CN102513705A - 一种逆向防回流吹气装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种逆向防回流吹气装置，包括安装板，安装板上设置有带进气口的快插接头，中间部位设置有进气环，进气环上依次设置有屏蔽环、分流环以及聚焦环；所述进气环与安装板之间通过平头螺钉连接；所述屏蔽环是以外螺纹的方式连接在进气环上，分流环是以内螺纹的方式连接在屏蔽环上，聚焦环是以内螺纹的方式锁紧在分流环上；分流环与屏蔽环螺纹连接部位设有排气间隙；安装板内设置有联通进气口与进气环的硬式气道。本发明的优点是，这种逆向防回流吹气装置安装方便、性能可靠、定位准确、吹气均匀，无粉尘杂质回流和吹气方向不正及其它不良现象，机器光斑尺寸良好，在有效光程内基本无扩散现象，产生一定的经济效益和社会效益。
Description
技术领域
本发明涉及一种吹气装置，尤其是涉及一种逆向防回流吹气装置。
背景技术
激光光束在外光路中传导时容易遇到光斑扩散及光束能量衰减和镜片保护的问题；由于现有的装置结构过于简单，对于外光路的吹气，采用外光路管直接加工出一个与光轴成90度的M12螺纹孔，装入一个气拐角气嘴吹气机构，以成光束传导成反向的外置吹气。而对于拐角气嘴吹气机构，其灵活性较差、安装麻烦、调整不便，时常会出现吹气方向不正，吹出气体不均匀，外光路中粉尘和杂质回流、光斑扩散、光束能量衰减等问题。若经不良运行多次后，可严重影响切割质量，损坏反射镜片，使得整机切割精度丧失，激光气体和用电能耗显著提高。
在机器切割运行时，由于吹气不均匀，光斑尺寸时大时小，机器切割有时光束质量不稳定,使得切割精度不稳定，使被切割件尺寸经常不符合图纸要求，对企业的经济效益产生影响。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种防止激光光束扩散的逆向防回流吹气装置。
为了解决上述技术问题，本发明是通过以下技术方案实现的：这种逆向防回流吹气装置，包括安装板，安装板上设置有带进气口的快插接头，中间部位设置有进气环，所述进气环上依次设置有屏蔽环、分流环以及聚焦环。
为了使进气环固定在安装板上，进一步地，所述进气环与安装板之间通过平头螺钉连接。
为了能够使进气环、屏蔽环、分流环以及聚焦环相互固定连接，进一步地，所述屏蔽环是以外螺纹的方式连接在进气环上，分流环是以内螺纹的方式连接在屏蔽环上，聚焦环是以内螺纹的方式锁紧在分流环上。
为了能够排除气体，再进一步地，所述分流环与屏蔽环螺纹连接部位设有排气间隙。
为了能够使气体进入进气口之后能够整流，再进一步地，所述安装板内设置有联通进气口与进气环的硬式气道。
与现有技术相比，本发明的有益之处是：这种逆向防回流吹气装置安装方便、性能可靠、定位准确、吹气均匀，无粉尘杂质回流和吹气方向不正及其它不良现象，机器光斑尺寸良好，在有效光程内基本无扩散现象，产生一定的经济效益和社会效益。
附图说明：
下面结合附图对本发明进一步说明。
图1是本发明一种逆向防回流吹气装置结构示意图。
图中：1、快插接头； 2、安装板； 3、进气环； 4、屏蔽环； 5、分流环；
6、聚焦环； 7、平头螺钉； 8、进气口； 9、硬式气道。
具体实施方式：
下面结合附图及具体实施方式对本发明进行详细描述：
图1所示一种逆向防回流吹气装置，包括安装板2，安装板2上设置有带进气口8的快插接头1，用于进气；安装板2的中间部位设置有进气环3，并且通过平头螺钉7与安装板2固定连接；所述进气环3上依次设置有屏蔽环4、分流环5以及聚焦环6，屏蔽环4是以外螺纹的方式连接在进气环3上，分流环5是以内螺纹的方式连接在屏蔽环4上，聚焦环6是以内螺纹的方式锁紧在分流环5上，保证各自之间的连接配合；所述分流环5与屏蔽环4螺纹连接部位设有排气间隙；所述安装板2内设置有联通进气口8与进气环3的硬式气道9，保证气体从进气口8进入后，能够导流至进气环3处，进行整流。
工作时，高纯净压缩空气或氮气从安装板2的硬式气路9流入进气环3后，进气环3将气体整合在进气环3中的气腔中，然后由进气环3上的分流环5将气体分成两路:一路由屏蔽环4的进气孔引入至分流环5与屏蔽环4夹合成的气体整流室内，而后从分流环5与屏蔽环4之间的排气间隙中以相对于屏蔽环4轴线成90度的方向排出，生成外圈圆形中间向两端凸出的气体形态；另一路气体由分流环5末端整流，再由聚焦式吹气环的12个直径为1.0mm小孔均匀排出，在出口向前150MM处聚焦，并重新整流，使得气成柱状绕流吹于激光光轴和安全护罩内。
这种逆向防回流吹气装置安装方便、性能可靠、定位准确、吹气均匀，无粉尘杂质回流和吹气方向不正及其它不良现象，机器光斑尺寸良好，在有效光程内基本无扩散现象，产生一定的经济效益和社会效益。
需要强调的是：以上仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，凡是依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。
Claims (5)
1.一种逆向防回流吹气装置，其特征在于：包括安装板（2），安装板（2）上设置有带进气口（8）的快插接头（1），中间部位设置有进气环（3），所述进气环（3）上依次设置有屏蔽环（4）、分流环（5）以及聚焦环（6）。
2.根据权利要求1所述的逆向防回流吹气装置，其特征在于：所述进气环（3）与安装板（2）之间通过平头螺钉（7）连接。
3.根据权利要求1所述的逆向防回流吹气装置，其特征在于：所述屏蔽环（4）是以外螺纹的方式连接在进气环（3）上，分流环（5）是以内螺纹的方式连接在屏蔽环（4）上，聚焦环（6）是以内螺纹的方式锁紧在分流环（5）上。
4.根据权利要求3所述的逆向防回流吹气装置，其特征在于：所述分流环（5）与屏蔽环（4）螺纹连接部位设有排气间隙。
5.根据权利要求1所述的逆向防回流吹气装置，其特征在于：所述安装板（2）内设置有联通进气口（8）与进气环（3）的硬式气道（9）。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201210002543 CN102513705A (zh) | 2012-01-06 | 2012-01-06 | 一种逆向防回流吹气装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201210002543 CN102513705A (zh) | 2012-01-06 | 2012-01-06 | 一种逆向防回流吹气装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102513705A true CN102513705A (zh) | 2012-06-27 |
Family
ID=46284913
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN 201210002543 Pending CN102513705A (zh) | 2012-01-06 | 2012-01-06 | 一种逆向防回流吹气装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN102513705A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI573169B (zh) * | 2013-12-18 | 2017-03-01 | Tokyo Electron Ltd | Preventing particle countercurrent components and substrate processing devices |
| CN110544645A (zh) * | 2018-05-28 | 2019-12-06 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 工艺腔室用匀流件、工艺腔室和半导体处理设备 |
-
2012
- 2012-01-06 CN CN 201210002543 patent/CN102513705A/zh active Pending
Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| TWI573169B (zh) * | 2013-12-18 | 2017-03-01 | Tokyo Electron Ltd | Preventing particle countercurrent components and substrate processing devices |
| CN110544645A (zh) * | 2018-05-28 | 2019-12-06 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 工艺腔室用匀流件、工艺腔室和半导体处理设备 |
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Legal Events
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|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20120627 |