CN102720786A - 多自由度电磁阻尼器 - Google Patents

多自由度电磁阻尼器 Download PDF

Info

Publication number
CN102720786A
CN102720786A CN2012102355324A CN201210235532A CN102720786A CN 102720786 A CN102720786 A CN 102720786A CN 2012102355324 A CN2012102355324 A CN 2012102355324A CN 201210235532 A CN201210235532 A CN 201210235532A CN 102720786 A CN102720786 A CN 102720786A
Authority
CN
China
Prior art keywords
permanent magnet
excitation unit
strip permanent
polylith
elementary
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2012102355324A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102720786B (zh
Inventor
寇宝泉
张赫
金银锡
张鲁
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Harbin Institute of Technology
Original Assignee
Harbin Institute of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Harbin Institute of Technology filed Critical Harbin Institute of Technology
Priority to CN201210235532.4A priority Critical patent/CN102720786B/zh
Publication of CN102720786A publication Critical patent/CN102720786A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102720786B publication Critical patent/CN102720786B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Vibration Prevention Devices (AREA)

Abstract

多自由度电磁阻尼器，属于电机技术领域。它解决了现有电磁阻尼器的阻尼力波动大及产生的阻尼力分布不对称的问题。该阻尼器主要由初级和次级构成，初级主要由低电阻率非磁性金属板构成，次级为双边次级，双边次级对称分布在初级的上、下两侧，初级与双边次级之间为两个气隙；每边次级主要由轭板、(n+1)组X向励磁单元与n组Y向励磁单元构成，n为正整数，X向励磁单元或Y向励磁单元由多块长条形永磁体构成，永磁体沿同向依次均匀排列在平板形的轭板上，充磁方向为垂直于气隙所在平面的方向，每相邻两块永磁体的充磁方向相反，初级金属板两侧对应的双边次级上永磁体的充磁方向相同。本发明适用于电磁阻尼器。

Description

多自由度电磁阻尼器
技术领域
本发明涉及一种多自由度电磁阻尼器，属于电机技术领域。
背景技术
在光刻机装置中，存在较多的运动部件，如掩模台动子、硅片台动子以及平衡质量块等，为了减小在运动部件运动过程中的振动以及为了快速衰减不希望出现的多余运动，通常需要电磁阻尼器。在其它运动控制领域中，为了快速衰减两个运动体之间的运动，也可以采用电磁阻尼器。
电磁阻尼器通常由能够产生磁场的永磁体或电磁铁与具有良好导电性的导体板构成，当二者之间存在相对运动时，会在导体板中感应涡流。涡流与永磁体磁场之间相互作用，会产生阻碍二者相对运动的电磁力。该电磁力大小与在导体板中耗散的电功率成正比，是一种制动性质的作用力。电磁阻尼器可同时适用于旋转运动装置以及直线运动装置，产生制动力，或衰减轴向及径向振动。现有电磁阻尼器由于存在阻尼力波动大及产生的阻尼力分布不对称的缺陷，使得控制精度差。
发明内容
本发明是为了解决现有电磁阻尼器的阻尼力波动大及产生的阻尼力分布不对称的问题，提供一种多自由度电磁阻尼器。
本发明的第一种技术方案：
多自由度电磁阻尼器，它包括初级和两个次级，所述初级为低电阻率非磁性金属板，两个次级呈对称分布在初级的两侧，每个次级与初级之间形成气隙，
每个次级包括次级轭板、n+1组X向励磁单元和n组Y向励磁单元，n为正整数，
n+1组X向励磁单元和n组Y向励磁单元依次相间隔等间距排布在次级轭板上，每组X向励磁单元由多块长条形永磁体构成，该多块长条形永磁体在次级轭板上同方向等间隔均匀排列，每组Y向励磁单元由多块长条形永磁体构成，该多块长条形永磁体在次级轭板上同方向等间隔均匀排列，Y向励磁单元的多块长条形永磁体的排列方向与X向励磁单元的多块长条形永磁体的排列方向互相垂直，
次级轭板上沿n+1组X向励磁单元和n组Y向励磁单元的排布方向作为长度方向，初级的长度方向与次级轭板的长度方向相同，初级的长度为A，次级轭板上沿长度方向两端的X向励磁单元的长条形永磁体的外端面之间的距离为B，A大于B，初级的宽度大于次级轭板宽度方向上最外端长条形永磁体的外端面之间的距离，X向励磁单元的相邻长条形永磁体之间的极距或Y向励磁单元的相邻长条形永磁体之间的极距均大于两个次级的长条形永磁体气隙面之间的距离；
所有长条形永磁体的充磁方向均垂直于次级轭板，n+1组X向励磁单元的充磁方向相同，n组Y向励磁单元的充磁方向相同，X向励磁单元的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，Y向励磁单元的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，两个次级上相对应的长条形永磁体的充磁方向相同，所有长条形永磁体充磁方向的厚度均大于两个次级的长条形永磁体气隙面之间的距离的二分之一。
所述X向励磁单元的多块长条形永磁体沿次级轭板的长度方向或宽度方向排列。
所述X向励磁单元的多块长条形永磁体沿次级轭板的长度方向排列，该每块长条形永磁体沿其长度方向由三段永磁体纵向分段组成，三段永磁体纵向分段之间间距相等；Y向励磁单元的多块长条形永磁体沿次级轭板的宽度方向排列，该每块长条形永磁体沿其长度方向由两段永磁体横向分段组成，两段永磁体横向分段之间具有间距。
X向励磁单元的相邻长条形永磁体之间或Y向励磁单元的相邻长条形永磁体之间均安装有辅助长条形永磁体，该辅助长条形永磁体沿初级与次级的相对运动方向平行充磁，该辅助长条形永磁体的充磁方向与其所接触次级轭板中磁力线的方向相同。
本发明的第二种技术方案：
一种多自由度电磁阻尼器，它包括初级和两个次级，所述初级为低电阻率非磁性金属板，两个次级呈对称分布在初级的两侧，每个次级与初级之间形成气隙，
每个次级包括次级轭板、n+1组X向励磁单元和n组Y向励磁单元，n为正整数，所述次级轭板由非磁性材料制成，
n+1组X向励磁单元和n组Y向励磁单元依次相间隔等间距排布在次级轭板上，每组X向励磁单元由多块长条形永磁体和多块聚磁体构成，该多块长条形永磁体和多块聚磁体在次级轭板上同方向相间隔紧密排列，每组Y向励磁单元由多块长条形永磁体和多块聚磁体构成，该多块长条形永磁体和多块聚磁体在次级轭板上同方向相间隔紧密排列，Y向励磁单元的多块长条形永磁体的排列方向与X向励磁单元的多块长条形永磁体的排列方向互相垂直，
次级轭板上沿n+1组X向励磁单元和n组Y向励磁单元的排布方向作为长度方向，初级的长度方向与次级轭板的长度方向相同，初级的长度为A，次级轭板上沿长度方向两端的X向励磁单元的长条形永磁体的外端面之间的距离为B，A大于B，初级的宽度大于次级轭板宽度方向上最外端长条形永磁体的外端面之间的距离，X向励磁单元的相邻长条形永磁体之间的极距或Y向励磁单元的相邻长条形永磁体之间的极距均大于两个次级的长条形永磁体气隙面之间的距离；
所有长条形永磁体沿初级与次级的相对运动方向平行充磁，X向励磁单元的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，Y向励磁单元的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，两个次级上相对应的长条形永磁体的充磁方向相反，次级轭板所有长条形永磁体充磁方向的长度均大于两个次级的长条形永磁体气隙面之间的距离的二分之一。
所述X向励磁单元的多块长条形永磁体与多块聚磁体沿次级轭板的长度方向或宽度方向排列。
本发明的第三种技术方案：
多自由度电磁阻尼器，它包括两个初级和次级，其特征在于：两个初级呈对称分布在次级的两侧，每个初级与次级之间形成气隙，所述每个初级由低电阻率非磁性金属板和初级轭板组成，低电阻率非磁性金属板粘贴固定在初级轭板的气隙侧表面上，
次级包括次级基板，次级基板的两个气隙侧表面分别设置n+1组X向励磁单元和n组Y向励磁单元，n为正整数，
次级基板的每个气隙侧表面上依次相间隔排布n+1组X向励磁单元和n组Y向励磁单元，每组X向励磁单元由多块长条形永磁体和多块聚磁体构成，该多块长条形永磁体和多块聚磁体在次级轭板上同方向相间隔紧密排列，每组Y向励磁单元由多块长条形永磁体和多块聚磁体构成，该多块长条形永磁体和多块聚磁体在次级轭板上同方向相间隔紧密排列，Y向励磁单元的多块长条形永磁体的排列方向与X向励磁单元的多块长条形永磁体的排列方向互相垂直，
次级基板上沿n+1组X向励磁单元和n组Y向励磁单元的排布方向作为长度方向，初级的长度方向与次级基板的长度方向相同，所述X向励磁单元的多块长条形永磁体与多块聚磁体沿次级基板的长度方向或宽度方向排列；所有长条形永磁体沿初级与次级的相对运动方向平行充磁，X向励磁单元的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，Y向励磁单元的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，次级基板的两个气隙侧表面上相对应的长条形永磁体的充磁方向相同。
本发明的优点是：本发明所述的多自由度电磁阻尼器能够产生三维空间内X向、Y向的阻尼力以及绕Z轴的阻尼转矩，其初级导体板的发热均匀、对称，使得导体板变形小；本发明能够产生的阻尼力大，并且该阻尼力分布对称，波动小，且不产生附加的偏转转矩，从而控制精度高。
本发明可以产生与运动方向相反的阻尼力；通过优化设计，可以得到所需要的阻尼特性；本发明的电磁阻尼器结构简单、可靠性高，不需要主动控制。
附图说明
图1为实施方式二的结构示意图，其X向励磁单元的多块长条形永磁体沿次级轭板的长度方向排列；
图2为图1中次级的结构示意图；
图3为实施方式二的结构示意图，其X向励磁单元的多块长条形永磁体沿次级轭板的宽度方向排列；
图4为图3中次级的结构示意图；
图5为实施方式三的结构示意图；
图6为实施方式四的结构示意图；
图7为实施方式五的结构示意图；
图8为实施方式六的结构示意图，其X向励磁单元的多块长条形永磁体沿次级轭板的长度方向排列；
图9为图8中次级的结构示意图；
图10为实施方式八的结构示意图，其X向励磁单元的多块长条形永磁体沿次级轭板的长度方向排列；
图11为图10中次级的结构示意图。
具体实施方式
具体实施方式一：下面结合图1至图4说明本实施方式，本实施方式所述多自由度电磁阻尼器，它包括初级1和两个次级2，所述初级1为低电阻率非磁性金属板，两个次级2呈对称分布在初级1的两侧，每个次级2与初级1之间形成气隙，
每个次级2包括次级轭板2-1、n+1组X向励磁单元2-2和n组Y向励磁单元2-3，n为正整数，
n+1组X向励磁单元2-2和n组Y向励磁单元2-3依次相间隔等间距排布在次级轭板2-1上，每组X向励磁单元2-2由多块长条形永磁体构成，该多块长条形永磁体在次级轭板2-1上同方向等间隔均匀排列，每组Y向励磁单元2-3由多块长条形永磁体构成，该多块长条形永磁体在次级轭板2-1上同方向等间隔均匀排列，Y向励磁单元2-3的多块长条形永磁体的排列方向与X向励磁单元2-2的多块长条形永磁体的排列方向互相垂直，
次级轭板2-1上沿n+1组X向励磁单元2-2和n组Y向励磁单元2-3的排布方向作为长度方向，初级1的长度方向与次级轭板2-1的长度方向相同，初级1的长度为A，次级轭板2-1上沿长度方向两端的X向励磁单元2-2的长条形永磁体的外端面之间的距离为B，A大于B，初级1的宽度大于次级轭板2-1宽度方向上最外端长条形永磁体的外端面之间的距离，X向励磁单元2-2的相邻长条形永磁体之间的极距或Y向励磁单元2-3的相邻长条形永磁体之间的极距均大于两个次级2的长条形永磁体气隙面之间的距离；
所有长条形永磁体的充磁方向均垂直于次级轭板2-1，n+1组X向励磁单元2-2的充磁方向相同，n组Y向励磁单元2-3的充磁方向相同，X向励磁单元2-2的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，Y向励磁单元2-3的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，两个次级2上相对应的长条形永磁体的充磁方向相同，所有长条形永磁体充磁方向的厚度均大于两个次级2的长条形永磁体气隙面之间的距离的二分之一。
图1至图4中所体现的均为2组X向励磁单元2-2和1组Y向励磁单元2-3，图1和图2中X向励磁单元2-2由6块长条形永磁体构成，Y向励磁单元2-3由12块长条形永磁体构成；图3和图4中X向励磁单元2-2由12块长条形永磁体构成，Y向励磁单元2-3由6块长条形永磁体构成。
具体实施方式二：下面结合图1至图4说明本实施方式，本实施方式为对实施方式一的进一步说明，所述X向励磁单元2-2的多块长条形永磁体沿次级轭板2-1的长度方向或宽度方向排列。
具体实施方式三：下面结合图5说明本实施方式，本实施方式为对实施方式一或二的进一步说明，所述X向励磁单元2-2的多块长条形永磁体沿次级轭板2-1的长度方向排列，该每块长条形永磁体沿其长度方向由三段永磁体纵向分段组成，三段永磁体纵向分段之间间距相等；Y向励磁单元2-3的多块长条形永磁体沿次级轭板2-1的宽度方向排列，该每块长条形永磁体沿其长度方向由两段永磁体横向分段组成，两段永磁体横向分段之间具有间距。
本实施方式中，图5所示，为2组X向励磁单元2-2和1组Y向励磁单元2-3，X向励磁单元2-2的长条形永磁体被均分成三段，Y向励磁单元2-3的长条形永磁体被均分成两段。
具体实施方式四：下面结合图6说明本实施方式，本实施方式为对实施方式一或二的进一步说明，X向励磁单元2-2的相邻长条形永磁体之间或Y向励磁单元2-3的相邻长条形永磁体之间均安装有辅助长条形永磁体2-31，该辅助长条形永磁体2-31沿初级1与次级2的相对运动方向平行充磁，该辅助长条形永磁体2-31的充磁方向与其所接触次级轭板2-1中磁力线的方向相同。
具体实施方式五：下面结合图7说明本实施方式，本实施方式为对实施方式一或二的进一步说明，本实施方式中的阻尼器为将实施方式一或二所记载的单个阻尼器并联连接，并联时，相邻两个阻尼器的次级轭板固定在一起、或者使用同一个轭板。
本实施方式可使用于需要阻尼力比较大的场合，相当于将多个实施方式一或二中所述的阻尼器并联在一起。
具体实施方式六：下面结合图8和图9说明本实施方式，本实施方式所述多自由度电磁阻尼器，它包括初级1和两个次级2，所述初级1为低电阻率非磁性金属板，两个次级2呈对称分布在初级1的两侧，每个次级2与初级1之间形成气隙，
每个次级2包括次级轭板2-1、n+1组X向励磁单元2-2和n组Y向励磁单元2-3，n为正整数，所述次级轭板2-1由非磁性材料制成，
n+1组X向励磁单元2-2和n组Y向励磁单元2-3依次相间隔等间距排布在次级轭板2-1上，每组X向励磁单元2-2由多块长条形永磁体和多块聚磁体2-21构成，该多块长条形永磁体和多块聚磁体2-21在次级轭板2-1上同方向相间隔紧密排列，每组Y向励磁单元2-3由多块长条形永磁体和多块聚磁体2-21构成，该多块长条形永磁体和多块聚磁体2-21在次级轭板2-1上同方向相间隔紧密排列，Y向励磁单元2-3的多块长条形永磁体的排列方向与X向励磁单元2-2的多块长条形永磁体的排列方向互相垂直，
次级轭板2-1上沿n+1组X向励磁单元2-2和n组Y向励磁单元2-3的排布方向作为长度方向，初级1的长度方向与次级轭板2-1的长度方向相同，初级1的长度为A，次级轭板2-1上沿长度方向两端的X向励磁单元2-2的长条形永磁体的外端面之间的距离为B，A大于B，初级1的宽度大于次级轭板2-1宽度方向上最外端长条形永磁体的外端面之间的距离，X向励磁单元2-2的相邻长条形永磁体之间的极距或Y向励磁单元2-3的相邻长条形永磁体之间的极距均大于两个次级2的长条形永磁体气隙面之间的距离；
所有长条形永磁体沿初级1与次级2的相对运动方向平行充磁，X向励磁单元2-2的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，Y向励磁单元2-3的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，两个次级2上相对应的长条形永磁体的充磁方向相反，次级轭板2-1所有长条形永磁体充磁方向的长度均大于两个次级2的长条形永磁体气隙面之间的距离的二分之一。
具体实施方式七：下面结合图9说明本实施方式，本实施方式为对实施方式六的进一步说明，所述X向励磁单元2-2的多块长条形永磁体与多块聚磁体2-21沿次级轭板2-1的长度方向或宽度方向排列。
具体实施方式八：下面结合图10和图11说明本实施方式，本实施方式所述多自由度电磁阻尼器，它包括两个初级1和次级2，两个初级1呈对称分布在次级2的两侧，每个初级1与次级2之间形成气隙，所述每个初级1由低电阻率非磁性金属板1-1和初级轭板1-2组成，低电阻率非磁性金属板1-1粘贴固定在初级轭板1-2的气隙侧表面上，
次级2包括次级基板2-4，次级基板2-4的两个气隙侧表面分别设置n+1组X向励磁单元2-2和n组Y向励磁单元2-3，n为正整数，
次级基板2-4的每个气隙侧表面上依次相间隔排布n+1组X向励磁单元2-2和n组Y向励磁单元2-3，每组X向励磁单元2-2由多块长条形永磁体和多块聚磁体构成，该多块长条形永磁体和多块聚磁体在次级轭板2-1上同方向相间隔紧密排列，每组Y向励磁单元2-3由多块长条形永磁体和多块聚磁体构成，该多块长条形永磁体和多块聚磁体在次级轭板2-1上同方向相间隔紧密排列，Y向励磁单元2-3的多块长条形永磁体的排列方向与X向励磁单元2-2的多块长条形永磁体的排列方向互相垂直，
次级基板2-4上沿n+1组X向励磁单元2-2和n组Y向励磁单元2-3的排布方向作为长度方向，初级1的长度方向与次级基板2-4的长度方向相同，所述X向励磁单元2-2的多块长条形永磁体与多块聚磁体沿次级基板2-4的长度方向或宽度方向排列；所有长条形永磁体沿初级1与次级2的相对运动方向平行充磁，X向励磁单元2-2的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，Y向励磁单元2-3的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，次级基板2-4的两个气隙侧表面上相对应的长条形永磁体的充磁方向相同。
图10和图11所示，包括2组X向励磁单元2-2和1组Y向励磁单元2-3，其X向励磁单元2-2由4块长条形永磁体与5块聚磁体构成，其Y向励磁单元2-3也由4块长条形永磁体与5块聚磁体构成。
具体实施方式九：本实施方式为对实施方式一、二、三、四、五、六、七或八的进一步说明，所述初级1采用液体冷却结构，初级1上沿初级1与次级2的相对运动方向开有相互平行的泠却液通道。
具体实施方式十：本实施方式为对实施方式一、二、三、四、五、六、七、八或九的进一步说明，所述电磁阻尼器为动初级结构或动次级结构。
本发明不局限于上述实施方式，还可以是上述各实施方式中所述技术特征的合理组合。

Claims (9)

1.一种多自由度电磁阻尼器，它包括初级（1）和两个次级（2），其特征在于：所述初级（1）为低电阻率非磁性金属板，两个次级（2）呈对称分布在初级（1）的两侧，每个次级（2）与初级（1）之间形成气隙，
每个次级（2）包括次级轭板（2-1）、n+1组X向励磁单元（2-2）和n组Y向励磁单元（2-3），n为正整数，
n+1组X向励磁单元（2-2）和n组Y向励磁单元（2-3）依次相间隔等间距排布在次级轭板（2-1）上，每组X向励磁单元（2-2）由多块长条形永磁体构成，该多块长条形永磁体在次级轭板（2-1）上同方向等间隔均匀排列，每组Y向励磁单元（2-3）由多块长条形永磁体构成，该多块长条形永磁体在次级轭板（2-1）上同方向等间隔均匀排列，Y向励磁单元（2-3）的多块长条形永磁体的排列方向与X向励磁单元（2-2）的多块长条形永磁体的排列方向互相垂直，
次级轭板（2-1）上沿n+1组X向励磁单元（2-2）和n组Y向励磁单元（2-3）的排布方向作为长度方向，初级（1）的长度方向与次级轭板（2-1）的长度方向相同，初级（1）的长度为A，次级轭板（2-1）上沿长度方向两端的X向励磁单元（2-2）的长条形永磁体的外端面之间的距离为B，A大于B，初级（1）的宽度大于次级轭板（2-1）宽度方向上最外端长条形永磁体的外端面之间的距离，X向励磁单元（2-2）的相邻长条形永磁体之间的极距或Y向励磁单元（2-3）的相邻长条形永磁体之间的极距均大于两个次级（2）的长条形永磁体气隙面之间的距离；
所有长条形永磁体的充磁方向均垂直于次级轭板（2-1），n+1组X向励磁单元（2-2）的充磁方向相同，n组Y向励磁单元（2-3）的充磁方向相同，X向励磁单元（2-2）的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，Y向励磁单元（2-3）的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，两个次级（2）上相对应的长条形永磁体的充磁方向相同，所有长条形永磁体充磁方向的厚度均大于两个次级（2）的长条形永磁体气隙面之间的距离的二分之一。
2.根据权利要求1所述的多自由度电磁阻尼器，其特征在于：所述X向励磁单元（2-2）的多块长条形永磁体沿次级轭板（2-1）的长度方向或宽度方向排列。
3.根据权利要求1所述的多自由度电磁阻尼器，其特征在于：所述X向励磁单元（2-2）的多块长条形永磁体沿次级轭板（2-1）的长度方向排列，该每块长条形永磁体沿其长度方向由三段永磁体纵向分段组成，三段永磁体纵向分段之间间距相等；Y向励磁单元（2-3）的多块长条形永磁体沿次级轭板（2-1）的宽度方向排列，该每块长条形永磁体沿其长度方向由两段永磁体横向分段组成，两段永磁体横向分段之间具有间距。
4.根据权利要求1或2所述的多自由度电磁阻尼器，其特征在于：X向励磁单元（2-2）的相邻长条形永磁体之间或Y向励磁单元（2-3）的相邻长条形永磁体之间均安装有辅助长条形永磁体（2-31），该辅助长条形永磁体（2-31）沿初级（1）与次级（2）的相对运动方向平行充磁，该辅助长条形永磁体（2-31）的充磁方向与其所接触次级轭板（2-1）中磁力线的方向相同。
5.一种多自由度电磁阻尼器，它包括初级（1）和两个次级（2），其特征在于：所述初级（1）为低电阻率非磁性金属板，两个次级（2）呈对称分布在初级（1）的两侧，每个次级（2）与初级（1）之间形成气隙，
每个次级（2）包括次级轭板（2-1）、n+1组X向励磁单元（2-2）和n组Y向励磁单元（2-3），n为正整数，所述次级轭板（2-1）由非磁性材料制成，
n+1组X向励磁单元（2-2）和n组Y向励磁单元（2-3）依次相间隔等间距排布在次级轭板（2-1）上，每组X向励磁单元（2-2）由多块长条形永磁体和多块聚磁体（2-21）构成，该多块长条形永磁体和多块聚磁体（2-21）在次级轭板（2-1）上同方向相间隔紧密排列，每组Y向励磁单元（2-3）由多块长条形永磁体和多块聚磁体（2-21）构成，该多块长条形永磁体和多块聚磁体（2-21）在次级轭板（2-1）上同方向相间隔紧密排列，Y向励磁单元（2-3）的多块长条形永磁体的排列方向与X向励磁单元（2-2）的多块长条形永磁体的排列方向互相垂直，
次级轭板（2-1）上沿n+1组X向励磁单元（2-2）和n组Y向励磁单元（2-3）的排布方向作为长度方向，初级（1）的长度方向与次级轭板（2-1）的长度方向相同，初级（1）的长度为A，次级轭板（2-1）上沿长度方向两端的X向励磁单元（2-2）的长条形永磁体的外端面之间的距离为B，A大于B，初级（1）的宽度大于次级轭板（2-1）宽度方向上最外端长条形永磁体的外端面之间的距离，X向励磁单元（2-2）的相邻长条形永磁体之间的极距或Y向励磁单元（2-3）的相邻长条形永磁体之间的极距均大于两个次级（2）的长条形永磁体气隙面之间的距离；
所有长条形永磁体沿初级（1）与次级（2）的相对运动方向平行充磁，X向励磁单元（2-2）的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，Y向励磁单元（2-3）的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，两个次级（2）上相对应的长条形永磁体的充磁方向相反，次级轭板（2-1）所有长条形永磁体充磁方向的长度均大于两个次级（2）的长条形永磁体气隙面之间的距离的二分之一。
6.根据权利要求5所述的多自由度电磁阻尼器，其特征在于：所述X向励磁单元（2-2）的多块长条形永磁体与多块聚磁体（2-21）沿次级轭板（2-1）的长度方向或宽度方向排列。
7.一种多自由度电磁阻尼器，它包括两个初级（1）和次级（2），其特征在于：两个初级（1）呈对称分布在次级（2）的两侧，每个初级（1）与次级（2）之间形成气隙，所述每个初级（1）由低电阻率非磁性金属板（1-1）和初级轭板（1-2）组成，低电阻率非磁性金属板（1-1）粘贴固定在初级轭板（1-2）的气隙侧表面上，
次级（2）包括次级基板（2-4），次级基板（2-4）的两个气隙侧表面分别设置n+1组X向励磁单元（2-2）和n组Y向励磁单元（2-3），n为正整数，
次级基板（2-4）的每个气隙侧表面上依次相间隔排布n+1组X向励磁单元（2-2）和n组Y向励磁单元（2-3），每组X向励磁单元（2-2）由多块长条形永磁体和多块聚磁体构成，该多块长条形永磁体和多块聚磁体在次级轭板（2-1）上同方向相间隔紧密排列，每组Y向励磁单元（2-3）由多块长条形永磁体和多块聚磁体构成，该多块长条形永磁体和多块聚磁体在次级轭板（2-1）上同方向相间隔紧密排列，Y向励磁单元（2-3）的多块长条形永磁体的排列方向与X向励磁单元（2-2）的多块长条形永磁体的排列方向互相垂直，
次级基板（2-4）上沿n+1组X向励磁单元（2-2）和n组Y向励磁单元（2-3）的排布方向作为长度方向，初级（1）的长度方向与次级基板（2-4）的长度方向相同，所述X向励磁单元（2-2）的多块长条形永磁体与多块聚磁体沿次级基板（2-4）的长度方向或宽度方向排列；所有长条形永磁体沿初级（1）与次级（2）的相对运动方向平行充磁，X向励磁单元（2-2）的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，Y向励磁单元（2-3）的相邻长条形永磁体的充磁方向相反，次级基板（2-4）的两个气隙侧表面上相对应的长条形永磁体的充磁方向相同。
8.根据权利要求1、2、3、4、5、6或7所述的多自由度电磁阻尼器，其特征在于：所述初级（1）采用液体冷却结构，初级（1）上沿初级（1）与次级（2）的相对运动方向开有相互平行的泠却液通道。
9.根据权利要求1、2、3、4、5、6或7所述的多自由度电磁阻尼器，其特征在于：所述电磁阻尼器为动初级结构或动次级结构。
CN201210235532.4A 2012-07-09 2012-07-09 多自由度电磁阻尼器 Active CN102720786B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210235532.4A CN102720786B (zh) 2012-07-09 2012-07-09 多自由度电磁阻尼器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210235532.4A CN102720786B (zh) 2012-07-09 2012-07-09 多自由度电磁阻尼器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102720786A true CN102720786A (zh) 2012-10-10
CN102720786B CN102720786B (zh) 2014-06-25

Family

ID=46946624

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210235532.4A Active CN102720786B (zh) 2012-07-09 2012-07-09 多自由度电磁阻尼器

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102720786B (zh)

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103032515A (zh) * 2012-12-19 2013-04-10 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统
CN103047353A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 滚动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103047352A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 二维柔性铰链角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103047348A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器
CN103047343A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器
CN103047349A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器
CN103047359A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103047360A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器
CN103047361A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统
CN103047339A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼隔振器
CN103062321A (zh) * 2012-12-19 2013-04-24 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器
CN103062320A (zh) * 2012-12-19 2013-04-24 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器
CN103062297A (zh) * 2012-12-19 2013-04-24 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器
CN106043727A (zh) * 2016-06-17 2016-10-26 哈尔滨工业大学 飞机着舰或着陆直线电磁拦阻装置
CN107781338A (zh) * 2016-08-25 2018-03-09 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 一种励磁式电涡流阻尼器及阻尼系数连续可调的方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5493216A (en) * 1993-09-08 1996-02-20 Asa Electronic Industry Co., Ltd. Magnetic position detector
WO1998055779A1 (en) * 1997-06-03 1998-12-10 Koninklijke Philips Electronics N.V. Motion damper with electrical amplifier, and lithographic device with such a motion damper
US20030226728A1 (en) * 2002-06-11 2003-12-11 Tohoku Techno Arch Co., Ltd. Damper with magnetic fluid
CN101098100A (zh) * 2006-06-26 2008-01-02 株式会社日立制作所 圆筒直线电动机以及使用了该电动机的车辆

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5493216A (en) * 1993-09-08 1996-02-20 Asa Electronic Industry Co., Ltd. Magnetic position detector
WO1998055779A1 (en) * 1997-06-03 1998-12-10 Koninklijke Philips Electronics N.V. Motion damper with electrical amplifier, and lithographic device with such a motion damper
US20030226728A1 (en) * 2002-06-11 2003-12-11 Tohoku Techno Arch Co., Ltd. Damper with magnetic fluid
CN101098100A (zh) * 2006-06-26 2008-01-02 株式会社日立制作所 圆筒直线电动机以及使用了该电动机的车辆

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
寇宝泉等: "复合电流驱动的永磁同步平面电机", 《电工技术学报》 *
寇宝泉等: "集成绕组结构短行程直流平面电机", 《中国电机工程学报》 *

Cited By (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103047349B (zh) * 2012-12-19 2014-06-11 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器
CN103062297B (zh) * 2012-12-19 2015-04-22 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器
CN103047352A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 二维柔性铰链角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103047348A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器
CN103047343A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器
CN103047349A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的磁悬浮平面驱动定位隔振器
CN103047359A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103047360A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 双层气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器
CN103047361A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统
CN103047339A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼隔振器
CN103062321A (zh) * 2012-12-19 2013-04-24 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器
CN103062320A (zh) * 2012-12-19 2013-04-24 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器
CN103062297A (zh) * 2012-12-19 2013-04-24 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器
CN103047352B (zh) * 2012-12-19 2014-06-11 哈尔滨工业大学 二维柔性铰链角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103047348B (zh) * 2012-12-19 2015-02-11 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的磁浮隔振器
CN103047359B (zh) * 2012-12-19 2014-07-16 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103047361B (zh) * 2012-12-19 2014-10-29 哈尔滨工业大学 滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统
CN103047339B (zh) * 2012-12-19 2015-02-11 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼隔振器
CN103032515A (zh) * 2012-12-19 2013-04-10 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统
CN103047353A (zh) * 2012-12-19 2013-04-17 哈尔滨工业大学 滚动关节轴承角度解耦的电涡流阻尼零刚度隔振器
CN103062320B (zh) * 2012-12-19 2015-05-06 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滚动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器
CN103032515B (zh) * 2012-12-19 2015-05-06 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器与隔振系统
CN103062321B (zh) * 2012-12-19 2015-05-06 哈尔滨工业大学 共面气浮正交解耦与滑动关节轴承角度解耦的零刚度隔振器
CN103047343B (zh) * 2012-12-19 2015-06-17 哈尔滨工业大学 滑动关节轴承角度解耦的电磁阻尼零刚度隔振器
CN106043727A (zh) * 2016-06-17 2016-10-26 哈尔滨工业大学 飞机着舰或着陆直线电磁拦阻装置
CN106043727B (zh) * 2016-06-17 2018-03-16 哈尔滨工业大学 飞机着舰或着陆直线电磁拦阻装置
CN107781338A (zh) * 2016-08-25 2018-03-09 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 一种励磁式电涡流阻尼器及阻尼系数连续可调的方法
CN107781338B (zh) * 2016-08-25 2020-06-09 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 一种励磁式电涡流阻尼器及阻尼系数连续可调的方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102720786B (zh) 2014-06-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN102720786B (zh) 多自由度电磁阻尼器
CN102255470B (zh) 低推力波动直线永磁同步电机
CN102185458B (zh) 高精度无槽永磁电机
US20140327327A1 (en) Magnetic suspension planar motor with structure of superconductor excitation
CN104967276A (zh) 液体冷却无铁心永磁直线电机
CN102299607B (zh) 永磁偏置型横向磁通直线磁阻电机
CN102158042B (zh) 高动态圆筒形直线磁阻电机
CN102185443B (zh) 有限行程高动态平面电机
CN107786058A (zh) 直线电机
CN103925292B (zh) 一种永磁偏置混合径向磁轴承
CN204615598U (zh) 气浮导轨式直线电机模组
US20120280579A1 (en) Linear moving magnet motor cogging force ripple reducing
CN102647126B (zh) 局部磁场可调式微驱动器
CN104858121B (zh) 磁场跟踪补偿的双排永磁体向心励磁矩形开放磁场式电磁振动台磁路结构
CN102739122A (zh) 双边初级结构磁悬浮平面电机
CN102758875B (zh) 磁悬浮平衡质量框架
CN108011489A (zh) 多单元微行程音圈直线电机
CN104848939B (zh) 磁场跟踪补偿的四磁路对称励磁矩形低频振动校准台
CN104865030B (zh) 磁场跟踪补偿的双磁路对称励磁圆柱形封闭磁场式电磁振动台磁路结构
CN104907242B (zh) 磁场跟踪补偿的长永磁管向心励磁圆柱形封闭磁场式电磁振动台磁路结构
CN104848936B (zh) 磁场跟踪补偿的双排永磁体向心励磁矩形低频振动校准台
CN202652117U (zh) 一种局部磁场可调式微驱动器
CN104779769A (zh) 一种动铁式永磁直线电机
CN116155060A (zh) 一种平板音圈电机
CN104880290B (zh) 磁场跟踪补偿的双磁路两端对称励磁矩形低频振动校准台

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant