CN102534506A - 低温真空镀膜装置 - Google Patents

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史旭
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Abstract

本发明公开一种低温真空镀膜装置,该装置一真空镀膜腔体与过滤阴极离子真空镀膜源连接,真空镀膜腔体设有分子真空泵,并在真空镀膜腔体设有离子束清洗源,清洗被镀工件,真空镀膜腔体温度低于800C,被镀工件塑料制品,或橡胶制品放置于真空镀膜腔体内,用过滤阴极离子真空镀膜源对其镀膜,膜源的粒子方向能调整,可从不同角度对准被镀工件进行镀膜。本发明的优点是,被镀工件即使在小于800C温度条件下,仍有足够的镀层厚度,而且耐磨、耐腐蚀,并且能够镀制小型、细薄的塑料制品而不使产品变形,特别适用于某些精细加工行业。

Description

低温真空镀膜装置
技术领域
 本发明涉及真空电镀领域,特别涉及一种低温真空镀膜装置。 
背景技术
 常见的真空电镀,被镀的产品一般都是金属制品,因为在真空电镀条件下,温度都比较高,传统的溅射镀膜也必须在高温条件下形成较密的膜层,塑料制品等不能耐受高温,否则将引起产品变形。 
发明内容
为解决前述存在的问题,本发明提供一种低温真空镀膜装置,该装置一真空镀膜腔体与过滤阴极离子真空镀膜源连接,真空镀膜腔体设有分子真空泵,并在真空镀膜腔体设有离子束清洗源,清洗被镀工件,真空镀膜腔体温度低于800C,被镀工件放置于真空镀膜腔体内,用过滤阴极离子真空镀膜源对其镀膜,膜源的粒子方向是可调整的,可从不同的角度对被镀工件进行镀膜。
被镀工件是金属制品、或是非金属制品、或是塑料制品、或是橡胶制品。
本发明的优点是,被镀工件即使在小于800C温度条件下,仍有足够的镀层厚度,而且耐磨、耐腐蚀,并且能够镀制小型、细薄的塑料制品而不使产品变形,特别适用于某些精细加工行业。 
附图说明
附图1是本发明主视图;
附图2是附图1的侧视图。 
具体实施方式
请参阅附图1、2所示,本发明是一真空镀膜腔体3与过滤阴极离子真空镀膜源1连接,真空镀膜腔体3设有分子真空泵4,并在真空镀膜腔体3设有离子束清洗源,清洗被镀工件,真空镀膜腔体3温度低于800C,被镀工件塑料制品,或橡胶制品放置于真空镀膜腔体3内,用过滤阴极离子真空镀膜源1对其镀膜,膜源1经过滤器2后的粒子方向能够调整,可以从不同的角度对被镀工件进行镀膜。
本发明的过滤阴极离子真空镀膜源1是申请人的专利,属现有技术。

Claims (2)

1.一种低温真空镀膜装置,其特征在于,一真空镀膜腔体与过滤阴极离子真空镀膜源连接,真空镀膜腔体设有分子真空泵,并在真空镀膜腔体设有离子束清洗源,清洗被镀工件,真空镀膜腔体温度低于800C,被镀工件放置于真空镀膜腔体内,用过滤阴极离子真空镀膜源从不同的角度对被镀工件进行镀膜。
2.按权利1所述低温真空镀膜装置,其特征在于,所述被镀工件是金属制品、或是非金属制品、或是塑料制品、或是橡胶制品。
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