CN102395872A

CN102395872A - 超声波检测系统

Info

Publication number: CN102395872A
Application number: CN2010800171147A
Authority: CN
Inventors: 迪特马尔·奥伯霍夫; 吉多·弗洛尔
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2009-04-15
Filing date: 2010-04-15
Publication date: 2012-03-28
Anticipated expiration: 2030-04-15
Also published as: ES2403687T3; WO2010119094A3; CA2757715A1; EP2419710B1; JP2012524250A; BRPI1016098A2; WO2010119094A2; JP5128004B2; RU2528578C2; KR20120002535A; US20120067128A1; CN102395872B; EP2419710A2; RU2011146131A

Abstract

本发明涉及一种对检测目标进行检测的超声波检测系统，其具有至少一个发射单元和至少一个接收单元，其中，该发射单元生成火花隙，所述火花隙在表面和/或在检测目标中生成超声波振动，而且该接收单元对该检测目标的表面的振动进行光学测量。本发明还涉及用于超声波检测系统的发射装置和接收系统以及运行所述超声波检测系统的方法。

Description

超声波检测系统

技术领域

本发明涉及一种超声波检测系统，其具有至少一个发射单元和至少一个接收单元；还涉及一种用于对检测目标进行检测的超声波检测系统的发射装置，其具有至少一个发射单元；又涉及一种用于对检测目标进行检测的超声波检测系统的接收系统，其具有用于在检测目标表面照射至少两个测量区的激光器，还具有至少两个用于对检测目标表面的振动进行光学测量的接收单元；以及，涉及一种运行超声波检测系统的方法。

背景技术

在钢和其它金属产品的质量管理领域，无损害超声波检测的方法和测量技术开启了显著改善质量的前景。在超声波检测过程中，在检测体中产生超声波，并且可以由声波信号的运行时间和必要时出现的错误信号、特别是晶格缺陷的回波来确定钢带厚度以及必要时材料中或检测体表面的晶格缺陷。这样的在生产过程中对内外表面上可能的缺陷的可靠的在线检测以及钢带厚度测量导致巨大的经济优势。关于产品状态的及早得出的信息不仅确保了成品质量，还允许了生产转向措施，由此在继续加工当中提高了产量和质量，并且能够改善生产过程中人员的安全。

对于热的和快速运动的产品，不可能用传统的压电超声波检测探头来检测。替代的方法，例如激光超声或电磁声换能器(EMAT检测技术)，要么很贵，要么用自由超声波时不够敏感。

对于冷材料的检测，例如厚钢板检测，传统上用许多压电检测探头通过水缝接合(Wasserspalt Ankopplung)来进行。在此，设备或电子耗费是很高的。通过在表面上的油脂或油污渍、或者其它污染或不平的表面，可以使上述接合断开或改变，而这样的断开或改变通常导致假相缺陷。

典型的经轧制的厚钢板的参数为：

材料：碳和低合金高强度钢

钢板厚度：5mm-80mm，特别是直至100mm或150mm

钢板宽度：1000mm-3600mm

钢板长度：5000mm-36000mm

钢板温度：约5℃-110℃

钢板折弯：约15mm/1m-50mm/1m

测试速率：最大1m/s

表面特性：在生产条件下会出现许多不同的表面损伤，例如粗糙位置、小凹陷的不平处、油或油脂污渍、生锈位置等，这些会导致缺陷显示，特别是在采用压电检测技术的超声波检测中，直至约95％。

为了对金属材料进行超声波材料检测或超声波壁厚测量，近来为确定的问题使用激光-光学超声发射和接收系统。

激光超声可以理解为免接触的超声测量和检测方法，其特征为通过短激光脉冲、结合超声偏移的光学(在各种情况下光学干涉地)证据来进行超声刺激。如果典型的数个纳秒时长的激光脉冲落入材料表面，则它的能量被部分吸收，剩余部分透射或反射。吸收的能量绝大部分转化为热量，一小部分以超声波的形式被运走。

可以区分不同的刺激机制：热弹性刺激和脉冲传递刺激。热弹性超声刺激可以完全通过局部吸收、加热和热膨胀来解释。热弹性超声刺激在小激光脉冲强度的情况下确定了超声源。如果提高强度，就会导致粘附层的剥离，导致材料蒸发和等离子体生成。这对于刺激机制有很大的实际意义，其中，对于钢表面的影响限于微米范围的层。通过激光脉冲生成的超声波振动特征在于复杂的空间和时间结构。在用脉冲传递刺激时，主要生成大带宽的纵向脉冲，该纵向脉冲垂直于表面传播并在工件中以已知的方式和方法作为脉冲-回波结果而反射。在法线方向上的表面振动现在可以干涉地(通过多普勒效应)作为相位或者频率调制来测量。换言之，法线方向上的表面振动通过多普勒效应导致光的相位或频率调制，并且可以干涉地转化为调幅信号，该信号可以用光探测器测量。

为证明典型地位于数埃至数纳米范围的超声波偏移，使用许多不同类型的干涉仪。然而，由于与激光射线必然相联系的污渍效应，选择很大程度限制于技术表面。对于快速运动的表面，迄今为止可以采用时效干涉仪(Laufzeitinterferometer)以及法布里-珀罗干涉仪。时效干涉仪非常大，并由此在实践中难以使用。

相对于广泛使用的压电超声转化器，前述类型的超声转化提供了下述优势：

-检测或壁厚测量可以免接触地进行，

-不需要耦合介质，

-可以检测快速运动的材料，

-可以用来研究热材料，

-由于声波在材料表面生成，或者在表面探测到振动，避免了在使用传统压电超声转化器时存在的接合问题。

相对于广泛使用的压电超声转化器，缺陷在于：

-发射重复率小，位于例如小于100Hz，

-系统敏感度比使用压电超声转化器要小，

-对于单通道检测系统，价格很高。

从光能到超声波能的转化效率很差。因此，在已知的系统中发射激光的功率很大，例如为360mJ/发射脉冲，或者脉冲重复率很小，例如为小于100Hz，这是因为存在的激光功率分布于生成的发射频率上。在使用激光-激光-超声波系统时，在低脉冲重复率下接收到的信号具有较差的信噪比。

发明内容

本发明的目的在于，开发新的检测和测量技术，一方面避免已知方法所发生的问题，另一方面可以相对廉价地制造。

根据权利要求1的设计原理，实现了该目的。通过从属权利要求和下列描述给出了有利的实施方式。

根据本发明可以看出，发射单元在超声波检测系统中生成火花隙，该火花隙在表面和/或在检测目标中生成超声波振动，而且，接收单元对检测目标表面的振动进行光学测量。

为了生成超声波，需要生成火花隙，即为通过电荷卸载生成的等离子体。火花隙在发射单元和检测目标表面之间点燃并传递。在此，通过电荷卸载生成的火花隙的等离子体出现在表面，并在表面生成对超声波测量所必需的压力脉冲。

另外，发射单元具有至少一个点火线圈和用于在预定的时间使点火线圈点火的控制电子元件。在此所必需的电子元件，特别是点火线圈或点火电容器和控制电子元件，可以很廉价地制造并可以因此设计为多路的。从电能至超声波能的转化效率比从光能转化至超声波能要好得多。因此可以采用多个发射单元，特别是多于100个发射单元，以达到足够大的检测宽度。

在发射时生成的电磁脉冲并不对接收单元的光学系统产生负面影响，并且因此它可以与火花隙良好地结合。火花的光线可以优选通过适宜的在火花出现区域和光学接收单元的测量区之间的屏障受到遮挡，从而减小对测量的影响。

为实现超声波接收，可以特别采用可商业获取的激光-超声波接收系统，其特征在于，设置照射激光，它的光照射了测量区的表面，其中，接收单元接收从测量区射入接收单元的光。特别可以设置多个接收单元，特别是多于100个接收单元。由此可以达到更大的检测宽度，其中，优选使多个接收单元与多个发射单元相匹配。

优选的实施方式的特征在于设有照射激光器和测量区，其中，为每个接收单元分派测量区，从而使接收单元接收从测量区射入接收单元的光，其中，光线导引系统使激光器的光线在光线导引系统的第一位置射入第一测量区，而在光线导引系统的第二位置射入第二测量区。由此可以使用两个或多个，特别是约100个测量区，为这些测量区设置照射激光器和接收单元。

如果使用了多个接收通道，例如对厚钢板检测，那么光线导引系统可以将激光器的光线分开并射入测量区和其它测量区，特别是射入许多不同的测量区。在此，激光-超声波接收系统经光学多路复用器或矩阵开关通过光导与许多接收镜头相连。

以优选的方式，接收单元具有干涉仪，或者通过光线导引系统将射入接收单元的光线继续导引至干涉仪。

如果使用更高效率的发射系统，例如火花隙，发射系统的初级功率可以明显减小，脉冲重复率提高而且系统费用显著降低。因此，在建立许多廉价的平行的发射系统时、以及连续运用激光-超声接收系统时，可以总地实现许多平行检测痕迹下高得多的抽样率和每个检测通道相对低的费用。

激光光学超声接收系统与照射激光器(通常是Nd:YAG激光)在持续运行条件下以相对较小的约500mW-2W的功率一同工作。

接收系统能够以单一检测通道，即观察单一测量区的接收单元，相对于传统超声技术而言是相对昂贵的。通过采用多路复用器可以使用用于N个接收位置或接收单元的激光光学超声波接收系统。由此可以实现廉价的超声波系统的构建，这是因为，每个接收通道或接收单元的价格都很低。

对用于厚钢板检测的每个激光光学超声接收系统的接收通道的数量的估算如下：

声波路程：最大2×100mm

声波速度：5920m/s

待探测信号窗口：33.8μs

当单个的信号窗口在时间上彼此相关时，由此得到最大可能的约30kHz的信号重复率。

当取每个检测轨迹采用100Hz脉冲重复率时，即以1m/s的传递速度具有10mm的分辨率，当忽略光学多路复用器的转换时间时，得到最多300个平行检测轨迹。在这种局面下，可以通过相应的对发射器的控制或对相应的光学多路复用器的入口的选择，利用激光光学超声波接收系统，分别以100Hz脉冲重复率对300个检测轨迹进行处理。

对照：传统压电检测系统例如以288(GE Inspection Tech-nologies)或216(NDT Systems & Services)个接收轨迹，各个接收轨迹分别具有12.5mm或16.6mm的轨迹宽度。

上面所述的法布里-珀罗干涉仪接收系统对激光-超声波的敏感度如下所述：

SNR = K \cdot S \cdot U \cdot \sqrt{\frac{P_{\det} \cdot η}{λ \cdot B}}

SNR＝信噪比

S＝干涉仪敏感度(＜1)

U＝超声波表面偏移(取决于发射器)

P_det＝探测器光功率(取决于聚光镜头的大小；照射激光器的强度；接收镜头-表面的距离)

η＝探测器量子效率(＞50％)

λ＝光的波长

B＝探测带宽

K＝常数

最大SNR额外通过接收照射激光器的噪音得到限制。接收激光器的振幅噪声和相位噪声在此是主要噪声源。具有一个共振器的法布里-珀罗干涉仪达到约26dB的SNR。具有两个共振器的法布里-珀罗干涉仪达到约45dB的SNR，这是因为振幅噪声可以通过差异测量技术得到消除。

具有两个共振器的系统可以在中等的误差敏感度条件下用于检测技术。具有一个共振器的系统实际上仅适用于壁厚测量。

另外已知激光-超声接收系统，该系统代替光学干涉仪使用光折射晶体。光折射效应表现出光导的、电子光学晶体的光诱导折射率变化。该接收系统特别适用于运行状态下的使用。

用这样的干涉仪类型可以达到约70dB的SNR。在使用差异探测器时可以排除振幅噪音。另外，当信号和参照射线的路径长度同样长时，可以排除相位噪音。

这样的干涉仪可以构建得十分紧凑，对环境振动反应较不敏感并且不需要主动稳定化。

为了使干涉接收系统在许多个接收位置上可以运行，需要适宜的光学开关。

光学开关以不同的方式工作。用小显微镜工作的机电方法为微机电镜(Micro Electromechanical Mirrors，MEM)。用该方法，微镜在它的轴上倾斜。

另一种方法用穿透镜来工作。在此，该镜可以反射，或者作为非反射板使光信号透过。

其它的方法采用纯光学地基于光学联结器或者光学转换网络来工作，其它的基于液晶技术或水泡喷嘴来工作。在最后提及的技术中，对于转换过程，使气泡室、即所谓的气泡用液体充满，该气泡室具有与未充满的气泡室不同的折射率。

用该技术，现在可以达到约10ms-20ps的转换时间。

将无损害的检测整合入在前生产步骤的希望，大幅度提供了能量和材料的费用节省和产品改进。对这个趋势直至在射线产品的制造中的逻辑后果的关注包括尽可能在生产过程期间对产品质量的检测。

所述的检测技术允许了以高速率在恶劣生产环境下连续和自动的质量检测。

作为质量控制的一部分，在继续处理之前对内部和表面缺陷的可靠的无损害的检测提供了巨大的优势：

关于在前生产步骤的产品质量的可靠信息的可用性不仅为最终产品质量做出贡献，而且构成了确定理想生产参数的基础，该参数可以显著提高在继续处理中的生产率和质量。

可以想到的用途：

-生产期间，例如在管道生产期间对许多测量轨迹的壁厚测量。

-在生产期间，例如在钢坯或锻件生产期间对厚钢板和难以检测的、特别是热的或快速运动的材料的超声波缺陷检测和壁厚测量。

-在多个检测任务下的联结条件的改善以及由此对假相缺陷显示的降低，例如，在厚钢板检测过程中。

通过非接触检测和取消联结介质，可以显著减小机械耗费，例如在厚钢板检测中，并且由此额外提供极大的节约潜能。

通过改善的测量和检测技术，生产过程可以在更紧凑的界限内进行，这会导致质量的提升和产量的提高。后者是加强工业生产耐久性的最有效的方法之一，这是因为由此生产更少的材料，并因而节约了原材料和能量，以及防止了排放。该扩展方案可以用于所有钢制品和NE金属制品。

根据权利要求9所述的第二原理实现了所述目的。有利的实施方式在从属权利要求和下面的描述中给出。

根据本发明，用于对检测目标进行检测的超声波检测系统的发射装置设置有至少一个发射单元，该发射单元设有用于生成火花隙的工具，其中，火花隙在表面和/或检测目标内产生超声波振动。

凭借火花传递在检测目标上生成超声波是有效的，这是因为发射装置的制造和运行比由现有技术已知的激光-超声波生成或压电超声波生成技术要更为价格低廉。火花的等离子体的强烈脉冲可以控制得十分精确，而且时间点和时长都可以准确调整。转换时间点的精确性和转换时长可以在较宽的界限内加以调整。

以优选的方式，发射单元具有点火线圈和用于在预定时间使点火线圈点火的控制电子元件。这个发射单元的实施可以以有利的方式连接在低压侧，从而使电子元件的耗费降低。

同样，发射单元可以具有点火电容和用于使点火电容在预定时间加载和卸载的控制电子装置。在此，尽管需要快速连接高压，这需要更大耗费，然而转换精确性通过该设计方案得到进一步提升。

根据权利要求12所述的第三原理实现了所述目的。有利的实施方式在从属权利要求和下面的描述中给出。

根据本发明，用于对检测目标进行检测的超声波检测系统的接收系统具有用于照射在检测目标表面上的至少两个测量区的激光器和至少两个用于对检测目标表面振动进行光学测量的接收单元。另外，设有干涉仪和接收光线导引系统，该接收光线导引系统在不同位置分别将不同测量区的光导引至干涉仪。在此，干涉仪和接收光线导引系统在每个位置上都构成一接收单元。

在这个接收系统的设计方案中由此实现了多通道设置，即为每个测量区在一个位置上分派接收光线导引系统的一部分。这个部分可以有选择地得到控制，从而在接收光线导引系统的这个位置上将接收的光引至干涉仪。光线导引系统可以由任意的光学组件组成，例如镜面设置。

以有利的方式，设置至少两条各获取一个测量区的光导和光学开关，该光学开关能够将光从每个光导引至干涉仪。然后根据光学开关的位置，在确定的测量区由光导接收的光被导入干涉仪。然后通过转换光学开关，可以依次获取不同的测量区，其中，各自使用同一干涉仪。通过这个类型的多路复用器可以依次接收多个测量区。

如上面所实现的，可以对这个局面通过相应的对光学多路复用器的控制利用激光光学超声波接收系统例如处理300个检测轨道，每个检测轨道采用100Hz脉冲重复率。

在前面所述接收系统的优选的设计方案，光线导引系统在不同位置将激光器的光线射入不同测量区。类似于在接收系统的探测一侧，激光器光线可以通过光线导引系统这样引至检测体，即，使激光光线仅射入测量区，从该测量区还实时通过接收光线导引系统接收光线。由此，可以在那里有目的地采用激光功率，即，使用光线的区域。由此可以采用总的更小的激光功率，或者更有效地采用现有的激光功率。光线导引系统在此还可以由任意光学组件构成，例如镜面设置。

以有利的方式，为所述接收系统设置至少两条光导以及光学开关，这些光导分别分派给一个测量区，而且光学开关可选择地将激光器光线引入各个光导。这个有效工作的照明系统可以通过快速转换过程使激光器光线分开，从而例如分别以100Hz脉冲重复率对300个检测轨道进行处理。

前面所述的根据本发明的第二原理的发射装置和根据本发明的第三原理的接收装置在上面所述类型的超声波检测系统中可以一起采用。通过两个相互协调的光学系统，该系统特别是通过光学开关来实现光学多通道系统，可以在快速运行速度条件下检测大的带宽。

另外，本发明还涉及一种运行前述超声波检测系统的方法，其中，超声波在检测体内用具有至少两个平行工作的发射单元的发生装置通过火花隙生成；其中，超声波信号通过具有至少两个光学接收单元的接收系统来测量；其中，将每个发射单元和接收单元相互对应分派；其中，相互分派的发射单元和接收单元时间上相互协调地激活；而且其中，测量点的光栅通过对发射装置和接收装置的连续控制在测量体上得到测量。

本方法另外的特征和优点在上文和下文的描述中给出。

附图说明

下面，凭借附图进一步阐明本发明。附图中：

图1示出了具有本发明的发射装置和本发明的接收系统的根据本发明的超声波检测系统的实施例；

图2-4示出了测量信号的图示。

具体实施方式

图1示出了根据本发明的超声波检测系统，该系统既装备了本发明的发射装置，又装备了本发明的接收系统。此外，用该超声波检测系统可以实施本发明的方法。

在图1中所示出的测量设备首先具有控制器2，该控制器执行并协调对于后面所述的超声波检测系统组件的控制。

首先来解释用于对检测目标进行检测的超声波检测系统的发射装置4的工作原理。发射装置4具有发射电子元件6、点火线圈8和电极10，这些元件一起构成了发射单元。点火线圈8和电极10一起作为生成火花隙12的工具，其中，火花隙12在表面和/或在检测目标14中生成超声波振动。

控制器2经导线16将控制信号传递给发射电子元件6，由此为生成火花隙12实现一个精确的时间过程，特别是鉴于点火时间点和点火时长。发射电子元件6在设置于点火线圈中的变压器的第一侧中断直流电，由此在第二侧通过瓦解的电磁场生成一个对于生成火花隙12足够的电压。

代替点火线圈装置，可以设置点火电容器，其中，由控制电子元件6生成的电压必须足够用以将电容器加载到能够点火生成火花隙的强度。

在图1中示出了三个图像层面18，即多个发射单元平行相邻设置。在此，“层面”的概念不能理解为，在那里呈几何结构地设置在一个面内，而是理解为，每个“层面”具有单独的装置并且不同的装置平行地彼此设置。

在每个层面18都设有发射电子装置6、点火线圈8和电极10，其分别经由一条导线16由控制器2来控制。由此，彼此平行设置的发射单元可以连续地生成火花隙12，从而在检测体14表面的不同位置感应生成超声脉冲。

根据本发明，发射装置由一个或多个发射单元构成，这取决于对待测量检测体的要求。

图1示出了超声波检测系统的接收系统。激光器20生成激光射线，该射线通过光学开关22引入光导24或光波导体(Lichtwellenleiter，LWL)。光导24在第一层面18通过适宜的透镜26和28将光传递至测量区30。

由测量区30反射的光通过分光器32从光路中分开，并通过适宜的镜头34馈送入光导36。光学开关38然后将光从光导36中分出并将其导引至干涉仪40。探测器42生成输出信号，该输出信号被传递至评估单元44。在那里，以传统方式通过A/D转换进行信号估值和实时信号处理，评估结果被传递至电脑46。

如果发生表面振动，例如由于在检测体内传播的超声波所引起的振动，那么就产生反射光线的多普勒偏移，特别是在法线方向。然后，这些相位调制或频率调制的光振动干涉地转化为振幅调制的信号，该信号可以用光探测器测量。

前面所解释的结构设置在多个层面16中，在这些层面中分别设置有前面所述的接收单元，以便能获取多个测量区30。然后，控制器2经导线48如此控制两个光学开关22和38，即采用不同的位置。由此，同时地将激光光束引入光导24并将由光导36接收的反射光传递到干涉仪40。由此，两条光导22和38同时处于“激活”状态。因此，通过对各个光路和由此相邻设置的接收单元的交替激活，实现了接收系统的多路技术。

此外，图1示出了超声波检测系统的发射装置和接收系统的共同作用。

控制器2负责发射装置和接收系统的同步化。在预定的时间点，在层面18中的一个层面中控制发射电子元件6，从而通过点火线圈8和电极10生成具有定义的起始时间点和结束时间点的火花隙12。火花隙12在检测体14中感应生成超声脉冲。

优选在火花隙12至少以定义的时间间隔生成的时间点上，如此控制接收系统以及特别是控制光学开关22和38，即，使在同一层面18的接收系统激活，并且测量由于超声波信号产生的表面振动。接收系统的组件在各个层面18保持激活状态，从而为运行时间的测量填补足够的时长。该时长取决于材料参数和检测体的厚度，并且例如约为30至50μs。

由此，可以时间上相邻地在不同层面激活发射装置和接收系统。通过层面激活的时间顺序，可以获取到相邻的测量区。由此相邻获取到测量区的光栅。如果检测体横向相对于层面设置进行运动、或者发射和接收系统运动经过待检测体，而且如果层面设置的宽度或发射和接收系统的运动振幅基本对应于检测体的宽度，则整个检测体可以连续地在测量区的狭窄光栅中得到检测。

此外，图1示出了，在火花隙12和测量区30之间设有屏障50，该屏障相对于测量区30屏蔽了在生成火花隙12时出现的强光。此外，信噪比还可以通过采用适宜的光学带过滤器得到改善，该带过滤器优选只透射激光光束的波长范围。例如，这样的光学过滤器可以设置在分光器32和透镜34之间。

图2至4示出了信号的实例，该信号在运行时间测量中获得。上面示出了干涉仪的输出信号，而下面的曲线示出了包容曲线(例如上面测量曲线的微积分解调信号或深通过过滤曲线)。图像x轴的标识代表信号的抽样点，这些抽样点对应任意的时间单元。Y轴代表分别在任意时间单元的曲线的强度。

图2示出了理想化的、无噪音的并且不受干扰的信号。可以以规律的时间间隔识别出振动，该振动的振幅从一个出现点到另一出现点逐渐减小。这些振动是由超声波信号生成，该信号多次地反射在检测体的与观察表面相对的表面上。通过检测体的多次滤过，使信号的振幅减小。在图2中示出的信号曲线不受干扰，这是因为仅出现了规律产生的振动信号。

由下部曲线最高点的间距可以在已知检测体内部的声速的条件下计算出检测体的厚度。

图3示出了理想的、无噪音的、然而现在受到干扰的信号。如同图2，可以以规律的时间间隔首先识别出振动，该振动的振幅从一个出现点到另一出现点逐渐减小。在每两个振动循环之间分别识别出更小的信号，这些更小的信号表明了在检测体内的超声波信号的更短的运行时间。这样的额外信号可以是由于在检测体内受到干扰而产生，该额外信号导致两个表面之间的区域上超声波的反射。由此，这样的额外信号或者出现的频率和振幅可以作为检测体质量的尺度。

最后，图4示出了在图3中示出的信号带有叠加噪音的曲线图，从而使测量曲线代表了真实的情况。可以看出，最高点的确认由于噪音而变得困难。因此在选择干涉仪时一直要注意待实现的信噪比。

Claims

1.一种对检测目标进行检测的超声波检测系统，其具有至少一个发射单元和至少一个接收单元，其特征在于：

-所述发射单元生成火花隙，其中，所述火花隙在表面和/或在检测目标中生成超声波振动；而且

-所述接收单元对所述检测目标的表面的振动进行光学测量。

2.根据权利要求1所述的超声波检测系统，其特征在于，设置多个发射单元，特别是多于100个发射单元。

3.根据权利要求1或2所述的超声波检测系统，其特征在于，所述发射单元具有点火线圈和用于在预定的时间使所述点火线圈点火的控制电子元件。

4.根据权利要求1至3的任意一项所述的超声波检测系统，其特征在于，设置照射激光器，该照射激光器的光照射测量区的表面，其中，所述接收单元接收从所述测量区射入所述接收单元的光。

5.根据权利要求1至4的任意一项所述的超声波检测系统，其特征在于，设置多个接收单元，特别是多于100个接收单元。

6.根据权利要求5所述的超声波检测系统，其特征在于，设有照射激光器和测量区，其中，为每个接收单元分派测量区，从而使所述接收单元接收从所述测量区射入所述接收单元的光，其中，光线导引系统使所述激光器的光线在该光线导引系统的第一位置射入第一测量区，以及在该光线导引系统的第二位置射入第二测量区。

7.根据权利要求5或6所述的超声波检测系统，其特征在于，设有照射激光器和测量区，其中，为每个接收单元分派测量区，从而使所述接收单元接收从所述测量区射入所述接收单元的光，其中，光线导引系统使激光器的光线分开并射入一个测量区和另一个测量区。

8.根据权利要求1至7的任意一项所述的超声波检测系统，其特征在于，所述接收单元具有干涉仪，或者通过光线导引系统将射入所述接收单元的光继续引至干涉仪。

9.一种用于对检测目标进行检测的超声波检测系统的发射装置，

-其具有至少一个发射单元；

其特征在于，

-所述发射单元设有用于生成火花隙的工具，其中，所述火花隙在表面和/或在检测目标中产生超声波振动。

10.根据权利要求9所述的发射装置，其特征在于，所述发射单元具有点火线圈和用于在预定的时间使所述点火线圈点火的控制电子元件。

11.根据权利要求9所述的发射装置，其特征在于，所述发射单元具有点火电容器和用于在预定的时间对所述点火电容器加载或卸载的控制电子元件。

12.一种用于对检测目标进行检测的超声波检测系统的接收系统，

-具有用于在检测目标表面将至少两个测量区照射的激光器；以及

-具有至少两个用于对检测目标表面的振动进行光学测量的接收单元；

其特征在于，

-设置接收光线导引系统，该接收光线导引系统在不同位置分别将不同测量区的光引至干涉仪；

-设有干涉仪；并且

-所述干涉仪和所述接收光线导引系统在每个位置上都构成一接收单元。

13.根据权利要求12所述的接收系统，其特征在于，

-设置至少两个光导，所述光导分别对应一个所述测量区；以及

-设置光学开关，所述开关能够将光从每个光导引至干涉仪。

14.根据权利要求12或13所述的接收系统，其特征在于，所述光线导引系统使激光器的光线在不同位置射入不同测量区。

15.根据权利要求14所述的接收系统，其特征在于，

-设置至少两条光导，所述光导分别分派给一个所述测量区；以及

-设置光学开关，所述开关能够将激光器的光线分别引入各个光导。

16.根据权利要求1所述的超声波检测系统，其特征在于，

-设置根据权利要求9至11任意一项所述的发射装置；而且

-设置根据权利要求12至15任意一项所述的接收装置。

17.一种运行超声波检测系统的方法，

-其中，在检测体内用具有至少两个平行工作的发射单元的发射装置通过火花隙生成超声波；

-其中，通过具有至少两个光学接收单元的接收系统测量超声波信号；

-其中，每个发射单元和接收单元相互对应分派；

-其中，相互分派的发射单元和接收单元在时间上相互协调地得到激活；以及

-其中，通过对发射装置和接收单元的连续控制，在测量体上测量测量点的光栅。