CN102185443B - 有限行程高动态平面电机 - Google Patents
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Abstract
有限行程高动态平面电机，属于电机技术领域。它解决了现有同步型短行程平面电机存在行程小及输出推力小的问题。它包括电机单元和动子支撑机构，所述电机单元包括电机初级和电机次级，电机单元为短电机初级、长电机次级结构，电机初级和电机次级之间为气隙，电机初级为无铁心结构，由绕组固定支撑板和四个电枢绕组组成，绕组固定支撑板为口字形结构，每个电枢绕组对应居中固定在固定支撑板的一个口字形边框上，四个电枢绕组处于同一平面，每个电枢绕组为由一组线圈组成的对称多相绕组，每个电枢绕组的线圈的有效边与所在固定支撑板的口字形边框相垂直；电机次级为双边结构，对称布置在电机初级的两侧。本发明作为一种平面电机。
Description
技术领域
本发明涉及一种有限行程高动态平面电机，属于电机技术领域。
背景技术
现代精密、超精密加工装备对高响应、高速度、高精度的平面驱动装置有着迫切的需求，如机械加工、电子产品生产、机械装卸、制造自动化仪表设备甚至机器人驱动等。通常这些装置由旋转式电动机产生动力驱动，再由皮带、滚珠丝杆等机械装置，转换为直线运动。由于机械装置结构复杂，传动精度和速度都受到限制，且需经常调校，造成成本高、可靠性差，并存在体积较大的缺陷。最初的平面驱动装置是采用两台直接驱动的直线电机来实现的，它采用层叠式驱动结构，这种结构增加了传动系统的复杂性，从本质上没有摆脱低维运动机构叠加形成高维运动机构的模式。对于底层的直线电机，要承载上层直线电机及其相关机械部件的总质量，从而严重影响了它的定位和控制精确度。而直接利用电磁能产生平面运动的平面电机，具有出力密度高、低热耗、高速度、高精度和高可靠性的特点，因省去了从旋转运动到直线运动再到平面运动的中间转换装置，可把控制对象同电机做成一体化结构，具有反应快、灵敏度高、随动性好及结构简单等优点。根据平面电机电磁推力的产生原理，可以将平面电机分为变磁阻型、同步型和感应型。其中，同步型平面电机因具有结构简单、推力大、效率高和响应速度快等良好的综合性能，在二维平面驱动装置、特别是精密二维平面驱动装置中具有广阔的应用前景。
图11所示为现有的一种同步型短行程平面电机结构。该平面电机由电枢部件和永磁体励磁部件两部分构成，电枢部件和永磁体励磁部件之间为气隙，其中电枢部件主要由电枢绕组和电枢铁心构成；永磁体励磁部件由永磁体阵列、永磁体轭板构成。电枢绕组由4个绕向相同的正方形线圈构成，线圈呈“田”字形固定布置在平板形的电枢铁心上，四个线圈位于XY平面上，线圈边或平行于X轴，或平行于Y轴。四个线圈各自独立，分别控制。通过控制四个线圈中电流的大小、方向以及频率，就可以控制平面电机的电磁力的大小、方向以及速度。但是，该平面电机存在电机行程小、输出推力小以及推力密度效率低等问题。
发明内容
本发明的目的是解决现有同步型短行程平面电机存在行程小及输出推力小的问题，提供一种有限行程高动态平面电机。
本发明包括电机单元和动子支撑机构，所述电机单元包括电机初级和电机次级，电机单元为短电机初级、长电机次级结构，电机初级和电机次级之间为气隙，
电机初级为无铁心结构，由绕组固定支撑板和四个电枢绕组组成，绕组固定支撑板为口字形结构，每个电枢绕组对应居中固定在固定支撑板的一个口字形边框上，四个电枢绕组处于同一平面，每个电枢绕组为由一组线圈组成的对称多相绕组，每个电枢绕组的线圈的有效边与所在固定支撑板的口字形边框相垂直；
电机次级为双边结构，对称布置在电机初级的两侧，电机次级的每个单边结构由四个永磁体阵列和永磁体轭板组成，永磁体轭板为具有口字形内孔的十字结构，口字形内孔与绕组固定支撑板的口字形结构的内孔大小相等，所述四个永磁体阵列以口字形内孔为中心均匀分布在十字结构的永磁体轭板上，每个永磁体阵列由多个垂直充磁的长条形永磁体组成，多个垂直充磁的长条形永磁体相间隔并行布置，永磁体阵列的垂直充磁的长条形永磁体的长边垂直于与其相邻的口字形内孔的边框，每个垂直充磁的长条形永磁体的充磁方向垂直于电机初级所在平面，每个永磁体阵列中相邻垂直充磁的长条形永磁体的充磁方向相反，电机次级的双边结构上位置相对的两个垂直充磁的长条形永磁体的充磁方向相同；
所述动子支撑机构为四组，四组动子支撑机构对称地分布在由电机初级和电机次级形成的口字的四个角上，或者对称地布置在电机初级和电机次级形成的口字形内孔的内侧，
每组动子支撑机构分别由支撑动子和支撑定子组成，支撑动子与电机单元的电机动子相连，支撑定子与电机单元的电机定子相连。
本发明的优点是：本发明所述电机单元的X向驱动与Y向驱动采用无铁心电枢双边次级结构电机单元，电枢绕组为多相对称绕组，可以有效地提高平面电机的输出推力；采用有效的动子支撑方式，既可以增大平面电机的行程，又可以提高动子的支撑精度；同时电机动子的结构强度与对称性好，电机的动态特性好、定位精度高。
本发明所述的平面电机的气隙磁密与推力密度高、电机初级的结构强度高，因此电机的动态特性好，且结构简单、控制容易、制造成本低。
附图说明
图1为本发明电机初级的结构示意图；
图2为本发明电机次级的结构示意图；
图3为实施方式一所述电机单元的结构示意图；
图4为实施方式二所述电机单元的结构示意图；
图5为实施方式三所述电机单元的结构示意图；
图6为实施方式四所述动子支撑机构的结构示意图；
图7为图6的侧视图；
图8为实施方式五所述动子支撑机构的结构示意图；
图9为图8的侧视图；
图10为实施方式六所述气浮导轨支撑机构的结构示意图；
图11为现有短行程平面电机的结构示意图。
具体实施方式
具体实施方式一：下面结合图1至图3说明本实施方式，本实施方式所述有限行程高动态平面电机，它包括电机单元和动子支撑机构，所述电机单元包括电机初级和电机次级，电机单元为短电机初级、长电机次级结构，电机初级和电机次级之间为气隙，
电机初级为无铁心结构，由绕组固定支撑板1-1和四个电枢绕组1-2组成，绕组固定支撑板1-1为口字形结构，每个电枢绕组1-2对应居中固定在固定支撑板1-1的一个口字形边框上，四个电枢绕组1-2处于同一平面，每个电枢绕组1-2为由一组线圈组成的对称多相绕组，每个电枢绕组1-2的线圈的有效边与所在固定支撑板1-1的口字形边框相垂直；
电机次级为双边结构，对称布置在电机初级的两侧，电机次级的每个单边结构由四个永磁体阵列2-1和永磁体轭板2-2组成，永磁体轭板2-2为具有口字形内孔2-21的十字结构，口字形内孔2-21与绕组固定支撑板1-1的口字形结构的内孔大小相等，所述四个永磁体阵列2-1以口字形内孔2-21为中心均匀分布在十字结构的永磁体轭板2-2上，每个永磁体阵列2-1由多个垂直充磁的长条形永磁体组成，多个垂直充磁的长条形永磁体相间隔并行布置，永磁体阵列2-1的垂直充磁的长条形永磁体的长边垂直于与其相邻的口字形内孔2-21的边框，每个垂直充磁的长条形永磁体的充磁方向垂直于电机初级所在平面，每个永磁体阵列2-1中相邻垂直充磁的长条形永磁体的充磁方向相反，电机次级的双边结构上位置相对的两个垂直充磁的长条形永磁体的充磁方向相同；
所述动子支撑机构为四组，四组动子支撑机构对称地分布在由电机初级和电机次级形成的口字的四个角上，或者对称地布置在电机初级和电机次级形成的口字形内孔的内侧，
每组动子支撑机构分别由支撑动子和支撑定子组成，支撑动子与电机单元的电机动子相连，支撑定子与电机单元的电机定子相连。
本实施方式中四个永磁体阵列2-1分别固定在永磁体轭板2-2的四个十字端2-22上。
具体实施方式二：下面结合图4说明本实施方式，本实施方式与实施方式一的不同之处在于所述电机次级还包括多个水平充磁的长条形永磁体3，每个永磁体阵列2-1中，相邻的两个垂直充磁的长条形永磁体之间均设置有一个水平充磁的长条形永磁体3，该水平充磁的长条形永磁体3的充磁方向平行于电机初级所在平面，且由向外充磁的垂直充磁的长条形永磁体指向向内充磁的垂直充磁的长条形永磁体，所述向内充磁是指充磁方向由次级的永磁体轭板2-2指向初级，所述向外充磁是指充磁方向由初级指向次级的永磁体轭板2-2。其它与实施方式一相同。
本实施方式中，相邻水平充磁的长条形永磁体3的充磁方向相反，电机次级的双边结构上位置相对的两个水平充磁的长条形永磁体3的充磁方向相反。
具体实施方式三：下面结合图5说明本实施方式，本实施方式与实施方式一的不同之处在于所述电机次级还包括多个辅助永磁体4和多个聚磁体5，
辅助永磁体4的横截面为左右对称形状，聚磁体5的的横截面为左右对称形状，
每个垂直充磁的长条形永磁体的气隙侧端面上均固定连接一个聚磁体5，并且该聚磁体5位于所在垂直充磁的长条形永磁体的沿运动方向的中间位置，相邻两个垂直充磁的长条形永磁体之间固定有一个辅助永磁体4，并且该辅助永磁体4填满与其相邻的两个垂直充磁的长条形永磁体所形成的空间以及所述两个垂直充磁的长条形永磁体上端面上的两个聚磁体5所形成的空间，辅助永磁体4的气隙侧端面与聚磁体5的气隙侧端面处于同一平面上；
辅助永磁体4的充磁方向平行于电机初级所在平面，并且所述充磁方向为由向外充磁的垂直充磁的长条形永磁体指向向内充磁的垂直充磁的长条形永磁体，所述向内充磁是指充磁方向由次级的永磁体轭板2-2指向初级，所述向外充磁是指充磁方向由初级指向次级的永磁体轭板2-2；
聚磁体5的气隙侧表面沿运动方向的宽度A小于或等于永磁体轭板2-2的厚度B，聚磁体5与垂直充磁的长条形永磁体相邻的表面的沿运动方向的宽度E小于长条形永磁体的沿运动方向的宽度C，永磁体轭板2-2的厚度B小于长条形永磁体的沿运动方向的宽度C，辅助永磁体4的气隙侧表面沿运动方向的宽度D大于永磁体轭板2-2的厚度B。其它与实施方式一相同。
本实施方式所述聚磁体5可采用高饱和磁密材料制成。
本实施方式中辅助永磁体4可以为等腰梯形与矩形形成的复合形，此时聚磁体5的横截面为等腰梯形；辅助永磁体4还可以为不同大小的矩形与矩形形成的复合形，此时聚磁体5的横截面为矩形；当聚磁体5的横截面为等腰梯形时，聚磁体5横截面的梯形底角与辅助永磁体4横截面的梯形底角相等。
电机次级上相邻辅助永磁体4的充磁方向为相反，电机次级的双边结构上相对的两个辅助永磁体4的充磁方向相反。
具体实施方式四：下面结合图6和图7说明本实施方式，本实施方式为对实施方式一、二或三的进一步说明，所述每组动子支撑机构为磁悬浮机构，
每组动子支撑机构由支撑机构初级和支撑机构次级组成，
所述支撑机构初级由n+1个铁心6-11、2n个平板形永磁体6-12和n+1个控制线圈6-13组成，其中n为正整数，
n+1个铁心6-11相互平行、并列排布，每个铁心6-11的横截面呈直角C形，每个铁心6-11的背侧6-15缠绕一个控制线圈6-13，相邻铁心6-11上的控制线圈6-13的绕向相反，支撑机构初级的所有控制线圈6-13串联连接，
所述支撑机构次级包括导磁轭6-14，支撑机构次级为沿运动方向狭长的长方体，并且位于所有铁心6-11的C形开口所形成的空间内，
相邻的两个铁心6-11之间固定有两块平板形永磁体6-12，所述两块平板形永磁体6-12分别位于支撑机构次级的上下两侧，每块平板形永磁体6-12与铁心6-11相衔接的端面与该铁心6-11的相应端面形状相同，每块平板形永磁体6-12均为沿支撑机构次级运动方向平行充磁，所述两块平板形永磁体6-12的充磁方向相同，位于支撑机构次级同一侧的相邻平板形永磁体6-12的充磁方向相反。
本实施方式所述的支撑机构次级为由导磁材料构成的薄板，所述支撑机构次级为沿运动方向Z方向狭长的长方体，位于C字形铁心的开口处。
具体实施方式五：下面结合图8和图9说明本实施方式，本实施方式为对实施方式一、二或三的进一步说明，本实施方式所述每组动子支撑机构由支撑机构初级和支撑机构次级组成，
所述支撑机构初级由两个初级单元7-11组成，两个初级单元7-11呈对称设置于支撑机构次级的上下两侧；
所述初级单元7-11由门字形初级铁心7-13、两个支撑机构控制线圈7-14和支撑机构长条形永磁体7-15组成，
门字形初级铁心7-13的开口侧与支撑机构次级相对，门字形初级铁心7-13的两个竖直段上分别缠绕一个支撑机构控制线圈7-14，
门字形初级铁心7-13为对称分段式结构，支撑机构长条形永磁体7-15夹固于门字形初级铁心7-13的分段之间，并且所述支撑机构长条形永磁体7-15与分段铁心的相衔接端面与对应分段铁心的端面形状相同；所述支撑机构长条形永磁体7-15在两个门字形初级铁心7-13中形成的磁力线方向相同；
所述支撑机构初级的所有支撑机构控制线圈7-14串联连接；
所述支撑机构次级包括导磁轭7-12。
本实施方式所述支撑机构次级为由导磁材料构成的薄板。
具体实施方式六：下面结合图10说明本实施方式，本实施方式为对实施方式一、二或三的进一步说明，本实施方式所述每组动子支撑机构为气浮导轨支撑机构。
本实施方式所述气浮导轨支撑机构对称地布置在电机初级和电机次级形成的口字的内侧，可由两组X向气浮导轨和两组Y向气浮导轨组成。
本实施方式所述的气浮导轨支撑机构也可以采用两组X向气浮导轨和一组Y向气浮导轨组成，两组X向气浮导轨的滑轨沿X向平行对称布置固定，与平面电机的定子连接在一起，两组X向气浮导轨的滑块与Y向气浮导轨的滑轨连接在一起，而Y向气浮导轨的滑块与平面电机的动子连接在一起。
具体实施方式七：本实施方式为对实施方式一、二或三的进一步说明，本实施方式所述每组动子支撑机构为气浮轴承支撑机构。
本实施方式所述气浮轴承支撑机构由气浮轴承与支撑基板构成，四块支撑基板固定在平面电机动子的口字的4个角上，四个气浮轴承对称布置在支撑基板的下侧的平面电机定子上。
具体实施方式八：本实施方式为对实施方式一、二或三的进一步说明，本实施方式所述每组动子支撑机构为机械支撑机构，
该机械支撑机构由四组直线导轨单元构成，每组直线导轨单元由X向直线导轨和Y向直线导轨组成，X向直线导轨的滑轨沿X方向固定在平面电机定子上，Y向直线导轨的滑轨沿Y方向固定在X向直线导轨的滑块上，Y向直线导轨的滑块沿Y方向固定在平面电机动子上。
具体实施方式九：本实施方式为对实施方式一、二或三的进一步说明，本实施方式所述每组动子支撑机构为机械支撑机构，
四组动子支撑机构位于电机初级和电机次级形成的口字的内侧，四组动子支撑机构由两组X向直线导轨单元与两组Y向直线导轨单元构成，四组动子支撑机构呈井字形结构排布，两组X向直线导轨单元的滑轨沿X方向平行对称固定于电机单元定子上，两组Y向直线导轨单元的滑轨沿Y方向平行对称固定在X向直线导轨单元的滑块上，两组Y向直线导轨单元的滑块沿Y方向平行对称固定于电机单元动子上。
具体实施方式十：本实施方式为对实施方式一、二或三的进一步说明，本实施方式所述电机单元还包括电机壳体8，所述电机初级为液冷结构，电机初级设置于电机壳体8内。
Claims (10)
1.一种有限行程高动态平面电机，它包括电机单元和动子支撑机构，其特征在于：所述电机单元包括电机初级和电机次级，电机单元为短电机初级、长电机次级结构，电机初级和电机次级之间为气隙，
电机初级为无铁心结构，由绕组固定支撑板(1-1)和四个电枢绕组(1-2)组成，绕组固定支撑板(1-1)为口字形结构，每个电枢绕组(1-2)对应居中固定在固定支撑板(1-1)的一个口字形边框上，四个电枢绕组(1-2)处于同一平面，每个电枢绕组(1-2)为由一组线圈组成的对称多相绕组，每个电枢绕组(1-2)的线圈的有效边与所在固定支撑板(1-1)的口字形边框相垂直；
电机次级为双边结构，对称布置在电机初级的两侧，电机次级的每个单边结构由四个永磁体阵列(2-1)和永磁体轭板(2-2)组成，永磁体轭板(2-2)为具有口字形内孔(2-21)的十字结构，口字形内孔(2-21)与绕组固定支撑板(1-1)的口字形结构的内孔大小相等，所述四个永磁体阵列(2-1)以口字形内孔(2-21)为中心均匀分布在十字结构的永磁体轭板(2-2)上，每个永磁体阵列(2-1)由多个垂直充磁的长条形永磁体组成，多个垂直充磁的长条形永磁体相间隔并行布置，永磁体阵列(2-1)的垂直充磁的长条形永磁体的长边垂直于与其相邻的口字形内孔(2-21)的边框，每个垂直充磁的长条形永磁体的充磁方向垂直于电机初级所在平面，每个永磁体阵列(2-1)中相邻垂直充磁的长条形永磁体的充磁方向相反，电机次级的双边结构上位置相对的两个垂直充磁的长条形永磁体的充磁方向相同；
所述动子支撑机构为四组，四组动子支撑机构对称地分布在由电机初级和电机次级形成的口字的四个角上，或者对称地布置在电机初级和电机次级形成的口字形内孔的内侧，
每组动子支撑机构分别由支撑动子和支撑定子组成，支撑动子与电机单元的电机动子相连，支撑定子与电机单元的电机定子相连。
2.根据权利要求1所述的有限行程高动态平面电机，其特征在于：所述电机次级还包括多个水平充磁的长条形永磁体(3)，每个永磁体阵列(2-1)中，相邻的两个垂直充磁的长条形永磁体之间均设置有一个水平充磁的长条形永磁体(3)，该水平充磁的长条形永磁体(3)的充磁方向平行于电机初级所在平面，且由向外充磁的垂直充磁的长条形永磁体指向向内充磁的垂直充磁的长条形永磁体，所述向内充磁是指充磁方向由次级的永磁体轭板(2-2)指向初级，所述向外充磁是指充磁方向由初级指向次级的永磁体轭板(2-2)。
3.根据权利要求1所述的有限行程高动态平面电机，其特征在于：所述电机次级还包括多个辅助永磁体(4)和多个聚磁体(5)，
辅助永磁体(4)的横截面为左右对称形状，聚磁体(5)的的横截面为左右对称形状，
每个垂直充磁的长条形永磁体的气隙侧端面上均固定连接一个聚磁体(5)，并且该聚磁体(5)位于所在垂直充磁的长条形永磁体的沿运动方向的中间位置，相邻两个垂直充磁的长条形永磁体之间固定有一个辅助永磁体(4)，并且该辅助永磁体(4)填满与其相邻的两个垂直充磁的长条形永磁体所形成的空间以及所述两个垂直充磁的长条形永磁体上端面上的两个聚磁体(5)所形成的空间，辅助永磁体(4)的气隙侧端面与聚磁体(5)的气隙侧端面处于同一平面上；
辅助永磁体(4)的充磁方向平行于电机初级所在平面，并且所述充磁方向为由向外充磁的垂直充磁的长条形永磁体指向向内充磁的垂直充磁的长条形永磁体，所述向内充磁是指充磁方向由次级的永磁体轭板(2-2)指向初级，所述向外充磁是指充磁方向由初级指向次级的永磁体轭板(2-2)；
聚磁体(5)的气隙侧表面沿运动方向的宽度A小于或等于永磁体轭板(2-2)的厚度B，聚磁体(5)与垂直充磁的长条形永磁体相邻的表面的沿运动方向的宽度E小于长条形永磁体的沿运动方向的宽度C，永磁体轭板(2-2)的厚度B小于长条形永磁体的沿运动方向的宽度C，辅助永磁体(4)的气隙侧表面沿运动方向的宽度D大于永磁体轭板(2-2)的厚度B。
4.根据权利要求1、2或3所述的有限行程高动态平面电机，其特征在于：所述每组动子支撑机构为磁悬浮机构，
每组动子支撑机构由支撑机构初级和支撑机构次级组成，
所述支撑机构初级由n+1个铁心(6-11)、2n个平板形永磁体(6-12)和n+1个控制线圈(6-13)组成，其中n为正整数，
n+1个铁心(6-11)相互平行、并列排布，每个铁心(6-11)的横截面呈直角C形，每个铁心(6-11)的背侧(6-15)缠绕一个控制线圈(6-13)，相邻铁心(6-11)上的控制线圈(6-13)的绕向相反，支撑机构初级的所有控制线圈(6-13)串联连接，
所述支撑机构次级包括导磁轭(6-14)，支撑机构次级为沿运动方向狭长的长方体，并且位于所有铁心(6-11)的C形开口所形成的空间内，
相邻的两个铁心(6-11)之间固定有两块平板形永磁体(6-12)，所述两块平板形永磁体(6-12)分别位于支撑机构次级的上下两侧，每块平板形永磁体(6-12)与铁心(6-11)相衔接的端面与该铁心(6-11)的相应端面形状相同，每块平板形永磁体(6-12)均为沿支撑机构次级运动方向平行充磁，所述两块平板形永磁体(6-12)的充磁方向相同，位于支撑机构次级同一侧的相邻平板形永磁体(6-12)的充磁方向相反。
5.根据权利要求1、2或3所述的有限行程高动态平面电机，其特征在于：
每组动子支撑机构由支撑机构初级和支撑机构次级组成，
所述支撑机构初级由两个初级单元(7-11)组成，两个初级单元(7-11)呈对称设置于支撑机构次级的上下两侧；
所述初级单元(7-11)由门字形初级铁心(7-13)、两个支撑机构控制线圈(7-14)和支撑机构长条形永磁体(7-15)组成，
门字形初级铁心(7-13)的开口侧与支撑机构次级相对，门字形初级铁心(7-13)的两个竖直段上分别缠绕一个支撑机构控制线圈(7-14)，
门字形初级铁心(7-13)为对称分段式结构，支撑机构长条形永磁体(7-15)夹固于门字形初级铁心(7-13)的分段之间，并且所述支撑机构长条形永磁体(7-15)与分段铁心的相衔接端面与对应分段铁心的端面形状相同；所述支撑机构长条形永磁体(7-15)在两个门字形初级铁心(7-13)中形成的磁力线方向相同；
所述支撑机构初级的所有支撑机构控制线圈(7-14)串联连接；
所述支撑机构次级包括导磁轭(7-12)。
6.根据权利要求1、2或3所述的有限行程高动态平面电机，其特征在于：所述每组动子支撑机构为气浮导轨支撑机构。
7.根据权利要求1、2或3所述的有限行程高动态平面电机，其特征在于：所述每组动子支撑机构为气浮轴承支撑机构。
8.根据权利要求1、2或3所述的有限行程高动态平面电机，其特征在于：所述每组动子支撑机构为机械支撑机构，
该机械支撑机构由四组直线导轨单元构成，每组直线导轨单元由X向直线导轨和Y向直线导轨组成，X向直线导轨的滑轨沿X方向固定在平面电机定子上，Y向直线导轨的滑轨沿Y方向固定在X向直线导轨的滑块上，Y向直线导轨的滑块沿Y方向固定在平面电机动子上。
9.根据权利要求1、2或3所述的有限行程高动态平面电机，其特征在于：所述每组动子支撑机构为机械支撑机构，
四组动子支撑机构位于电机初级和电机次级形成的口字的内侧，四组动子支撑机构由两组X向直线导轨单元与两组Y向直线导轨单元构成，四组动子支撑机构呈井字形结构排布，两组X向直线导轨单元的滑轨沿X方向平行对称固定于电机单元定子上，两组Y向直线导轨单元的滑轨沿Y方向平行对称固定在X向直线导轨单元的滑块上，两组Y向直线导轨单元的滑块沿Y方向平行对称固定于电机单元动子上。
10.根据权利要求1、2或3所述的有限行程高动态平面电机，其特征在于：所述电机单元还包括电机壳体(8)，所述电机初级为液冷结构，电机初级设置于电机壳体(8)内。
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