CN102881762A - MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器 - Google Patents
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Abstract
MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器,采用双温区化学气相沉积方法制备MgZnO纳米线阵列,由此获得MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器,其响应度高于现有MgZnO纳米线紫外光电探测器,属于半导体光电技术领域。本发明之MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器下电极位于硅衬底背面,MgZnO纳米线分布在硅衬底正面,上电极位于MgZnO纳米线上面,并与MgZnO纳米线欧姆接触,其特征在于,所述MgZnO纳米线竖直等高、整齐分布,构成MgZnO纳米线阵列。本发明用于环境污染监控、火焰光电探测、紫外预警以及通讯等领域。
Description
技术领域
本发明涉及一种MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器,采用双温区化学气相沉积方法制备MgZnO纳米线阵列,由此获得MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器,其响应度高于现有MgZnO纳米线紫外光电探测器,属于半导体光电技术领域。
背景技术
紫外探测是继红外探测之后的又一项军民通用的光电探测技术,尤其在紫外告警、紫外制导、火焰传感、气体探测与分析、环境污染监测等方面具有广泛的应用前景。目前,MgZnO宽禁带半导体材料是理想的紫外光电探测器材料之一,其形态包括MgZnO薄膜和MgZnO纳米线。MgZnO三元合金是由ZnO和MgO按一定的组分固溶而成,当MgO组分较低时为六方结构,反之则为立方结构。不论是MgZnO薄膜还是MgZnO纳米线,理论上通过改变Mg含量可以实现在3.3~7.8 eV范围内的带隙连续可调。同时,MgZnO三元合金还具有与之相匹配的衬底以及稳定的化学性能等优点。这些特点使得MgZnO紫外光电探测器能够应用于许多方面,例如:环境污染监控,火焰光电探测,紫外预警,以及通讯等。然而,MgZnO薄膜紫外光电探测器的响应度比较低,如只有0.2 A/W;另外,现有MgZnO纳米线紫外光电探测器由于纳米线呈散乱倒伏状态,致使探测器上电极与MgZnO纳米线接触不良,这不仅使得响应度降低,而且还导致响应度不稳定。
发明内容
本发明的目的是提高MgZnO紫外光电探测器的响应度,为此,我们发明了一种MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器。
本发明之MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器下电极位于硅衬底背面,MgZnO纳米线分布在硅衬底正面,上电极位于MgZnO纳米线上面,并与MgZnO纳米线欧姆接触,其特征在于,所述MgZnO纳米线竖直等高、整齐分布,构成MgZnO纳米线阵列。
本发明其技术效果在于,由于MgZnO纳米线竖直等高、整齐分布,有更多的MgZnO纳米线与上电极形成良好稳定的欧姆接触,光电流增益大,探测器响应度因此而提高且稳定。如采用双温区化学气相沉积方法制备带隙宽度为带隙宽度为4.20eV的MgZnO纳米线阵列,进而制作具有自下而上依次为下电极、硅衬底、MgZnO纳米线阵列、上电极这一垂直结构的MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器,在5V偏压下探测器暗电流Idark小于108 μA,其最短光响应截止边W达到310 nm,响应峰值在269 nm处,响应度R达到107 A/W,并且紫外可见抑制比310nm/420nm大于3个量级。
附图说明
附图是本发明之MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器结构示意图,该图同时作为摘要附图。
具体实施方式
本发明之MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器下电极1位于硅衬底背面,见附图所示,下电极1为300~600 nm厚的铟膜,如500 nm,铟膜与硅衬底2具有良好的欧姆接触。MgZnO纳米线3分布在硅衬底2正面。上电极4位于MgZnO纳米线3上面,并与MgZnO纳米线3欧姆接触,上电极4为ITO导电玻璃。所述MgZnO纳米线3竖直等高、整齐分布,构成MgZnO纳米线阵列,MgZnO纳米线4高度为400~800nm,如500nm。MgZnO纳米线3中的Mg组分与Zn组分的摩尔百分比为(1~41):(99~59),如Mg组分41%、Zn组分59 %。上电极4ITO导电玻璃的下表面与MgZnO纳米线3的上端欧姆接触。上电极4ITO导电玻璃由绝缘支撑物5自硅衬底3正面垫起,避免压倒MgZnO纳米线3。
下面通过MgZnO纳米线阵列的制备以及MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器的制作,进一步说明本发明。
采用双温区化学气相沉积的方法制备MgZnO纳米线阵列。采用双温区化学气相沉积管式炉,Zn源区为低温区,温度为500~520℃;如520℃,Mg源区为高温区,温度为600~700 ℃,如650℃。Mg源为纯度99.99%的Mg粉,Zn源为纯度99.99 %的Zn粉,Mg粉与Zn粉总质量为1.5 g。Mg源和Zn源摩尔比为(1~3):(3~19),如2:3。升温速率为10 ℃/min,通入纯度为99.999 %的N2与O2的混合载气,流量比为99:1,当低温区、高温区达到各自的温度后保温0.5小时,在此期间在硅衬底2的(111)方向上制备出MgZnO纳米线3竖直等高、整齐分布的MgZnO纳米线阵列,见附图所示。MgZnO纳米线4高度为400~800nm,如500nm。MgZnO纳米线3中的Mg组分与Zn组分的摩尔百分比为(1~41):(99~59),如Mg组分41 %、Zn组分59 %。
之后制作MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器。第一步采用真空热蒸发的方法,在硅衬底2背面上蒸镀300~600 nm厚的铟膜作为下电极1,如500 nm。第二步在MgZnO纳米线阵列上面覆盖ITO导电玻璃作为上电极4,上电极4ITO导电玻璃的下表面与MgZnO纳米线3的上端欧姆接触,并且,上电极4ITO导电玻璃由绝缘支撑物5自硅衬底3正面垫起,见附图所示,避免压倒MgZnO纳米线3。至此制作完成具有自下而上依次为下电极1、硅衬底2、MgZnO纳米线阵列、上电极4这一垂直结构的MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器。
通过对所制备的MgZnO纳米线阵列进行XRD表征,呈现六方结构,没有出现立方相。利用微区光致发光谱测量,经过计算,带隙宽度为3.3~7.8 eV范围内的某一值,如4.20 eV。通过半导体测试仪对所制作的MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器进行测试,得到了具有整流效应的肖特基型I-V曲线,在5 V偏压下探测器暗电流Idark小于108~1200 μA范围内的某一值,如小于108 μA,其光响应截止边W为310~360 nm范围内某一值,如最短为310 nm,响应峰值位于269~351 nm范围内某一值处,如位于269 nm处,响应度R达到107~320 A/W范围内的某一值,如107 A/W,紫外可见抑制比为310~360nm/420nm,如310nm/420nm大于3个量级。
Claims (5)
1.一种MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器,下电极位于硅衬底背面,MgZnO纳米线分布在硅衬底正面,上电极位于MgZnO纳米线上面,并与MgZnO纳米线欧姆接触,其特征在于,所述MgZnO纳米线竖直等高、整齐分布,构成MgZnO纳米线阵列。
2.根据权利要求1所述的MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器,其特征在于,MgZnO纳米线(4)高度为400~800nm。
3.根据权利要求1所述的MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器,其特征在于,MgZnO纳米线(3)中的Mg组分与Zn组分的摩尔百分比为(1~41):(99~59)。
4.根据权利要求1所述的MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器,其特征在于,上电极(4)的下表面与MgZnO纳米线(3)的上端欧姆接触。
5.根据权利要求1所述的MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器,其特征在于,上电极(4)由绝缘支撑物(5)自硅衬底(3)正面垫起。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN2012103952638A CN102881762A (zh) | 2012-10-17 | 2012-10-17 | MgZnO纳米线阵列紫外光电探测器 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Family Applications (1)
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Country Status (1)
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