CN102354377A - 使用工具运行数据管理制造环境的方法和系统 - Google Patents
使用工具运行数据管理制造环境的方法和系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102354377A CN102354377A CN2011101305319A CN201110130531A CN102354377A CN 102354377 A CN102354377 A CN 102354377A CN 2011101305319 A CN2011101305319 A CN 2011101305319A CN 201110130531 A CN201110130531 A CN 201110130531A CN 102354377 A CN102354377 A CN 102354377A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- data
- prescription
- manufacturing environment
- group
- instrument
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 152
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 67
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 33
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 30
- 238000012986 modification Methods 0.000 claims description 15
- 230000004048 modification Effects 0.000 claims description 15
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 65
- 238000013439 planning Methods 0.000 description 40
- 230000008569 process Effects 0.000 description 29
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 22
- 239000000463 material Substances 0.000 description 18
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 15
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 9
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 8
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 239000013064 chemical raw material Substances 0.000 description 5
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 5
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 5
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 5
- 230000000712 assembly Effects 0.000 description 4
- 238000000429 assembly Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241001269238 Data Species 0.000 description 2
- 230000006399 behavior Effects 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000013523 data management Methods 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000013067 intermediate product Substances 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 2
- 238000013519 translation Methods 0.000 description 2
- 229910052785 arsenic Inorganic materials 0.000 description 1
- RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N arsenic atom Chemical compound [As] RQNWIZPPADIBDY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000003203 everyday effect Effects 0.000 description 1
- -1 hydrofluorite Chemical compound 0.000 description 1
- 230000010365 information processing Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 230000004807 localization Effects 0.000 description 1
- 230000001473 noxious effect Effects 0.000 description 1
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 1
- 230000008447 perception Effects 0.000 description 1
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q50/00—Information and communication technology [ICT] specially adapted for implementation of business processes of specific business sectors, e.g. utilities or tourism
- G06Q50/04—Manufacturing
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06Q—INFORMATION AND COMMUNICATION TECHNOLOGY [ICT] SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES; SYSTEMS OR METHODS SPECIALLY ADAPTED FOR ADMINISTRATIVE, COMMERCIAL, FINANCIAL, MANAGERIAL OR SUPERVISORY PURPOSES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G06Q10/00—Administration; Management
- G06Q10/08—Logistics, e.g. warehousing, loading or distribution; Inventory or stock management
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Business, Economics & Management (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Economics (AREA)
- Tourism & Hospitality (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Human Resources & Organizations (AREA)
- Marketing (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Strategic Management (AREA)
- General Business, Economics & Management (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Development Economics (AREA)
- Entrepreneurship & Innovation (AREA)
- Operations Research (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Primary Health Care (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
Abstract
本发明涉及一种使用工具运行数据管理制造环境的方法和系统。提供了一种使用制造环境中的多个工具中的每个工具的运行数据管理所述制造环境的解决方案。所述运行数据可包括在该工具实施处方的至少一部分以制造在所述制造环境中制造的多种类型的产品之一期间的实际资源消耗数据和/或实际排放产生数据。所述制造环境的运行可以被配置为优化以下方面中的一个或多个方面：使用所述运行数据在所需期限内制造所需数量的多种类型产品期间的资源消耗和/或排放产生。
Description
技术领域
本发明一般地涉及管理制造环境，具体地说，涉及使用制造环境中每种工具的诸如化学原料和/或动力消耗数据之类的运行数据管理制造环境。
背景技术
在诸如集成电路制造厂之类的工厂中，一些在生产工艺中使用的工具包括诸如质流控制器、流量计或光谱仪之类的检测设备，用于在使用工具制造诸如集成电路之类的产品期间监视工具处理室内的化学原料消耗。可以分析化学原料消耗模式以指示何时进入生产工艺的下一步。备选地，工艺可以在一段预定时间之后进入下一步。此外，有关各种资源消耗的数据可以输出到本地数据库进行处理，例如针对工具运行进行的统计分析和故障检测。
对于在工厂范围内监视资源消耗，例如，预测原料(如，化学原料)的使用和需求，目前的方法是评估与以下项有关的信息：原料库中可用的原料量、用于执行多个处方中的每个处方的原料量、以及根据工厂工艺进度预测的原料需求。可以根据模拟的工厂原料消耗生成预测的需求，并且可通过依据先前预测的消耗评估工厂的实际消耗并在必要时修改未来预测来随时间而改进预测的需求。
发明内容
发明人认识到在当前的制造环境中，在工具级别考虑资源消耗(例如化学原料输入和动力消耗)以及排放产生(例如化学品输出和其他制造副产品)可以提供重要信息来增强在工厂或多个工厂级别的制造环境效用、环境合规性、处方管理、成本缩减、损益计算等。目前，没有解决方案可以提供此类工具特定的详细运行数据以在制造环境的配置运行中使用，更不必说实时提供此类数据。
本发明的各方面提供了一种使用制造环境中的多个工具中的每个工具的运行数据管理所述制造环境的解决方案。所述运行数据可包括在该工具实施处方的至少一部分以制造在所述制造环境中制造的多种类型的产品之一期间的实际资源消耗数据和/或实际排放产生数据。所述制造环境的运行可以被配置为优化以下方面中的一个或多个方面：使用所述运行数据在所需期限内制造所需数量的多种类型产品期间的资源消耗和/或排放产生。例如，制造环境的运行可被配置为优化所消耗资源的相关采购成本和/或所产生排放的相关废物管理成本的总成本。
本发明的第一方面提供了一种管理制造环境的计算机实现的方法，所述方法包括：在计算机系统上获取所述制造环境中的多个工具中的每个工具的运行数据，工具的运行数据包括在该工具实施处方的至少一部分以制造在所述制造环境中制造的多种类型的产品之一期间的一组资源的实际资源消耗数据和一组排放物质的实际排放产生数据；以及使用所述计算机系统配置所述制造环境的运行以优化以下项中的至少一项：使用所述运行数据在所需期限内制造所需数量的多种类型产品期间所述一组资源的消耗或所述一组排放物质的产生。
本发明的第二方面提供了一种计算机系统，包括：一组计算设备，其配置为实现一种管理制造环境的方法，所述方法包括：获取所述制造环境中的多个工具中的每个工具的运行数据，工具的运行数据包括在该工具实施处方的至少一部分以制造在所述制造环境中制造的多种类型的产品之一期间的一组资源的实际资源消耗数据和一组排放物质的实际排放产生数据；以及配置所述制造环境的运行以优化以下项中的至少一项：使用所述运行数据在所需期限内制造所需数量的多种类型产品期间所述一组资源的消耗或所述一组排放物质的产生。
本发明的第三方面提供了一种计算机程序，所述计算机程序包括包含在至少一个计算机可读存储介质中的程序代码，当执行所述程序代码时，使得计算机系统能够实现一直管理制造环境的方法，所述方法包括：获取所述制造环境中的多个工具中的每个工具的运行数据，工具的运行数据包括在该工具实施处方的至少一部分以制造在所述制造环境中制造的多种类型的产品之一期间的一组资源的实际资源消耗数据和一组排放物质的实际排放产生数据；以及配置所述制造环境的运行以优化以下项中的至少一项：使用所述运行数据在所需期限内制造所需数量的多种类型产品期间所述一组资源的消耗或所述一组排放物质的产生。
本发明的第四方面提供了一种形成用于管理制造环境的计算机系统的方法，所述方法包括：提供一种计算机系统，所述计算机系统可操作以实现包括以下步骤的方法：获取所述制造环境中的多个工具中的每个工具的运行数据，工具的运行数据包括在该工具实施处方的至少一部分以制造在所述制造环境中制造的多种类型的产品之一期间的一组资源的实际资源消耗数据和一组排放物质的实际排放产生数据；以及配置所述制造环境的运行以优化以下项中的至少一项：使用所述运行数据在所需期限内制造所需数量的多种类型产品期间所述一组资源的消耗或所述一组排放物质的产生。
本发明的其他方面提供了方法、系统、程序产品，以及使用和生成上述方法、系统和程序产品的方法，这些方法、系统和程序产品包括和/或实现此处所述的部分或全部操作。本发明的示例性方面旨在解决此处所述的一个或多个问题和/或此处未提及的一个或多个其他问题。
附图说明
结合示出本发明的各方面的附图，从下面对本发明的各方面的详细说明，将更容易地理解本公开的这些和其他特性，这些附图是：
图1示出了根据一个实施例的示例性制造环境；
图2示出了根据一个实施例的示例性制造环境的一部分的运行的更详细视图；以及
图3示出了根据另一个实施例的示例性制造环境。
要指出的是，附图可能未成比例。附图仅旨在示出本发明的典型方面，并且因此不应被视为限制本发明的范围。在附图中，相同标号表示附图中的相同元素。
具体实施方式
如上所述，本发明的各方面提供了一种使用制造环境中的多个工具中的每个工具的运行数据管理所述制造环境的解决方案。所述运行数据可包括在该工具实施处方的至少一部分以制造在所述制造环境中制造的多种类型的产品之一期间的实际资源消耗数据和/或实际排放产生数据。所述制造环境的运行可以被配置为优化以下方面中的一个或多个方面：使用所述运行数据在所需期限内制造所需数量的多种类型产品期间的资源消耗和/或排放产生。例如，制造环境的运行可被配置为优化所消耗资源的相关采购成本和/或所产生排放的相关废物管理成本的总成本。如此处所使用的，除非另有说明，否则术语“组”指一个或多个(即，至少一个)并且短语“任何解决方案”指任何现在已知或以后开发的解决方案。
现在参考附图，图1示出了根据一个实施例的示例性制造环境10。在此方面，环境10包括计算机系统20，计算机系统20可以执行在此描述的过程以使用各种工具14管理一个或多个产品2的制造。具体地说，计算机系统20被示为包括管理程序30，管理程序30使计算机系统20可操作以通过执行在此描述的过程管理制造环境10的运行。
计算机系统20被示为包括处理组件22(例如，一个或多个处理器)、存储组件24(例如，存储层次结构)、输入/输出(I/O)组件26(例如，一个或多个I/O接口和/或设备)以及通信通道28。通常，处理组件22执行至少部分地安装在存储组件24中的程序代码，例如管理程序30。当执行程序代码时，处理组件22可以处理数据，这可以导致从存储组件24和/或I/O组件26读取已转换数据和/或向存储组件24和/或I/O组件26写入已转换数据以便进一步处理。通道28提供计算机系统20中的每个组件之间的通信链路。I/O组件26可以包括一个或多个人类I/O设备，这些设备使人类用户12能够与计算机系统20和/或一个或多个通信设备交互，从而使系统用户12能够使用任何类型的通信链路与计算机系统20通信。在此方面，管理程序30可管理一组可使人类和/或系统用户12与管理程序30交互的接口(例如，图形用户接口、应用程序接口等)。进而，管理程序30可以使用任何解决方案管理(例如，存储、检索、创建、操纵、组织、呈现等)例如进度数据40之类的数据。
在任何情况下，计算机系统20可以包括一个或多个能够执行安装在其上的程序代码(例如，管理程序30)的通用计算制品(例如，计算设备)。如此处所使用的，应该理解，“程序代码”指以任何语言、代码或符号表示的任何指令集合，所述指令集合导致具有信息处理能力的计算设备直接执行特定操作，或者执行以下任何组合后执行特定操作：(a)转换为另一种语言、代码或符号；(b)以不同的材料形式再现；和/或(c)解压缩。在此方面，管理程序30可以体现为系统软件和/或应用软件的任何组合。
此外，管理程序30可以使用一组模块32实现。在这种情况下，模块32可以使计算机系统20能够执行管理程序30使用的一组任务，并且可以单独开发和/或独立于管理程序30的其他部分实现。如此处所使用的，术语“组件”指使用任何解决方案实现与之结合描述的功能性的任何硬件配置(具有或没有软件)，而术语“模块”指使计算机系统20能够使用任何解决方案实现与之结合描述的操作的程序代码。当安装在包括处理组件22的计算机系统20的存储组件24中时，模块是实现所述操作的组件的实质部分。无论如何，应该理解，两个或更多组件、模块和/或系统可以共享其各自硬件和/或软件的部分/全部。此外，应该理解，可以不实现在此讨论的某些功能或者可以包括其他功能作为计算机系统20的一部分。
当计算机系统20包括多个计算设备时，每个计算设备可以仅具有安装在其上的管理程序30的一部分(例如，一个或多个模块32)。但是，应该理解，计算机系统20和管理程序30仅是可以执行在此描述的过程的各种可能等同的计算机系统的代表。在此方面，在其他实施例中，计算机系统20和管理程序30提供的功能可以至少部分地由包括通用和/或专用硬件(具有或没有程序代码)的任何组合的一个或多个计算设备实现。在每个实施例中，所述硬件和程序代码(如果包括)可以分别使用标准工程技术和编程技术创建。
无论如何，当计算机系统20包括多个计算设备时，所述计算设备可以通过任何类型的通信链路通信。此外，当执行在此描述的过程时，计算机系统20可以使用任何类型的通信链路与一个或多个其他计算机系统通信。在每种情况下，所述通信链路可以包括各种类型有线和/或无线链路的任何组合；包括一种或多种类型网络的任何组合；和/或使用各种类型传输技术和协议的任何组合。
如此处所述，管理程序30使得计算机系统20能够使用各种工具14的实际运行数据(例如资源消耗数据和排放产生数据)管理制造环境10的运行。在此方面，计算机系统20可以处理制造环境10的进度数据40。进度数据40可以包括使用制造环境10中的每种工具14在所需期限内制造所需数量的一种或多种类型产品2的进度。在此方面，计算机系统20可以根据要制造的多种类型产品2中的每一种的所需数量、每种所需数量的对应期限、一组工具14中的每一种的运行状态等生成进度数据40。
每种类型的产品2可以包括用于制造该类产品2的对应处方。应该理解，产品2可以包括可立即使用/在制造环境10外部进一步处理的最终产品或需要在制造环境10内进行其他处理的中间产品。在此方面，计算机系统20可以生成进度数据40以在制造环境10中分配一组工具14，从而执行在所需期限内制造所需数量的对应类型产品2所需的各种处方。此外，一旦给定期限的进度数据40完成，计算机系统20便可以根据进度数据40和对应处方在制造环境10内操作一组工具14和其他组件。
每个处方可以包括多个处方步骤。处方步骤可在特定时间内需要特定类型的工具14。此外，在执行处方步骤期间，处方步骤可能消耗一组资源并生成可能包括一组副产品的排放物质。如此处所使用的，术语“资源”指为了制造产品2而提供的任何物质(例如，原材料、气体、液体等)、时间、能源、一组工具14、人力等。一个或多个工具14消耗每种资源的部分或全部以生成产品2。如此处所使用的，术语“排放”指在产品2的制造期间生成的任何不需要(针对特定产品2而言)的物质(例如，副产品)、任何已提供但未包括在产品2中的物质等。
如此处所述，计算机系统20可以进一步考虑生成进度数据40时的运行数据，包括资源消耗和排放生成。在此方面，计算机系统20可以获取制造环境10中的每种工具14的运行数据。所述运行数据可以包括实现在制造环境10内实现的各种处方中每一种处方的各处方步骤的资源数据42和排放数据44。可以收集制造环境10内每种唯一工具14的资源数据42和排放数据44。由于工具14的变化，因此相同处方和/或相同处方步骤的资源数据42和/或排放数据44可能根据用于实现所述处方/处方步骤的特定工具14而有所不同。此外，资源数据42和排放数据44还可以包括其他与工具14无关的资源/排放信息。例如，资源数据42可以包括资源采购成本，排放数据44可以包括废料(例如，副产品)处理成本等。
图2示出了根据一个实施例的制造环境10的一部分的运行的更详细视图。如图所示，计算机系统20可以操作一个或多个资源源16以便在制造产品2期间向工具14提供所需资源。例如，计算机系统20可以指示资源源16提供在工具14的处理室50内使用的所需体积、数量、流速等的对应资源。工具14可以包括一个或多个资源传感器52，每个资源传感器监视提供给处理室50的实际体积、数量、流速等的对应资源。资源传感器52可以使用任何解决方案定期或连续提供与提供给处理室50的资源对应的资源数据42(图1)。
类似地，计算机系统20可以操作和接收处理室50的运行数据。例如，计算机系统20可以指定实现产生产品2的处方/处方步骤期间，处理室50内应保持的温度、压力等，并且可以接收指示处理室50内实际温度、压力等的运行数据。此外，处理室50的运行数据可以包括其他资源数据42，例如消耗的电量和/或类似数据。
此外，工具14可以包括一个或多个排放传感器54，每个排放传感器监视制造产品2时从处理室50输出的对应物质(例如，过剩物、残余物、副产品等)的体积、数量、流速等。排放传感器54可以使用任何解决方案定期或连续提供与从处理室50输出的特定物质对应的排放数据44(图1)。计算机系统20还可以根据从一组排放传感器54获取的排放数据操作一个或多个排放处理系统18。排放处理系统18可以处理处理室50输出的部分或全部物质，以便隔离、分解、净化来自处理室50排放输出的物质、排出从处理室50输出的排放物质等。
计算机系统20可以使用包括资源数据42和排放数据44的运行数据来：操作资源源16、工具14和/或排放处理系统18；和/或确认资源源16、工具14和/或排放处理系统18的正确操作。例如，计算机系统20可以根据所述运行数据确定何时移至处方中的下一步。类似地，计算机系统20可以根据所述运行数据确定一个或多个组件(例如，工具14)未正确运行，并停止各组件在产品2的制造中的进一步运行。
计算机系统20还可以使用所述运行数据(包括资源数据42和/或排放数据44)配置制造环境10的运行，以便优化以下方面中的一个或多个方面：各种类型产品的制造期间的资源消耗、排放产生。例如，计算机系统20可以在生成进度数据40时使用所述运行数据在执行制造时实现高效地使用一种或多种类型的资源、减少一种或多种类型排放物质的产生等。类似地，计算机系统20可以使用所述运行数据优化与资源消耗相关的成本(例如，所消耗资源的总采购成本)和/或与排放产生相关的成本(例如，所产生排放的总体废物管理成本)。通过这种方式，可以降低运行制造环境10的成本、环境影响等。例如，可以减少需要采购的资源量、可以减少消耗的动力量、可以减少产生的排放量，可以减少环境合规性费用、可以减少所消耗资源的成本、可以减少所产生排放的废物管理(例如，处置)成本等。
图3示出了根据另一个实施例的示例性制造环境10。在环境10中，计算机系统20(图1)使用制造执行系统34和多个工具管理系统36A、36B实现。在一个实施例中，制造执行系统34包括一个或多个计算设备，而每个工具管理系统36A、36B使用唯一的计算设备实现。制造执行系统34可以被配置为针对整个制造环境10执行所有更高级别的管理操作(例如，调度、路由、规划等)。每个工具管理系统36A、36B可以被配置为执行工具特定的管理操作(例如，处方执行、工艺监视、历史性能数据管理等)。在此方面，制造环境10中的每个工具14A、14B可以包括能够以一对一关系实现的本地化工具管理系统36A、36B。
在运行中，制造执行系统34的路由组件60A可以处理制造进度46，制造进度46确定将由制造环境10制造的各种类型产品的所需数量和期限。路由组件60A可以根据制造进度46将资源(例如，原材料、中间产品等)路由到各种工具14A、14B，以便由对应的工具14A、14B进行处理。此外，路由组件60A可以根据工具可用性、容量限制、资源可用性等确定适合的路由。此外，路由组件60A可以根据可用工具14A、14B的历史运行数据(例如资源消耗数据和排放产生数据)确定适合的路由。无论如何，一旦路由组件60A确定用于实现制造产品2A、2B的处方的可用工具14A、14B，路由组件60A便可将要由工具14A、14B实现的对应处方提供给与工具14A、14B对应的工具管理系统36A、36B的处方组件62A。
一旦对应资源源16(图2)可提供所需资源，每个处方组件62A便可以根据从路由组件60A接收的处方操作对应工具14A、14B，以便分别制造一种或多种产品2A、2B。例如，处方组件62A可以根据处方步骤、已用监视时间、资源量等调整对应工具14A、14B的处理室50(图2)内的一个或多个条件，以便确定何时继续到所述处方中的下一步、确定所述处方何时完成等。此外，尽管未在图3中示出，但处方组件62A可以根据处方步骤操作一个或多个资源源16，以便为处理室50提供必需的资源(多个)。
在所述处方的执行期间，监视组件62B可以接收和处理运行数据，以便实时监视对应工具14A、14B的运行的一个或多个方面。例如，监视组件62B可以获取设备跟踪(equipment trace)，所述设备跟踪包括与对应工具14A、14B在执行所述处方期间的实际资源消耗和实际排放产生对应的实时运行数据。实际资源消耗数据可以包括与一种或多种物质(例如，化学物质、气体、液体等)在处理室50内的消耗/流速、动力使用等对应的数据。在一个实施例中，对应工具14A、14B的一个或多个资源传感器52(图2)获取此类数据并将其提供给监视组件62B。类似地，实际排放产生数据可以包括与排放成分(例如，一种或多种化学物质的存在/浓度)、一种或多种副产品的产生等对应的数据。在一个实施例中，对应工具14A、14B的一个或多个排放传感器54(图2)获取此类数据并将其提供给监视组件62B。
监视组件62B可以使用统计分析、故障检测算法等实时地处理诸如资源数据42(图1)和排放数据44(图1)之类的实时运行数据，以便根据所述处方确定工具14A、14B在制造对应产品2A、2B期间是否正确运行。在此方面，监视组件62B可以记录映射到工具14A、14B所执行的处方的对应步骤/操作的实时实际资源消耗数据和实际排放数据。通过这种方式，监视组件62B可以确定工具14A、14B是否正确执行所述步骤。例如，监视组件62B可以判定所述运行数据的一个或多个值中的每一个值是否在所述处方/处方步骤定义的可接受目标值范围内。根据发现的任何差异，监视组件62B可以判定所述步骤已正确执行、可能已正确执行或尚未正确执行、或者未正确执行，并生成和提供对应的消息以供制造执行系统34处理。
此外，监视组件62B可以使用实现所述步骤的对应工具14A、14B的历史运行数据值评估运行数据(例如实际资源消耗数据和实际排放产生数据)，以判定所述数据是否在期望容限内。例如，监视组件62B可以判定对应工具14A、14B的运行数据是否在所述处方/处方步骤的平均预定最近执行次数的期望容限内。如果一个或多个数据项在期望容限以外，则监视组件62B可以生成和提供对应消息以供制造执行系统34处理，停止由处方组件62A和对应工具14A、14B执行所述处方等。此外，如果消息指示对应工具14A、14B发生故障的错误信号，则路由组件60A可以停用工具14A、14B，并相应地调整制造进度46。
每个工具管理系统36A、36B被进一步示为包括聚合组件62C。聚合组件62C可以收集特定处方/处方步骤的部分或全部运行数据(例如，实际资源消耗数据和实际排放产生数据)，并提供所述数据以供被示为在制造执行系统34内实现的规划组件60B处理。在一个实施例中，聚合组件62C实时收集和提供运行数据。通常，规划组件60B被配置为使得用户12(图1)能够根据制造环境10的运行执行各种规划操作。
在此方面，规划组件60B可以生成和提供允许用户12查看和/或处理制造环境10的实时操作的一个或多个方面的各种接口。例如，规划组件60B可以提供制造环境10在一段给定时间(例如，天、周、月等)内消耗的资源、生成的副产品等的实际数量的汇总数据。此类接口允许用户12“钻取(drill down)”所述数据以便按照产品2A、2B的类型、工具14A、14B的类型、特定工具14A、14B等获取数据。
此外，规划组件60B可以被配置为生成由路由组件60A实现的制造进度46。具体地说，规划组件60B可以获取要在所需期限内制造的多种类型产品中的每一种的所需数量、各种工具14A、14B的可用性等，并且相应地生成制造进度46。
规划组件60B还可以使用所述运行数据检查优化制造进度46所需的真实“假设(what if)”情形。例如，规划组件60B可以处理各种工具14A、14B中的每一种的运行数据以生成制造进度46。通过这种方式，规划组件60B可以实现基于拥有成本、工厂效率和/或其他行业管理解决方案的制造环境10规划。在此方面，规划组件60B可以根据制造环境10中的每种工具14A、14B的详细实际运行数据调整制造进度46的一个或多个方面。此外，规划组件60B可以生成优化整个制造环境10运行期间运行数据中的一个或多个变量的制造进度46。例如，规划组件60B可以生成优化在使用制造环境10制造各种产品期间资源消耗和/或排放产生的制造进度46。随后，路由组件60A可以根据该制造进度46运行制造环境10。
在一个实施例中，规划组件60B生成优化所需期限内制造环境10的运行成本的制造进度46。例如，规划组件60B可以使用与所述运行数据中包括的一个或多个变量对应的成本数据。随后，规划组件60B可以生成最小化由与所述运行数据中一个或多个变量对应的成本数据定义的制造环境10总体运行成本的制造进度46。在更具体的实例中，所述运行数据可以包括与每种工具14A、14B在执行特定处方步骤时的操作的不同方面对应的数据，例如：电量；物质(例如，化学原料)消耗量；生成的副产品量等。
规划组件60B可以获取每个变量的对应成本，例如：电成本；物质成本；生成副产品的成本(例如，管理费用、处置成本等)；等等，这些成本可以包括在运行数据中。随后，规划组件60B可以使用所述成本和工具特定的运行数据通过任何最小化函数最大程度上降低总成本。例如，规划组件60B可以在生成制造进度46时选择更高效的工具来执行处方的部分或全部。通过这种方式，规划组件60B可以利用不同工具14A、14B之间的选择性路由选项降低产品2A、2B的总体制造成本。此外，规划组件60B可以生成旨在将总资源消耗和/或总副产品产生保持在某一限制(例如，每日限制、每月限额等)内的制造进度46，以便政府机构不会因制造环境10的运行而征收罚款等，并且提供符合规定限制/限额的证明。
更具体地说，规划组件60B可以获取给定处方/处方步骤消耗的一组资源和/或给定处方/处方步骤产生的一组排放物质。规划组件60B可以确定消耗所述一组资源和/或产生所述一组排放物质的相关成本，以便确定相关的消耗成本和/或排放处理成本。规划组件60B可以使用消耗/排放处理成本的加权组合确定处方/处方步骤的对应成本。规划组件60B可以根据处方的平均性能(例如，不考虑用于执行所述处方的一个或多个工具)确定相关成本和/或确定与所述处方的各种工具/路由特定的性能相关的成本。在后一种情况中，规划组件60B可以使用工具/路由特定的处方/处方步骤成本来生成制造进度46，所述制造进度46例如通过从可供执行所述处方的部分或全部的各种备选选项选择更高效的工具14A、14B和/或路由来最小化执行所述处方的总成本的一个或多个方面(例如，消耗成本、排放处理成本等)。
此外，规划组件60B可以根据技术(例如，产品系列)、特定类型产品、制造操作(例如，处方步骤)等评估使用制造环境10制造产品的一个或多个方面(例如，化学物质消耗和/或相关成本)。在一个实施例中，规划组件60B可以评估用于制造某一类型产品的处方的成本。例如，规划组件60B可以合并使用所述运行数据(例如实际资源消耗和排放数据)的处方的每一个处方步骤的成本和对应的成本数据以确定所述处方的总成本。规划组件60B可以根据处方的平均性能(例如，不考虑用于执行所述处方的一个或多个工具)确定相关成本和/或确定与处方的各种工具/路由特定的性能相关的成本，后一种情况可用于通过选择相关成本指示的成本更低的工具/路由来降低产品制造成本的一个或多个方面。
类似地，规划组件60B可以评估因对现有处方执行建议的修改而造成的成本影响，以确定所述修改对使用修改后的处方制造该类型产品的成本具有何种影响(如果有)。例如，规划组件60B可以评估对需要更多低成本资源，更少高成本资源的处方进行的更改。类似地，规划组件60B可以评估例如用于使用制造环境10制造新类型产品2A、2B的全新处方的成本。在每种情况下，规划组件60B可以通过合并各种处方的一个或多个可比处方步骤的实际运行数据和对应的成本数据来评估修改/新处方步骤，以便评估建议的修改对制造该类型产品的总成本具有何种影响或评估新处方带来的总成本。备选地，规划组件60B可以通过将从可比处方步骤获取的各实际数据点进行曲线拟合来预计修改后的步骤的运行数据。
在另一实施例中，规划组件60B可以使用工具14A、14B的运行数据评估与使用制造环境10制造一种类型产品对应的环境影响。例如，规划组件60B可以合并使用在制造环境10内使用的特定工具集14A、14B和/或路由执行处方中多个处方步骤中的每个步骤所导致的实际资源消耗数据和/或排放数据。可以使用总资源消耗和/或排放产生评估使用一组工具14A、14B/路由制造产品2A、2B的环境影响。可以使用诸如有毒物质之类的任何物质的消耗/产生评估环境影响。示例性物质可以包括，例如，二氧化碳、氢氟酸、砷等。
在另一实施例中，规划组件60B可以确定一组物质中每种物质的数量，例如使用制造环境10内的一组选定工具14A、14B/路由制造的产品2A、2B中包括的一种或多种化学物质。例如，规划组件60B可以通过从进入特定工具14A、14B的处理室50的测量物质量(例如，使用资源传感器52(图2)测量)减去离开处理室50(图2)的测量物质量(例如，使用排放传感器54(图2)测量)，计算产品2A、2B中的特定物质量。为了得到产品2A、2B的更精确的物质成分，可以测量和减去制造产品2A、2B之后在工具14A、14B的处理室50中剩余的物质量。产品2A、2B的物质成分可用于确定产品2A、2B的正确装运要求和/或放置要求。例如，产品2A、2B的含铅量可用于确定产品2A、2B的装运/放置要求。
尽管在此示出和描述为一种管理制造环境的方法和系统，但是将理解，本发明的各方面还提供了各种备选实施例。例如，在一个实施例中，本发明提供了一种解决方案，其用于生成可以使用制造环境10内的各种工具14A、14B的实际运行数据最小化诸如总成本之类的资源消耗和/或排放产生中的一个或多个方面的制造进度。例如，制造进度的生成可以包括选择制造环境10内最小化使用制造环境10制造各种产品2A、2B的总成本的工具14A、14和/或路由。
在另一实施例中，本发明提供了一种安装在至少一个计算机可读介质中的计算机程序，当执行所述计算机程序时，可使计算机系统管理制造环境。在此方面，所述计算机可读介质包括诸如管理程序30(图1)的程序代码，所述程序代码实现此处描述的部分或全部过程。将理解，术语“计算机可读介质”包括现在已知或以后开发的所有类型的有形表达介质中的一种或多种，通过所述介质，计算设备可以感知、再现或以其他方式传送所述程序代码的副本。例如，所述计算机可读介质可以包括：一种或多种便携式存储制品；计算设备的一种或多种存储器/存储组件；纸张等。
在另一实施例中，本发明提供了一种提供诸如管理程序30(图1)之类的程序代码的副本的方法，所述程序代码实现此处描述的部分或全部过程。在这种情况下，计算机系统可以处理实现此处描述的部分或全部过程的程序代码的副本以生成和传输在第二完全不同的位置处接收的一组数据信号，所述数据信号中的一个或多个特征的设置和/或更改方式可将所述程序代码的副本编码为所述一组数据信号。类似地，本发明的实施例提供了一种获取实现此处描述的部分或全部过程的程序代码的副本的方法。所述方法包括计算机系统接收此处描述的一组数据信号，将所述一组数据信号转换为在至少一个计算机可读介质中安装的计算机程序的副本。在任何一种情况下，所述一组数据信号都可以使用任意类型的通信链路发送/接收。
在另一实施例中，本发明提供了一种形成管理制造环境的系统的方法。在这种情况下，可获取(例如，创建、维护、提供)诸如计算机系统20(图1)之类的计算机系统并且可获取(例如，创建、购买、使用、修改等)用于执行此处描述的过程的一个或多个组件以及将所述一个或多个组件部署到计算机系统。在此方面，所述部署可以包括下列一项或多项：(1)在计算设备上安装程序代码；(2)在计算机系统中添加一个或多个计算和/或I/O设备；(3)结合和/或修改计算机系统以使其执行此处描述的过程；和/或其他类似操作。
为了示例和说明给出了上面对本发明的各方面的描述。这并非旨在是穷举的或将本发明限于所披露的精确形式，显然，许多修改和变型是可能的。对于本领域的技术人员而言显而易见的此类修改和变型将包括在所附权利要求限定的本发明的范围内。
Claims (20)
1.一种管理制造环境的计算机实现的方法，所述方法包括：
在计算机系统上获取所述制造环境中的多个工具中的每个工具的运行数据，工具的运行数据包括在该工具实施处方的至少一部分以制造在所述制造环境中制造的多种类型的产品之一期间的一组资源的实际资源消耗数据和一组排放物质的实际排放产生数据；以及
使用所述计算机系统配置所述制造环境的运行以优化以下项中的至少一项：使用所述运行数据在所需期限内制造所需数量的多种类型产品期间所述一组资源的消耗或所述一组排放物质的产生。
2.如权利要求1中所述的方法，其中所述配置包括优化与以下项中的至少一项关联的成本：由于在所需期限内运行所述制造环境而导致的所述一组资源的消耗或所述一组排放物质的产生。
3.如权利要求1中所述的方法，其中所述配置包括通过合并制造一种类型产品的处方中的多个处方步骤的实际资源消耗数据和排放产生数据来评估该处方的成本。
4.如权利要求3中所述的方法，其中所述配置包括评估由于以下项中的至少一项导致的成本影响：对所述处方的修改或对使用所述处方的合并后的数据执行所述处方的一组选定工具的修改以及对所述处方的成本的修改。
5.如权利要求1中所述的方法，其中所述获取包括：
从相应工具的工具管理系统获取的设备跟踪来获取所述实际资源消耗数据和排放产生数据；以及
将所述实际资源消耗数据和排放产生数据与所述制造环境的制造执行系统上存储的处方步骤数据相关联，所述处方步骤数据对应于一种类型产品的处方步骤。
6.如权利要求1中所述的方法，还包括通过合并所述处方中的多个处方步骤的实际资源消耗数据和排放产生数据来评估与制造一种类型产品对应的环境影响。
7.如权利要求1中所述的方法，还包括使用所述处方中的多个处方步骤的实际资源消耗数据和排放产生数据来确定产品的化学组成。
8.一种计算机系统，包括：
一组计算设备，其配置为实现一种管理制造环境的方法，所述方法包括：
获取所述制造环境中的多个工具中的每个工具的运行数据，工具的运行数据包括在该工具实施处方的至少一部分以制造在所述制造环境中制造的多种类型的产品之一期间的一组资源的实际资源消耗数据和一组排放物质的实际排放产生数据；以及
配置所述制造环境的运行以优化以下项中的至少一项：使用所述运行数据在所需期限内制造所需数量的多种类型产品期间所述一组资源的消耗或所述一组排放物质的产生。
9.如权利要求8中所述的系统，其中所述配置包括优化与以下项中的至少一项关联的成本：由于在所需期限内运行所述制造环境而导致的所述一组资源的消耗或所述一组排放物质的产生。
10.如权利要求8中所述的系统，其中所述配置包括通过合并制造一种类型产品的处方中的多个处方步骤的实际资源消耗数据和排放产生数据来评估该处方的成本。
11.如权利要求10中所述的系统，其中所述配置包括评估由于以下项中的至少一项导致的成本影响：对所述处方的修改或对使用所述处方的合并后的数据执行所述处方的一组选定工具的修改以及对所述处方的成本的修改。
12.如权利要求8中所述的系统，其中所述获取包括：
从相应工具的工具管理系统获取的设备跟踪来获取所述实际资源消耗数据和排放产生数据；以及
将所述实际资源消耗数据和排放产生数据与所述制造环境的制造执行系统上存储的处方步骤数据相关联，所述处方步骤数据对应于一种类型产品的处方步骤。
13.如权利要求8中所述的系统，所述方法还包括通过合并所述处方中的多个处方步骤的实际资源消耗数据和排放产生数据来评估与制造一种类型产品对应的环境影响。
14.如权利要求8中所述的系统，所述方法还包括使用所述处方中的多个处方步骤的实际资源消耗数据和排放产生数据来确定产品的化学组成。
15.一种管理制造环境的系统，所述系统包括：
用于获取所述制造环境中的多个工具中的每个工具的运行数据的装置，工具的运行数据包括在该工具实施处方的至少一部分以制造在所述制造环境中制造的多种类型的产品之一期间的一组资源的实际资源消耗数据和一组排放物质的实际排放产生数据；以及
用于配置所述制造环境的运行以优化以下项中的至少一项的装置：使用所述运行数据在所需期限内制造所需数量的多种类型产品期间所述一组资源的消耗或所述一组排放物质的产生。
16.如权利要求15中所述的系统，其中用于配置的装置包括用于优化与以下项中的至少一项关联的成本的装置：由于在所需期限内运行所述制造环境而导致的所述一组资源的消耗或所述一组排放物质的产生。
17.如权利要求15中所述的系统，其中用于配置的装置包括用于通过合并制造一种类型产品的处方中的多个处方步骤的实际资源消耗数据和排放产生数据来评估该处方的成本的装置。
18.如权利要求15中所述的系统，其中用于获取的装置包括：
用于从相应工具的工具管理系统获取的设备跟踪来获取所述实际资源消耗数据和排放产生数据的装置；以及
用于将所述实际资源消耗数据和排放产生数据与所述制造环境的制造执行系统上存储的处方步骤数据相关联的装置，所述处方步骤数据对应于一种类型产品的处方步骤。
19.如权利要求15中所述的系统，还包括用于通过合并所述处方中的多个处方步骤的实际资源消耗数据和排放产生数据来评估与制造一种类型产品对应的环境影响的装置。
20.一种形成用于管理制造环境的计算机系统的方法，所述方法包括：
提供一种计算机系统，所述计算机系统可操作以实现包括以下步骤的方法：
获取所述制造环境中的多个工具中的每个工具的运行数据，工具的运行数据包括在该工具实施处方的至少一部分以制造在所述制造环境中制造的多种类型的产品之一期间的一组资源的实际资源消耗数据和一组排放物质的实际排放产生数据；以及
配置所述制造环境的运行以优化以下项中的至少一项：使用所述运行数据在所需期限内制造所需数量的多种类型产品期间所述一组资源的消耗或所述一组排放物质的产生。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US12/783,736 US8634949B2 (en) | 2010-05-20 | 2010-05-20 | Manufacturing management using tool operating data |
| US12/783,736 | 2010-05-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN102354377A true CN102354377A (zh) | 2012-02-15 |
Family
ID=44973133
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2011101305319A Pending CN102354377A (zh) | 2010-05-20 | 2011-05-19 | 使用工具运行数据管理制造环境的方法和系统 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8634949B2 (zh) |
| CN (1) | CN102354377A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107111304A (zh) * | 2014-11-24 | 2017-08-29 | 拜耳股份公司 | 用于配置被设计用于进行至少一个化学反应的生产设备的方法 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8938314B2 (en) * | 2010-11-16 | 2015-01-20 | International Business Machines Corporation | Smart energy consumption management |
| US9606519B2 (en) * | 2013-10-14 | 2017-03-28 | Applied Materials, Inc. | Matching process controllers for improved matching of process |
| US20160054731A1 (en) * | 2014-08-19 | 2016-02-25 | Applied Materials, Inc. | Systems, apparatus, and methods for processing recipe protection and security |
| CN106651094B (zh) * | 2016-09-23 | 2021-03-26 | 东南大学 | 一种基于等效节能量的企业能效评价方法 |
| DE102020131419A1 (de) * | 2020-11-26 | 2022-06-02 | Norbert R. Heinz | Verfahren zur Fertigung wenigstens eines Gegenstands |
| JP2023107636A (ja) * | 2022-01-24 | 2023-08-03 | エヌ・ティ・ティ・コミュニケーションズ株式会社 | 生産支援装置、方法およびプログラム |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20030065471A1 (en) * | 2000-05-24 | 2003-04-03 | Akitoshi Tsuji | Managing apparatus and managing method of a semiconductor manufacturing apparatus |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5896294A (en) * | 1997-03-11 | 1999-04-20 | Advanced Micro Devices, Inc. | Method and apparatus for inspecting manufactured products for defects in response to in-situ monitoring |
| US7515264B2 (en) * | 1999-06-15 | 2009-04-07 | Tokyo Electron Limited | Particle-measuring system and particle-measuring method |
| US7054797B2 (en) * | 2000-06-30 | 2006-05-30 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Apparatus for environmental impact estimation and method and program stored in a computer readable medium for executing the same |
| JP2002099674A (ja) * | 2000-09-21 | 2002-04-05 | Ricoh Co Ltd | 環境負荷情報システム及び環境負荷情報提供方法 |
| JP4056686B2 (ja) * | 2000-09-21 | 2008-03-05 | 株式会社リコー | 環境経営情報システム及び環境経営情報提供方法 |
| US6782343B2 (en) | 2001-02-28 | 2004-08-24 | Asm International N.V. | Resource consumption calculator |
| JP2004280172A (ja) * | 2003-03-12 | 2004-10-07 | Seiko Epson Corp | エネルギー評価支援システム、プログラム、情報記憶媒体およびエネルギー評価支援方法 |
| US6909996B2 (en) | 2003-03-12 | 2005-06-21 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd | Online material consumption monitoring system and method for monitoring material within a wafer fabrication facility |
| ATE374936T1 (de) | 2003-07-25 | 2007-10-15 | Lightwind Corp | Verfahren und vorrichtung zur überwachung chemischer prozesse |
| JP2007196160A (ja) * | 2006-01-27 | 2007-08-09 | Taiyo Nippon Sanso Corp | 排ガスの処理装置 |
| US7970483B2 (en) * | 2006-03-16 | 2011-06-28 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for improving operation of an electronic device manufacturing system |
| WO2008156687A1 (en) * | 2007-06-15 | 2008-12-24 | Applied Materials, Inc. | Methods and systems for designing and validating operation of abatement systems |
| US8214249B2 (en) * | 2008-06-09 | 2012-07-03 | Oracle International Corporation | Resource planning system with carbon emission input |
-
2010
- 2010-05-20 US US12/783,736 patent/US8634949B2/en not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-05-19 CN CN2011101305319A patent/CN102354377A/zh active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20030065471A1 (en) * | 2000-05-24 | 2003-04-03 | Akitoshi Tsuji | Managing apparatus and managing method of a semiconductor manufacturing apparatus |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107111304A (zh) * | 2014-11-24 | 2017-08-29 | 拜耳股份公司 | 用于配置被设计用于进行至少一个化学反应的生产设备的方法 |
| CN107111304B (zh) * | 2014-11-24 | 2020-06-23 | 拜耳股份公司 | 用于配置被设计用于进行至少一个化学反应的生产设备的方法 |
| US10998086B2 (en) | 2014-11-24 | 2021-05-04 | Bayer Aktiengesellschaft | Method for configuring a production plant designed for performing at least one chemical reaction |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US8634949B2 (en) | 2014-01-21 |
| US20110288668A1 (en) | 2011-11-24 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| Ivanov | The Industry 5.0 framework: viability-based integration of the resilience, sustainability, and human-centricity perspectives | |
| Jain et al. | Manufacturing data analytics using a virtual factory representation | |
| Yang et al. | The internet of things for smart manufacturing: A review | |
| Xia et al. | Recent advances in prognostics and health management for advanced manufacturing paradigms | |
| Bumblauskas et al. | Smart Maintenance Decision Support Systems (SMDSS) based on corporate big data analytics | |
| CN102354377A (zh) | 使用工具运行数据管理制造环境的方法和系统 | |
| US8321187B2 (en) | Process simulation utilizing component-specific consumption data | |
| Suvarna et al. | Smart manufacturing for smart cities—overview, insights, and future directions | |
| Bányai | Energy consumption-based maintenance policy optimization | |
| CN117670378B (zh) | 一种基于大数据的食品安全监控方法及系统 | |
| Ruppert et al. | Estimation of machine setup and changeover times by survival analysis | |
| Abolghasemian et al. | Simulation‐Based Multiobjective Optimization of Open‐Pit Mine Haulage System: A Modified‐NBI Method and Meta Modeling Approach | |
| CN104751260A (zh) | 识别计量表异常读数的系统及方法 | |
| Mathumitha et al. | Intelligent deep learning techniques for energy consumption forecasting in smart buildings: a review | |
| Narayanan et al. | Design, modelling, optimisation and validation of condition-based maintenance in IoT enabled hybrid flow shop | |
| Rizvi | Powering Efficiency: Exploring Artificial Intelligence for Real-time Energy Management in Buildings | |
| Farughi et al. | Bi-objective robust optimization model for configuring cellular manufacturing system with variable machine reliability and parts demand: A real case study | |
| Schwark et al. | Sustainability Digital Twin: a tool for the manufacturing industry | |
| Lee et al. | Improving early stage system design under the uncertainty in reliability-wise structure | |
| Razavi Al-e-hashem et al. | Robust maintenance planning and scheduling for multi-factory production networks considering disruption cost: a bi-objective optimization model and a metaheuristic solution method | |
| Thirupathieswaran et al. | IoT Enabled Waste Management Optimization Framework (IWMOF) | |
| CN113811905B (zh) | 用于提供复杂制造系统的关键性能指标的预测的方法和设备 | |
| Adewuyi et al. | Application of big data analytics to forecast future waste trends and inform sustainable planning | |
| Boguhn | Forecasting power consumption of manufacturing industries using neural networks | |
| Ullah et al. | Industrial Energy Management System: Design of a Conceptual Framework using IoT and Big Data |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C12 | Rejection of a patent application after its publication | ||
| RJ01 | Rejection of invention patent application after publication |
Application publication date: 20120215 |