CN103033645A - 全密封表头及石英挠性加速度计 - Google Patents

全密封表头及石英挠性加速度计 Download PDF

Info

Publication number
CN103033645A
CN103033645A CN2012105440009A CN201210544000A CN103033645A CN 103033645 A CN103033645 A CN 103033645A CN 2012105440009 A CN2012105440009 A CN 2012105440009A CN 201210544000 A CN201210544000 A CN 201210544000A CN 103033645 A CN103033645 A CN 103033645A
Authority
CN
China
Prior art keywords
gauge outfit
outer casing
hermetically sealed
upper cover
watch core
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN2012105440009A
Other languages
English (en)
Inventor
刘建勇
赵群
杨晓荣
徐可
赵磊
王天红
计峰
闫万生
古卫宏
韩锋
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
BEIJING XINGHUA MACHINERY FACTORY
Original Assignee
BEIJING XINGHUA MACHINERY FACTORY
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by BEIJING XINGHUA MACHINERY FACTORY filed Critical BEIJING XINGHUA MACHINERY FACTORY
Priority to CN2012105440009A priority Critical patent/CN103033645A/zh
Publication of CN103033645A publication Critical patent/CN103033645A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

本发明公开了一种全密封表头，包括表芯组件(1)、外壳底座(3)、外壳上盖(4)、信号接线端子(6)，所述外壳底座(3)与所述外壳上盖(4)全密封连接，构成外壳结构；所述表芯组件(1)安装于所述外壳底座(3)内部；所述外壳上盖(4)上设计有信号接线端子(6)；所述信号接线端子(6)与所述表芯组件(1)通过电气连接；所述外壳上盖(4)设计有外接伺服电路安装台(5)。同时，本发明还公开了一种采用该密封表头的石英挠性加速度计。本发明可靠性、精度高，且适用于各种环境压强工况。

Description

全密封表头及石英挠性加速度计
技术领域
本发明涉及一种全密封表头，尤其是一种焊接密封结构形式的石英挠性加速度计表头。同时还涉及一种石英挠性加速度计。
背景技术
石英挠性加速度计是一种单轴摆式、力矩再平衡式加速度计，主要用于惯性测量系统中。石英挠性加速度计主要由伺服电路、表头组成。
表头是石英挠性加速度计的主要工作部件，其工作原理是利用力反馈原理获得一个与输入加速度成比例的电流，通过对电流采样的解析获得输入加速度信息。为了满足上述过程，表头内部封装有一定压力的气体用以形成空气阻尼，从而保证控制系统的稳定性。
目前表头的应用领域愈来愈广，使用环境压强不断变化，由于表头之前应用一直处于常压环境，现有技术中没有专门的密封结构，这就要求表头的密封性能要提高。此外在空间领域和深海领域等条件恶劣的使用环境下，在表头长期使用环境下，要求表头具有较好的环境适应性。随着表头应用领域的不断拓展，现有结构形式的表头由于缺少密封结构将无法满足用户日益增长的使用要求。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于：克服上述现有技术的不足，提供一种适应各种环境压强条件下工作的、可靠性高、密封性好的石英挠性加速度计全密封表头。
本发明进一步解决的技术问题是：提供一种高可靠性、高精度、适用于各种环境压强工况的石英挠性加速度计。
本发明的技术解决方案是：所述石英挠性加速度计全密封表头，包括表芯组件、外壳底座、外壳上盖、信号接线端子。外壳底座与表芯组件粘接连接，外壳上盖与信号接线端子玻璃封装连接，信号接线端子与表芯组件锡焊AF导线实现电气连接，外壳上盖与外壳底座激光焊封连接，外壳上盖设计有外接伺服电路安装台。
本发明提供的石英挠性加速度计全密封表头，与现有技术相比具有如下优点：
首先，由于石英挠性加速度计全密封表头设计有专门的全密封外壳结构，因此保证了表头在不同环境压强下的密封性能，进而提高了表头在不同工况下的环境适应性。
其次，此石英挠性加速度计全密封表头设计简单，工艺实施方便，密封性能稳定、可靠，适用于批量生产。
第三，此石英挠性加速度计全密封表头，扩展了表头的应用范围，在空间领域和深海领域有着现有技术无法比拟的优势。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明外壳上盖结构示意图。
具体实施方式
如图1、2所示，所述全密封表头，包括表芯组件1、外壳底座3、外壳上盖4、信号接线端子6。外壳底座3与表芯组件1粘接连接，外壳上盖4与信号接线端子6玻璃封装连接，信号接线端子6与表芯组件1锡焊AF导线7实现电气连接，外壳上盖4与外壳底座3焊接连接，外壳上盖4设计有外接伺服电路安装台5。
具体实施中，所述外壳底座3与所述表芯组件1采用厚度为0.02～0.4mm的结构胶2粘接。
具体实施中，所述外壳上盖4与所述信号接线端子6采用厚度为0.5～1.0mm玻璃绝缘子8封装连接。更进一步地，厚度为0.8mm的玻璃绝缘子8封装结构效果更佳。
具体实施中，所述信号接线端子6与所述表芯组件1采用截面积为0.013mm2的AF导线7锡焊连接。
具体实施中，所述外壳上盖4与所述外壳底座3采用深度为0.2～0.7mm焊缝密封连接。更进一步地，深度为0.4mm的焊缝效果更佳。
具体实施中，所述的石英挠性加速度计全密封表头，外壳底座3与表芯组件1采用厚度为0.02～0.4mm的结构胶2粘接，外壳上盖4与信号接线端子6采用厚度为0.8mm玻璃绝缘子8封装连接，信号接线端子6与表芯组件1采用截面积为0.013mm2的AF导线7锡焊连接，外壳上盖4与外壳底座3采用深度为0.4mm的焊缝连接。检查其实施后的漏率情况，与普通表头进行对比。其数据见表1。
表1 漏率检查情况对比表
Figure BSA00000823887300041
本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。倘若这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
本发明未详细说明的部分属本领域技术人员公知常识。

Claims (10)

1.一种全密封表头，其特征在于：包括表芯组件(1)、外壳底座(3)、外壳上盖(4)、信号接线端子(6)，所述外壳底座(3)与所述外壳上盖(4)全密封连接，构成外壳结构；所述表芯组件(1)安装于所述外壳底座(3)内部；所述外壳上盖(4)上设计有信号接线端子(6)；所述信号接线端子(6)与所述表芯组件(1)通过电气连接；所述外壳上盖(4)设计有外接伺服电路安装台(5)。
2.根据权利要求1所述的全密封表头，其特征在于，所述外壳上盖(4)与所述外壳底座(3)采用激光焊封连接。
3.根据权利要求2所述全密封表头，其特征在于，所述激光焊封采用深度为0.2～0.7mm焊缝。
4.根据权利要求1所述全密封表头，其特征在于，所述外壳上盖(4)与所述信号接线端子(6)采用玻璃绝缘子(8)封装连接。
5.根据权利要求4所述全密封表头，其特征在于，所述玻璃绝缘子(8)的厚度为0.5～1mm。
6.根据权利要求5所述全密封表头，其特征在于，所述玻璃绝缘子(8)的厚度为0.8mm。
7.根据权利要求1所述全密封表头，其特征在于，所述外壳底座(3)与所述表芯组件(1)采用厚度为0.02～0.4mm的结构胶(2)粘接。
8.根据权利要求1所述全密封表头，其特征在于，所述信号接线端子(6)与所述表芯组件(1)采用AF导线(7)锡焊实现电气连接。
9.根据权利要求8所述全密封表头，其特征在于，所述AF导线(7)的截面积为0.013mm2。
10.一种石英挠性加速度计，其特征在于，包括如权利要求1～9中任一所述的表头。
CN2012105440009A 2012-12-11 2012-12-11 全密封表头及石英挠性加速度计 Pending CN103033645A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012105440009A CN103033645A (zh) 2012-12-11 2012-12-11 全密封表头及石英挠性加速度计

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2012105440009A CN103033645A (zh) 2012-12-11 2012-12-11 全密封表头及石英挠性加速度计

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN103033645A true CN103033645A (zh) 2013-04-10

Family

ID=48020750

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2012105440009A Pending CN103033645A (zh) 2012-12-11 2012-12-11 全密封表头及石英挠性加速度计

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103033645A (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103706908A (zh) * 2013-12-10 2014-04-09 中国航天科工集团第二研究院七〇六所 一种石英加速度计接线柱与连接线的低温焊接工艺方法
CN105277185A (zh) * 2015-11-26 2016-01-27 上海新跃仪表厂 金属振动陀螺惯性敏感器及金属振动陀螺仪
CN106066405A (zh) * 2016-06-29 2016-11-02 中国电子科技集团公司第二十六研究所 石英挠性加速度计气密性封装结构
CN106881537A (zh) * 2015-12-15 2017-06-23 航天科工惯性技术有限公司 一种加速度计接线柱与力矩器的装配方法
CN109490577A (zh) * 2018-12-21 2019-03-19 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 一种挠性静电支撑加速度计
CN112379125A (zh) * 2020-10-31 2021-02-19 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） 一种分体式差分石英振梁加速度计的制作及封装方法
CN112394195A (zh) * 2020-11-13 2021-02-23 西安微电子技术研究所 一种石英挠性加速度计伺服电路及组装方法
CN113030512A (zh) * 2019-12-25 2021-06-25 航天科工惯性技术有限公司 加速度计及加速度计表头与伺服电路连接方法
CN114083199A (zh) * 2020-08-24 2022-02-25 航天科工惯性技术有限公司 一种加速度计表芯装配装置及装配方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2416613Y (zh) * 1999-06-08 2001-01-24 深圳粤宝电子工业总公司 高可靠性封口结构的电池
CN200953027Y (zh) * 2006-09-30 2007-09-26 北京航天万新科技有限公司 一种改进的石英挠性加速度计
CN101082630A (zh) * 2007-07-09 2007-12-05 北京信息工程学院 新型压电石英加速度计
CN201837639U (zh) * 2010-09-30 2011-05-18 航天科工惯性技术有限公司 一种密封式石英挠性加速度计
CN102539836A (zh) * 2011-12-31 2012-07-04 航天科工惯性技术有限公司 一种石英挠性加速度计密封性检测方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2416613Y (zh) * 1999-06-08 2001-01-24 深圳粤宝电子工业总公司 高可靠性封口结构的电池
CN200953027Y (zh) * 2006-09-30 2007-09-26 北京航天万新科技有限公司 一种改进的石英挠性加速度计
CN101082630A (zh) * 2007-07-09 2007-12-05 北京信息工程学院 新型压电石英加速度计
CN201837639U (zh) * 2010-09-30 2011-05-18 航天科工惯性技术有限公司 一种密封式石英挠性加速度计
CN102539836A (zh) * 2011-12-31 2012-07-04 航天科工惯性技术有限公司 一种石英挠性加速度计密封性检测方法

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103706908A (zh) * 2013-12-10 2014-04-09 中国航天科工集团第二研究院七〇六所 一种石英加速度计接线柱与连接线的低温焊接工艺方法
CN103706908B (zh) * 2013-12-10 2016-05-18 中国航天科工集团第二研究院七〇六所 一种石英加速度计接线柱与连接线的低温焊接工艺方法
CN105277185A (zh) * 2015-11-26 2016-01-27 上海新跃仪表厂 金属振动陀螺惯性敏感器及金属振动陀螺仪
CN106881537A (zh) * 2015-12-15 2017-06-23 航天科工惯性技术有限公司 一种加速度计接线柱与力矩器的装配方法
CN106066405A (zh) * 2016-06-29 2016-11-02 中国电子科技集团公司第二十六研究所 石英挠性加速度计气密性封装结构
CN109490577A (zh) * 2018-12-21 2019-03-19 中国船舶重工集团公司第七0七研究所 一种挠性静电支撑加速度计
CN113030512A (zh) * 2019-12-25 2021-06-25 航天科工惯性技术有限公司 加速度计及加速度计表头与伺服电路连接方法
CN114083199A (zh) * 2020-08-24 2022-02-25 航天科工惯性技术有限公司 一种加速度计表芯装配装置及装配方法
CN114083199B (zh) * 2020-08-24 2023-10-17 航天科工惯性技术有限公司 一种加速度计表芯装配装置及装配方法
CN112379125A (zh) * 2020-10-31 2021-02-19 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） 一种分体式差分石英振梁加速度计的制作及封装方法
CN112379125B (zh) * 2020-10-31 2022-08-12 华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所） 一种分体式差分石英振梁加速度计的制作及封装方法
CN112394195A (zh) * 2020-11-13 2021-02-23 西安微电子技术研究所 一种石英挠性加速度计伺服电路及组装方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103033645A (zh) 全密封表头及石英挠性加速度计
CN206670840U (zh) 一种小型硅压阻式气体压力传感器结构
CN102205941A (zh) 基于mems工艺的微型原子腔器件的气密性封装及方法
CN102956662B (zh) 一种红外焦平面探测器芯片真空密封封装结构及封装方法
CN102608703B (zh) 一种适用于直接耦合的光纤环组件封装结构
JP2018506717A (ja) Ｍｅｍｓ圧力センサとｍｅｍｓ慣性センサの集積構造
CN107128871B (zh) 一种基于mems原子芯片的物理封装件及其封装方法
CN105547576A (zh) 介质隔离式压力传感器封装结构
CN203191140U (zh) 压力传感器介质隔离封装结构
CN102928150A (zh) 一种无引线封装的金属薄膜压力传感器及其制备方法
CN109467041A (zh) 一种高稳定性mems谐振器件
CN107655466B (zh) 双电极结构带裙边的w形微机电半球陀螺仪
CN103411726B (zh) 一种压力变送器
CN105655769A (zh) 一种小型高压密封电连接器
CN205027465U (zh) 一种双余度压力管壳结构
CN204269226U (zh) 一种压电式振动传感器
CN105403732A (zh) 一种石英挠性加速度计电容传感器绝缘子引线及安装结构
CN106066405A (zh) 石英挠性加速度计气密性封装结构
CN103134952B (zh) 一种密封式加速度计
CN101571440A (zh) 一种应用于器件级真空封装的真空度测量装置
CN202710237U (zh) 绝压传感器封装结构
CN203754411U (zh) 一种双腔体mems混合集成金属封装结构
CN115406577B (zh) 一种mems压力传感器封装结构及其制备方法
CN105277185B (zh) 金属振动陀螺惯性敏感器及金属振动陀螺仪
US10781097B2 (en) Micromechanical component

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20130410