CN102838298B - 一种大面积玻璃镀膜调试片载体 - Google Patents

Abstract

本发明涉及磁控溅射镀膜设备技术领域，尤其涉及一种大面积玻璃镀膜调试片载体；本发明包括底座和靠背，所述底座和靠背的侧面为L形，而且底座和靠背由具有一定性能的材质制成；本发明在满足设备要求的情况下，不仅方便搬运、传动、镀膜时不容易破碎，而且能大大节约企业成本。

Description

一种大面积玻璃镀膜调试片载体

技术领域

本发明涉及磁控溅射镀膜设备技术领域，尤其涉及一种大面积玻璃镀膜调试片载体。

背景技术

磁控溅射镀膜设备的传动辊是水平的，相邻两根传动辊中心之间的距离是30cm，靶材溅射的有效宽度是3300mm，这样传动辊中心之间的距离和溅射的宽度决定了最小均匀性调试片的宽度和长度。现在的均匀性调试片，一般长宽规格尺寸是750*3300mm。

为什么要用到这种均匀性调试片呢？这主要是用来调试不同膜系产品的颜色均匀性。磁控溅射能镀在玻璃上面的有效宽度是3300mm，为了要使每个膜系产品都能达到这种均匀性宽度，就需要用均匀性调试片来调试，把镀在3300mm宽的玻璃上的每一层膜层厚度调成基本一致，这样镀膜玻璃的颜色才能均匀，而不会出现颜色差别，才能达到生产要求。

由于设备的特点而使均匀性调试片的规格尺寸定在750mm*3300mm，而实际上，通过在线光度计测量均匀性的颜色值，只需要150mm*3300mm尺寸的玻璃就可以测试出来，但是传动辊中心之间的距离有300mm，那如果玻璃尺寸是150mm*3300mm是不能放在传动辊上，是会直接掉下来的，那玻璃长为800mm只是为了在传动台上传动，而不至于因玻璃长宽太小而在传动台上掉下或者传动时颠簸。所以，750mm*3300mm只是为了满足传动要求，而不是满足测量要求，玻璃只要150mm*3300mm就能满足测量要求。

因为均匀性调试片镀膜只能用一次，镀完膜后，调试片就报废掉了，每次调试所用的调试片面积为S=0.8*3.3=2.64平米，这样对于材料是相当大的浪费，增加了生产成本。

为了实现减少均匀性调试片的用量，把调试片尺寸改小且能够满足测量要求就可以，而改小后的均匀性调试片是没法在传动辊上传动，这就需要发明一种镀膜可以循环利用的载体，把改小后的均匀性调试片放在上面即可。

发明内容

针对上述现有技术的不足，本发明的目的在于提供了一种大面积玻璃镀膜调试片载体；该载体在满足设备要求的情况下，不仅方便搬运、传动、镀膜时不容易破碎，而且能大大节约企业成本。

为了实现上述目的，本发明的技术方案如下：

一种大面积玻璃镀膜调试片载体，包括底座和靠背，所述载体的侧面为L形；所述底座和靠背长度尺寸相同，所述底座宽度尺寸较靠背宽度尺寸大175～200mm；

所述载体的材质具有如下性能：

a、可以循环利用，b、能耐150℃以下的真空室温度，c、不会变形，d、制作成本低，e、不能释放出气体，影响到真空度，f、便于操作，g、在线光度计可以自动测量。

其中所述底座和靠背一体成型。

所述底座和靠背也可以分别由两部分组成，较佳地，所述底座长宽的尺寸为3300mm*750mm，所述靠背长宽的尺寸为3300mm*550mm。

较佳地，所述底座高的尺寸为5mm，所述靠背高的尺寸为5mm。

较佳地，所述底座和靠背的材质为玻璃。

较佳地，所述玻璃是应力为35～48MPa的半钢化玻璃。

较佳地，所述底座和靠背之间还有一夹层。

较佳地，所述夹层为聚乙烯醇缩丁醛层（PVB）。

较佳地，所述聚乙烯醇缩丁醛层的长宽高尺寸为3300mm*550mm*1.14mm。

本发明载体的这种结构，主要是为了可以将均匀性调试片尺寸改小为350mm*3300mm，调试片能放在载体上即可，只要露出来夹层的部份有150*3300，光度计就可以自动测量。

载体的使用，节约了工业生产中大面积玻璃镀膜用的调试片面积，从而节约了调试片的使用成本；实现节约企业成本的最终目标。均匀性调试片由原来面积为S=0.8*3.3=2.64平米，改小到面积为S=0.35*3.3=1.155平米，经估算，镀膜因此每个月减少的玻璃调试片面积约为2500平米，一年节约面积约为3万平米，按6MM厚度的玻璃价格计算（因镀膜调试片常规是用6MM厚度作调试），一年节约成本约为=30*3=90万。

本发明选用了可以循环利用、能耐150℃以下的真空室温度、不会变形、制作成本低、不能释放出气体，影响到真空度、便于操作、在线光度计可以自动测量的载体材料，其中优选半钢化玻璃，是为了增强玻璃的机械强度，使之在搬运、传动、镀膜时不容易破碎，然后做成夹层，是防止玻璃在真空室内破碎，即使破碎夹层玻璃也会粘在一起，不会卡死在真空室内，不会造成(真空室还要处理破碎的玻璃麻烦。

另外做成夹层玻璃更便于工人操作，只要直接将350mm*3300mm的玻璃直接放在上面就可以，对位十分方便。

附图说明

图1、本发明俯视图；

图2、本发明侧视图；

图3、本发明使用状态的侧视图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。

见图1、2、3，一种大面积玻璃镀膜调试片载体，包括底座2和靠背1，所述底座2和靠背1的侧面为L形，底座2和靠背1由半钢化玻璃制成，底座2和靠背1之间架设有长宽高尺寸为3300mm*550mm*1.14mm的聚乙烯醇缩丁醛层3，所述底座2长宽的尺寸为3300mm*750mm，所述靠背1长宽的尺寸为3300mm*550mm。

具体操作为：将长宽规格为550mm*3300mm，750mm*3300mm两片不同规格的玻璃，先对四周做磨边处理，然后经过钢化加工做成半钢化，再做成夹层玻璃，这样载体就做成。均匀性调试片尺寸则可以改小为350mm*3300mm，将调试片4放在载体上即可，露出夹层的部分有150mm*3300mm，光度计可以自动测量。

上述实施例，只是本发明的较佳实施例，并非用来限制本发明实施范围，故凡以本发明权利要求所述的构造、特征及原理所做的等效变化或修饰，均应包括在本发明权利要求范围之内。

Claims (7)

1.一种大面积玻璃镀膜调试片载体，包括底座和靠背，所述载体的侧面为L形；其特征在于：

所述底座和靠背长度尺寸相同，所述底座宽度尺寸较靠背宽度尺寸大200mm；所述底座和靠背一体成型，所述底座和靠背分别由两部分组成，所述底座长宽的尺寸为3300mm*750mm，所述靠背长宽的尺寸为3300mm*550mm，所述底座高的尺寸为5～6mm，所述靠背高的尺寸为5～6mm；

所述载体具有能耐150℃以下的真空室温度，不释放气体，在线光度计可以自动测量的性能。

2.根据权利要求1所述的大面积玻璃镀膜调试片载体，其特征在于：所述底座和靠背的材质为玻璃。

3.根据权利要求2所述的大面积玻璃镀膜调试片载体，其特征在于：所述玻璃为半钢化玻璃。

4.根据权利要求3所述的大面积玻璃镀膜调试片载体，其特征在于：所述半钢化玻璃的应力为35～48MPa。

5.根据权利要求1所述的大面积玻璃镀膜调试片载体，其特征在于：所述底座和靠背之间还有一夹层。

6.根据权利要求5所述的大面积玻璃镀膜调试片载体，其特征在于：所述夹层为聚乙烯醇缩丁醛层。

7.根据权利要求6所述的大面积玻璃镀膜调试片载体，其特征在于：所述聚乙烯醇缩丁醛层的长宽高尺寸为3300mm*550mm*1.14mm。