冲真空室、所述稳压配气室和所述分子泵各自通过预抽管路连接机械泵。
2.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述稳压配气室分别连接三个气体罐，所述稳压配气室上设置有电容薄膜真空计。
3.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述缓冲真空室设置有电容薄膜真空计以及温度传感器真空转换头。
4.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述均温真空室通过面密封阀连接所述稳压配气室。
5.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述缓冲真空室通过隔断阀连接所述过渡真空室，所述隔断阀与所述缓冲真空室的中间管路上设置有放气阀，所述过渡真空室与所述分子泵之间设置有插板阀。
6.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述预抽管路上设置有电磁隔断阀。
7.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述过渡真空室上设置有电离规和电阻规。
8.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述稳压配气室通过三个隔断充气阀对应连接所述三个气体罐。
9.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述均温真空室浸泡在恒温槽中，所述均温真空室的外壁设置有容纳标准测温探头的铜管，所述铜管底端被封堵。
10.根据权利要求1所述的真空环境下温度比对试验系统，其特征在于，所述分子泵、机械泵、过渡真空室和稳压配气室都安装在机架上，所述机架的底部设置有带自锁功能的万向轮。
CN201310047501.0A 2013-02-06 2013-02-06 真空环境下温度比对试验系统 Active CN103090995B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310047501.0A CN103090995B (zh) 2013-02-06 2013-02-06 真空环境下温度比对试验系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310047501.0A CN103090995B (zh) 2013-02-06 2013-02-06 真空环境下温度比对试验系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103090995A true CN103090995A (zh) 2013-05-08
CN103090995B CN103090995B (zh) 2015-08-05

Family

ID=48203846

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310047501.0A Active CN103090995B (zh) 2013-02-06 2013-02-06 真空环境下温度比对试验系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103090995B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104316221A (zh) * 2014-11-14 2015-01-28 陕西电器研究所 接触式高温温度传感器校准装置
CN106017742A (zh) * 2016-08-16 2016-10-12 江苏东方航天校准检测有限公司 一种真空环境下温度传感器校准方法
CN111365220A (zh) * 2018-12-26 2020-07-03 东北大学 一种真空干泵内部流场参数测试系统

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5537857A (en) * 1991-12-07 1996-07-23 Leybold Ag Leak indicator for vacuum systems and a method of searching for leaks in vacuum systems
CN102539019A (zh) * 2012-01-05 2012-07-04 北京东方计量测试研究所 空间真空环境下的温度测量与校准平台

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5537857A (en) * 1991-12-07 1996-07-23 Leybold Ag Leak indicator for vacuum systems and a method of searching for leaks in vacuum systems
CN102539019A (zh) * 2012-01-05 2012-07-04 北京东方计量测试研究所 空间真空环境下的温度测量与校准平台

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
李得天等: "《超高/极高真空校准装置的研制》", 《真空科学与技术学报》 *

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104316221A (zh) * 2014-11-14 2015-01-28 陕西电器研究所 接触式高温温度传感器校准装置
CN106017742A (zh) * 2016-08-16 2016-10-12 江苏东方航天校准检测有限公司 一种真空环境下温度传感器校准方法
CN111365220A (zh) * 2018-12-26 2020-07-03 东北大学 一种真空干泵内部流场参数测试系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN103090995B (zh) 2015-08-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2014123943A3 (en) Apparatus and methodology for measuring properties of microporous material at multiple scales
CN107300522B (zh) 多联柔性壁渗透仪
CN103090995B (zh) 真空环境下温度比对试验系统
CN104343510A (zh) 汽油车燃油蒸发污染物控制系统测试装置
CN104359636A (zh) 一种水箱气密性检测系统
CN204479250U (zh) 一种燃气表输气状态下密封性检测装置
CN201945448U (zh) 一种直动式电磁阀的真空环境试验系统
CN106556430A (zh) 一种具有自校准功能的气体实流测试系统及方法
RU2504747C1 (ru) Устройство для тарировки измерительных приборов дифференциального давления
CN103148978A (zh) 用于管道断面静压测量的匀压套
KR20080021421A (ko) 정-부압 일체형 기밀 시험 장치
CN206208462U (zh) 防水轴承检验装置
CN105277322A (zh) 一种人防门气密性检测装置
CN205300854U (zh) 乳胶制品漏水检查装置
CN104280195A (zh) 尿素计量泵的泵体气密性检测装置
CN104502039A (zh) 一种燃气表的气密性检测方法
CN203443752U (zh) 一种动态检测燃气表阀门密封性装置
CN207675395U (zh) 插入式引流管气密性检验装置
CN209910908U (zh) 一种阀门试验装置
CN207705349U (zh) 一种用于检测石墨双极板气密性的装置
CN207894565U (zh) 灯具检测装置
CN105444968A (zh) 一种气密保压测试设备
CN205679444U (zh) 仪用压缩空气质量检测便携式取样装置
CN104678767B (zh) 任意调节二氧化碳通量和泄漏及反扩散系数的方法及标准装置
CN209446237U (zh) 洗碗机的水板气密性测试系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant