CN103072944A - 一种夹持机构 - Google Patents

Abstract

一种夹持机构，主要包括：一S形的簧片，簧片的底端为平面，簧片的中部连续形变形成第一弯曲部和第二弯曲部；该平面粘贴在直角棱镜的参考面上，利用该第一弯曲部形变产生的弹力，并通过第二弯曲部将基片压紧在参考面的表面。本发明提供的夹持机构，其结构简单，方便完成对基片的固定，而且便于基片的装卸。

Description

一种夹持机构

技术领域

本发明涉及一种夹持机构，更具体地涉及一种激光汇聚原子沉积时固定基片的夹持机构。

背景技术：

激光汇聚原子沉积技术是一种纳米制造技术，用于制造间距为λ/n的纳米结构阵列。其中λ是原子跃迁频率v对应的波长(λ＝c/v，c为光速)。激光汇聚原子沉积技术所能制造的最简单的纳米结构为间距为λ/2的纳米条纹阵列。就是令一束准直过的原子束垂直穿过一个激光驻波场。当激光频率大于原子跃迁频率时，原子向驻波场的波节处汇聚。相反，当激光频率小于原子跃迁频率时，原子向驻波场的波峰处汇聚。汇聚后的原子堆积在基片上，形成纳米条纹阵列。

进行激光汇聚原子沉积时，基片表面必须与驻波场平行。为此，目前公知的结构是如图1所示；用一束基膜激光射向一平面反射镜A，当入射光与反射光重合时，即形成激光驻波场B。该驻波场B与平面反射镜A的表面垂直。

基片C的表面与驻波场B的平行关系通过一个直角棱镜D来实现。直角棱镜D的一个直角面与平面反射镜A粘合。则直角棱镜D的另一个直角面与平面反射镜A的表面垂直，同时与驻波场B平行。该直角棱镜D的直角面作为安装基片C的参考面，基片C贴合在直角棱镜D的参考面上(如图1所示)。准之后的原子束E与驻波场B垂直。

基片C的材料一般为硅、钛蓝宝石、砷化镓、磷化铟等。基片尺寸一般长为10mm、宽为3mm、厚为0.5mm，基片与直角棱镜的贴合大都采用螺钉拧紧压片或粘结剂粘合的方法相固定。

如果采用螺钉拧紧压片，则夹持结构相对复杂，装配也不方便。此外，原子汇聚沉积实验要在超高真空环境中进行，真空度需达到10^-5Pa。夹持结构复杂、使用螺钉都将增加抽真空的难度。

如果使用粘结剂粘合基片和直角棱镜，则粘结剂的强度不能太强，否则基片将难以被取下。而且每次安装基片前都需要清洁参考面表面，装配过程也不方便。相反，如果粘结剂强度不够，又会导致实验过程中基片松动，位置发生变化。另外，使用粘结剂粘贴基片无法保证基片表面与参考面重合的重复性。这对纳米制造来说是很大的不确定性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种夹持机构，以方便完成基片的装卸和固定。

为实现上述目的，本发明提供的夹持机构，为一呈S形的簧片，簧片的底端为平面，用于将簧片粘贴在直角棱镜的参考面上。

所述的夹持机构，其中，簧片的顶端设有一孔，在装卸基片时，可勾住此孔将簧片拉开。

所述的夹持机构，其中，簧片由片状的弹性材料制成。

本发明提供的夹持机构，其结构简单，方便完成对基片的装卸。

附图说明

图1是公知技术的示意图。

图2是本发明的夹持机构的组装示意图。

图3A和图3B显示了本发明的两种呈S形的片状簧片的形状示意图。

具体实施方式

请参阅图2和图3A、B所示，本发明的簧片10呈一S形，采用弹性材料制成，簧片10的底端为平面11，用于将簧片10粘贴在直角棱镜D的参考面上，粘贴时可使用502胶或其它具有较高强度的粘结剂进行粘合。簧片10上的中部连续形变形成第一弯曲部12和第二弯曲部13，利用该第一弯曲部12形变产生的弹力，并通过第二弯曲部13将基片D压紧在直角棱镜B构成的参考面上，完成对基片C的固定。

第一弯曲部12和第二弯曲部13可以是大弧度的弯曲面(如图3A所示)，也可以是小弧度的弯曲面(如图3B所示)。在簧片D的顶端设有一个孔14，在装卸基片C时，可勾住此孔14将簧片10拉开。

本发明的簧片10较佳的是使用具有弹性的片状材料制成，所用的弹性材料既可以是金属，也可以是非金属。在激光汇聚原子沉积技术中，为了能够稳定地夹持基片，簧片的宽度一般不小于基片的宽度。

本发明采用最简单的结构，可以很方便地完成对基片的固定和装卸。

Claims (3)

1.一种夹持机构，主要包括：

一S形的簧片，簧片的底端为平面，簧片的中部连续形变形成第一弯曲部和第二弯曲部；

该平面粘贴在直角棱镜的参考面上，利用该第一弯曲部形变产生的弹力，并通过第二弯曲部将基片压紧在参考面的表面。

2.根据权利要求1所述的夹持机构，其中，簧片的顶端设有一孔，在装卸基片时，可勾住此孔将簧片拉开。

3.根据权利要求1或2所述的夹持机构，其中，簧片由片状的弹性材料制成。

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