CN102278372A - 一种直线导轨超声波悬浮挤压膜静压轴承 - Google Patents

一种直线导轨超声波悬浮挤压膜静压轴承 Download PDF

Info

Publication number
CN102278372A
CN102278372A CN 201110140988 CN201110140988A CN102278372A CN 102278372 A CN102278372 A CN 102278372A CN 201110140988 CN201110140988 CN 201110140988 CN 201110140988 A CN201110140988 A CN 201110140988A CN 102278372 A CN102278372 A CN 102278372A
Authority
CN
China
Prior art keywords
axle sleeve
suspended
suspension
piezoelectric stack
fastening screw
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN 201110140988
Other languages
English (en)
Other versions
CN102278372B (zh
Inventor
李东明
崔云先
费继友
贾颖
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dalian Jiaotong University
Original Assignee
Dalian Jiaotong University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dalian Jiaotong University filed Critical Dalian Jiaotong University
Priority to CN 201110140988 priority Critical patent/CN102278372B/zh
Publication of CN102278372A publication Critical patent/CN102278372A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN102278372B publication Critical patent/CN102278372B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Magnetic Bearings And Hydrostatic Bearings (AREA)

Abstract

本发明公开了一种直线超声波悬浮挤压膜静压轴承，包括直线导轨、悬浮轴套、压电叠堆执行器和紧固螺钉，悬浮轴套端面为矩形，悬浮轴套安装在直线导轨上，其特征在于所述直线超声波悬浮挤压膜静压轴承还包括柔性铰链，所述悬浮轴套由四个面通过柔性铰链连接成矩形轴套，悬浮轴套矩形四个面中的一个面上开有贯通宽度的气隙开口，气隙开口的两边设有紧固压电叠堆执行器的竖壁，压电叠堆执行器通过紧固螺钉紧固在竖壁上，由紧固螺钉调整初始预紧力。该轴承系统具有非接触、低磨损、精度高、结构简单、不需要任何附属气源设备等优点，可广泛应用于精密机械，仪器仪表以及气动悬浮定位等设备中。

Description

一种直线导轨超声波悬浮挤压膜静压轴承
技术领域
本发明属于轴承技术领域，尤其涉及气体静压轴承，特别涉及超声波悬浮挤压膜静压轴承。
背景技术
气体润滑轴承具有摩擦损耗小、极高转速下几乎无摩擦热、无磨损、极低运动速度时无爬行、运动精度高、振动小、无污染、可在特殊环境中稳定工作等一系列优点，可作为高速回转主轴或直线导轨用的轴承。
现有技术的非接触类直线导轨，主要是静压气浮直线导轨，其工作原理是滑块在直线导轨上运动时，由导轨喷射静压气体，静压气体支撑滑块悬浮于气膜上，大大减小了滑块和导轨之间的摩擦，静压气体需要外界提供压缩空气。现有技术的不足是需要外界提供压缩空气。
发明内容
本发明目的是提供一种直线超声波悬浮挤压膜静压轴承，克服现有技术的不足。
本发明的技术方案是：一种直线导轨超声波悬浮挤压膜静压轴承，包括直线导轨、悬浮轴套、压电叠堆执行器和紧固螺钉，悬浮轴套端面为矩形，悬浮轴套安装在直线导轨上，其特征在于所述直线超声波悬浮挤压膜静压轴承还包括柔性铰链，所述悬浮轴套由四个面通过柔性铰链连接成矩形轴套，悬浮轴套矩形四个面中的一个面上开有贯通宽度的气隙开口，气隙开口的两边设有紧固压电叠堆执行器的竖壁，压电叠堆执行器通过紧固螺钉紧固在竖壁上，由紧固螺钉调整初始预紧力。
所述悬浮轴套上的气隙开口的宽度为1mm-3mm。
所述压电叠堆执行器为一组或两组。
本发明的轴承系统具有非接触、低磨损、精度高、结构简单、不需要任何附属气源设备等优点。
附图说明
本发明共有附图三幅，其中
图1为本发明轴承系统结构主视示意图；
图2为图1的仰视示意图；
图3为图1的侧视示意图。
附图中1、直线导轨，2、柔性铰链，3、悬浮轴套，4、压电叠堆执行器，5、紧固螺钉。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步说明。直线导轨超声波悬浮挤压膜静压轴承包括压电叠堆执行器4、紧固螺钉5、悬浮轴套3和柔性铰链2，悬浮轴套3安装在直线导轨1上，悬浮轴套3由四个面通过柔性铰链2连接成矩形轴套，悬浮轴套3矩形四个面中的一个面上开有贯通面宽的气隙开口，气隙开口宽2mm，气隙开口的两边设有紧固压电叠堆执行器4的竖壁，一组压电叠堆执行器4通过紧固螺钉5紧固在竖壁上，通过调整紧固螺钉5调整初始预紧力。
本实施例轴承系统工作时，压电叠堆执行器(4)加高频交流电压，在外电场作用下，压电叠堆执行器4周期形变，从而带动悬浮轴套3变形，悬浮轴套3的周期性形变挤压悬浮轴套3和直线导轨1之间的空气薄膜，形成均匀挤压力，支撑悬浮轴套3悬浮在直线导轨1上。
以上所述，仅为本发明专利较佳的具体实施方式，但本发明专利的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明专利的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明专利的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种直线导轨超声波悬浮挤压膜静压轴承，包括直线导轨(1)、悬浮轴套(3)、压电叠堆执行器(4)和紧固螺钉(5)，悬浮轴套(3)端面为矩形，悬浮轴套(3)安装在直线导轨(1)上，其特征在于所述直线超声波悬浮挤压膜静压轴承还包括柔性铰链(2)，所述悬浮轴套(3)由四个面通过柔性铰链(2)连接成矩形轴套，悬浮轴套(3)矩形四个面中的一个面上开有贯通宽度的气隙开口，气隙开口的两边设有紧固压电叠堆执行器(4)的竖壁，压电叠堆执行器(4)通过紧固螺钉(5)紧固在竖壁上，由紧固螺钉(5)调整初始预紧力。
2.根据权利要求1所述一种直线导轨超声波悬浮挤压膜静压轴承，其特征在于所述悬浮轴套(3)上的气隙开口的宽度为1mm-3mm。
3.根据权利要求1所述一种直线导轨超声波悬浮挤压膜静压轴承，其特征在于所述压电叠堆执行器(4)为一组或两组。
CN 201110140988 2011-05-27 2011-05-27 一种直线导轨超声波悬浮挤压膜静压轴承 Expired - Fee Related CN102278372B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201110140988 CN102278372B (zh) 2011-05-27 2011-05-27 一种直线导轨超声波悬浮挤压膜静压轴承

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201110140988 CN102278372B (zh) 2011-05-27 2011-05-27 一种直线导轨超声波悬浮挤压膜静压轴承

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN102278372A true CN102278372A (zh) 2011-12-14
CN102278372B CN102278372B (zh) 2013-01-23

Family

ID=45104009

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201110140988 Expired - Fee Related CN102278372B (zh) 2011-05-27 2011-05-27 一种直线导轨超声波悬浮挤压膜静压轴承

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN102278372B (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108223574A (zh) * 2018-01-15 2018-06-29 大连交通大学 一种高速列车径向超声悬浮轴承
CN111442030A (zh) * 2020-04-21 2020-07-24 大连民族大学 一种气浮支撑系统
CN115890275A (zh) * 2023-02-20 2023-04-04 中国机械总院集团宁波智能机床研究院有限公司 静压复合转台及静压复合转台的保护方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001032832A (ja) * 1999-07-22 2001-02-06 Nsk Ltd リニアガイド装置
JP2003343555A (ja) * 2002-05-23 2003-12-03 Ntn Corp リニアガイド装置

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001032832A (ja) * 1999-07-22 2001-02-06 Nsk Ltd リニアガイド装置
JP2003343555A (ja) * 2002-05-23 2003-12-03 Ntn Corp リニアガイド装置

Non-Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
《光学精密工程》 20081031 彭太江等 轴系超声波悬浮支撑技术研究 第1895-1900页 1-3 第16卷, 第10期 *
《光学精密工程》 20090430 田丰君等 双向支撑超声波悬浮轴承的设计 第813-817页 1-3 第17卷, 第4期 *
《现代制造工程》 20041231 马洪文等 超声波电动机驱动大行程柔性导轨设计 设备设计与维修第86-88页 1-3 , *

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108223574A (zh) * 2018-01-15 2018-06-29 大连交通大学 一种高速列车径向超声悬浮轴承
CN111442030A (zh) * 2020-04-21 2020-07-24 大连民族大学 一种气浮支撑系统
CN111442030B (zh) * 2020-04-21 2024-04-26 大连民族大学 一种气浮支撑系统
CN115890275A (zh) * 2023-02-20 2023-04-04 中国机械总院集团宁波智能机床研究院有限公司 静压复合转台及静压复合转台的保护方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102278372B (zh) 2013-01-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10661399B2 (en) Single-drive rigid-flexible coupling precision motion platform and realization method and application thereof
CN102647107B (zh) 基于寄生运动原理的大行程微纳米级直线驱动器
WO2016082741A1 (zh) 直线电机共定子双驱动宏微一体化高速精密运动一维平台
CN201224044Y (zh) 数控机床用斥力型磁浮直线进给系统
US9429208B2 (en) Vibration isolator with zero stiffness whose angle degree of freedom is decoupled with spherical air bearing
CN103557412A (zh) 双极二维全柔性高精度伺服平台
CN102278372B (zh) 一种直线导轨超声波悬浮挤压膜静压轴承
CN102528472B (zh) 垂直轴宏微复合直线运动平台装置
US9429209B2 (en) Magnetically suspended and plane-drove vibration isolator
CN203799672U (zh) 精密定位平台
CN102242769B (zh) 径向包容挤压膜气体静压轴承
CN203230733U (zh) 六棱柱径向超声悬浮轴承
CN108195546B (zh) 用于连续式跨声速风洞喷管半柔壁的电动驱动集成单元
CN105723608A (zh) 压电陶瓷平面电机及其驱动方法
CN104467526A (zh) 一种实现单向运动的惯性粘滑式跨尺度运动平台
CN104440345A (zh) 异构电机共定子多驱动宏微一体化高速精密运动二维平台
He et al. Development of a novel 5-DOF controlled maglev local actuator for high-speed electrical discharge machining
CN106884870B (zh) 基于pzt和柔性铰链的新型主动空气箔片轴承
CN202438847U (zh) 一种同轴宏微复合直线运动平台装置
CN101561013B (zh) 一种主动控制气体轴承姿态的装置
Lee et al. Precise contour motion of XY stage driven by ultrasonic linear motors in a high vacuum environment
CN204231226U (zh) 一种实现单向运动的惯性粘滑式跨尺度运动平台
CN102825490B (zh) 一种基于柔性铰链放大机构的频率可调快速伺服进刀装置
CN202556075U (zh) 一种垂直轴宏微复合直线运动平台装置
CN113489381B (zh) 基于准零刚度磁场的超精密垂直轴重力补偿装置及方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20130123

Termination date: 20130527