CN102896601A - 真空吸附载具 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种真空吸附载具，包括：吸附气流槽板及其侧面的抽气管、与吸附气流槽板连接装配的吸附网孔板、与抽气管通过气压调节阀和气压表相连通的真空泵，以及吸附气流槽板与吸附网孔板间的连接和密封构件。该真空吸附载具由于加入气压调节装置，所以解决了根据材料性质调节吸附气压的问题，提高了加工测量的精度。
Description
技术领域
本发明涉及激光精密设备领域，具体而言，涉及一种真空吸附载具。
背景技术
激光精密加工技术在半导体、太阳能、SMT、平面显示等领域应用广泛且发展迅速。在使用激光对金属、非金属薄板材进行加工或测量的过程中，加工对象的装夹固定方式对于加工效果或测量精度存在影响。
相关的装夹固定方式由于不具有根据材料性质调节吸附气压的功能，难以满足用户在加工和测量精度方面的需求。
发明内容
本发明旨在提供一种真空吸附载具，以解决上述的问题。
在本发明的实施例中，提供了一种真空吸附载具，包括：吸附气流槽板及其侧面的抽气管、与吸附气流槽板连接装配的吸附网孔板、与抽气管通过气压调节阀和气压表相连通的真空泵，以及吸附气流槽板与吸附网孔板间的连接和密封构件。
本发明因为加入了吸附气压调节功能，所以克服了无法根据材料性质调节吸附气压的问题，提高了激光加工和测量的精度。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：
图1示出了根据本发明实施例的真空吸附载具的示意图；
图2示出了根据本发明实施例的气压调节装置与载具的连接示意图。
具体实施方式
下面将参考附图并结合实施例，来详细说明本发明。
图1和图2分别示出了根据本发明实施例的真空吸附载具，及其与气压调节装置的连接方式，包括：吸附气流槽板1及其侧面的抽气管2、与吸附气流槽板1连接装配的吸附网孔板6、与抽气管2通过气压调节阀3和气压表4相连通的真空泵5，以及吸附气流槽板1与吸附网孔板6间的连接和密封构件。
该真空吸附载具由于增加了气压调节装置，所以解决了根据材料性质调节吸附气压的问题，提高了激光加工和测量的精度。
优选地，气压调节阀3的阀门和气压表4的表盘面向外。
优选地，吸附气流槽板1和吸附网孔板6通过螺钉连接装配，且螺钉孔从下向上安装。
优选地，吸附气流槽板1和吸附网孔板6在接缝处密封。
优选地，在吸附气流槽板1的各侧面设置多个气压转接头，并通过气管与抽气管2相互连接，以提高吸附力在载具面上的扩散速度和均匀性。
优选地，吸附网孔板采用黑色POM材料制作；相对于白色POM材料，其较强的激光吸收性能可提高材料使用寿命。
本系统是一种增加了气压调节装置的真空吸附载具。将设置在吸附气流槽板侧面的抽气管，通过气压调节阀和气压表与真空泵相互连接。由于气压表表盘和气压调节阀阀门均为面朝外，因此可以针对特定材料的性质进行相应的气压调节。
将吸附气流槽板和吸附网孔板通过螺钉进行装配连接，并在接缝处密封。由于吸附气流槽板内部分布有气流槽，因此在抽气状态下，吸附力可通过气流槽在载具内部扩散，再通过吸附网孔板传递到载具表面，从而实现对金属或非金属薄板材的吸附。
本真空吸附载具在相关载具基础上，通过引入气压调节装置，使其功能得到了强化，同时运行更加合理；不仅提高了加工和测量的精度，而且避免了对薄、脆板材可能造成的损伤。
从以上描述可以看出，本真空吸附载具具有以下有益效果：
1、在保证吸附稳固程度的同时，使吸附更平整、定位更精确；
2、根据对象材料进行相应气压调节，减少不必要的能源浪费和机械损耗；
3、可加工测量的对象范围更宽，且避免对不常见材料造成损坏。
以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (3)
1.一种真空吸附载具，其特征在于，包括：吸附气流槽板（1）及其侧面的抽气管（2）、与吸附气流槽板（1）连接装配的吸附网孔板（6）、与抽气管（2）通过气压调节阀（3）和气压表（4）相连通的真空泵（5），以及吸附气流槽板（1）与吸附网孔板（6）间的连接和密封构件。
2.根据权利要求1所述的真空吸附载具，其特征在于，所述气压调节阀（3）的阀门和所述气压表（4）的表盘面向外。
3.根据权利要求2所述的真空吸附载具，其特征在于，所述吸附气流槽板（1）和所述吸附网孔板（6）通过螺钉连接装配；且接缝处密封。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012104289308A CN102896601A (zh) | 2012-11-01 | 2012-11-01 | 真空吸附载具 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN2012104289308A CN102896601A (zh) | 2012-11-01 | 2012-11-01 | 真空吸附载具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN102896601A true CN102896601A (zh) | 2013-01-30 |
Family
ID=47569240
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN2012104289308A Pending CN102896601A (zh) | 2012-11-01 | 2012-11-01 | 真空吸附载具 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102896601A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107866844A (zh) * | 2016-09-26 | 2018-04-03 | 晶达光电股份有限公司 | 双刀头切割设备 |
| CN110370364A (zh) * | 2019-08-12 | 2019-10-25 | 程慧玲 | 一种用于手机屏幕板生产的吸盘式工作台 |
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2012
- 2012-11-01 CN CN2012104289308A patent/CN102896601A/zh active Pending
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| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20130130 |