CN102736152A - 一种偶次级透射光栅 - Google Patents
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Abstract
本发明属于衍射光学元件技术领域,公开了一种偶次级透射光栅,当光线为可见光应用波段时,其含有透光衬底,还包括镀在透光衬底上的不透光金属薄膜;所述不透光金属薄膜上分布有若干周期排列的透光栅线组,每个透光栅线组均含有若干指定宽度和长度的透光栅线条,将所述透光栅线条方向取为Y方向,垂直于所述透光栅线条方向取为X方向;其中,所述周期排列的具体方式为:每隔Y方向上的一个透光栅线组,下一组透光栅线组的各透光栅线条均沿着X方向平移半个光栅周期。本发明在不增加光栅线密度的情况下,可将光栅的色散能力提高一倍,突破了现有微细加工工艺对于光栅色散能力的限制,提高了X射线透射光栅在光谱学应用中的性能。
Description
技术领域
本发明属于衍射光学元件技术领域,特别涉及一种偶次级透射光栅。
背景技术
目前,在X射线透射光栅的应用中,一般希望获得较高的色散能力。对于光谱学应用,高的色散能力意味着不同波长的光被分开的角度更大,从而有利于设计更紧凑的光谱仪,并有助于提高光谱仪的分辨率。
其中,k是光栅衍射的级数,d是光栅周期,θk是相应的色散角。可以看到,当光栅的周期d减小时,光栅的色散能力相应地成反比例增加。实际上,这正是在X射线透射光栅领域不断提高光栅线密度的主要动力。在现有技术中,为了提高光栅的色散性能,提高分辨率,通常采用提高普通光栅的线密度,虽然可以提高光栅的色散能力,但这样极大的增加了微细加工工艺的难度和成本。
发明内容
本发明为了解决现有技术中存在的问题,特别提出一种偶次级透射光栅的设计方法,突破现有技术中细微加工工艺对于光栅色散能力的限制,有效提高X射线透射光栅在光谱学应用中的性能。
本发明详细技术方案如下:
一种偶次级透射光栅,当光线为可见光应用波段时,其含有透光衬底,还包括镀在透光衬底上的不透光金属薄膜;
所述不透光金属薄膜上分布有若干周期排列的透光栅线组,每个透光栅线组均含有若干指定宽度和长度的透光栅线条,其中,各透光栅线条的宽度和长度均相等,将所述透光栅线条方向取为Y方向,垂直于所述透光栅线条方向取为X方向;
其中,所述周期排列的具体方式为:每隔Y方向上的一个透光栅线组,下一组透光栅线组的各透光栅线条均沿着X方向平移半个光栅周期。
较佳地,所述透光衬底的材料为熔石英、玻璃或聚酰亚胺。
其中,所述光栅的占宽比为0.25或0.75,且各透光栅线条Y方向周期长度至少应该小于所述光线直径的五分之一。
较佳地,所述不透光金属薄膜的材料为金属铬、金、银、铝或铜。
较佳地,所述不透光金属薄膜的厚度为100-300nm。
一种偶次级透射光栅,当光线为紫外线波段或X射线波段时,其含有无衬底的自支撑结构,还包括镀在自支撑结构薄膜上的不透光金属薄膜;
所述不透光金属薄膜上分布有若干周期排列的透光栅线组,每个透光栅线组均含有若干指定宽度和长度的透光栅线条,其中,各透光栅线条的宽度和长度均相等,将所述透光栅线条方向取为Y方向,垂直于所述透光栅线条方向取为X方向;
其中,所述周期排列的具体方式为:每隔Y方向上的一个透光栅线组,下一组透光栅线组的各透光栅线条均沿着X方向平移半个光栅周期。
较佳地,所述自支撑结构薄膜的材料为熔石英、玻璃或聚酰亚胺。
其中,所述光栅的占宽比为0.25或0.75,且各透光栅线条Y方向周期长度至少应该小于所述光线直径的五分之一。
较佳地,所述不透光金属薄膜的材料为金。
较佳地,所述不透光金属薄膜的厚度至少为200nm。
从上述技术方案可以看出,相对于现有技术,本发明具有以下有益效果:
1.相对于普通的透射光栅,偶级次透射光栅具有增强的二级衍射效率,并且其一级衍射与二级衍射不在同一平面中,从而不会对二级衍射形成干扰。
2.利用该光栅的二级衍射,在不增加光栅线密度的情况下,可将光栅的色散能力提高一倍,因此突破现有的微细加工工艺对于光栅色散能力的限制,提高X射线透射光栅在光谱学应用中的性能。
附图说明
图1为本发明实施例中偶级次透射光栅的示意图;
图2为本发明实施例中偶级次透射光栅的衍射实验结果示意图。
具体实施方式
为使本发明的目的、具体方案和优点更加清晰,以下结合具体实施例,并参照附图,对本发明进一步详细说明。
一种偶次级透射光栅,当光线为可见光应用波段时,其含有透光衬底,还包括镀在透光衬底上的不透光金属薄膜;
所述不透光金属薄膜上分布有若干周期排列的透光栅线组,每个透光栅线组均含有若干指定宽度和长度的透光栅线条,将所述透光栅线条方向取为Y方向,垂直于所述透光栅线条方向取为X方向;
其中,所述周期排列的具体方式为:每隔Y方向上的一个透光栅线组,下一组透光栅线组的各透光栅线条均沿着X方向平移半个光栅周期。被平移的光栅区域内,其透光波前沿着偶数级衍射的方向位相变化为π的偶数倍,等效于位相没有变化;但是沿着原来的奇数级衍射方向,其波前的位相却变化了π的奇数倍,从而与未平移部分的波前完全抵消。于是在原有的衍射平面中,奇数级衍射消失,而偶数级衍射的强度以及衍射效率与平移前相同。从而得到偶次级透射光栅。
其中,所述透光衬底的材料为熔石英、玻璃或聚酰亚胺。
其中,所述光栅的占宽比为0.25或0.75。
其中,所述不透光金属薄膜的材料为金属铬、金、银、铝或铜。
其中,所述不透光金属薄膜的厚度为100-300nm。如果在可见光波段,选用所述五种金属的厚度大于100nm即可,厚度和所选用材料的不同对可见光的影响较小。
下面通过一个具体的例子对本发明进一步详细说明。
当入射光波长为355nm,偶次级透射光栅的透光衬底的材料采用石英,不透光金属薄膜的材料为采用金属铬,其厚度为120nm。上述不透光金属薄膜材料上分布有一系列周期排列的透光栅线条,透光栅线条的宽度和分布位置设计参数如下:其中光栅的参数为X方向周期为6μm,X方向周期在图1中的表现为:一个白色栅线条的宽度+两个白色栅线条之间的黑色部分宽度,即为一个X方向的周期;Y方向周期为100μm,光栅的面积为1cm×1cm,其中,各透光栅线条Y方向周期长度至少应该小于照明光源直径大小的五分之一。由于从制作工艺角度出发,光栅的占宽比为0.75的结构更加容易制作,所以此处我们采用0.75的占宽比。其中,光栅的占宽比指的是X方向的周期乘以0.75或乘以0.25,这里指的即6μm*0.75。此外,每隔Y方向上的一个透光栅线组,下一组透光栅线组的各透光栅线条均沿着X方向平移半个光栅周期。其中,具体制作方法可采用普通的接触式光学曝光方法和湿法刻蚀技术,由于其均为现有技术,在此不再赘述。
相对于现有技术,本发明具有以下有益效果:
1、相对于普通的透射光栅,偶级次透射光栅具有增强的二级衍射效率,并且其一级衍射与二级衍射不在同一平面中,从而不会对二级衍射形成干扰。
2、利用该光栅的二级衍射,在不增加光栅线密度的情况下,可将光栅的色散能力提高一倍,因此突破现有的微细加工工艺对于光栅色散能力的限制,提高X射线透射光栅在光谱学应用中的性能。
参照图1,图1为本发明实施例中偶级次透射光栅的示意图,白色部分为透光栅线条,黑色部分为不透光金属薄膜。
参照图2,图2为本发明实施例中偶级次透射光栅的偶级次衍射实验结果图,其中,若m为普通透射光栅的衍射几次,当m为偶数时,衍射峰仅出现在x轴上,与传统透射光栅的衍射特点相同;当m为奇数时,相应存在一系列衍射峰沿着y方向分布,可将这些峰看作是传统透射光栅m级衍射所分裂成的子峰。当且仅当n为奇数时,这些子峰的振幅不为零。特别地,对于x轴上的位置,即当m为奇数,n=0,衍射峰的振幅为0。这表明,对应于传统光栅的奇数次衍射,偶级透射光栅将其分裂为一系列子峰,且这些子峰都偏离中心衍射平面。因此,沿着x轴只能探测到偶数级衍射,从而严格验证了设计思想。
一种偶次级透射光栅,当光线为紫外线波段或X射线波段时,其含有无衬底的自支撑结构,还包括镀在自支撑结构薄膜上的不透光金属薄膜;
所述不透光金属薄膜上分布有若干周期排列的透光栅线组,每个透光栅线组均含有若干指定宽度和长度的透光栅线条,将所述透光栅线条方向取为Y方向,垂直于所述透光栅线条方向取为X方向;
其中,所述周期排列的具体方式为:每隔Y方向上的一个透光栅线组,下一组透光栅线组的各透光栅线条均沿着X方向平移半个光栅周期。
其中,所述自支撑结构薄膜的材料为熔石英、玻璃或聚酰亚胺。
其中,所述光栅的占宽比为0.25或0.75;较佳的,占宽比选择为0.75,且各透光栅线条Y方向周期长度至少应该小于所述光线直径的五分之一。
其中,所述不透光金属薄膜的材料为金。
其中,所述不透光金属薄膜的厚度至少为200nm,因为X射线和极紫外光的穿透能力较强,所以只能选用金作为薄膜材料,厚度应该大于200nm才能保证完全吸收,但厚度对光的调制效果没有明显的影响。但需要注意的是,所述不透光金属薄膜的厚度越厚,则制作工艺越复杂,本实施例中优选其厚度为200nm。
具体地,如果偶次级透射光栅应用于X射线波段或极紫外波段,由于衬底对X射线或极紫外光的吸收,偶次级透射光栅需要制作为没有衬底的自支撑结构,即只有不透光的金属薄膜,金属薄膜下面没有任何的支撑衬底,然后在此金属薄膜上面制备出透光的矩形透光线条。因为考虑到X射线和极紫外光的穿透能力较强,铬、银、铝或铜金属薄膜在300nm厚时也很难完全吸收X射线和极紫外光,所以只能选用金为薄膜材料,所设计参数为金薄膜厚度为300nm,栅线X方向周期为500nm,所以栅线的宽度为500nm*0.75或500nm*0.25,优选宽度为500nm*0.75;因为X射线照明光源直径为1mm,所以Y方向周期为1mm*0.05,为光源直径的二十分之一。
下面详细一种自支撑偶次级透射光栅的制作方法,需要说明的是,制作方法为本领域公知技术,并不限于下述方法。
首先,在硅衬底上旋涂1-2μm厚的聚酰亚胺,经过热处理形成薄膜,利用湿法腐蚀将硅片背部腐蚀出一个窗口,得到自支撑聚酰亚胺薄膜窗口,此处自支撑聚酰亚胺薄膜即为前述的自支撑结构薄膜。
然后,在聚酰亚胺薄膜上蒸发5-10nm的金,作为电镀时的导电层;
旋涂300-400nm厚的正性电子束抗蚀剂,热处理后利用电子束直写技术,显影后制作出偶级次光栅线条的抗蚀剂图形;
微电镀技术将金转移到栅线条中,然后去除电子束抗蚀剂;
旋涂2-3μm 厚UV光刻胶,热处理后利用接触式光刻,对光栅图形区以外进行套刻,显影之后电镀,并去除光刻胶;
利用反应离子刻蚀技术,刻蚀去除聚酰亚胺薄膜,得到应用于X射线波段或极紫外波段的自支撑偶次级透射光栅。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已,并非用于限定本发明的保护范围。凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种偶次级透射光栅,其特征在于,当光线为可见光应用波段时,其含有透光衬底,还包括镀在透光衬底上的不透光金属薄膜;
所述不透光金属薄膜上分布有若干周期排列的透光栅线组,每个透光栅线组均含有若干指定宽度和长度的透光栅线条,将所述透光栅线条方向取为Y方向,垂直于所述透光栅线条方向取为X方向;
其中,所述周期排列的具体方式为:每隔Y方向上的一个透光栅线组,下一组透光栅线组的各透光栅线条均沿着X方向平移半个光栅周期。
2.根据权利要求1所述的光栅,其特征在于,所述透光衬底的材料为熔石英、玻璃或聚酰亚胺。
3.根据权利要求1所述的光栅,其特征在于,所述光栅的占宽比为0.25或0.75,且各透光栅线条Y方向周期长度至少应该小于所述光线直径的五分之一。
4.根据权利要求1至3任一所述的光栅,其特征在于,所述不透光金属薄膜的材料为金属铬、金、银、铝或铜。
5.根据权利要求4所述的光栅,其特征在于,所述不透光金属薄膜的厚度为100-300nm。
6.一种偶次级透射光栅,其特征在于,当光线为紫外线波段或X射线波段时,其含有无衬底的自支撑结构,还包括镀在自支撑结构薄膜上的不透光金属薄膜;
所述不透光金属薄膜上分布有若干周期排列的透光栅线组,每个透光栅线组均含有若干指定宽度和长度的透光栅线条,将所述透光栅线条方向取为Y方向,垂直于所述透光栅线条方向取为X方向;
其中,所述周期排列的具体方式为:每隔Y方向上的一个透光栅线组,下一组透光栅线组的各透光栅线条均沿着X方向平移半个光栅周期。
7.根据权利要求6所述的光栅,其特征在于,所述自支撑结构薄膜的材料为熔石英、玻璃或聚酰亚胺。
8.根据权利要求6所述的光栅,其特征在于,所述光栅的占宽比为0.25或0.75,且各透光栅线条Y方向周期长度至少小于所述光线直径的五分之一。
9.根据权利要求6至8任一所述的光栅,其特征在于,所述不透光金属薄膜的材料为金。
10.根据权利要求9所述的光栅,其特征在于,所述不透光金属薄膜的厚度至少为200nm。
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