CN102500438B - 一种声表面波控制的纸基微流开关 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种声表面波控制的纸基微流开关,其利用叉指换能器激发的声表面波对疏水层上的微液滴进行辐射,使微液滴发生形变而增高,微液滴增高后与折叠纸基微通道的未折叠部分的最低端接触被折叠纸基微通道吸收,微液滴在折叠纸基微通道中输运,当微液滴输运到折叠纸基微通道的折角处时,折角增加使得折叠纸基微通道的高度发生变化,使得折叠纸基微通道的折叠部分的第一折部与第一纸基微通道和第二纸基微通道接触,使得第一纸基微通道中的微流体经折叠部分的第一折部到达第二纸基微通道中,这种利用微液滴的高度变化来控制纸基微流开关的闭合与断开的方式,方便地实现了纸基微流开关的可编程特性,同时极大地拓展了压电微流控芯片的应用范围。
Description
技术领域
本发明涉及一种微流控芯片中的微流开关,尤其是涉及一种声表面波控制的纸基微流开关。
背景技术
微流控芯片是一个跨学科的新领域,以分析化学为基础,以微机电加工技术为依托,以微管道网络为结构特征,以生命科学为目前主要应用对象,是当前微型全分析系统领域发展的重点。微流控芯片的目标是把整个实验室的功能,包括采样、稀释、加试剂、反应、分离、检测等集成在微芯片上,且可多次使用,从而交叉实现化学分析系统从试样处理到检测的整体微型化、自动化、集成化与便携化,用以代替传统的实验室工作。微流控芯片具有液体流动可控、消耗试样和试剂极少、分析速度大幅度提高等优点,它不仅可使珍贵的生化试样与试剂消耗量大大降低到微升甚至纳升量级,而且可使分析速度成十倍百倍地提高,费用成十倍百倍地下降,从而为分析测试技术普及到千家万户,实现分析实验室的“家庭化”、“个人化”创造了条件。由于微流控芯片在生物、化学、医学等领域的巨大潜力,因此其已经发展成为一个生物、化学、医学、流体、电子、材料、机械等学科交叉的崭新研究领域。鉴于微流控芯片所具有的广泛功能与用途,以微流控芯片为核心的微分析系统将取代当前化学分析实验室的很多设备,使化学分折进入病房、生产现场甚至家庭。最终能监测自身生化指标及基因变异、食品卫生及环境状况的便携式“个人化验室”将可能成为现实。近年来,压电微流控芯片得到了快速发展,已经在其压电基片上实现了微流体输运、分离、富集等一系列的微流操作。目前,压电微流芯片已经发展成为微流控学研究的一个重要分支。
微流开关是微流控芯片重要的组成部分,它可以控制微流体在特定的时间和特定的微通道内输运。现有的以玻璃、石英、金属、PMMA(Polymethyl Methacrylate,聚甲基丙烯酸甲酯)、塑料等为基底材料制作的微流控芯片,微流体在微通道内的输运主要依靠微泵、微阀等单元来实现微流控制,不仅制作工艺复杂,而且需要体积较为庞大的微流体驱动设备,难以集成,不易携带。
纸基微流器件的出现,解决了这些微流器件中微流体输运产生的问题,它利用纸基片内纤维素的毛细管力实现微流体输运。纸基微流器件的工艺简单、成本极低,为市场潜力十分巨大的即时检验系统的广泛应用创造了条件。现有的纸基微流器件中,控制微流体在微通道内输运主要采用机械力或电磁力等实现微流开关功能,不易实现自动化。如期刊《片上实验室》2010年2499-2504页(Lab Chip, 2010, 10, 2499–2504)公开了《基于纸和胶带的可编程诊断器件》(《Programmable diagnostic devices made from paper and tape》),该论文公开的微流开关由多层纸基片构成,其工作时,用笔尖按住上面的第一纸基微通道并与下面的第二纸基微通道接触,微流体通过上面的第一纸基微通道流入下面的第二纸基微通道,微流体基于纸毛细管力使其定向流动,再用笔尖按住上面的第三纸基微通道并与下面的第二纸基微通道接触,微流体便可以从下面的第二纸基微通道流动到上面的第三纸基微通道上,如此反复,用笔尖的按压作为微流体输运的开关特性。这种微流开关操作简单、制作成本低、且无需外围气泵等设备,因而便于携带。但由于它需要外加机械力来控制开关的闭合,因此不利于微流自动分析。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种结构简单,且易于编程控制和利于集成化的纸基微流开关,它由声表面波来控制开关功能。
本发明解决上述技术问题所采用的技术方案为:一种声表面波控制的纸基微流开关,其特征在于包括压电基片,所述的压电基片的上表面为工作表面,所述的压电基片的工作表面的两侧区域上对称设置有用于激发声表面波的叉指换能器,所述的压电基片的工作表面上还设置有开关组件,所述的开关组件包括PDMS微架和位于所述的PDMS微架的上方的塑料片,所述的塑料片的下表面上设置有第一纸基微通道和与所述的第一纸基微通道互不接触的第二纸基微通道,所述的PDMS微架主要由两个固定于所述的压电基片上的支撑脚和设置于两个所述的支撑脚上的固定片组成,所述的压电基片位于所述的固定片的正下方的区域构成微液滴置放区域,所述的微液滴置放区域位于两个所述的叉指换能器激发的声表面波的声传输路径上,所述的微液滴置放区域上设置有疏水层,所述的固定片上设置有两个微孔,两个所述的微孔内连接有一个折叠纸基微通道,所述的折叠纸基微通道位于所述的第一纸基微通道和所述的第二纸基微通道的下方,所述的折叠纸基微通道具有折叠部分和未折叠部分,所述的折叠纸基微通道的折叠部分位于所述的固定片的上方,所述的折叠纸基微通道的未折叠部分的两端分别固定于两个所述的微孔内,所述的折叠纸基微通道的未折叠部分位于所述的固定片的下方呈自然下垂弧形状,所述的折叠纸基微通道的未折叠部分的最低端对准置放于所述的疏水层上的微液滴,两个所述的叉指换能器激发的相向的声表面波未作用于所述的微液滴时,所述的折叠纸基微通道的折叠部分的第一折部与所述的第一纸基微通道和所述的第二纸基微通道均互不接触;两个所述的叉指换能器激发的相向的声表面波作用于所述的微液滴时,所述的微液滴发生形变而增高并与所述的折叠纸基微通道的未折叠部分的最低端接触,所述的折叠纸基微通道的未折叠部分吸收所述的微液滴,所述的微液滴输运至所述的折叠纸基微通道的折叠部分的折角处时所述的折叠纸基微通道的折叠部分的高度增加促使所述的折叠纸基微通道的折叠部分的第一折部分别与所述的第一纸基微通道和所述的第二纸基微通道接触。
所述的折叠纸基微通道的未折叠部分的两端各自通过一个PDMS微楔分别固定于两个所述的微孔内。
所述的第一纸基微通道与所述的第二纸基微通道相向设置于所述的塑料片的下表面上,所述的第一纸基微通道与所述的第二纸基微通道相向一端之间的间距为0.5~1mm。
所述的第一纸基微通道和所述的第二纸基微通道相向一端之间的间隔区域的中心与所述的折叠纸基微通道的折叠部分的第一折部的中心对准。
所述的折叠纸基微通道的未折叠部分的最低端与所述的微液滴的最顶端之间的距离为0.5~1.5mm,所述的微液滴的大小为4μL~6μL。
所述的塑料片的下表面上还设置有微流体引入纸基微通道,所述的微流体引入纸基微通道与所述的第一纸基微通道连接。
所述的塑料片的两端分别通过PDMS垫块与所述的压电基片固定连接。
所述的PDMS微架、所述的PDMS微楔和所述的PDMS垫块均主要由体积比为(5~12):1的道康宁184的单体和固化剂混合制备而成。
所述的压电基片的工作表面上设置有用于反射所述的叉指换能器激发的声表面波的反射栅,所述的叉指换能器连接有信号发生装置,所述的信号发生装置主要由用于产生RF电信号的信号发生器和与所述的信号发生器连接的功率放大器组成,两个所述的叉指换能器具有相同的尺寸,所述的叉指换能器包括两个汇流条,所述的汇流条与所述的功率放大器相连接。
所述的压电基片的下表面上连接有PCB板,所述的PCB板上设置有引线脚,所述的汇流条通过导线与所述的引线脚相连接,所述的引线脚通过导线与所述的功率放大器相连接。
与现有技术相比,本发明的优点在于:
1)通过在压电基片上设置一个开关组件,该开关组件包括PDMS微架和位于PDMS微架的上方的塑料片,塑料片的下表面上设置有第一纸基微通道和与第一纸基微通道互不接触的第二纸基微通道,PDMS微架主要由两个固定于压电基片上的支撑脚和设置于两个支撑脚上的固定片组成,压电基片位于固定片的正下方的区域构成微液滴置放区域,微液滴置放区域位于两个叉指换能器激发的声表面波的声传输路径上,微液滴置放区域上设置有疏水层,固定片上设置有两个微孔,两个微孔内连接有一个折叠纸基微通道,折叠纸基微通道位于第一纸基微通道和第二纸基微通道的下方,折叠纸基微通道具有折叠部分和未折叠部分,折叠纸基微通道的折叠部分位于固定片的上方,折叠纸基微通道的未折叠部分的两端分别固定于两个微孔内,折叠纸基微通道的未折叠部分位于固定片的下方呈自然下垂弧形状,折叠纸基微通道的未折叠部分的最低端对准置放于疏水层上的微液滴,这样叉指换能器激发的声表面波对微液滴进行辐射时,可使微液滴发生形变而增高,微液滴增高后与未折叠部分的最低端接触被折叠纸基微通道吸收,微液滴在折叠纸基微通道中输运,当微液滴输运到折叠纸基微通道的折角处时,折角增加使得折叠纸基微通道的高度发生变化,使得折叠纸基微通道的折叠部分的第一折部与第一纸基微通道和第二纸基微通道接触,使得第一纸基微通道中的微流体经由折叠纸基微通道的折叠部分的第一折部到达第二纸基微通道中,实现了两个纸基微通道的连通,这种利用微液滴的高度变化来控制纸基微流开关的闭合与断开的方式,由于声表面波由RF电信号激发,因此只要编程控制RF电信号,即可控制声表面波的有或无,方便地实现了纸基微流开关的可编程特性,同时极大地拓展了压电微流控芯片的应用范围。
2)本发明应用微流体受到两相向声表面波辐射力作用,即利用声表面波作为能量源促使微液滴发生形变,微液滴发生形变而增高时使得折叠纸基微通道的折叠部分的第一折部分别与第一纸基微通道和第二纸基微通道接触,从而使得位于第一纸基微通道上的微流体流动到折叠纸基微通道的折叠部分的第一折部分上,再从折叠纸基微通道的折叠部分的第一折部分流动到第二纸基微通道上,实现了微流体的输运过程。
3)本发明的纸基微流开关的结构简单、成本低、操作简便,且由于其利用声表面波来控制开关的闭合与断开,利于集成到微流控芯片中;本发明的PDMS微架本身具有部分粘性,可直接贴合在疏水层上,易于集成;本发明的纸基微流开关的开关功能无需依靠机械力,便于微流自动分析
4)本发明的纸基微流开关可应用于疾病诊断、药物筛选、环境监测及食品安全等微流控芯片中。
附图说明
图1为本发明的纸基微流开关的结构示意图;
图2为本发明的纸基微流开关的局部透视示意图。
具体实施方式
以下结合附图实施例对本发明作进一步详细描述。
本发明提出的一种声表面波控制的纸基微流开关,如图所示,其主要包括信号发生装置1和压电基片2,压电基片2的上表面为工作表面,压电基片2的工作表面上采用现有的微电子工艺光刻有两个用于激发声表面波的叉指换能器3和两个用于反射叉指换能器3激发的声表面波以减小RF信号的功率的反射栅4,两个叉指换能器3具有相同尺寸且位于压电基片2的工作表面对称的两侧边缘区域上,反射栅4的位置更靠近压电基片2的侧端。压电基片2的工作表面上还设置有开关组件5,开关组件5包括PDMS(polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)微架51和位于PDMS微架51的上方的塑料片52,塑料片52的下表面上设置有第一纸基微通道521和与第一纸基微通道521互不接触的第二纸基微通道522,PDMS微架51主要由两个固定于压电基片2上的支撑脚511和一体设置于两个支撑脚511上的固定片512组成,压电基片2位于固定片512的正下方的区域构成微液滴置放区域53,微液滴置放区域53位于两个叉指换能器3激发的声表面波的声传输路径上,微液滴置放区域53上设置有疏水层54,在实际处理过程中疏水层54可设置的更大一点,即可使该疏水层54覆盖两个叉指换能器3激发的声表面波的声传输路径,保证了置放于疏水层54上的微液滴56位于声传输路径上,该疏水层54为在声传输路径上涂覆一层Teflon AF 1600疏水材料形成,固定片512上设置有两个微孔513,两个微孔513内连接有一个折叠纸基微通道55,折叠纸基微通道55位于第一纸基微通道521和第二纸基微通道522的下方,折叠纸基微通道55具有折叠部分551和未折叠部分552,图1和图2中给出了三折的折叠部分551,该折叠部分551包括三个折部和两个折角,第三个折部与未折叠部分552的一端相连接且连接处也构成一个折角,折叠纸基微通道55的折叠部分551位于固定片512的上方,折叠纸基微通道55的未折叠部分552的两端分别固定于两个微孔513内,折叠纸基微通道55的未折叠部分552位于固定片512的下方呈自然下垂弧形状,折叠纸基微通道55的未折叠部分552的最低端对准置放于疏水层54上的微液滴56。当两个叉指换能器3激发的相向的声表面波未作用于微液滴56时,折叠纸基微通道55的折叠部分551的第一折部553与第一纸基微通道521和第二纸基微通道522均互不接触;当两个叉指换能器3激发的相向的声表面波作用于微液滴56时,微液滴56发生形变而增高并与折叠纸基微通道55的未折叠部分552的最低端接触,折叠纸基微通道55的未折叠部分552吸收微液滴56,微液滴56输运至折叠纸基微通道55的折叠部分551的折角处时折叠纸基微通道55的折叠部分551的高度增加促使折叠纸基微通道55的折叠部分551的第一折部553分别与第一纸基微通道521和第二纸基微通道522接触。
在此具体实施例中,信号发生装置1主要由用于产生RF(Radio Frequency,射频)电信号的信号发生器11和与信号发生器11连接的功率放大器12组成,压电基片2的下表面上连接有PCB板7,PCB板7上设置有多个引线脚71,叉指换能器3包括两个汇流条31,汇流条31通过导线经压焊或导电银胶等方式与引线脚71相连接,引线脚71通过导线与功率放大器12相连接,信号发生器11输出RF电信号,该RF电信号经功率放大器12放大后再加载到两个叉指换能器3上,叉指换能器3在RF电信号的作用下激发声表面波。在此,信号发生器11和功率放大器12均采用现有技术。在此,PCB板7也可由其它现有的可以固定导线的基板替代。
在此具体实施例中,压电基片2可采用机电耦合系数稍大的压电基片,基本可取机电耦合系数大于5.5%的压电基片,如1280-YX LiNbO3压电基片,因为在相同的RF电信号下,设置于具有较大机电耦合系数的压电基片上的叉指换能器能够产生幅度较大的声表面波,这样易于利用幅度较大的声表面波辐射置放于疏水层54上的微液滴56而使微液滴56快速发生形变而增加其自身的高度。
在此具体实施例中,折叠纸基微通道55的未折叠部分552的两端各自通过一个PDMS微楔58分别固定于两个微孔513内;塑料片52的两端分别通过PDMS垫块59与压电基片2固定连接,在实际处理过程中,也可将塑料片52通过PDMS垫块59与PCB板7连接。
在此具体实施例中,塑料片52的下表面上还设置有微流体引入纸基微通道57,微流体引入纸基微通道57与第一纸基微通道521连接,微流体引入纸基微通道57与第二纸基微通道522互不接触,微流体通过微流体引入纸基微通道57引入。
在此,微流体引入纸基微通道57、第一纸基微通道521和第二纸基微通道522均通过双面胶粘贴在塑料片52的下表面上。在此,塑料片52需采用具有一定硬度的塑料片,目的是为了能承载微流体引入纸基微通道57、第一纸基微通道521和第二纸基微通道522,实际处理过程中也可以采用载玻片等替代。
在此,可将PDMS微架51的固定片512上的微孔513的直径大小设计为略小于折叠纸基微通道55的宽度,即保证折叠纸基微通道55的未折叠部分552的两端刚好通过微孔513即可;第一纸基微通道521与第二纸基微通道522相向设置于塑料片52的下表面上,可将第一纸基微通道521与第二纸基微通道522相向一端之间的间距设计为0.5~1mm左右,实际处理过程中,可根据折叠纸基微通道55的折叠部分551的第一折部553的长度而确定第一纸基微通道521与第二纸基微通道522相向一端之间的间距,只需保证第一纸基微通道521中的微流体能够通过折叠纸基微通道55的折叠部分551的第一折部553后进入第二纸基微通道522中;第一纸基微通道521和第二纸基微通道522相向一端之间的间隔区域的中心与折叠纸基微通道55的折叠部分551的第一折部553的中心对准,可将第一纸基微通道521与第二纸基微通道522之间的间隔区域的中心到折叠纸基微通道55的折叠部分551的第一折部553的垂直距离设计为2~3mm左右;可将折叠纸基微通道55的未折叠部分552的最低端与微液滴56的最顶端之间的距离设计为0.5~1.5mm左右,实际上,未折叠部分552的最低端与微液滴56的最顶端之间的距离可根据微液滴56的大小决定,在叉指换能器3激发的声表面波的功率固定的情况下,如果微液滴56较大,则未折叠部分552的最低端与微液滴56的最顶端之间的距离可设计的相对较长些,如果微液滴56较小,则未折叠部分552的最低端与微液滴56的最顶端之间的距离可设计的相对较短些,在此具体实施例中,将折叠纸基微通道55的未折叠部分552的最低端与微液滴56的最顶端之间的距离设计为0.5~1.5mm左右,同时取微液滴56的大小为4μL~6μL左右,这种情况下足以保证当微液滴56发生形变时其被折叠纸基微通道55吸收。
在此具体实施例中,PDMS微架51、PDMS微楔58和PDMS垫块59均主要由体积比为(5~12):1的道康宁184的单体和固化剂混合制备而成。在此,采用模塑法制作PDMS微架51,在制备PDMS微架51过程中,为能够使PDMS微架51的支撑脚511的底部能够较好地紧贴粘在疏水层54上,可适当提高单体和固化剂的体积比比例,从而使得制成的PDMS微架51具有比较好的柔软性,从而提高PDMS微架51粘贴于疏水层54上的固定力。如果在制备PDMS微架51时选取的单体和固化剂的体积比例较小,则可在制成的PDMS微架51的支撑脚511的底部再涂上一层由具有较高体积比例的单体和固化剂混合而成的PDMS聚合物,并经过80℃恒温箱固化1小时,这样,PDMS微架51的周壁的底部即可比较牢固地与压电基片2粘合。
本发明的纸基微流开关工作时,为了实现微流体在第一纸基微通道521中到达到另第二纸基微通道522中,将经过功率放大器12放大了的RF信号加载到压电基片2上的两个叉指换能器3上,两个叉指换能器3激发的两相向声表面波作用于疏水层54上微液滴56,使其形变而增加微液滴56的高度,当微液滴56的高度增加到足以接触到折叠纸基微通道55的未折叠部分552的最低端时,折叠纸基微通道55的未折叠部分552吸收微液滴56,微液滴56在折叠纸基微通道55中输运,当微液滴56输运到折叠纸基微通道55的折角处时,折角增加使得折叠纸基微通道55的高度发生变化,使得折叠纸基微通道55的折叠部分551的第一折部553与第一纸基微通道521和第二纸基微通道522接触,使得第一纸基微通道521中的微流体经由折叠纸基微通道55的折叠部分551的第一折部553到达第二纸基微通道522中,实现了两个纸基微通道的连通。由于纸基微流器件价格十分低廉,属于用完即弃的一次性器件,所以只要实现原来断开的纸基微通道在需要连接时闭合即可。在实际处理过程中,纸基微通道也可以是复杂的纸基流路。
Claims (10)
1.一种声表面波控制的纸基微流开关,其特征在于包括压电基片,所述的压电基片的上表面为工作表面,所述的压电基片的工作表面的两侧区域上对称设置有用于激发声表面波的叉指换能器,所述的压电基片的工作表面上还设置有开关组件,所述的开关组件包括PDMS微架和位于所述的PDMS微架的上方的塑料片,所述的塑料片的下表面上设置有第一纸基微通道和与所述的第一纸基微通道互不接触的第二纸基微通道,所述的PDMS微架主要由两个固定于所述的压电基片上的支撑脚和设置于两个所述的支撑脚上的固定片组成,所述的压电基片的工作表面上存在一个区域为微液滴置放区域,所述的微液滴置放区域位于所述的固定片的正下方,所述的微液滴置放区域位于两个所述的叉指换能器激发的声表面波的声传输路径上,所述的微液滴置放区域上设置有疏水层,所述的疏水层覆盖两个所述的叉指换能器激发的声表面波的声传输路径,所述的固定片上设置有两个微孔,两个所述的微孔内连接有一个折叠纸基微通道,所述的折叠纸基微通道位于所述的第一纸基微通道和所述的第二纸基微通道的下方,所述的折叠纸基微通道具有折叠部分和未折叠部分,所述的折叠纸基微通道的折叠部分位于所述的固定片的上方,所述的折叠纸基微通道的未折叠部分的两端分别固定于两个所述的微孔内,所述的折叠纸基微通道的未折叠部分位于所述的固定片的下方呈自然下垂弧形状,所述的折叠纸基微通道的未折叠部分的最低端对准置放于所述的疏水层上的微液滴,两个所述的叉指换能器激发的相向的声表面波未作用于所述的微液滴时,所述的折叠纸基微通道的折叠部分的第一折部与所述的第一纸基微通道和所述的第二纸基微通道均互不接触;两个所述的叉指换能器激发的相向的声表面波作用于所述的微液滴时,所述的微液滴发生形变而增高并与所述的折叠纸基微通道的未折叠部分的最低端接触,所述的折叠纸基微通道的未折叠部分吸收所述的微液滴,所述的微液滴输运至所述的折叠纸基微通道的折叠部分的折角处时所述的折叠纸基微通道的折叠部分的高度增加促使所述的折叠纸基微通道的折叠部分的第一折部分别与所述的第一纸基微通道和所述的第二纸基微通道接触。
2.根据权利要求1所述的一种声表面波控制的纸基微流开关,其特征在于所述的折叠纸基微通道的未折叠部分的两端各自通过一个PDMS微楔分别固定于两个所述的微孔内。
3.根据权利要求1或2所述的一种声表面波控制的纸基微流开关,其特征在于所述的第一纸基微通道与所述的第二纸基微通道相向设置于所述的塑料片的下表面上,所述的第一纸基微通道与所述的第二纸基微通道相向一端之间的间距为0.5~1mm。
4.根据权利要求3所述的一种声表面波控制的纸基微流开关,其特征在于所述的第一纸基微通道和所述的第二纸基微通道相向一端之间的间隔区域的中心与所述的折叠纸基微通道的折叠部分的第一折部的中心对准。
5.根据权利要求4所述的一种声表面波控制的纸基微流开关,其特征在于所述的折叠纸基微通道的未折叠部分的最低端与所述的微液滴的最顶端之间的距离为0.5~1.5mm,所述的微液滴的大小为4μL~6μL。
6.根据权利要求5所述的一种声表面波控制的纸基微流开关,其特征在于所述的塑料片的下表面上还设置有微流体引入纸基微通道,所述的微流体引入纸基微通道与所述的第一纸基微通道连接。
7.根据权利要求6所述的一种声表面波控制的纸基微流开关,其特征在于所述的塑料片的两端分别通过PDMS垫块与所述的压电基片固定连接。
8.根据权利要求7所述的一种声表面波控制的纸基微流开关,其特征在于所述的PDMS微架、所述的PDMS微楔和所述的PDMS垫块均主要由体积比为(5~12):1的道康宁184的单体和固化剂混合制备而成。
9.根据权利要求1所述的一种声表面波控制的纸基微流开关,其特征在于所述的压电基片的工作表面上设置有用于反射所述的叉指换能器激发的声表面波的反射栅,所述的叉指换能器连接有信号发生装置,所述的信号发生装置主要由用于产生RF电信号的信号发生器和与所述的信号发生器连接的功率放大器组成,两个所述的叉指换能器具有相同的尺寸,所述的叉指换能器包括两个汇流条,所述的汇流条与所述的功率放大器相连接。
10.根据权利要求9所述的一种声表面波控制的纸基微流开关,其特征在于所述的压电基片的下表面上连接有PCB板,所述的PCB板上设置有引线脚,所述的汇流条通过导线与所述的引线脚相连接,所述的引线脚通过导线与所述的功率放大器相连接。
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