CN103088308A - 温度监控装置 - Google Patents

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Abstract

一种温度监控装置，包括腔体、圆片支撑装置，所述圆片支撑装置置于所述腔体内，所述圆片支撑装置包括圆片支撑环，此外，还包括温度监控器，所述温度监控器设置于所述圆片支撑环内侧，用于监控放置于所述圆片支撑环上的圆片的温度。通过在除气腔圆片支撑环内侧加装温度监控器，温度监控器再外接温度显示装置和温度调节装置，可以准确地监测圆片在除气过程中温度的变化，并根据温度数值调整加热电源的输出功率和时间，以获得最优化的工艺温度。

Description

温度监控装置
【技术领域】
本发明涉及半导体圆片制造设备，尤其涉及一种除气腔内的温度监控装置。
【背景技术】
在半导体制造工艺中，经常通过加热以激活和除去残留在圆片表面的气体或液体物质，如氧气和水汽。否则，这些物质将会阻止物理气相沉积或化学气相沉积等工艺进程在圆片表面形成薄膜，此外，这些物质还会改变薄膜的性质，从而影响圆片的质量。
通常地，监控除气进程温度的方法是通过在圆片的背面贴上温度试纸的方式来实现。将贴有温度试纸的圆片送入除气腔，调整加热电源的输出功率和时间以进行圆片表面的除气操作，最后将圆片取出并观察温度试纸的变色状况，以估计大概的温度。但用此方法监控温度，一方面准确度不高，只能根据温度试纸的变色程度大概估计圆片的温度，另一方面不能实时监控进程中的温度变化，从而难以根据温度状况准确的调整加热电源的输出功率和输出时间以获得最优化的工艺温度。
【发明内容】
基于此，有必要提供一种能实时准确的监测除气腔除气进程温度的温度监控装置。
一种温度监控装置，包括腔体、圆片支撑装置，所述圆片支撑装置置于所述腔体内，所述圆片支撑装置包括圆片支撑环，此外，还包括温度监控器，所述温度监控器设置于所述圆片支撑环内侧，用于监控放置于所述圆片支撑环上的圆片的温度。
优选的，该温度监控装置还包括温度显示装置，所述温度显示装置与温度监控器相连，用于显示温度监控器测量的温度数值。
优选的，该温度监控装置还包括温度调节装置，所述温度调节装置与温度监控器相连，根据温度监控器测量的温度数值调节加热电源输出功率和时间。
优选的，所述温度监控器围绕圆片支撑环内侧连续设置。
优选的，所述温度监控器包括至少一个子温度监控器，所述子温度监控器围绕圆片支撑环内侧均匀分布。
通过在除气腔圆片支撑环内侧加装温度监控器，可以准确的监测圆片在除气过程中温度的变化，并根据温度数值调整加热电源的输出功率和时间，以获得最优化的工艺温度。
【附图说明】
图1为利用了本发明温度监控装置的一实施例的除气腔结构示意图；
图2为除气腔温度监控装置局部放大图。
【具体实施方式】
下面主要结合具体实施例及附图对温度监控装置作进一步详细的说明。
通过在除气腔的适当位置添加温度监控器，并使温度监控器与圆片背面接触，就可以实时精确的监测除气进程中圆片的温度，从而可以准确的调整加热电源的输出功率和输出时间，以获得最优化的工艺温度。
图1和图2所示为应用了温度监控装置的一实施例的除气腔结构及圆片支撑装置示意图。该除气腔包括腔体110、圆片支撑装置120、温度监控器130、温度显示装置和温度调节装置(图中未显示)。
腔体110用来放置圆片支撑装置120及其他附属装置，圆片支撑装置120包括圆片300支撑环210。圆片300在进行除气步骤时，被放置在圆片300支撑环210上。温度监控器130围绕圆片300支撑环210内侧连续设置，如图2所示，并且与圆片300(图未示)背面接触。温度监控器130连接温度显示装置和温度调节装置。温度监控器130实时准确地监测圆片300在除气进程中的温度变化，并在温度显示装置上显示出所述圆片300温度的变化。从而，用户或者设备可以根据温度变化实时调整加热电源的输出功率和输出时间，以获得最优化的工艺温度。
在可选的实施方式中，温度监控器130可以包括多块的子温度监控器，各子温度监控器均匀分布在圆片300支撑环210内侧。从而可以节省材料并结合多点温度监控装置实现对圆片300表面温度更为精确的监测。在另外的可选实施方式中，若在除气过程中圆片300表面温度的统一性较好，只需要测量圆片300表面某一位置的温度就可以反应整块圆片300的温度。这种情况下，温度监控器130只需要在圆片300支撑环内侧某一点位置设置即可。
通过在除气腔圆片300支撑环210内侧加装温度监控器130，温度监控器130再外接温度显示装置和温度调节装置，可以准确地监测圆片300在除气过程中温度的变化，并根据温度数值调整加热电源的输出功率和时间，以获得最优化的工艺温度。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (5)

1.一种温度监控装置，包括腔体、圆片支撑装置，所述圆片支撑装置置于所述腔体内，所述圆片支撑装置包括圆片支撑环，其特征在于：还包括温度监控器，所述温度监控器设置于所述圆片支撑环内侧，用于监控放置于所述圆片支撑环上的圆片的温度。
2.如权利要求1所述的温度监控装置，其特征在于：还包括温度显示装置，所述温度显示装置与温度监控器相连，用于显示温度监控器测量的温度数值。
3.如权利要求1或2所述的温度监控装置，其特征在于：还包括温度调节装置，所述温度调节装置与温度监控器相连，所述温度调节装置根据温度监控器测量的温度数值调节加热电源输出功率和时间。
4.如权利要求1所述的温度监控装置，其特征在于：所述温度监控器围绕圆片支撑环内侧连续设置。
5.如权利要求1所述的温度监控装置，其特征在于：所述温度监控器包括至少一个子温度监控器，所述子温度监控器围绕圆片支撑环内侧均匀分布。
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