CN102337518A

CN102337518A - 一种载板回收控制方法、系统及一种薄膜沉积设备、方法

Info

Publication number: CN102337518A
Application number: CN2010102348779A
Authority: CN
Inventors: 陆涛
Original assignee: Beijing North Microelectronics Co Ltd
Current assignee: Beijing North Microelectronics Co Ltd
Priority date: 2010-07-21
Filing date: 2010-07-21
Publication date: 2012-02-01
Anticipated expiration: 2030-07-21
Also published as: CN102337518B

Abstract

本发明提供了一种载板回收控制方法及系统，以解决载板回收效率低的问题。所述方法包括：将载板回收划分为三个控制部分，分别是装载台的升降、卸载台的升降和卸载台到装载台的传输；对于卸载台到装载台的传输，通过构建状态机进行控制，包括：在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中选择状态点，并以所选状态点将卸载台到装载台的传输划分为多个状态，每个状态在满足传输条件时执行相应的传输动作，并向另一个状态转换；各个状态之间的转换包含所有可同时执行的传输动作。本发明充分考虑了载板回收系统可以并行运行的全部动作，大大提高了载板回收的效率，进而提高了设备生产率。此外，本发明还提供了一种薄膜沉积设备及薄膜沉积方法。

Description

一种载板回收控制方法、系统及一种薄膜沉积设备、方法

技术领域

本发明涉及工艺控制技术领域，特别是涉及一种载板回收控制方法及载板回收控制系统，一种薄膜沉积设备及薄膜沉积方法。

背景技术

在晶硅太阳能电池制造设备中，PECVD(等离子增强化学气相沉积)设备多采用In-line(线型)的硬件结构形式，采用在线型镀膜技术(In-linePECVD)来达到高效率、高产量的目的。

参照图1，是PECVD设备的硬件结构图。PECVD的硬件结构主要分为以下几个部分：装载台(LP)、预热腔(LHC)、工艺腔(PC)、冷却腔(CUC)、卸载台(UP)以及载板回收系统。其中，载板回收系统中包括多个返回台，图1中有三个返回台，分别是返回台1(CUCR)、返回台2(PCR)、返回台3(LHCR)。

PECVD的工艺流程为：

1)装载台(高位)装片后，传输到预热腔，同时装载台降到低位接收返回的载版；

2)预热腔加热后传输到工艺腔；

3)工艺腔工艺后传输到到冷却腔；

4)冷却腔冷却后传输到卸载台；

5)卸载台降到低位并经过载板回收系统传输到装载台(低位)；

6)装载台上升到高位取片放片，再继续下一个流程。

在上述工艺流程汇中，载板能否由卸载台(高位)及时返回到装载台(高位)，将直接影响PECVD的生产效率。

目前所采用的载板回收方法如下：

1)如果LP在高位且没有载板，则LP下降到低位；

2)如果LP在低位且没有载板，并且如果载板在LHCR上，则载板由LHCR-＞LP，LP上升到高位；

3)如果UP在高位且有载板，则UP下降到低位；

4)如果UP在低位且有载板，并且如果CUCR上没有载板，则UP-＞CUCR，UP上升到高位；

5)如果LHCR、PCR上没有载板，CUCR上有载板，则CUCR-＞LHCR；

6)如果LHCR没有载板，PCR有载板，则PCR-＞LHCR；

7)如果LHCR有载板，PCR没有载板，CUCR有载板，则CUCR-＞PCR；

8)返回第1)步执行。

所述载板回收方法的执行流程如图2所示。其中，判断LHCR有载板后，只有“PCR无载板，CUCR有载板”这种情况，其它情况均无法传输，原因如下：

1)“PCR无载板，CUCR无载板”，因为都没有载板不需要动作；

2)“PCR有载板，CUCR无载板”，无法动作，因为传输必须保证源位置有载板，目的位置无载板；

3)“PCR有载板、CUCR有载板”，源位置和目的位置都有载板，无法传输。

判断LHCR无载板后，只有两种情况适合传输：

1)“CUCR有载板，PCR无载板”，这种情况下由CUCR直接传输到LHCR，不需要在PCR停留；

2)“PCR有载板”，这种情况下只能由PCR-＞LHCR，其它情况都无法传输。

由上可知，现有的载板回收主要分为三部分：LHCR-＞LP传输以及LP的升降，CUCR-＞LHCR的传输，UP-＞CUCR的传输以及UP的升降，整个载板回收系统作为一个整体供上层软件调用。

这种载板回收方式的主要缺点是载板返回效率低下。例如，如果同时满足以下条件：1)LP在高位且无载板，2)UP在高位且有载板；此时可执行：LP下降，UP下降。但是，由于整个载板回收系统是串行调度关系，所以只能等LP下降完成后才能调度UP下降，这样就浪费了时间，使得设备生产率低下。再例如，如果LHCR-＞LP、CUCR-＞PCR的传输条件都满足，仍然不能同时执行，造成时间浪费。

发明内容

本发明所要解决的技术问题是提供一种载板回收控制方法及载板回收控制系统，以解决现有的载板回收效率低的问题。

相应的，本发明还提供了一种薄膜沉积设备及薄膜沉积方法，所述设备和方法中涉及载板回收问题。

为了解决上述问题，本发明公开了一种载板回收控制方法，包括：

将载板回收划分为三个控制部分，分别是装载台的升降、卸载台的升降和卸载台到装载台的传输；

对于卸载台到装载台的传输，根据所有可同时执行的传输动作构建状态机进行控制，包括以下步骤：

在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中选择状态点，并以所选状态点将卸载台到装载台的传输划分为多个状态，每个状态在满足传输条件时执行相应的传输动作，并向另一个状态转换；

各个状态之间的转换包含所有可同时执行的传输动作。

优选的，通过以下方式选择状态点：在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中，间隔设置状态点。

优选的，当卸载台与装载台之间的返回台依次为第一返回台、第二返回台和第三返回台共三个时，在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中选择第一返回台和第三返回台做为状态点。

其中，选择第一返回台和第三返回台为状态点将卸载台到装载台的传输划分为以下四个状态：

第三返回台有载板、第一返回台有载板；

第三返回台有载板、第一返回台无载板；

第三返回台无载板、第一返回台有载板；

第三返回台无载板、第一返回台无载板。

其中，所述每个状态满足的传输条件包括：传输的源位置有载板，传输的目的位置无载板。

优选的，对于装载台的升降和卸载台的升降，当满足上升条件时则上升到高位，否则在低位等待。

本发明还提供了一种载板回收控制系统，包括：

回收划分模块，用于将载板回收划分为三个控制部分，分别是装载台的升降、卸载台的升降和卸载台到装载台的传输；

传输控制模块，用于针对卸载台到装载台的传输，根据所有可同时执行的传输动作构建状态机进行控制，包括以下子模块：

状态点选择子模块，用于在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中选择状态点；

状态划分子模块，用于以所选状态点将卸载台到装载台的传输划分为多个状态；

状态转换子模块，用于在每个状态满足传输条件时执行相应的传输动作，并向另一个状态转换；各个状态之间的转换包含所有可同时执行的传输动作。

优选的，所述状态点选择子模块在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中，间隔设置状态点。

优选的，当卸载台与装载台之间的返回台依次为第一返回台、第二返回台和第三返回台共三个时，所述状态点选择子模块在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中选择返回台第一返回台和第三返回台做为状态点。

其中，当选择第一返回台和第三返回台为状态点时，所述状态划分子模块将卸载台到装载台的传输划分为以下四个状态：

第三返回台有载板、第一返回台有载板；

第三返回台有载板、第一返回台无载板；

第三返回台无载板、第一返回台有载板；

第三返回台无载板、第一返回台无载板。

优选的，所述系统还包括：

装载台升降控制模块，用于控制装载台的升降，当满足上升条件时则上升到高位，否则在低位等待；

卸载台升降控制模块，用于控制卸载台的升降，当满足上升条件时则上升到高位，否则在低位等待。

基于上述载板回收控制方法和系统，本发明还提供了一种薄膜沉积设备，包括上述的载板回收控制系统。

相应的，本发明还提供了一种薄膜沉积方法，包括上述的载板回收控制方法。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

首先本发明提供了一种改进的载板回收控制方法，首先将载板回收划分为三个控制部分：装载台LP的升降、卸载台UP的升降和UP-＞LP的传输，使得这三个部分在同时满足执行条件时可以并行执行动作。其中，对于相对复杂的UP-＞LP的传输控制，本发明通过使用状态机来实现UP-＞LP过程中多个传输动作的同时执行。综上所述，本发明充分考虑了载板回收系统可以并行运行的全部动作，大大提高了载板回收的效率，进而提高了设备生产率。

其次，在使用状态机的过程中，状态点的选择十分重要。本发明通过各种尝试得出的结论是：隔点选择一个状态点是最佳选择。因为这种选择可以通过最小的状态机涵盖所有状态，并涵盖所有可同时执行的传输动作，在保证载板回收过程完整性的前提下，达到最精简的算法。

附图说明

图1是现有技术中PECVD设备的硬件结构图；

图2是现有技术所述的载板回收方法流程图；

图3是本发明实施例所述LP的下降控制流程图；

图4是本发明实施例所述LP的上升控制流程图；

图5是本发明实施例所述UP的下降控制流程图；

图6是本发明实施例所述UP的上升控制流程图；

图7是本发明实施例中UP-＞LP的传输所涉及的传输位置示意图；

图8是本发明实施例中UP-＞LP的传输状态机的状态转换示意图；

图9是本发明实施例所述UP-＞LP的传输控制流程图；

图10是本发明实施例所述一种载板回收控制系统的结构图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

本发明提供了一种改进的载板回收控制方法，其核心思路是：充分考虑载板回收过程中可以并行运行的全部动作，并使用状态机来实现多个动作的同时执行，从而提高载板回收效率。

下面通过实施例详细说明如何使用状态机控制载板回收。

PECVD设备的硬件结构可参照图1所示，主要包括：装载台(LP)、预热腔(LHC)、工艺腔(PC)、冷却腔(CUC)、卸载台(UP)以及载板回收系统。本实施例中，载板回收系统中包含三个返回台：返回台1(CUCR)、返回台2(PCR)、返回台3(LHCR)。当然，返回台的数量不限定于三个，返回台数量的多少不会影响本发明的实现。

整个载板回收过程的控制如下：

首先，本发明将整个载板回收系统分为三个部分：LP的升降、UP-＞LP的传输、UP的升降。这三个部分相对独立，即每个部分只要满足执行条件就可以执行动作，因此，这三个部分在同时满足执行条件时可以并行执行动作。例如，当LP在高位且没有载板，并且UP在高位有载板时，就可以同时执行LP下降和UP下降。

然后，本发明针对每个部分分别进行控制，具体如下：

1、LP的升降

LP的升降由载板回收系统的上层软件直接控制，满足上升条件则上升，不满足则一直在低位等待条件满足。同理，满足下降条件则下降，不满足则等待。

参照图3，是本发明实施例所述LP的下降控制流程图。

步骤301，判断LP是否处于低位；

如果是，则返回；如果否，即LP在高位，则继续步骤302；

步骤302，判断LP上是否有载板；

如果有载板，则等待一段时间(如1秒)，然后返回步骤302继续判断；

如果无载板，则继续步骤303；

步骤303，LP从高位下降到低位。

参照图4，是本发明实施例所述LP的上升控制流程图。

步骤401，判断LP是否处于高位；

如果是，则返回；如果否，即LP在低位，则继续步骤402；

步骤402，判断LP上是否有载板；

如果无载板，则等待一段时间(如1秒)，然后返回步骤402继续判断；

如果有载板，则继续步骤403；

步骤403，LP从低位上升到高位。

2、UP的升降

UP的升降控制同LP一样，满足上升条件则上升，不满足则一直在低位等待条件满足。同理，满足下降条件则下降，不满足则等待。

参照图5，是本发明实施例所述UP的下降控制流程图。

步骤501，判断UP是否处于低位；

如果是，则返回；如果否，即UP在高位，则继续步骤502；

步骤502，判断UP上是否有载板；

如果无载板，则等待一段时间(如1秒)，然后返回步骤502继续判断；

如果有载板，则继续步骤503；

步骤503，UP从高位下降到低位。

参照图6，是本发明实施例所述UP的上升控制流程图。

步骤601，判断UP是否处于高位；

如果是，则返回；如果否，即UP在低位，则继续步骤602；

步骤602，判断UP上是否有载板；

如果有载板，则等待一段时间(如1秒)，然后返回步骤602继续判断；

如果无载板，则继续步骤603；

步骤603，UP从低位上升到高位。

3、UP-＞LP的传输

相对于LP的升降和UP的升降控制，UP-＞LP的传输略为复杂，因为UP到LP之间有多个返回台，每次传输都经过两个位置，从UP传输到LP要经过多次传输。根据传输条件的不同，UP到LP的传输过程中存在可以同时执行的传输动作。为了提高传输效率，本发明通过使用状态机来实现UP-＞LP过程中多个传输动作的同时执行。

下面先介绍状态机。有限状态机(Finite State Machine)又称有限状态自动机或简称状态机，是表示有限个状态以及在这些状态之间的转移和动作等行为的数学模型。关于状态机的一个极度确切的描述是它是一个有向图形，由一组节点和一组相应的转移函数组成。状态机通过响应一系列事件而“运行”。每个事件都在属于“当前”节点的转移函数的控制范围内，其中函数的范围是节点的一个子集。函数返回“下一个”(也许是同一个)节点。这些节点中至少有一个必须是终态。当到达终态，状态机停止。

根据上述状态机的描述，本发明选用状态机的原因是：设备在最理想的情况下，满足传输条件“源位置有载板，目的位置无载板(部分需要其它条件，如LHCR-＞LP时需要同时满足LP在低位)”时就可以传输，不受其它条件限制。在UP-＞LP的传输过程中，载板每经过一次调度后都是一种全新的状态，而系统要根据当前的状态去执行不同的调度，因此使用状态机可以实时反映每个状态并控制进行调度。

针对UP-＞LP的传输，首先要构建一个状态机，当构建好之后，通过状态之间的转换就可以控制UP-＞LP的多次并行传输。

构建状态机的基本过程包括：在UP、LP以及UP与LP之间的返回台中选择状态点，并以所选状态点将UP-＞LP的传输划分为多个状态，每个状态在满足传输条件时执行相应的传输动作，并向另一个状态转换；其中，各个状态之间的转换包含所有可同时执行的传输动作。

下面以图1中的载板回收系统为例进行详细说明。

所述载板回收系统中UP-＞LP的传输涉及五个传输位置，参照图7所示，分别是LP、LHCR、PCR、CUCR和UP。

所述五个位置间可以同时执行的传输动作有：

●LHCR-＞LP，CUCR-＞PCR；

●LHCR-＞LP，UP-＞CUCR；

●PCR-＞LHCR，UP-＞LHCR；

需要说明的是，两个相邻的位置不能同时传输，例如，PCR-＞LHCR和LHCR-＞LP不能同时动作，否则会有危险。

构建出的状态机，不仅要包含UP-＞LP的所有传输动作，还需要包含上述所有可同时执行的传输动作。为了满足这些要求，状态机的状态划分需合理，这样状态之间的转换才能包含UP-＞LP的所有传输动作及所有可同时执行的动作。

首先，在上述五个传输位置中，需要先确定状态点。

本实施例通过各种尝试得出的结论是：隔点选择一个状态点是最佳选择。其中，一种优选的设置方式是将LP、LHCR、PCR、CUCR、UP五个位置，以LHCR、CUCR为状态点，划分为以下四个状态：

1)LHCR有载板、CUCR有载板；

2)LHCR有载板、CUCR无载板；

3)LHCR无载板、CUCR有载板；

4)LHCR无载板、CUCR无载板。

这种以LHCR、CUCR为状态点的选择，可以通过最少的状态机涵盖所有状态，并涵盖所有可同时执行的传输动作，在保证载板回收过程完整性的前提下，达到最精简的算法。这是因为：

传输过程是由源位置到目的位置，每次传输都经过两个位置。如果不选状态点，用每个位置直接判断，则需要2⁵个状态机，即32个，太过烦琐；如果增加返回台的数量，如6个，则需要2⁶共64个状态机，造成程序开发困难。如果隔两个(或更多)位置选一个状态点，例如选LP和PCR，那么UP-＞CUCR的传输过程则无法直接通过状态机进行判断，造成丢失状态。因此，经过多次验证，隔点选一个是最佳选择。

当返回台的数量改变时，隔点取状态点，并重新定义状态机即可。

其次，定义状态之间的转换条件，即定义一个循环，在这四个状态之间进行切换。

参照图8，是本发明实施例中UP-＞LP的传输状态机的状态转换示意图。具体如下：

状态1：LHCR有载板、CUCR有载板

(a)如果LP无载板且在低位，则LHCR-＞LP；

(b)如果PCR无载板，CUCR-＞PCR；

a、b动作可同时执行。

状态2：LHCR有载板、CUCR无载板

(a)如果LP无载板且在低位，则LHCR-＞LP；

(b)如果UP有载板且在低位，则UP-＞CUCR；

a、b动作可同时执行。

状态3：LHCR无载板、CUCR有载板

(a)如果PCR有载板，则PCR-＞LHCR；

(b)如果PCR无载板，则CUCR-＞PCR；

a、b动作互斥执行。

状态4：LHCR无载板、CUCR无载板

(a)如果PCR有载板，则PCR-＞LHCR；

(b)如果UP有载板且在低位，则UP-＞CUCR；

a、b动作可同时执行。

图8中，每个状态当满足各自的传输条件时，就会执行相应的传输动作，同时向另一个状态转换。

需要说明的是，图8在条件判断时默认了一个条件，即源位置有载板，目的位置未载板，凡是不满足该条件的状态无需判断。即：如果目的位置有载板，则不需要再去判断源位置；如果源位置无载板，也不需要再去判断目的位置。

基于上述状态机的使用，参照图9，是本发明实施例所述UP-＞LP的传输控制流程图。

首先判断LHCR、CUCR的状态，当满足上述4个状态中的一个状态时，继续判断满足该状态下的哪种传输条件，然后执行相应的传输动作。

当然，隔点选择一个状态点也可以是如下的选择方式，仍以图1中的载板回收系统为例：

首先，在LP、LHCR、PCR、CUCR、UP中选择LP、PCR、UP为状态点，则将UP-＞LP的传输划分为以下八个状态：

1)LP有载板、PCR有载板、UP有载板；

2)LP有载板、PCR有载板、UP无载板；

3)LP有载板、PCR无载板、UP有载板；

4)LP有载板、PCR无载板、UP无载板；

5)LP无载板、PCR有载板、UP有载板；

6)LP无载板、PCR有载板、UP无载板；

7)LP无载板、PCR无载板、UP有载板；

8)LP无载板、PCR无载板、UP无载板。

相应的，八个状态之间的转换满足以下条件：

状态1：LP有载板、PCR有载板、UP有载板

当LHCR无载板时，PCR-＞LHCR；

当CUCR无载板时，UP-＞CUCR；

状态2：LP有载板、PCR有载板、UP无载板

当LHCR无载板时，PCR-＞LHCR；

状态3：LP有载板、PCR无载板、UP有载板

当CUCR无载板时，UP-＞CUCR；

状态4：LP有载板、PCR无载板、UP无载板

当CUCR有载板时，CUCR-＞PCR；

状态5：LP无载板、PCR有载板、UP有载板

当LHCR有载板时，LHCR-＞LP；

当CUCR无载板时，UP-＞CUCR；

状态6：LP无载板、PCR有载板、UP无载板

当LHCR有载板时，LHCR-＞LP；

状态7：LP无载板、PCR无载板、UP有载板

当LHCR有载板时，LHCR-＞LP；

当CUCR无载板时，UP-＞CUCR；

状态8：LP无载板、PCR无载板、UP无载板

当LHCR有载板时，LHCR-＞LP；

当CUCR有载板时，CUCR-＞PCR。

由上面可以看出，如果从第一个点开始选择，同样可以实现，但是由于多选择了一个点，致使状态机的状态增大了一倍，变成了八个，给程序的实现带来一定的复杂度。因此，上述选择LHCR和CUCR为状态点是优选的设置方式。

基于上述方法实施例的说明，本发明还提供了相应的系统实施例。

参照图10，是本发明实施例所述一种载板回收控制系统的结构图。

所述载板回收控制系统主要包括：

回收划分模块1，用于将载板回收划分为三个控制部分，分别是装载台LP的升降、卸载台UP的升降和UP-＞LP的传输；

UP-＞LP传输控制模块2，用于针对UP-＞LP的传输，根据所有可同时执行的传输动作构建状态机进行控制，包括以下子模块：

状态点选择子模块21，用于在卸载台UP、装载台LP以及卸载台UP与装载台LP之间的返回台中选择状态点；

状态划分子模块22，用于以所选状态点将UP-＞LP的传输划分为多个状态；

状态转换子模块23，用于在每个状态满足传输条件时执行相应的传输动作，并向另一个状态转换；各个状态之间的转换包含所有可同时执行的传输动作。

优选的，所述控制系统还可以包括：

装载台LP升降控制模块3，用于控制装载台LP的升降，当满足上升条件时则上升到高位，否则在低位等待；

卸载台UP升降控制模块4，用于控制卸载台UP的升降，当满足上升条件时则上升到高位，否则在低位等待。

优选的，上述控制系统中，所述状态点选择子模块21在卸载台UP、装载台LP以及卸载台UP与装载台LP之间的返回台中，每隔一个位置选择一个作为状态点。当卸载台UP与装载台LP之间的返回台依次为CUCR、PCR和LHCR共三个时，所述状态点选择子模块21选择返回台CUCR和LHCR为状态点，是一种最佳的选择。

相应的，当选择返回台CUCR和LHCR为状态点，所述状态划分子模块22将UP-＞LP的传输划分为以下四个状态：

LHCR有载板、CUCR有载板；

LHCR有载板、CUCR无载板；

LHCR无载板、CUCR有载板；

LHCR无载板、CUCR无载板。

综上所述，本发明充分考虑了载板回收系统可以并行运行的全部动作，大大提高了载板回收的效率，进而提高了设备生产率。

由于各种使用载板的设备，例如工艺控制领域的各种设备如PECVD(等离子增强化学气相沉积)设备，都可能涉及载板回收问题，因此基于上述载板回收控制方法和系统的实施例描述，本发明实施例还提供了一种薄膜沉积设备和一种薄膜沉积方法。

所述薄膜沉积设备中的载板回收系统可采用本发明实施例所述的控制系统，具体可参见图10所述，在此不再详述。相应的，所述薄膜沉积方法中的载板回收部分也可采用本发明实施例所述的控制方法，具体可参见图3至图9的描述，在此也不再详述。

薄膜沉积是目前最流行的表面处理法之一，可应用于装饰品、餐具、刀具、工具、模具、半导体组件等之表面处理，泛指在各种金属材料、超硬合金、陶瓷材料及晶圆基板的表面上，成长一层同质或异质材料薄膜的制程，以期获得美观耐磨、耐热、耐蚀等特性。

薄膜沉积依据沉积过程中，是否含有化学反应的机制，可以区分为物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，简称PVD，通常称为物理蒸镀)及化学气相沉积(Chemical Vapor Deposition，简称CVD，通常称为化学蒸镀)。而PECVD设备是一种等离子增强化学气相沉积设备，PECVD设备中的载板回收部分即可采用图10所示的载板回收控制系统实现。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。对于系统实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

此外，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。

以上对本发明所提供的一种载板回收控制方法、系统及一种薄膜沉积设备、方法，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims

1.一种载板回收控制方法，其特征在于，包括：

各个状态之间的转换包含所有可同时执行的传输动作。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，通过以下方式选择状态点：

在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中，间隔设置状态点。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：

当卸载台与装载台之间的返回台依次为第一返回台、第二返回台和第三返回台共三个时，在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中选择第一返回台和第三返回台做为状态点。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于：

选择第一返回台和第三返回台为状态点将卸载台到装载台的传输划分为以下四个状态：

第三返回台有载板、第一返回台有载板；

第三返回台有载板、第一返回台无载板；

第三返回台无载板、第一返回台有载板；

第三返回台无载板、第一返回台无载板。

5.根据权利要求1或4所述的方法，其特征在于，所述每个状态满足的传输条件包括：

传输的源位置有载板，传输的目的位置无载板。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：

对于装载台的升降和卸载台的升降，当满足上升条件时则上升到高位，否则在低位等待。

7.一种载板回收控制系统，其特征在于，包括：

8.根据权利要求7所述的系统，其特征在于：

所述状态点选择子模块在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中，间隔设置状态点。

9.根据权利要求8所述的系统，其特征在于：

当卸载台与装载台之间的返回台依次为第一返回台、第二返回台和第三返回台共三个时，所述状态点选择子模块在卸载台、装载台以及卸载台与装载台之间的返回台中选择返回台第一返回台和第三返回台做为状态点。

10.根据权利要求9所述的系统，其特征在于：

当选择第一返回台和第三返回台为状态点时，所述状态划分子模块将卸载台到装载台的传输划分为以下四个状态：

第三返回台有载板、第一返回台有载板；

第三返回台有载板、第一返回台无载板；

第三返回台无载板、第一返回台有载板；

第三返回台无载板、第一返回台无载板。

11.根据权利要求7或10所述的系统，其特征在于，所述每个状态满足的传输条件包括：

传输的源位置有载板，传输的目的位置无载板。

12.根据权利要求7所述的系统，其特征在于，还包括：

13.一种薄膜沉积设备，其特征在于，包括如权利要求7-12任意一项权利要求所述的载板回收控制系统。

14.一种薄膜沉积方法，其特征在于，包括如权利要求1-6任意一项权利要求所述的载板回收控制方法。