CN102692824A - 电路曝光机多光源光学成像系统 - Google Patents

电路曝光机多光源光学成像系统 Download PDF

Info

Publication number
CN102692824A
CN102692824A CN2012101333991A CN201210133399A CN102692824A CN 102692824 A CN102692824 A CN 102692824A CN 2012101333991 A CN2012101333991 A CN 2012101333991A CN 201210133399 A CN201210133399 A CN 201210133399A CN 102692824 A CN102692824 A CN 102692824A
Authority
CN
China
Prior art keywords
light
imaging system
exposure machine
imaging
luminescent device
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2012101333991A
Other languages
English (en)
Other versions
CN102692824B (zh
Inventor
杨波
马鹏川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
University of Shanghai for Science and Technology
Original Assignee
University of Shanghai for Science and Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by University of Shanghai for Science and Technology filed Critical University of Shanghai for Science and Technology
Priority to CN201210133399.1A priority Critical patent/CN102692824B/zh
Publication of CN102692824A publication Critical patent/CN102692824A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102692824B publication Critical patent/CN102692824B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)

Abstract

本发明涉及光学设备领域,具体涉及一种光学成像装置。电路曝光机多光源光学成像系统,包括一光源系统、一成像系统、一成像工作板,所述光源系统的光线通过所述成像系统照向所述成像工作板。所述光源系统包括至少一光源子系统,所述光源子系统包括一发光器件、一整形透镜,所述发光器件发出的光线通过所述整形透镜整形为均匀的光线。由于采用以上技术方案,本发明结构简单、整体体积偏小,无需更换胶片,即可印刷不同规格的电路板,操作简单方便,成像印刷效果佳。

Description

电路曝光机多光源光学成像系统
技术领域
本发明涉及光学设备领域,具体涉及一种光学成像装置。
背景技术
在大规模印刷电路板制作中,对印刷电路板图形的转移主要采用曝光机来实现,印制板的质量、精度等问题很大程度上取决于曝光机中光学成像装置产生的曝光效果的好坏。现有的曝光机中光学成像装置的工作方式主要是由一电路总光源经过滤光片过滤后,通过至少两个反射棱镜才可反射至投影胶片上,整个光学成像装置结构复杂,体积庞大。
另外,现有的光学成像装置无法对照射在投影胶片上的光线进行适当调整,使用方法较为死板,易出现光线不足或者光线过多,影响成像效果。
发明内容
本发明的目的在于提供一种电路曝光机多光源光学成像系统,解决以上技术问题。
本发明所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现:
电路曝光机多光源光学成像系统,包括一光源系统、一成像系统、一成像工作板,其特征在于,所述光源系统的光线通过所述成像系统照向所述成像工作板;
所述光源系统包括至少一光源子系统,所述光源子系统包括一发光器件、一整形透镜,所述发光器件发出的光线通过所述整形透镜整形为均匀的光线。
本发明不同与传统曝光机需要多次发射、折射才能将光线作用与所述成像工作板,光源系统的光线直线方向照向所述成像工作板,既可简化整体结构,又可便于控制成像效果。
所述发光器件外罩有一反光罩,所述反光罩的光线照射端朝向所述成像系统,所述发光器件的光线从所述反光罩的光线照射端射出。
所述光源子系统还包括一光圈,所述光圈位于所述发光器件与所述整形透镜之间,所述光圈的控制端连接一微型处理器系统。
所述光源子系统还包括一滤光片,所述滤光片位于所述发光器件与所述整形透镜之间,所述发光器件的光线通过所述滤光片照向所述成像系统,所述滤光片过滤去光线中除紫外线以外的其他光线。所述滤光片即可位于所述光圈上方,也可以位于所述光圈的下方,滤光片与所述光圈之间的相对位置并不影响所述光源子系统照射向所述成像系统的光线效果。
所述光源系统还包括至少一光敏元件,所述光敏元件位于所述整形透镜与成像工作板之间,所述光敏元件连接所述微型处理器系统,以便对各个光源子系统的光强进行对比,并调整,使各个光源子系统的光强相同。
所述发光器件照射出的光线垂直所述整形透镜的上端端面,所述整形透镜的下端端面平行于上端端面。
所述整形透镜的上端外围呈正方形,下端外围呈条形。
所述整形透镜的上端外围呈正方形,下端外围呈矩形,所述矩形面积大于所述正方形面积。所述整形透镜的下端外围呈长方形时,便于所述整形透镜将所述光源系统的光线从光点状整形为均匀光线。
还包括一动作机构,所述动作机构包括一用于固定投影胶片的框架、四个万向轴,所述万向轴一端连接所述框架,另一端连接所述成像工作板,所述动作机构连接所述微型处理器系统。四个万向轴在所述微型处理器系统的控制下,一起向同一方向移动,保持所述框架与所述成像工作板平行,且所述光源系统的光线与所述框架所在平面垂直。
四个所述万向轴中部各设有一滑槽,所述万向轴通过滑槽连接一设有滑片装置的光学镜片组;
所述光学镜片组包括至少一放大镜、一凹透镜,所述放大镜位于所述凹透镜与成像工作板之间,所述放大镜、凹透镜的边缘处各均匀设有四个所述滑片装置。所述滑片装置的控制端连接所述微型处理器系统。胶片上的图形通过所述光学镜片组的放大作用后,将其投影到所述成像工作板上,图形放大的比列主要通过调节滑片装置控制所述放大镜与所述所述成像工作板之间的距离来实现。
所述发光器件可以采用100-200W的高压水银灯。
所述发光器件可以采用100-200W的毛细管水银灯。
所述发光器件可以采用100-200W的紫外线灯。
所述光圈可以采用固定光圈,或者也可以采用猫眼式光圈。
有益效果:由于采用以上技术方案,本发明结构简单、整体体积偏小,无需更换胶片,即可印刷不同规格的电路板,操作简单方便,成像印刷效果佳。
附图说明
图1为本发明的一种结构示意图;
图2为本发明的另一种结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解,下面结合具体图示进一步阐述本发明。
参照图1、图2,电路曝光机多光源光学成像系统,包括一光源系统、一成像系统、一成像工作板3,光源系统的光线通过成像系统照向成像工作板3;光源系统包括至少一光源子系统,光源子系统包括一发光器件12、一整形透镜15,发光器件12发出的光线通过整形透镜15整形为均匀的光线。本发明不同与传统曝光机需要多次发射、折射才能将光线作用与成像工作板3,由于光源系统、成像系统位于成像工作板3的上方,光源系统的光线由上而下的照向成像工作板3,既可简化整体结构,又可便于控制成像效果。
发光器件12外罩有一反光罩11,反光罩11的光线照射端朝向成像系统。光源子系统还包括一光圈14,光圈14位于发光器件12与整形透镜15之间,光圈14的控制端连接一微型处理器系统。光源子系统还包括一滤光片13,滤光片13位于发光器件12与整形透镜15之间,发光器件12的光线通过滤光片13照向成像系统,滤光片过滤去光线中除紫外线以外的其他光线。滤光片13即可位于光圈14上方,也可以位于光圈14的下方,滤光片13与光圈14之间的相对位置并不影响光源子系统照射向成像系统的光线效果。
光源系统还包括至少一光敏元件,光敏元件位于整形透镜15与成像工作板之间,光敏元件连接微型处理器系统,以便对各个光源子系统的光强进行对比,并调整,使各个光源子系统的光强相同。
发光器件12照射出的光线垂直整形透镜15的上端端面,整形透镜15的下端端面平行于上端端面。整形透镜15的上端外围呈正方形,下端外围呈条形。或者也可以,整形透镜15的上端外围呈正方形,下端外围呈矩形,矩形面积大于正方形面积。当整形透镜15的下端外围呈长方形时,便于整形透镜15将光源系统的光线从光点状整形为均匀光线。
还包括一动作机构,动作机构包括一用于固定投影胶片的框架21、四个万向轴22,万向轴22一端连接框架,另一端连接成像工作板3,动作机构连接微型处理器系统。四个万向轴22在微型处理器系统的控制下,一起向同一方向移动,保持框架与成像工作板3平行,且光源系统的光线与框架21所在平面垂直。
四个万向轴22中部各设有一滑槽41,万向轴22通过滑槽41连接一设有滑片装置42的光学镜片组4;光学镜片组4包括至少一放大镜、一凹透镜,放大镜位于凹透镜与成像工作板之间,放大镜、凹透镜的边缘处各均匀设有四个滑片装置42。滑片装置42的控制端连接微型处理器系统。胶片上的图形通过光学镜片组4的放大作用后,将其投影到成像工作板3上,图形放大的比列主要通过调节滑片装置控制放大镜与成像工作板3之间的距离来实现。
发光器件12可以采用100-200W的高压水银灯。发光器件12也可以采用100-200W的毛细管水银灯。或者,发光器件12也可以采用100-200W的紫外线灯。光圈14可以采用固定光圈,或者也可以采用猫眼式光圈。
以上显示和描述了本发明的基本原理和主要特征和本发明的优点。本行业的技术人员应该了解,本发明不受上述实施例的限制,上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还会有各种变化和改进,这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (10)

1.电路曝光机多光源光学成像系统,包括一光源系统、一成像系统、一成像工作板,其特征在于,所述光源系统的光线通过所述成像系统照向所述成像工作板;
所述光源系统包括至少一光源子系统,所述光源子系统包括一发光器件、一整形透镜,所述发光器件发出的光线通过所述整形透镜整形为均匀的光线。
2.根据权利要求1所述的一种电路曝光机多光源光学成像系统,其特征在于:所述发光器件外罩有一反光罩,所述反光罩的光线照射端朝向所述成像系统。
3.根据权利要求2所述的一种电路曝光机多光源光学成像系统,其特征在于:所述光源子系统还包括一滤光片,所述滤光片位于所述发光器件与所述整形透镜之间,所述发光器件的光线通过所述滤光片照向所述成像系统,所述滤光片过滤去光线中除紫外线以外的其他光线。
4.根据权利要求2或3所述的一种电路曝光机多光源光学成像系统,其特征在于:所述光源子系统还包括一光圈,所述光圈位于所述发光器件与所述整形透镜之间,所述光圈的控制端连接一微型处理器系统。
5.根据权利要求4所述的一种电路曝光机多光源光学成像系统,其特征在于:所述光源系统还包括至少一光敏元件,所述光敏元件位于所述整形透镜与成像工作板之间,所述光敏元件连接所述微型处理器系统。
6.根据权利要求5所述的一种电路曝光机多光源光学成像系统,其特征在于:所述整形透镜的上端外围呈正方形,下端外围呈矩形,所述矩形面积大于所述正方形面积,通过所述发光器件照射出的光线垂直所述整形透镜的上端端面,所述整形透镜的下端端面平行于上端端面。
7.根据权利要求6所述的一种电路曝光机多光源光学成像系统,其特征在于:还包括一动作机构,所述动作机构包括一用于固定投影胶片的框架、四个万向轴,所述万向轴一端连接所述框架,另一端连接所述成像工作板,所述动作机构连接所述微型处理器系统;
四个万向轴在所述微型处理器系统的控制下,一起向同一方向移动,保持所述框架与所述成像工作板平行,且所述光源系统的光线与所述框架所在平面垂直。
8.根据权利要求7所述的一种电路曝光机多光源光学成像系统,其特征在于:四个所述万向轴中部各设有一滑槽,所述万向轴通过滑槽连接一设有滑片装置的光学镜片组。
9.根据权利要求8所述的一种电路曝光机多光源光学成像系统,其特征在于:所述光学镜片组包括至少一放大镜、一凹透镜,所述放大镜位于所述凹透镜与成像工作板之间,所述放大镜、凹透镜的边缘处各均匀设有四个所述滑片装置;
所述滑片装置的控制端连接所述微型处理器系统。
10.根据权利要求9所述的一种电路曝光机多光源光学成像系统,其特征在于:所述光源采用100-200W的高压水银灯。
CN201210133399.1A 2012-04-28 2012-04-28 电路曝光机多光源光学成像系统 Expired - Fee Related CN102692824B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210133399.1A CN102692824B (zh) 2012-04-28 2012-04-28 电路曝光机多光源光学成像系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201210133399.1A CN102692824B (zh) 2012-04-28 2012-04-28 电路曝光机多光源光学成像系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102692824A true CN102692824A (zh) 2012-09-26
CN102692824B CN102692824B (zh) 2014-09-03

Family

ID=46858381

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201210133399.1A Expired - Fee Related CN102692824B (zh) 2012-04-28 2012-04-28 电路曝光机多光源光学成像系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102692824B (zh)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1554982A (zh) * 2003-12-25 2004-12-15 上海交通大学 用于投影机的多光源照明系统
US20060209165A1 (en) * 2005-03-17 2006-09-21 Fuji Photo Film Co., Ltd. Exposure apparatus
CN1954597A (zh) * 2004-05-14 2007-04-25 3M创新有限公司 具有非径向对称孔径的照明系统
KR101087787B1 (ko) * 2010-11-05 2011-11-30 주식회사 나래나노텍 노광 장치용 라인 광원 및 라인 광원 모듈, 및 이를 구비한 패턴 형성용 노광 장치 및 노광 시스템

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1554982A (zh) * 2003-12-25 2004-12-15 上海交通大学 用于投影机的多光源照明系统
CN1954597A (zh) * 2004-05-14 2007-04-25 3M创新有限公司 具有非径向对称孔径的照明系统
US20060209165A1 (en) * 2005-03-17 2006-09-21 Fuji Photo Film Co., Ltd. Exposure apparatus
KR101087787B1 (ko) * 2010-11-05 2011-11-30 주식회사 나래나노텍 노광 장치용 라인 광원 및 라인 광원 모듈, 및 이를 구비한 패턴 형성용 노광 장치 및 노광 시스템

Also Published As

Publication number Publication date
CN102692824B (zh) 2014-09-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106363908B (zh) 一种光固化3d打印机的光学成像系统
CN103913955B (zh) 双面光刻机及双面光刻方法
TWI765954B (zh) 用於液態聚合物之光固化以形成三維物體的光線引擎及其方法
CN103543609B (zh) 用于光刻设备的双汞灯拼接曝光系统
JP6465591B2 (ja) 描画装置
CN208953889U (zh) 一种led投影照明光刻成像系统
CN102768469A (zh) 一种调焦调平分系统及其调整方法
EP2618212A1 (en) Asymmetrically tapered integrator rod
JP2006065118A (ja) 照明光学装置
CN104536186B (zh) 一种识别装置和对位系统
CN102692824B (zh) 电路曝光机多光源光学成像系统
TW200532255A (en) Light irradiating apparatus
CN206557518U (zh) 一种用于3d快速打印的紫外投影系统
TW200512805A (en) Illumination optical system and exposure apparatus
KR101432888B1 (ko) 노광 방법 및 그 장치
CN103105737A (zh) 使用拼接的多光源的光刻装置
CN108943698A (zh) 一种移动式3d打印装置
CN106064476B (zh) 一种基于3d打印机的调整装置及方法
CN212826869U (zh) 一种3d打印lcd匀光系统装置
CN209014908U (zh) 一种pcb板的uv led冷光源投影光刻机
CN103676483A (zh) 用于光刻曝光中的光强调节装置及光强调节方法
CN107561871A (zh) 接近式曝光和光配向一体装置、光配向方法及曝光方法
CN205447612U (zh) 一种舞台灯
CN201437144U (zh) 冲孔机的定位装置
CN204945619U (zh) 一种具有倍率微调功能的光刻远心物镜

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20140903

Termination date: 20150428

EXPY Termination of patent right or utility model