CN102844695A - 多模光耦合器接口 - Google Patents
多模光耦合器接口 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102844695A CN102844695A CN2011800173293A CN201180017329A CN102844695A CN 102844695 A CN102844695 A CN 102844695A CN 2011800173293 A CN2011800173293 A CN 2011800173293A CN 201180017329 A CN201180017329 A CN 201180017329A CN 102844695 A CN102844695 A CN 102844695A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- waveguide
- multimode
- input
- single mode
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 38
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 15
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- FTWRSWRBSVXQPI-UHFFFAOYSA-N alumanylidynearsane;gallanylidynearsane Chemical compound [As]#[Al].[As]#[Ga] FTWRSWRBSVXQPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- MDPILPRLPQYEEN-UHFFFAOYSA-N aluminium arsenide Chemical compound [As]#[Al] MDPILPRLPQYEEN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 8
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 4
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 2
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 abstract 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 12
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 12
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 12
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 3
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 229930091051 Arenine Natural products 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/30—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device
- G02B6/305—Optical coupling means for use between fibre and thin-film device and having an integrated mode-size expanding section, e.g. tapered waveguide
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/38—Mechanical coupling means having fibre to fibre mating means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/10—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
- G02B6/12—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type of the integrated circuit kind
- G02B6/122—Basic optical elements, e.g. light-guiding paths
- G02B6/1228—Tapered waveguides, e.g. integrated spot-size transformers
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/26—Optical coupling means
- G02B6/28—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
- G02B6/2804—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers
- G02B6/2808—Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals forming multipart couplers without wavelength selective elements, e.g. "T" couplers, star couplers using a mixing element which evenly distributes an input signal over a number of outputs
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
- G02B6/24—Coupling light guides
- G02B6/36—Mechanical coupling means
- G02B6/40—Mechanical coupling means having fibre bundle mating means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Optical Integrated Circuits (AREA)
- Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
Abstract
可用于大芯光纤和芯片尺寸光电装置之间的光学接口。于此描述的是当单模(SM)光纤用作波导输入时提高未对准容限的耦合器。这使得能够进行被动/自动对准并因而降低生产成本。该耦合器还用作缩小斑的尺寸的斑尺寸转换器并且适合于其中具有小横截面面积的波导模特别重要的应用。一种这样的范例能够是基于波导的SiGe或III-V半导体光电探测器,其中其波导模的竖直尺寸应小至几微米。
Description
技术领域
本发明的实施例涉及光耦合器。更具体而言,本发明的实施例涉及用于连接例如光纤和光子集成电路的多模光耦合器接口(interface)。
背景技术
以高效率将光从光纤耦合到波导在集成光子学的研发中是关键的。特别是,不含主动/手动对准的单模(SM)光纤至波导的耦合是十分具有挑战性的,因为其涉及小的光斑尺寸。
附图说明
在附图中的各图中通过范例方式而非限制性的方式对本发明的实施例进行了示例,附图中类似的参考数字指类似的元件。
图1示例具有输出阵列波导的光耦合器的一个实施例。
图2示例具有单个输出波导的光耦合器的一个实施例。
图3为一个范例实施例的模分布,该范例实施例中,单模光纤(NA~0.14)与10μm×10μm的绝缘体上硅(SOI,silicon-on-insulator)条形波导耦合。
图4为示例于此描述的光耦合器的操作的色散图。
图5提供了来自如于此描述的光耦合器的一个实施例的模拟的结果。
图6为利用如于此描述光耦合器的光学系统的一个实施例的框图。
具体实施方式
在以下描述中,阐述许多具体细节。然而,可以没有这些具体细节来实践本发明的实施例。在其它实例中,未详细示出公知的电路、结构和技术以便于对此描述的理解不会变得模糊不清。
于此所描述的为可用于大芯光纤和芯片级(chip-scale)光电子装置之间的光学接口。光子能够完全相干的方式高效地从一侧耦合到另一侧。于此所描述的为耦合器,该耦合器在单模(SM)光纤用作波导输入时改善未对准容限。这使得能够进行被动/自动对准并因而降低生产成本。该耦合器还用作减小斑的尺寸的斑尺寸转换器并且适合于其中具有小横截面面积的波导模特别重要的应用。一种这样的范例能够为基于波导的SiGe或III-V半导体光电探测器,其中其波导模的竖直尺寸应小至几微米。
光耦合器可用于连接SM光源和芯片级光子学装置。在一个实施例中,组件包括:1)相对大的多模(MM)波导;2)相对较小的SM波导阵列/MM平板波导;以及3)倒锥形结构。以下描述假定在感兴趣的波长处材料吸收损失是可忽略的,这在诸如1.31μm和1.55μm的电信波长,对于硅(Si)和具有小的锗(Ge)组成的锗硅(SiGe)是真实的。
图1示例具有输出阵列波导的光耦合器的一个实施例。尽管图1的范例示范了一种位于输入波导之上的输出阵列波导,但是在替代实施例中,输出波导也能够嵌入输入波导中,该输入波导可进一步改善耦合强度。
光耦合器制作或装配于基底100上。在一个实施例中,基底100为二氧化硅(SiO2)基底。在替代实施例中,可使用其它基底,例如砷化镓(GaAs)。该光耦合器包括基底100上的输入波导120以接收来自光纤(图1中未示出)的光信号。在一个实施例中,输入波导120由硅(Si)制作。在替代实施例中,能够使用其它材料,例如铝镓砷化物(AlGaAs)。
该光耦合器还包括制作或放置于输入波导120之上的输出阵列波导140。具体尺寸、关系和其它设计考虑因素在在下文进行更详细的论述。在一个实施例中,输出阵列波导140由锗硅(SxGe1-x)制作。在替代实施例中,能够使用其它材料,例如砷化铝(AlAs)。
在一个实施例中,将光耦合器的输入波导120的输入端口设计为具有足够的横截面面积(例如,~10μm×10μm)的MM波导以连接外部SM光纤。这使得以可忽略的损失从SM光纤可耦合到光耦合器中。
在一个实施例中,输出阵列波导140为位于MM输入波导120之上的具有小横截面面积(例如~1μm×1μm)的一列SM波导。在一个实施例中,输出阵列波导140的单独的波导的宽度以增加的方式绝热地渐缩。SM波导的数目取决于待转换的MM波导中模的数目。在图1的范例中,作为范例,输出阵列波导140包括5个SM波导。由于相干消逝耦合,注入该MM输入波导120的光子将由SM波导阵列140提取。效率主要受限于归因于非绝热的倒锥形损失。
图2示例具有单个输出波导的光耦合器的一个实施例。尽管图2的范例示范了位于输入波导之上的输出波导,但是在替代的实施例中,输出波导也能够嵌入输入波导中,该输入波导可进一步改善耦合强度。
光耦合器制作或装配于基底200上。在一个实施例中,基底200为SiO2基底。在替代实施例中,也可使用其它基底,例如砷化镓(GaAs)。该光耦合器包括基底200上的输入波导220以接收来自光纤(图2中未示例)的光信号。在一个实施例中,输入波导220由硅制作。在替代实施例中,能够使用其它材料,例如铝镓砷化物(AlGaAs)。
该光耦合器还包括制作或放置于输入波导220之上的单个输出波导240。具体尺寸、关系和其它设计考虑因素在下文进行更详细的论述。在一个实施例中,单个输出波导240由锗硅(SxGe1-x)制作。在替代实施例中,能够使用其它材料,例如砷化铝(AlAs)。
在一个实施例中,将光耦合器的输入波导220的输入端口设计为具有足够的横截面面积(例如~10μm×10μm)的MM波导以连接外部SM光纤。这使得可以以可忽略的损失从SM光纤耦合到光耦合器中。
在一个实施例中,单个输出波导240为位于MM输入波导220之上的具有小厚度(例如~1μm)的SM波导。在一个实施例中,单个输出波导240的宽度以增加的方式绝热渐缩。由于相干消逝耦合,注入到MM输入波导220中的光子将由SM输出波导240提取。效率主要受限于归因于非绝热性的倒锥形损失。
于此描述的光耦合器的一个重要益处为未对准的容限。假定将具有NA~0.14的标准SM光纤耦合至10μm×10μm的SOI(绝缘体上硅)条形波导,能够激发的模的最大数量约为3。图3中提供了这三个模的分布。因为于此所描述的光耦合器能够不仅将基模而且还将高阶模耦合到小波导阵列中,与仅能够耦合基模的常规设计相比,其提供了大的未对准容限。
对于于此所描述的光耦合器,光纤中心至波导中心的偏移的容限计算为~16μm2,而常规设计的光纤中心至波导中心的偏移容限为~7.8μm2。所述改进使得能够进行被动/自动对准并因而降低光耦合器的生产成本。实际上,该改进甚至能够更大,因为在以上提供的范例中,基模的耦合效率通过合适的光斑尺寸而人工最大化。
图4为示例于此所描述的光耦合器的操作的色散图。图4的色散图示例了该光耦合器的波矢-频率关系。该耦合器具有水平镜面对称,使得波导模能够分类为偶宇称或奇宇称。对于MM波导(SM波导阵列)而言,其最低的三个模的色散由具有较大斜率(较小斜率)的实线表示。对宇称相应地进行标记。
MM波导能够仅与具有相同宇称的模中的SM波导阵列进行相互作用,其造成五个(而非九个)如虚线所表示的简正模分裂。假定输入波矢/频率位于MM波导色散的下端,其由SM光纤激发条件决定。通过以增加的方式使SM波导的宽度绝热渐缩,能够将SM波导阵列的色散朝向大波矢/低频率侧“拖拉”,并最终扫过输入波矢/频率。这将MM波导中的光功率绝热地转移至SM波导阵列中。
注意能够根据色散推得使用的SM波导的数目。例如,其中(00)、(10)、(01)、(11)、(20)、(02)、(21)、(12)、(30)为MM波导中最低的九个模,归因于宇称选择,需要九个SM波导来捕获它们所有。
图5提供了来自如于此所描述的光耦合器的一个实施例的模拟的结果。对应于图5的模拟基于置于大Si波导(10μm×8μm;n=3.5)之上且由SiO2(n=1.447)所包围的相互距离为0.5μm的三个小SiGe波导(1μm×1μm;n=3.6)。注意,对于0.5μm(或更小)的相互距离,这三个SiGe波导彼此耦合,使得其简并模能够形成确定的宇称。
输入端口的色散与图3的相同,其中绘示了在1.3μm的波长处硅波导的最低三个模。在通过增加三个SiGe波导的宽度而进行绝热过渡之后,输出端口的色散如图5所示地改变。现在模功率以相应宇称从Si波导转换至SiGe波导。为简化,此处的模拟仅考虑TM偏振,但可扩展至TE偏振。倒锥形的长度预期比具有最佳设计的1mm小。
注意单MM平板波导(如图2中所示)而非SM波导阵列(图1中所示)也能够执行类似的功能。输出端口的维度相近,但在图2的MM平板波导的情况下,总锥形长度能够较长。
图6为使用如于此所描述的光耦合器的光学系统的一个实施例的框图。尽管图6的范例示范了位于输入波导之上的输出波导,但在替代实施例中,输出波导也能够嵌入于输入波导中,该输入波导能够进一步改善耦合强度。
光学系统600使用光耦合器作为光纤和光电子装置之间的接口。光纤610可为本领域中已知的任何类型的单模光纤。光纤610传输来自源(图6中未示例)的光信号。光纤610与输入波导630光学对准,使得输入光信号620由输入波导630接收。
输入波导630和输出波导640一起提供如以上更详细描述的光耦合器。输出波导640与光电子装置660光学对准,使得输出光信号650由光电子装置660接收,所述光电子装置660可为本领域已知的任何类型的光电子装置。于此所描述的光耦合器也可用于其他情况。图6仅为光耦合器的使用的一个范例。
说明书中提及的“一个实施例”或“实施例”意指结合实施例描述的具体特征、结构或特性包括于本发明的至少一个实施例中。在说明书中各个地方出现的短语“在一个实施例中”不必然均指同一实施例。
尽管已经根据数个实施例对本发明进行了描述,但本领域技术人员将认识到本发明不限于所描述的实施例,而能够在所附权利要求的精神和范围中具有修改和改变地实施。因此本描述被认为是示例性的而非限制性的。
Claims (24)
1.一种多模光耦合器,包括:
输入多模波导,接收来自单模光纤的光信号;
一个或多个单模输出波导,与所述输入多模波导光耦合,所述一个或多个单模输出波导接收由光纤未对准而造成的激发的多个模。
2.如权利要求1所述的多模光耦合器,其中,所述一个或多个单模输出波导嵌入于所述输入多模波导内或者位于所述输入多模波导之上。
3.如权利要求1所述的多模光耦合器,其中,所述一个或多个单模输出波导包括具有绝热渐缩宽度的单模波导。
4.如权利要求1所述的多模光耦合器,其中,所述多模输入波导是所述一个或多个单模输出波导的至少十倍厚。
5.如权利要求1所述的多模光耦合器,其中,所述多模输入波导包括硅(Si)光波导。
6.如权利要求1所述的多模光耦合器,其中,所述多模输入波导包括铝镓砷化物(AlGaAs)波导。
7.如权利要求1所述的多模光耦合器,其中,所述一个或多个单模输出波导包括砷化铝(AlAs)光波导。
8.如权利要求1所述的多模光耦合器,其中,所述一个或多个单模输出波导包括锗硅(SiGe)光波导。
9.如权利要求8所述的多模光耦合器,其中,所述一个或多个SiGe单模输出波导具有SixGe1-x的组成。
10.一种光学系统,包括:
单模光纤,传输光信号;
输入多模波导,接收来自所述单模光纤的所述光信号;
一个或多个单模输出波导,具有绝热渐缩宽度且与所述输入多模波导光耦合,所述一个或多个单模输出波导接收由光纤未对准而造成的激发的多个模。
11.如权利要求10所述的光学系统,其中,所述一个或多个单模输出波导嵌入于所述输入多模波导内或位于所述输入多模波导之上。
12.如权利要求10所述的光学系统,其中,所述多模输入波导是所述一个或多个单模输出波导的至少十倍厚。
13.如权利要求10所述的光学系统,还包括一个或多个光电子装置,所述一个或多个光电子装置与所述一个或多个输出波导光耦合。
14.如权利要求10所述的光学系统,其中,所述多模输入波导包括硅(Si)光波导。
15.如权利要求10所述的光学系统,其中,所述多模输入波导包括铝镓砷化物(AlGaAs)波导。
16.如权利要求10所述的光学系统,其中,所述一个或多个单模输出波导包括砷化铝(AlAs)光波导。
17.如权利要求10所述的光学系统,其中,所述一个或多个单模输出波导包括锗硅(SiGe)光波导。
18.如权利要求17所述的光学系统,其中,所述一个或多个SiGe单模输出波导具有SixGe1-x的组成。
19.一种用于制造多模光耦合器的方法,所述方法包括:
在二氧化硅(SiO2)基底上制作多模硅(Si)条形波导;以及
在所述Si条形波导的与所述SiO2基底相对的面上制作多个锗硅(SiGe)输出波导,其中,所述输出波导具有绝热渐缩宽度。
20.如权利要求19所述的方法,其中,所述多模输入波导是所述输出波导的至少十倍厚。
21.如权利要求19所述的方法,其中,所述SiGe输出波导具有SixGe1-x的组成。
22.一种用于制造多模光耦合器的方法,所述方法包括:
在二氧化硅(SiO2)基底上制作多模硅(Si)条形波导;以及
在所述Si条形波导的与所述SiO2基底相对的面上制作单个锗硅(SiGe)输出波导,其中,所述输出波导具有绝热渐缩宽度。
23.如权利要求22所述的方法,其中,所述多模输入波导是所述输出波导的至少十倍厚。
24.如权利要求22所述的方法,其中,所述SiGe输出波导具有SixGe1-x的组成。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US12/749,196 | 2010-03-29 | ||
US12/749,196 US8488923B2 (en) | 2010-03-29 | 2010-03-29 | Multimode optical coupler interfaces |
PCT/US2011/030358 WO2011126849A2 (en) | 2010-03-29 | 2011-03-29 | Multimode optical coupler interfaces |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102844695A true CN102844695A (zh) | 2012-12-26 |
CN102844695B CN102844695B (zh) | 2015-04-01 |
Family
ID=44656585
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201180017329.3A Active CN102844695B (zh) | 2010-03-29 | 2011-03-29 | 多模光耦合器接口 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8488923B2 (zh) |
JP (1) | JP2013524262A (zh) |
KR (1) | KR101428352B1 (zh) |
CN (1) | CN102844695B (zh) |
BR (1) | BR112012023530A2 (zh) |
WO (1) | WO2011126849A2 (zh) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104813204A (zh) * | 2013-11-13 | 2015-07-29 | 华为技术有限公司 | 波导结构、波导耦合结构、及制备方法 |
WO2017054683A1 (en) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Optical coupling adaptor for optical signal coupling between photonic integrated circuit and optical fiber |
CN107111056A (zh) * | 2014-11-11 | 2017-08-29 | 菲尼萨公司 | 两级绝热耦合的光子系统 |
Families Citing this family (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9316788B2 (en) * | 2010-10-14 | 2016-04-19 | Rwth Aachen | Laser to chip coupler |
US8625937B2 (en) | 2011-06-30 | 2014-01-07 | Intel Corporation | Multimode optical coupler |
US9885832B2 (en) | 2014-05-27 | 2018-02-06 | Skorpios Technologies, Inc. | Waveguide mode expander using amorphous silicon |
US9977188B2 (en) | 2011-08-30 | 2018-05-22 | Skorpios Technologies, Inc. | Integrated photonics mode expander |
CN103998961A (zh) | 2011-09-29 | 2014-08-20 | 英特尔公司 | 用于平面光子电路的垂直光学耦合器 |
WO2013150337A1 (en) * | 2012-04-04 | 2013-10-10 | Frumkin Ted | Multi-taper optical coupler |
US9091827B2 (en) | 2012-07-09 | 2015-07-28 | Luxtera, Inc. | Method and system for grating couplers incorporating perturbed waveguides |
US9274275B2 (en) * | 2013-07-03 | 2016-03-01 | Cisco Technology, Inc. | Photonic integration platform |
US10782479B2 (en) * | 2013-07-08 | 2020-09-22 | Luxtera Llc | Method and system for mode converters for grating couplers |
WO2015134968A1 (en) * | 2014-03-07 | 2015-09-11 | Skorpios Technologies, Inc. | High-order-mode filter for semiconductor waveguides |
US9664855B2 (en) * | 2014-03-07 | 2017-05-30 | Skorpios Technologies, Inc. | Wide shoulder, high order mode filter for thick-silicon waveguides |
US10096971B2 (en) | 2014-06-26 | 2018-10-09 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Hybrid semiconductor lasers |
US9891383B2 (en) * | 2014-06-26 | 2018-02-13 | Alcatel Lucent | Monolithic silicon lasers |
WO2016145310A1 (en) * | 2015-03-12 | 2016-09-15 | Samtec, Inc. | Optical module including silicon photonics chip and coupler chip |
US9335480B1 (en) * | 2015-03-17 | 2016-05-10 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Optical alignment using multimode edge couplers |
US9502851B1 (en) | 2015-04-30 | 2016-11-22 | Xyratex Technology Limited | Waveguide amplification switch |
US10649148B2 (en) | 2017-10-25 | 2020-05-12 | Skorpios Technologies, Inc. | Multistage spot size converter in silicon photonics |
US10678004B2 (en) * | 2018-08-01 | 2020-06-09 | Lumentum Operations Llc | Multiple waveguide alignment |
US11360263B2 (en) | 2019-01-31 | 2022-06-14 | Skorpios Technologies. Inc. | Self-aligned spot size converter |
US10976496B2 (en) * | 2019-02-11 | 2021-04-13 | Poet Technologies, Inc. | Dual core waveguide |
US11275211B2 (en) * | 2019-06-18 | 2022-03-15 | Cisco Technology, Inc. | Fiber array unit with unfinished endface |
US20210181436A1 (en) * | 2019-12-11 | 2021-06-17 | Macom Technology Solutions Holdings, Inc. | Multi-tip waveguide coupler with improved alignment guidance |
US11585981B2 (en) * | 2020-04-15 | 2023-02-21 | Hirose Electric Co., Ltd. | Multi-mode waveguide system and connector for photonic integrated circuit |
US11212005B1 (en) | 2020-10-28 | 2021-12-28 | Nokia Solutions And Networks Oy | Bidirectional optical communication system employing hollow-core fiber |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2715478A1 (fr) * | 1994-01-27 | 1995-07-28 | Alcatel Nv | Transition de guide optique et procédé de sa réalisation. |
CN1142284A (zh) * | 1994-02-24 | 1997-02-05 | 英国电讯有限公司 | 半导体器件 |
CN1246928A (zh) * | 1997-02-07 | 2000-03-08 | 布克哈姆技术有限公司 | 楔状肋形波导 |
WO2003036346A1 (fr) * | 2001-10-24 | 2003-05-01 | Hitachi, Ltd. | Element de guide d'ondes optique et module optique |
CN1431530A (zh) * | 2003-01-13 | 2003-07-23 | 浙江大学 | 一种基于脊型光波导的多模干涉耦合器 |
US20040114869A1 (en) * | 2001-06-15 | 2004-06-17 | Fike Eugene E. | Mode converter including tapered waveguide for optically coupling photonic devices |
CN101055338A (zh) * | 2006-04-13 | 2007-10-17 | 中国科学院半导体研究所 | 一种集成有光场模斑变换器的波导光开关阵列及其方法 |
US20080002928A1 (en) * | 2006-06-05 | 2008-01-03 | Bing Li | Single mode photonic circuit architecture and a new optical splitter design based on parallel waveguide mode conversion |
US20090245728A1 (en) * | 2003-12-29 | 2009-10-01 | Matteo Cherchi | Optical coupling device |
JP2010054929A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Toshiba Corp | 光結合デバイス |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100333900B1 (ko) * | 1999-01-21 | 2002-04-24 | 윤종용 | 모드모양 변환기, 그 제작 방법 및 이를 구비한 집적광학 소자 |
US6580850B1 (en) * | 2000-11-24 | 2003-06-17 | Applied Wdm, Inc. | Optical waveguide multimode to single mode transformer |
US6788847B2 (en) * | 2001-04-05 | 2004-09-07 | Luxtera, Inc. | Photonic input/output port |
JP4188990B2 (ja) * | 2001-10-24 | 2008-12-03 | 株式会社日立製作所 | 光導波路部材及び光モジュール |
CA2668654A1 (en) * | 2006-11-21 | 2008-05-29 | Onechip Photonics Inc. | Integrated optics arrangement for wavelength (de)multiplexing in a multi-guide vertical stack |
US8041157B2 (en) * | 2007-03-26 | 2011-10-18 | Cornell University | Silicon integrated photonic optical parametric amplifier oscillator and wavelength converter |
-
2010
- 2010-03-29 US US12/749,196 patent/US8488923B2/en active Active
-
2011
- 2011-03-29 CN CN201180017329.3A patent/CN102844695B/zh active Active
- 2011-03-29 KR KR1020127028155A patent/KR101428352B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2011-03-29 BR BR112012023530A patent/BR112012023530A2/pt not_active IP Right Cessation
- 2011-03-29 JP JP2013501545A patent/JP2013524262A/ja active Pending
- 2011-03-29 WO PCT/US2011/030358 patent/WO2011126849A2/en active Application Filing
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
FR2715478A1 (fr) * | 1994-01-27 | 1995-07-28 | Alcatel Nv | Transition de guide optique et procédé de sa réalisation. |
CN1142284A (zh) * | 1994-02-24 | 1997-02-05 | 英国电讯有限公司 | 半导体器件 |
CN1246928A (zh) * | 1997-02-07 | 2000-03-08 | 布克哈姆技术有限公司 | 楔状肋形波导 |
US20040114869A1 (en) * | 2001-06-15 | 2004-06-17 | Fike Eugene E. | Mode converter including tapered waveguide for optically coupling photonic devices |
WO2003036346A1 (fr) * | 2001-10-24 | 2003-05-01 | Hitachi, Ltd. | Element de guide d'ondes optique et module optique |
CN1431530A (zh) * | 2003-01-13 | 2003-07-23 | 浙江大学 | 一种基于脊型光波导的多模干涉耦合器 |
US20090245728A1 (en) * | 2003-12-29 | 2009-10-01 | Matteo Cherchi | Optical coupling device |
CN101055338A (zh) * | 2006-04-13 | 2007-10-17 | 中国科学院半导体研究所 | 一种集成有光场模斑变换器的波导光开关阵列及其方法 |
US20080002928A1 (en) * | 2006-06-05 | 2008-01-03 | Bing Li | Single mode photonic circuit architecture and a new optical splitter design based on parallel waveguide mode conversion |
JP2010054929A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Toshiba Corp | 光結合デバイス |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104813204A (zh) * | 2013-11-13 | 2015-07-29 | 华为技术有限公司 | 波导结构、波导耦合结构、及制备方法 |
CN104813204B (zh) * | 2013-11-13 | 2018-06-26 | 华为技术有限公司 | 波导结构、波导耦合结构、及制备方法 |
CN107111056A (zh) * | 2014-11-11 | 2017-08-29 | 菲尼萨公司 | 两级绝热耦合的光子系统 |
WO2017054683A1 (en) * | 2015-10-02 | 2017-04-06 | Huawei Technologies Co., Ltd. | Optical coupling adaptor for optical signal coupling between photonic integrated circuit and optical fiber |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8488923B2 (en) | 2013-07-16 |
JP2013524262A (ja) | 2013-06-17 |
KR20130018804A (ko) | 2013-02-25 |
BR112012023530A2 (pt) | 2016-07-26 |
US20110235968A1 (en) | 2011-09-29 |
WO2011126849A3 (en) | 2012-03-22 |
WO2011126849A2 (en) | 2011-10-13 |
KR101428352B1 (ko) | 2014-08-13 |
CN102844695B (zh) | 2015-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN102844695B (zh) | 多模光耦合器接口 | |
US10168481B2 (en) | Method and system for grating couplers incorporating perturbed waveguides | |
Kopp et al. | Silicon photonic circuits: on-CMOS integration, fiber optical coupling, and packaging | |
US8923664B2 (en) | Method and system for multi-mode integrated receivers | |
CN211928243U (zh) | 一种半导体光耦合结构和硅光集成芯片 | |
WO2014093616A4 (en) | Fiber optic coupler array | |
CN104459881A (zh) | 偏振不敏感的波分复用型硅基光接收芯片 | |
Yao et al. | Grating-coupler based low-loss optical interlayer coupling | |
Snyder et al. | Packaging and assembly challenges for 50G silicon photonics interposers | |
Picard et al. | Novel spot-size converter for optical fiber to sub-μm silicon waveguide coupling with low loss, low wavelength dependence and high tolerance to alignment | |
US10782479B2 (en) | Method and system for mode converters for grating couplers | |
CN102866461A (zh) | 光子芯片与光纤的耦合方法 | |
Shen et al. | Silicon photonic integrated circuits and its application in data center | |
Hasegawa et al. | 32-port 5.5%-Δ silica-based connecting device for low-loss coupling between SMFs and silicon waveguides | |
Shikama et al. | Multicore-fiber receptacle with compact fan-in/fan-out device for SDM transceiver applications | |
Zhu et al. | Efficient silicon integrated four-mode edge coupler for few-mode fiber coupling | |
CN101741475B (zh) | 用于光纤到户的平面光波导型单纤三向复用器 | |
Amano et al. | Polymer Waveguide-coupled Co-packaged Silicon Photonics-die Embedded Package Substrate | |
CN201654271U (zh) | 用于光纤到户的平面光波导型单纤三向复用器 | |
CN113406751B (zh) | 一种850nm波段的光纤与波导耦合模斑转换器 | |
Romero-García et al. | Misalignment tolerant couplers for hybrid integration of semiconductor lasers with silicon photonics parallel transmitters | |
Takahashi et al. | 4-Core Fiber Narrow Pitch Fanout Comprised of Tapered High-Δ MCF | |
Krishna et al. | Polymer waveguide photonic interconnect for multichip communications-based heterogeneous integration | |
EP4273600A1 (en) | Integrated optical transceiver and optical line terminal | |
Ku et al. | Cascade of two opposite tapers for butt-coupling between fibers and silicon photonic wires with large misalignment tolerance and low polarization dependency |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant |