CN102980895A - 一种等离子体产生诱因识别方法 - Google Patents

一种等离子体产生诱因识别方法 Download PDF

Info

Publication number
CN102980895A
CN102980895A CN2012104802375A CN201210480237A CN102980895A CN 102980895 A CN102980895 A CN 102980895A CN 2012104802375 A CN2012104802375 A CN 2012104802375A CN 201210480237 A CN201210480237 A CN 201210480237A CN 102980895 A CN102980895 A CN 102980895A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sample
plasma
defect point
pictures
judge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2012104802375A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102980895B (zh
Inventor
马彬
马宏平
张艳云
程鑫彬
焦宏飞
王占山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tongji University
Original Assignee
Tongji University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tongji University filed Critical Tongji University
Priority to CN201210480237.5A priority Critical patent/CN102980895B/zh
Publication of CN102980895A publication Critical patent/CN102980895A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102980895B publication Critical patent/CN102980895B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

本发明涉及一种等离子体产生诱因识别方法，包括：将被测样品固定在电动平移台，泵浦激光器辐照前，外触发式相机通过电动平移台的移动对被测样品的每个位置进行图片采集；泵浦激光器辐照被测样品，外触发式相机再次通过电动平移台的移动对被测样品的每个位置进行图片采集；判断是否发生等离子体闪光，若是，则在发生等离子体闪光的第(x，y)张图片上，比较激光未辐照前与激光辐照后的第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的差异，判定等离子体产生的诱因；若否，则比较每个x和y位置下的图片N0xy和N1xy的差异，判定样品是否发生损伤；提升泵浦激光能量，实现不同能量的测量。与现有技术相比，本发明具有判定简单准确等优点。

Description

一种等离子体产生诱因识别方法
技术领域
本发明涉及一种光学元件抗激光损伤性能的测试方法，尤其是涉及一种等离子体产生诱因识别方法。
背景技术
高反射激光薄膜是高功率激光系统中的关键元件，为了深入研究高反射激光薄膜的损伤机制、准确评价薄膜的抗激光损伤能力，需要不断地发展和完善激光损伤阈值的测量技术，提高损伤阈值的测量精度和准确度，从而指导高反射薄膜制备工艺的优化和改进。目前，在损伤阈值测量过程中，为更加客观的反应薄膜的宏观激光损伤性能，通常选取尽可能大的测量区域，因此光栅扫描激光损伤阈值测量方式近年来被广泛采用。测量中，一般采用工作频率为10Hz的脉冲式Nd:YAG激光器，通过对扫描间隔和扫描轨迹的调节，可以对较大面积的样品表面进行覆盖，并对出现的损伤点的坐标和位置进行记录，留作后期的损伤生长测量。
高反射激光薄膜的损伤机制决定了在测量过程中，薄膜中的缺陷和表面污染物在一定能量下会吸收激光并产生宽光谱分布的等离子体，等离子体将进一步吸收同一脉冲下的后续激光并逐渐扩大，这一过程将持续微秒至毫秒尺度，对于实时监测样品是否发生损伤的光电探测器或高速相机而言，都将形成一个的强信号区或曝光饱和区，从而极大的影响损伤的判断。当前，一般是采用多路探测信号方式，通过在高速相机前添加窄带滤光片来降低等离子体产生时宽光谱的强光进入高速相机，以确保拍摄到有效图像；同时，用一路光电信号实时监测散射信号，当散射信号显著增强时，由此确定激光损伤的发生或等离子体的产生。
然而，多路探测过程中，难以将光电信号和高速相机的信息完全同步，因此无法获得等离子体产生的准确位置，更无法区分等离子体的成因是薄膜缺陷还是表面污染物。而等离子体信息是研究高反射激光薄膜损伤机制的重要信息和线索，因此，需要在激光损伤阈值测量中记录等离子体产生的位置并对其成因进行分析。
发明内容
本发明的目的就是为了克服上述现有技术存在的缺陷而提供一种判定简单、准确的等离子体产生诱因识别方法。
本发明的目的可以通过以下技术方案来实现：
一种等离子体产生诱因识别方法，该方法用于高反射激光薄膜损伤阈值测量中，所述的损伤阈值测量的装置包括用于发射泵浦激光的泵浦激光器、用于带动被测样品移动的电动平移台、照明电源和实时监测并获取被测样品图像的损伤监控组件，所述的损伤监控组件包括在线显微镜和外触发式相机，所述的识别方法具体包括以下步骤：
1)将被测样品固定在电动平移台，电动平移台控制被测样品做光栅轨迹移动，在线显微镜对准泵浦激光辐照被测样品的位置；
2)泵浦激光器辐照前，外触发式相机通过电动平移台的移动对被测样品的每个位置进行图片采集，将第(x，y)张图片标记为N0xy，图片中缺陷点的局部坐标记为N0xy-ab，全局坐标记为N0XY，其中，a和b为缺陷点在第(x，y)张图片中的局部坐标，X和Y为以第(1，1)张图片的左上角为原点、缺陷点在整个测量区域的全局坐标；
3)泵浦激光器辐照被测样品，外触发式相机再次通过电动平移台的移动对被测样品的每个位置进行图片采集，将将第(x，y)张图片标记为N1xy，图片中缺陷点的局部坐标记为N1xy-ab，全局坐标记为N1XY；
4)判断是否发生等离子体闪光，若是，则执行步骤6)，若否，则执行步骤5)；
5)比较每个x和y位置下的图片N0xy和N1xy的差异，判定样品是否发生损伤，执行步骤7)；
6)在发生等离子体闪光的第(x，y)张图片上，比较激光未辐照前的N0xy-ab位置与激光辐照后的第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1xy-ab位置的差异，识别等离子体产生的诱因；
7)电动平移台控制被测样品，回到初始坐标位置；
8)提升泵浦激光能量，重复步骤3)-步骤7)，实现被测样品相同区域在泵浦激光不同能量辐照下的测量。
所述的对被测样品的每个位置进行图片采集具体为：
泵浦激光器发送外触发信号控制电动平移台作光栅轨迹移动，电动平移台接收到外触发信号后移动到下一个测量点并立即停止；
泵浦激光器发送外触发信号控制外触发式相机通过在线显微镜对电动平移台每次停止时的被测样品进行拍照，采集图片。
所述的步骤5)具体为：
51)当N0xy-ab位置存在缺陷点、N1xy-ab位置也存在缺陷点、且超过尺寸容差时，判定样品发生损伤，损伤由原始缺陷点引起；
52)当N0xy-ab位置存在缺陷点、N1xy-ab位置不存在缺陷点时，判定原始缺陷点为表面污染物；
53)当N0xy-ab位置不存在缺陷点、N1xy-ab位置不存在缺陷点时，判定样品未发生损伤；
54)当N0xy-ab位置不存在缺陷点、N1xy-ab位置存在缺陷点时，判定样品发生损伤，损伤由其它因素引起。
所述的步骤6)中判定等离子体产生的诱因的具体方法为：
61)当N0xy-ab位置存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置存在缺陷点，且与对应的N0XY位置缺陷相比小于尺寸容差时，判定样品未发生损伤，等离子体由原始缺陷点引起；
62)当N0xy-ab位置存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置存在缺陷点，与对应的N0XY位置缺陷相比大于尺寸容差时，判定样品发生损伤，等离子体和损伤由原始缺陷点引起；
63)当N0xy-ab位置存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置不存在缺陷点时，判定样品未发生损伤，等离子体由表面污染引起；
64)当N0xy-ab位置不存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置不存在缺陷点时，判定样品未发生损伤，等离子体由其它因素引起；
65)当N0xy-ab位置不存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置存在缺陷点时，判定样品发生损伤，等离子体和损伤由其它因素引起。
所述的其它因素包括纳米尺度结构缺陷和杂质。
所述的泵浦激光器的工作频率是10Hz，所述的泵浦激光器外触发信号的输出频率是10Hz，所述的电动平移台的移动频率是10Hz，所述的外触发式相机的拍照频率是10Hz，所述的泵浦激光器辐照被测样品的区域面积小于图片面积的1/2。
与现有技术相比，本发明利用在线显微镜对被测样品在泵浦激光辐照前后的图像进行拍摄，对图片中缺陷点位置设定图片局部坐标和扫描区域的全局坐标，当等离子体产生时，通过比较等离子体产生位置之前和之后图片的差异，能够实现对初始缺陷、表面污染和其它因素诱导等离子体产生的判定。
附图说明
图1为损伤阈值测量装置的结构示意图；
图2为本发明方法的流程示意图；
图3为被测样品在电动平移台控制下的运行轨迹示意图；
图4(a)为激光辐照后，被测样品的第(x，y)张图片；
图4(b)为激光辐照后，被测样品的第(x+1，y)张图片。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明进行详细说明。
实施例
一种等离子体产生诱因识别方法，该方法用于高反射激光薄膜损伤阈值测量中，如图1所示，损伤阈值测量的装置包括用于发射泵浦激光的泵浦激光器1、用于带动被测样品2移动的电动平移台3、照明电源4和实时监测并获取被测样品图像的损伤监控组件，所述的损伤监控组件包括在线显微镜6和外触发式相机5。如图2所示，所述的识别方法具体包括以下步骤：
在步骤s101中，将被测样品固定在电动平移台，电动平移台控制被测样品做光栅轨迹移动，在线显微镜对准泵浦激光辐照被测样品的位置；
如图3所示，电动平移台x方向总的移动距离为Sx，移动间隔为Dx，y方向总的移动距离为Sy，移动间隔为Dy，移动间隔Dx和Dy由泵浦激光的光斑直径决定，每个测试点只作用一个脉冲激光，总测量点的数目为N，
N＝(Sx/Dx)×(Sy/Dy)。
在步骤s102中，泵浦激光器辐照前，外触发式相机通过电动平移台的移动对被测样品的每个位置进行图片采集，具体步骤为：
泵浦激光器发送外触发信号控制电动平移台作光栅轨迹移动，电动平移台接收到外触发信号后移动到下一个测量点并立即停止，每次移动的间隔为Dx或Dy，一般为0.2mm；
泵浦激光器发送外触发信号控制外触发式相机通过在线显微镜对电动平移台每次停止时的被测样品进行拍照，采集图片。
将第(x，y)张图片标记为N0xy，图片中缺陷点的局部坐标记为N0xy-ab，全局坐标记为N0XY，其中，a和b为缺陷点在第(x，y)张图片中的局部坐标，X和Y为以第(1，1)张图片的左上角为原点、缺陷点在整个测量区域的全局坐标：
X＝(x-1)×Dx+a
Y＝(y-1)×Dy+b。
在步骤s103中，泵浦激光器辐照被测样品，外触发式相机再次通过电动平移台的移动对被测样品的每个位置进行图片采集，将将第(x，y)张图片标记为N1xy，图片中缺陷点的局部坐标记为N1xy-ab，全局坐标记为N1XY，如图4(a)、4(b)所示。其中激光辐照区域面积小于图片面积的1/2，确保等离子体产生位置为相邻图片的重叠区域。
在步骤s104中，判断是否发生等离子体闪光，若是，则执行步骤s106，若否，则执行步骤s105。
在步骤s105中比较每个x和y位置下的图片N0xy和N1xy的差异，判定样品是否发生损伤，执行在步骤s107；
判定样品是否发生损伤的具体方法为：
51)当N0xy-ab位置存在缺陷点、N1xy-ab位置也存在缺陷点、且超过尺寸容差时，判定样品发生损伤，损伤由原始缺陷点引起；
52)当N0xy-ab位置存在缺陷点、N1xy-ab位置不存在缺陷点时，判定原始缺陷点为表面污染物；
53)当N0xy-ab位置不存在缺陷点、N1xy-ab位置不存在缺陷点时，判定样品未发生损伤；
54)当N0xy-ab位置不存在缺陷点、N1xy-ab位置存在缺陷点时，判定样品发生损伤，损伤由其它因素引起。
在步骤s106中，在发生等离子体闪光的第(x，y)张图片上，比较激光未辐照前的N0xy-ab位置与激光辐照后的第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1xy-ab位置的差异，识别等离子体产生的诱因；
识别等离子体产生的诱因的具体方法为：
61)当N0xy-ab位置存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置存在缺陷点，且与对应的N0XY位置缺陷相比小于尺寸容差时，判定样品未发生损伤，等离子体由原始缺陷点引起；
62)当N0xy-ab位置存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置存在缺陷点，与对应的N0XY位置缺陷相比大于尺寸容差时，判定样品发生损伤，等离子体和损伤由原始缺陷点引起；
63)当N0xy-ab位置存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置不存在缺陷点时，判定样品未发生损伤，等离子体由表面污染引起；
64)当N0xy-ab位置不存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置不存在缺陷点时，判定样品未发生损伤，等离子体由其它因素引起；
65)当N0xy-ab位置不存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置存在缺陷点时，判定样品发生损伤，等离子体和损伤由其它因素引起。
在步骤s107中，电动平移台控制被测样品，回到初始坐标位置。
在步骤s108中，提升泵浦激光能量，重复步骤s103-步骤s107，实现被测样品相同区域在泵浦激光不同能量辐照下的测量。
上述其它因素包括纳米尺度结构缺陷和杂质。
本实施例中，泵浦激光器的工作频率是10Hz，所述的泵浦激光器外触发信号的输出频率是10Hz，所述的电动平移台的移动频率是10Hz，所述的外触发式相机的拍照频率是10Hz。
上述的对实施例的描述是为便于该技术领域的普通技术人员能理解和应用本发明。熟悉本领域技术的人员显然可以容易地对这些实施例做出各种修改，并把在此说明的一般原理应用到其他实施例中而不必经过创造性的劳动。因此，本发明不限于这里的实施例，本领域技术人员根据本发明的揭示，对于本发明做出的改进和修改都应该在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种等离子体产生诱因识别方法，该方法用于高反射激光薄膜损伤阈值测量中，所述的损伤阈值测量的装置包括用于发射泵浦激光的泵浦激光器、用于带动被测样品移动的电动平移台、照明电源和实时监测并获取被测样品图像的损伤监控组件，所述的损伤监控组件包括在线显微镜和外触发式相机，其特征在于，所述的识别方法具体包括以下步骤：
1)将被测样品固定在电动平移台，电动平移台控制被测样品做光栅轨迹移动，在线显微镜对准泵浦激光辐照被测样品的位置；
2)泵浦激光器辐照前，外触发式相机通过电动平移台的移动对被测样品的每个位置进行图片采集，将第(x，y)张图片标记为N0xy，图片中缺陷点的局部坐标记为N0xy-ab，全局坐标记为N0XY，其中，a和b为缺陷点在第(x，y)张图片中的局部坐标，X和Y为以第(1，1)张图片的左上角为原点、缺陷点在整个测量区域的全局坐标；
3)泵浦激光器辐照被测样品，外触发式相机再次通过电动平移台的移动对被测样品的每个位置进行图片采集，将将第(x，y)张图片标记为N1xy，图片中缺陷点的局部坐标记为N1xy-ab，全局坐标记为N1XY；
4)判断是否发生等离子体闪光，若是，则执行步骤6)，若否，则执行步骤5)；
5)比较每个x和y位置下的图片N0xy和N1xy的差异，判定样品是否发生损伤，执行步骤7)；
6)在发生等离子体闪光的第(x，y)张图片上，比较激光未辐照前的N0xy-ab位置与激光辐照后的第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1xy-ab位置的差异，识别等离子体产生的诱因；
7)电动平移台控制被测样品，回到初始坐标位置；
8)提升泵浦激光能量，重复步骤3)-步骤7)，实现被测样品相同区域在泵浦激光不同能量辐照下的测量。
2.根据权利要求1所述的一种等离子体产生诱因识别方法，其特征在于，所述的对被测样品的每个位置进行图片采集具体为：
泵浦激光器发送外触发信号控制电动平移台作光栅轨迹移动，电动平移台接收到外触发信号后移动到下一个测量点并立即停止；
泵浦激光器发送外触发信号控制外触发式相机通过在线显微镜对电动平移台每次停止时的被测样品进行拍照，采集图片。
3.根据权利要求1所述的一种等离子体产生诱因识别方法，其特征在于，所述的步骤5)具体为：
51)当N0xy-ab位置存在缺陷点、N1xy-ab位置也存在缺陷点、且超过尺寸容差时，判定样品发生损伤，损伤由原始缺陷点引起；
52)当N0xy-ab位置存在缺陷点、N1xy-ab位置不存在缺陷点时，判定原始缺陷点为表面污染物；
53)当N0xy-ab位置不存在缺陷点、N1xy-ab位置不存在缺陷点时，判定样品未发生损伤；
54)当N0xy-ab位置不存在缺陷点、N1xy-ab位置存在缺陷点时，判定样品发生损伤，损伤由其它因素引起。
4.根据权利要求1所述的一种等离子体产生诱因识别方法，其特征在于，所述的步骤6)中判定等离子体产生的诱因的具体方法为：
61)当N0xy-ab位置存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置存在缺陷点，且与对应的N0XY位置缺陷相比小于尺寸容差时，判定样品未发生损伤，等离子体由原始缺陷点引起；
62)当N0xy-ab位置存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置存在缺陷点，与对应的N0XY位置缺陷相比大于尺寸容差时，判定样品发生损伤，等离子体和损伤由原始缺陷点引起；
63)当N0xy-ab位置存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置不存在缺陷点时，判定样品未发生损伤，等离子体由表面污染引起；
64)当N0xy-ab位置不存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置不存在缺陷点时，判定样品未发生损伤，等离子体由其它因素引起；
65)当N0xy-ab位置不存在缺陷点，N1xy-ab位置出现等离子体，第(x+1，y)或(x，y+1)张图片的N1XY位置存在缺陷点时，判定样品发生损伤，等离子体和损伤由其它因素引起。
5.根据权利要求3或4所述的一种等离子体产生诱因识别方法，其特征在于，所述的其它因素包括纳米尺度结构缺陷和杂质。
6.根据权利要求1所述的一种等离子体产生诱因识别方法，其特征在于，所述的泵浦激光器的工作频率是10Hz，所述的泵浦激光器外触发信号的输出频率是10Hz，所述的电动平移台的移动频率是10Hz，所述的外触发式相机的拍照频率是10Hz，所述的泵浦激光器辐照被测样品的区域面积小于图片面积的1/2。
CN201210480237.5A 2012-11-22 2012-11-22 一种等离子体产生诱因识别方法 Active CN102980895B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210480237.5A CN102980895B (zh) 2012-11-22 2012-11-22 一种等离子体产生诱因识别方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210480237.5A CN102980895B (zh) 2012-11-22 2012-11-22 一种等离子体产生诱因识别方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102980895A true CN102980895A (zh) 2013-03-20
CN102980895B CN102980895B (zh) 2015-07-15

Family

ID=47855115

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210480237.5A Active CN102980895B (zh) 2012-11-22 2012-11-22 一种等离子体产生诱因识别方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102980895B (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5604588A (en) * 1995-07-20 1997-02-18 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Imaging plasma in nonlinear limiter cells
CN101165474A (zh) * 2006-10-16 2008-04-23 中国科学院福建物质结构研究所 一种非线性晶体激光损伤阈值的测量方法
CN101718712A (zh) * 2009-12-02 2010-06-02 西安工业大学 薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置及测试方法
CN201622245U (zh) * 2009-12-02 2010-11-03 西安工业大学 薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5604588A (en) * 1995-07-20 1997-02-18 United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Imaging plasma in nonlinear limiter cells
CN101165474A (zh) * 2006-10-16 2008-04-23 中国科学院福建物质结构研究所 一种非线性晶体激光损伤阈值的测量方法
CN101718712A (zh) * 2009-12-02 2010-06-02 西安工业大学 薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置及测试方法
CN201622245U (zh) * 2009-12-02 2010-11-03 西安工业大学 薄膜及光学元件激光损伤阈值组合测试装置

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JUSTIN E. WOLFE ET AL.: "Automated Laser Damage Test System with Real-time Damage Event Imaging and Detection", 《PROC. SPIE》 *
章春来 等: "层SiO2和ZrO2薄膜激光辐照损伤的对比", 《压电与声光》 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN102980895B (zh) 2015-07-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI408332B (zh) A measuring device and a laser processing machine which are held in the workpiece
CN102288622A (zh) 光学元件内部缺陷的检测方法及装置
CN102027352A (zh) 用于激光剥离的同位监控
TW201006598A (en) Laser scribe inspection methods and systems
TW200703455A (en) Systems and methods for implementing an interaction between a laser shaped as a line beam and a film deposited on a substrate
CN103123320A (zh) 基于单束光分束的激光诱导击穿光谱分析方法及实施装置
CN103278309B (zh) 光学元件体内激光损伤自动快速探测装置
CN104296969B (zh) 一种激光损伤阈值标定方法
CN102974936A (zh) 激光焦点定位系统及将材料定位于激光焦点处的方法
CN103926057A (zh) 一种激光抗损伤测试系统
US20110132884A1 (en) Laser modules and processes for thin film solar panel laser scribing
CN202916196U (zh) 基于单束光分束的激光诱导击穿光谱分析装置
CN102257632A (zh) 在薄膜太阳能电池的制造中用于激光划线检测及校准的照明方法与系统
CN102841097B (zh) 基于高精度复位技术的损伤阈值测量方法及测量装置
TWI381899B (zh) 雷射加工方法、雷射加工裝置以及太陽能面板製造方法
CN102841055A (zh) 光学元件体内激光损伤在线探测方法和装置
CN102478699B (zh) 自动聚焦装置与其方法
CN102107331A (zh) 光纤定位切割方法及其装置
CN102841102B (zh) 一种损伤阈值测量中微小尺度损伤点的识别方法及装置
CN101752462B (zh) 激光加工状态检查方法及装置以及太阳能电池板制造方法
JP5328406B2 (ja) レーザ加工方法、レーザ加工装置及びソーラパネル製造方法
CN102980895B (zh) 一种等离子体产生诱因识别方法
CN202216766U (zh) 准直光束的检测装置
CN205352314U (zh) 一种新型激光测距仪检测装置
CN107870511B (zh) 基于双光路的快速扫描装置及应用其的扫描方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant