CN102442630B - 一种基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构，包括一个基准底座；一个能够传递和转换元件的平移或转动单元；两个或两个以上的静电驱动器；一个或者多个弹簧或者挠性装置；每个静电驱动器均由静电极和动电极组成；静电极安装在所述的基准底座上；每个弹簧或者挠性装置将静电极连接到传递和转换元件上；因此只要通过给静电驱动器加电压通过分别控制加在静电驱动器上的电压信号就能够使静电极相对于基准底座运动，就是传递和转换元件能够单独平移，单独转动或者同时平移转动。通过对静电驱动器施加和控制施加的电压信号，能够使各静电驱动器相对于基准底座移动，上述的传递和转换元件能够平动，转动，或同时平动和转动。
Description
技术领域
本发明属于微平移旋转机构和微光电机械系统领域，具体涉及一种基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构。
背景技术
微平移旋转机构可以应用于自适应光学的波阵面校正、空间光调制、微内窥镜共焦成像、自动对焦或者自动变焦镜头的微小移动、光学元件对准、显微操纵器和微位移平台等方面。这些应用领域大多需要出平面平移或者旋转运动，或者即需要平移又需要旋转。例如，应用于大型地面望远镜的自适应光学模块需要超过10μm的移动，视觉领域的自适应光学模块的波阵面校正需要超过20μm的移动，自动对焦或者自动变焦镜头的微小移动需要几十到几百微米，还有如光学元件的对准、微操作器、微移动平台、光学相关断层扫描、共焦显微成像和一些二维旋转成像及显示等方面的应用。
人们开发了多种微型机构，以实现较大的出面平移和旋转运动。这些设计包括V.Milanovic等人提出的基于微静电驱动器的微型机构(发表在IEEEPhotonics Technology Letters，Vol.16，pp.1891-1893，2004)、A.Jain，H.Xie所设计的基于电热驱动器的微型机构(发表在IEEE Journal of Selected Topics inQuantum Electronics，Vol.13，pp.228-234，2007)和I-J Cho，E.Yoon所提出的基于电磁激励的微型机构(发表在J.Micromech.Microeng.Vol.19，pp.1-8，2009)。
基于微电热驱动器的设计能够实现几百微米的出面移动。但是，基于电热驱动器的设计需要较高的能量供给(10s～100s mW)，响应慢且精度低。基于电磁驱动器的设计能够实现84μm的移动，其缺点是能量消耗较大，高达100smW，并且磁性薄膜的制造和外磁场的施加非常困难。相对于微电热驱动器和微电磁驱动器，基于微静电驱动器的设计所需之能量消耗很小(低于1Mw，甚至可以以零能量消耗来维持静态位置)，响应快，精度高且CMOS的加工制造互换性很好。但是，用微静电驱动器实现大行程的出面平移旋转运动还是非常有挑战性的。为此，多种静电驱动器的已经被开发出来以实现大行程出平面运动。例如F.Pardo等人提出的静电驱动器可以实现5μm的出平面移动(发表于Journal of Microelectronic Engineering，Vol.84，pp.1157-1161，2007)，此设计将面内的梳状驱动器的旋转运动转化为出面平移运动。M.A.Helmbrecht提出的平行板驱动器(发表在Proc.SPIE，Vol.6223，2006，pp.622305.1-622305.7)可实现7.5μm，它是利用残余应力获取较大的初始间隙来抬高运动电极。V.Milanovic等人提出的静电驱动器(发表在IEEE Journal of Selected Topics inQuantum Electronics，Vol.10，pp.462-471，462-471，2004)可实现60μm的出面移动，此驱动器是利用一个纵向梳状结构和一个旋转变压器结构来实现的，利用正面和背面的SOI晶圆腐蚀来实现其加工制造。
鉴于上述讨论，有必要提出可实现大行程平移旋转运动的微驱动器的设计。
发明内容
本发明的目的是提供一种基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构，克服了现有产品实现大行程出平面运动难度大的不足，能够简单的实现大行程出平面运动，具有能量消耗很小，响应快，精度高且加工制造互换性好的特点。
为了达到上述设计目的，本发明采用的技术方案如下：
一种基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构，包括一个基准底座；一个能够传递和转换元件的平移或转动单元；两个或两个以上的静电驱动器；一个或者多个弹簧或者挠性装置；每个静电驱动器均由静电极和动电极组成；静电极安装在所述的基准底座上；每个弹簧或者挠性装置将静电极连接到传递和转换元件上；因此只要通过给静电驱动器加电压通过分别控制加在静电驱动器上的电压信号就能够使静电极相对于基准底座运动，就是传递和转换元件能够单独平移，单独转动或者同时平移转动。
所述每个静电驱动器弹性连接到传递和转换元件的对面，传递和转换元件在一个平面上旋转。
所述静电驱动器等距、弹性的分布在传递和转换元件的周围，其中传递和转换元件在两个面上旋转。
所述静电驱动器具有相同数目的电极；所述静电驱动器具有相同的电极长度；所述静电驱动器具有相同的电极宽度；所述静电驱动器具有相同的悬架弹簧或者挠性装置。
所述每个静电驱动器的电极具有相同的长度；每个静电驱动器具有相同的电极伸出宽度。
静电驱动器分布在沿着传递和转换元件的圆周方向上。
所述弹簧或者挠性装置把传递和转换元件与所述的静电驱动器连接起来；所述弹簧或者挠性装置具有相同的形状或尺寸。
所述弹簧或者挠性装置分布在传递和转换元件的圆周方向上。
传递和转换元件是一个形成活塞或电极头或倾斜纤维镜面的反光镜平面。
基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构的实现方法主要包括以下几步：
(a)提供一个基准底座；
(b)提供一个传递和转换元件；
(c)利用固定组件把两个或者更多的静电驱动器联接在基准底座上；
(d)用一个具有弹性的弹簧或者挠性装置把传递和转换元件与每个可移动的静电驱动器连接起来；
(e)一种应用电压改变静电驱动器从而驱动传递和转换元件的方法：
(i)通过对所有的静电驱动器同时应用相同的电压信号实现基准底座平移；
(ii)通过在不同的静电驱动器中采用不同的电压实现基准底座旋转，其中至少一个静电驱动器的电压为零；
(iii)对于通过对所有的静电驱动器应用不同的电压，实现整个基准底座的传递和转换元件的同步运动，其中没有任何一个静电驱动器的电压为零。
本发明所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构的有益效果是：能够简单的实现大行程出平面运动，具有能量消耗很小，响应快，精度高且加工制造互换性好的特点。
附图说明
图1为本发明实施例所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构的透视图；
图2为本发明实施例所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构当电压加到执行器后其传递和转换元件，以及所做的非平面位移透视图；
图3为本发明实施例所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构在排斥力执行器中产生的非对称电场示意图；
图4为本发明实施例所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构的传递和转换元件的运动透视图；
图5为本发明实施例所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构在不同电压下传递和转换元件沿着两条垂直轴所测得的旋转状态图；
图6为本发明实施例所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构的静电驱动器的电极横截面图；
图7为本发明实施例所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构的影响静电驱动器所产生力矩的参数的原理图；
图8为本发明实施例所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构的第一代大冲程平移微执行器的静态性能图；
图9为本发明实施例所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构在不同振动频率下非平面的平移运动图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的最佳实施方案作进一步的详细的描述。
如图1-9所示，本发明实施例所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构，由传递和转换单元2，四个静电驱动器3组成，其中这四个静电驱动器3是作为旋转驱动单元，旋转驱动单元的数量取决于所设计的执行器。比如，相互间呈900夹角的两个静电驱动器3与这里四个静电驱动器3产生同样的效果，但是柔性要差些。所述静电驱动器3由静电极5和动电极6组成，传递和转换单元2通过弹簧或挠性装置4与每个静电驱动器3中间长的静电极5相连。在这种设计下，四个静电驱动器3对称的分布在传递和转换单元2周围并且承受相同的电压。因此，在任何情况下，四个静电驱动器3转过相同的非平面角度。当输入电压时，四个静电驱动器3的非平面转动通过四个弹簧或挠性装置4转换为传递和转换单元2的非平面转动。传递和转换单元2是一个镜面，可调电容/电感的电极，定位微小透镜的平台，一个微小镜台/操作器平台。在每个静电驱动器3里，静电极5与共用支撑杆7相连，这个支撑杆7通过弹簧或挠性装置4固定在基准底座1下。每个静电驱动器3的运动相互影响，因此，每个静电驱动器3是独立的。
所述静电极5可以活动的连到基准底座1上，所述静电极5包括多个电极，一个或多个静电极5在基底上有一个对应的电极，基准底座1上每个对应静电极5在周围布置了至少一个电极，并且产了一个或几个区间。通过对静电极5加V1电压，V1对应基准底座1上的电极，V2不对应基准底座1的电极，产生排斥力，通过施加V1对静电极5，V2对基准底座1上的电极产生吸引力。
如图3所示，当一个电压施加到所述静电驱动器3上的时候，即动电极6处于一个电势，静电极5处于另一个电势，因此，在动电极6水平中心线周围会产生一个非对称电场。结果就会在动电极6上产生一个向上的净力推动动电极6远离静电极5。此静电驱动器3可以实现大行程出平面平移/旋转运动而不会出现传统平行板静电驱动器中所出现的“拉回”效应。此静电驱动器3仅仅需要两个薄膜层，因此它非常适合利用表面微加工技术进行加工制造。
所述静电驱动器3中所用的动电极6长度不同。例如，距离传递和转换单元2中心远的动电极6要比距离近的动电极6短一些。这是为了保证邻近传递和转换单元2的动电极6之间没有交叠。
当四个静电驱动器3受同样的电压驱动时，静电驱动器3产生出平面的平移。静电驱动器3也能够实现转动。通过独立控制施加在四个静电驱动器3上的电压，可以实现传递和转换单元2在任意方向(一定转动范围内)的转动。
如图4和5所示，所述四个静电驱动器3实现传递和转换单元2沿两正交轴旋转的示意图。V1、V2、V3和V4分别是施加在静电驱动器3上的电压。图中显示依次为平动、转动、平动加转动。所述四个静电驱动器3用图4所示方式控制时测得的传递和转换单元2的转动。因为动电极6以不同的角度出平面旋转，不能反射足够的光回3D光学轮廓仪中的低放大倍数棱镜(大焦距)，所以在图5中动电极6没有显示。
如图6和7所示，所述每个静电驱动器3产生的转距取决于横截面上沿动指长度方向作用在动电极6上的所有力。根据排斥力驱动器的定标法则，作用在横截面上一个动电极6上的力可以静电极5和动电极6之间的垂直距离H，应用电压V，指宽g或者是邻近静电极5之间的水平距离，电极长度L等术语表达。
大冲程平移微静电驱动器只需要两层薄膜结构，适合表面微加工技术。静电驱动器3原型通过PolyMUMPs工艺制作。静电驱动器3第一个实施方案的尺寸如表1所示。四个静电驱动器3的所有静电极5都由Poly0层制成。动电极6、弹簧或挠性装置4和传递和转换单元2都由Poly1层制成。在传递和转换单元2、动电极6和一般支撑杆7上设计有释放孔和凹痕。一个Poly0制成的方形电极置于传递和转换单元2之下，受与传递和转换单元2相同的势能驱动。这样做是为了防止当电压施加到静电驱动器3时传递和转换单元2粘着到基准底座1上。
静电极5和动电极6之间的起始垂直距离是H0＝0.75m。指宽可以取不同的数值，较适合的取值是g＝51m。
装置的操作取决于驱动器的整体刚度。为了得到系统刚度，首先需要确定以下两个的关系：1)四个静电驱动器3的旋转角与达到该角度所需转距之间的关系；2)传递和转换单元2的出平面位移与四个静电驱动器3旋转角之间的关系。
表1：静电驱动器3的结构参数(单位：m)
为实现静电驱动器3不同运动方式的设计，首先基于PolyMUMPs工艺建立了一个平移微驱动器的3D模型。其次，不同大小的垂直向上的力施加到每个动电极6的尖端，计算出各个静电驱动器3相应的出平面转动角和平移单元的出平面位移。基于仿真结果，可以得到四个静电驱动器3的旋转角和施加转距的关系以及传递和转换单元2的出平面位移和旋转驱动单元的旋转角之间的关系。针对本专利的具体方案可以得到如下关系：
Tgenerated_total＝Krotation·θ (1)
如表1所描述方案，K为
Krotation＝24.68e-9N·m/rad (2)
D＝CR_T·θ (3)
CR_T＝997.43μm/rad (4)
其中Krotation代表旋转刚度，即四个静电驱动器3旋转一个单位角度所需的转距。D是传递和转换单元2的出平面位移。CR_T是转换因子，即传递和转换单元2的出平面位移与四个静电驱动器3的旋转角度之比。
如图8所示，在一台的3D光学轮廓仪(Zygo Newview 6300)上实验测得驱动电压为0V～200V时微静电驱动器3的静态性能。测得的性能曲线与模型预测的性能曲线非常吻合。平移微驱动器在驱动电压为200V时的静态出平面平移可达86μm。这代表了目前为止微静电驱动器可以达到的最大出平面平移量。也尝试了250V～300V的电压驱动，结果表明可以得到100μm的出平面平移。
如图9所示，大型旋转微致动器的动态性能的行程测量是使用基于动态MEMS(DMEMS)函数建立的三维视觉分析。其实用的是频率为0Hz(静态)，60Hz(DMEMS功能允许的最低频率)到5000Hz的正弦驱动电压( 或)。在各频率中转换单元的输出平面位移都被监测。在60～200Hz的频率范围内，输出的平面位移的测量相位增量步距是15°；在 的频率范围内，相位的增量是30°。的频率范围每10Hz测量一次，的频率范围每10Hz测量一次，的频率范围每20Hz测量一次，的频率范围每50Hz测量一次，测量结果中垂直轴代表传递和转换单元2输出平面静态位置的位移，水平轴表示时间和频率。
本具体实施方式只是本发明的优选实施例，并不能对本发明进行限定，具体各项权利保护范围由权利要求书限定。
Claims (9)
1.一种基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构，其特征在于：包括一个基准底座；一个传递和转换元件；两个或两个以上的静电驱动器；一个或者多个弹簧；每个静电驱动器均由静电极和动电极组成；静电极安装在所述的基准底座上；每个弹簧将动电极连接到传递和转换元件上；因此只要通过给静电驱动器加电压通过分别控制加在静电驱动器上的电压信号就能够使动电极相对于基准底座运动，就使传递和转换元件能够单独平移，单独转动或者同时平移转动，所述每个静电驱动器的电极具有相同的长度；每个静电驱动器具有相同的电极伸出宽度，所述传递和所述转换元件的平移或转动时远离所述基准底座，此基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构只需两个薄膜层。
2.根据权利要求1所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构，其特征在于：所述每个静电驱动器弹性连接到传递和转换元件的对面，传递和转换元件在一个平面上旋转。
3.根据权利要求1所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构，其特征在于：所述静电驱动器等距、弹性的分布在传递和转换元件的周围，其中传递和转换元件在两个面上旋转。
4.根据权利要求1所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构，其特征在于：所述静电驱动器具有相同数目的电极；所述静电驱动器具有相同的电极长度；所述静电驱动器具有相同的电极宽度；所述静电驱动器具有相同的悬架弹簧。
5.根据权利要求1所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构，其特征在于：静电驱动器分布在沿着传递和转换元件的圆周方向上。
6.根据权利要求4所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构，其特征在于：所述弹簧把传递和转换元件与所述的静电驱动器连接起来；所述弹簧具有相同的形状或尺寸。
7.根据权利要求1所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构，其特征在于：所述弹簧分布在传递和转换元件的圆周方向上。
8.根据权利要求1所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构，其特征在于：传递和转换元件是一个形成活塞或电极头或倾斜纤维镜面的反光镜平面。
9.一种根据权利要求1所述的基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构的实现方法，
其特征在于：基于双向或多向静电驱动器的平移旋转机构的实现方法主要包括以下几步：
(a)提供一个基准底座；
(b)提供一个传递和转换元件；
(c)利用固定组件把两个或者更多的静电驱动器联接在基准底座上；
(d)用一个具有弹性的弹簧把传递和转换元件与每个可移动的静电驱动器连接起来；
(e)应用电压改变静电驱动器从而驱动传递和转换元件，通过对所有的静电驱动器同时应用相同的电压信号实现基准底座平移；通过在不同的静电驱动器中采用不同的电压实现基准底座旋转，其中至少一个静电驱动器的电压为零；对于通过对所有的静电驱动器应用不同的电压，实现整个基准座的传递和转换元件的同步运动，其中没有任何一个静电驱动器的电压为零。
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| WO2019147777A1 (en) * | 2018-01-24 | 2019-08-01 | Mems Drive, Inc. | Mems actuation system |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101244801A (zh) * | 2008-01-28 | 2008-08-20 | 北京大学 | 一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法 |
| CN101316789A (zh) * | 2005-11-25 | 2008-12-03 | 弗兰霍菲尔运输应用研究公司 | 可偏转微机械元件 |
| CN101329446A (zh) * | 2007-06-21 | 2008-12-24 | Jds尤尼弗思公司 | 具有角度垂直梳状驱动器的mems装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| TWI249506B (en) * | 2004-03-19 | 2006-02-21 | Walsin Lihwa Corp | Optical micro-electromechanical device and its manufacturing method |
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| US20100237737A1 (en) * | 2005-07-07 | 2010-09-23 | Siyuan He | Optimized bi-directional electrostatic actuators |
| JP2009014768A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-22 | Fujitsu Ltd | メムスデバイスおよびその製造方法 |
-
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101316789A (zh) * | 2005-11-25 | 2008-12-03 | 弗兰霍菲尔运输应用研究公司 | 可偏转微机械元件 |
| CN101329446A (zh) * | 2007-06-21 | 2008-12-24 | Jds尤尼弗思公司 | 具有角度垂直梳状驱动器的mems装置 |
| CN101244801A (zh) * | 2008-01-28 | 2008-08-20 | 北京大学 | 一种实现共面和离面运动的微驱动结构及其制备方法 |
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| 静电排斥驱动六边形MEMS微镜;胡放荣等;《纳米技术与精密工程》;20100331;第8卷(第2期);171-176 * |
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