CN102566012A - 远心扫描镜头 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种远心扫描镜头，通过9.4um2片式非球面的设计，使整体性能达到衍射的极限，P-V光程差值小于四分之一波长。线性F-Theta畸变小于-4％，平均畸变为-1.3％。使用低吸收率的硒化锌和低反射AR膜层的吸收材料，来减小后反射问题。本发明中光从振镜片1入射并由振镜片2反射后进入远心F-Theta镜头第一片镜片3，经折射后，出射角比入射角小，光继续向后传播，经镜片4折射时光的角度和发射程度都变小。最后经窗口出射后，光被完全聚焦，并且出射角度与被聚焦面垂直。

Description

远心扫描镜头

技术领域

本发明涉及一种远心扫描镜头。

背景技术

随着科学技术的发展及生产中的需要，激光扫描技术得到了广泛的应用和发展，尤其在记录系统、光学文字识别、胶片阅读器、传真机、全息存贮和寻址等方面应用更是显示了其独特的优点，即无接触、高精度且容易与电子技术相结合，而扫描镜是该技术一个关键部分。

光扫描技术是上世纪70年代中期后出现的一种动态测试技术，它主要用白光或激光形成对被测对象的扫描运动，配合其它设备，构成各种精密测试方法，这种技术适合于做精密的测量。目前，从高精度的自动定位，面型检测、三维尺寸计量、表面瑕疵检查一直到超级市场的自动收获都已经应用了光扫描技术。

远心扫描透镜是经过特殊设计，使聚焦光束的主光线在任何视场角的情况下都垂直于焦平面。这是通过使系统的入瞳在透镜系统的前焦点位置来实现的。扫描系统中，入瞳位置指光束从光轴上偏折的位置。在单轴扫描系统中，入瞳位于扫描透镜处；在双轴系统，其位于两面扫描振镜的中间位置。远心扫描透镜可以用于PCB板的精密钻孔以及柔性电路板的切割。

发明内容

本发明解决了现有的标准镜头3片或4片式设计透过率低的问题，提出了一种2片式非球面、透过率为96％的设计。

本发明的镜头结构中使用的非球面使整体性能达到衍射极限，P-V光程差小于四分之一波长。全视场内弥散斑大小均匀，变化范围为73-77um，平均光斑大小是75um。远心度误差保持在2.7度以下，平均误差为1.5度。线性F-Theta畸变小于-4％，平均畸变是-1.3％。

本发明用低吸收率的硒化锌和低反射AR膜层的吸收材料，将后反射问题降到最低程度。

附图说明

图1为本发明聚焦面各位置上光斑的分布大小图

图2为本发明的光学示意图

图3为本发明的结构示意图

具体实施方式

本发明专利包括了振镜片1、振镜片2、镜片3、镜片4、镜筒5、压圈6、隔圈7、压圈8。

光从振镜片1入射并由振镜片2反射后进入远心F-Theta镜头第一片镜片3，经折射后，出射角比入射角小，光继续向后传播，经镜片4折射时光的角度和发射程度都变小。最后经窗口出射后，光被完全聚焦，并且出射角度与被聚焦面垂直。

Claims (3)

1.一种远心扫描镜头装置，其特征在于：它的镜头幅面能正好达到70×70mm，波段正好为9.4um，焦距正好为120mm。

2.根据权利要求1所述远心扫描镜头装置，其特征是远心扫描透镜为9.4um 2片非球面的设计，远心度误差保持在2.7度以下，平均误差为1.5度。线性线性F-Theta畸变小于-4％，平均畸变为-1.3％。

3.根据权利要求1、2任一项所述的远心扫描镜头装置，其特征是使用低吸收率的硒化锌和低反射AR膜层的吸收材料，来降低后反射问题。

Images