CN102249522A - 一种用于光伏生产的石英件的清洗方法 - Google Patents
一种用于光伏生产的石英件的清洗方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN102249522A CN102249522A CN2011101050288A CN201110105028A CN102249522A CN 102249522 A CN102249522 A CN 102249522A CN 2011101050288 A CN2011101050288 A CN 2011101050288A CN 201110105028 A CN201110105028 A CN 201110105028A CN 102249522 A CN102249522 A CN 102249522A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- diffusion furnace
- phosphorus oxychloride
- furnace
- range
- quartz pieces
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
本发明公开了一种用于光伏生产的石英件的清洗方法,其包括如下步骤:A)首先将炉内的温度调节到1150℃~1200℃;B)同时向扩散炉的炉腔内输入流量为25-50L/min的氮气、流量为0.5~2.5L/min的三氯氧磷及流量为0.8~3.4L/min的氧气,输入时间为120~300分钟,上述氮气、三氯氧磷、氧气从扩散炉的进口输入,途经石英件再从扩散炉的出口输出,该种清洗方法不但有利于安全生产,而且还可降低生产成本。
Description
技术领域
本发明涉及一种清洗方法,尤其涉及一种用于光伏生产的石英件的清洗方法。
背景技术
扩散炉是太阳电池生产过程中的关键设备之一,其用来对生产太阳电池的硅基板进行扩散工艺从而在硅基板表面形成P-N结,它的主要用途是对半导体进行掺杂,即在高温条件下将惨杂材料扩散入硅片,从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布,以便在半导体上建立起不同的电特性区域。扩散炉内的温度控制对扩散的质量有着重大影响,因此,在工艺过程中对扩散炉内温度有严格的要求。扩散时一般是将硅片先置于石英舟中,然后通过送片桨将装有硅片的石英舟送入扩散炉中进行扩散工艺。由于半导体工艺对扩散炉内的洁净度要求较高,所以在业界一般会在扩散炉内使用较多的石英件,而石英件长时间使用后表面会存在一些杂质,因此,有必要对扩散炉内的石英件定期进行清理。业界一般产用氯气对石英件进行清理,而氯气的毒性较强,在运输及存放的过程中万一泄露将对公众造成伤害,不利于安全生产。
因此有必要提供一种解决上述技术问题的石英件清洗方法。
发明内容
本发明所要解决的一个技术问题是:提供一种有利于安全生产的石英件清洗方法。
为解决上述技术问题,本发明采用如下技术方案:一种用于光伏生产的石英件的清洗方法,其包括如下步骤:A)首先将炉内的温度调节到1150℃~1200℃;B)同时向扩散炉的炉腔内输入流量为25-50L/min的氮气、流量为0.5~2.5L/min的三氯氧磷及流量为0.8~3.4L/min的氧气,输入时间为120~300分钟,上述氮气、三氯氧磷、氧气从扩散炉的进口输入,途经石英件再从扩散炉的出口输出。
本发明的有益效果:通过上述方法清洗石英件,不但有利于安全生产,而且还可降低生产成本。
具体实施方式
一种用于光伏生产的石英件的清洗方法,其包括如下步骤:A)首先将炉内的温度调节到1150℃~1200℃;B)同时向扩散炉的炉腔内输入流量为25-50L/min的氮气、流量为0.5~2.5L/min的三氯氧磷及流量为0.8~3.4L/min的氧气,输入时间为120~300分钟,上述氮气、三氯氧磷、氧气从扩散炉的进口输入,途经石英件再从扩散炉的出口输出。所述三氯氧磷在高温环境下分解成五氯化磷和五氧化二磷,而五氯化磷与氧气反应形成五氧化二磷和氯气,因氯气具有强氧化性,因此该氯气可氧化石英件上的杂质,而因为氮气的流量较大,进而将石英件上的杂质从扩散炉的出口带出扩散炉的炉腔外,以达到清洗功能,另外,氮气在扩散炉的炉腔内还充当一种保护气体。本发明中直接产用氮气、三氯氧磷、氧气为原料,在运输及存放过程中比较安全,而且不必再以氯气为原料,降低了生产成本。
Claims (1)
1.一种用于光伏生产的石英件的清洗方法,其包括如下步骤:
A)首先将炉内的温度调节到1150℃~1200℃;
B)同时向扩散炉的炉腔内输入流量为25-50L/min的氮气、流量为0.5~2.5L/min的三氯氧磷及流量为0.8~3.4L/min的氧气,输入时间为120~300分钟,上述氮气、三氯氧磷、氧气从扩散炉的进口输入,途经石英件再从扩散炉的出口输出。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011101050288A CN102249522A (zh) | 2011-04-26 | 2011-04-26 | 一种用于光伏生产的石英件的清洗方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN2011101050288A CN102249522A (zh) | 2011-04-26 | 2011-04-26 | 一种用于光伏生产的石英件的清洗方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN102249522A true CN102249522A (zh) | 2011-11-23 |
Family
ID=44977156
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN2011101050288A Pending CN102249522A (zh) | 2011-04-26 | 2011-04-26 | 一种用于光伏生产的石英件的清洗方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN102249522A (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107123613A (zh) * | 2017-04-20 | 2017-09-01 | 通威太阳能(合肥)有限公司 | 一种石英舟清洗饱和工艺 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101419997A (zh) * | 2008-11-28 | 2009-04-29 | 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 | 晶体硅太阳电池pn结的制备方法 |
CN101667605A (zh) * | 2009-09-03 | 2010-03-10 | 无锡尚品太阳能电力科技有限公司 | 一种硅片的磷吸杂工艺 |
CN101916799A (zh) * | 2010-07-22 | 2010-12-15 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种晶体硅太阳能电池选择性发射结的制备方法 |
-
2011
- 2011-04-26 CN CN2011101050288A patent/CN102249522A/zh active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101419997A (zh) * | 2008-11-28 | 2009-04-29 | 宁波尤利卡太阳能科技发展有限公司 | 晶体硅太阳电池pn结的制备方法 |
CN101667605A (zh) * | 2009-09-03 | 2010-03-10 | 无锡尚品太阳能电力科技有限公司 | 一种硅片的磷吸杂工艺 |
CN101916799A (zh) * | 2010-07-22 | 2010-12-15 | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 | 一种晶体硅太阳能电池选择性发射结的制备方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
唐穗生: "磷吸杂工艺研究", 《电子元器件应用》, no. 5, 31 May 2007 (2007-05-31), pages 79 - 80 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107123613A (zh) * | 2017-04-20 | 2017-09-01 | 通威太阳能(合肥)有限公司 | 一种石英舟清洗饱和工艺 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN105441904B (zh) | 气体喷淋装置、化学气相沉积装置和方法 | |
CN102691107A (zh) | 一种太阳能电池制备扩散工艺 | |
CN104505427B (zh) | 改善晶体硅太阳能电池片lid和pid的方法及装置 | |
WO2008013942A3 (en) | Methods and systems for manufacturing polycrystalline silicon and silicon-germanium solar cells | |
CN110164759A (zh) | 一种区域性分层沉积扩散工艺 | |
JP2014078675A (ja) | 薄膜太陽電池光吸収層の製造方法 | |
CN102130211B (zh) | 一种改善太阳能电池表面扩散的方法 | |
CN102969229A (zh) | 一种重掺磷单晶硅晶圆片高致密性二氧化硅背封工艺 | |
CN102637585A (zh) | 一种应用原子层沉积技术制备三氧化二铝钝化薄膜的方法 | |
CN106653939A (zh) | 一种应用于晶硅太阳能电池的热氧化工艺 | |
CN102903785A (zh) | 一种采用增氢钝化提高太阳能电池片转换效率的方法 | |
US8802485B2 (en) | Method for manufacturing a photovoltaic cell structure | |
CN102249522A (zh) | 一种用于光伏生产的石英件的清洗方法 | |
IN2015DN01821A (zh) | ||
CN110952073B (zh) | 一种薄层SiO2钝化膜的制备方法及制备的电池 | |
CN105463577B (zh) | Iii族氮化物晶体的制造方法及制造装置 | |
CN112164733A (zh) | 一种太阳能电池扩散深结制备方法 | |
CN115472713A (zh) | 一种硼扩散制结的方法 | |
CN101845620A (zh) | 脉冲加热多匣式化学气相沉积p-i-n镀膜装置 | |
CN103343329A (zh) | 一种碳化硅薄膜生长设备及其生长方法 | |
CN102969220A (zh) | 使用炉管进行工艺加工的方法 | |
CN107895691A (zh) | 一种提升光伏电池扩散制结效率的方法 | |
TWI399456B (zh) | 導電膜製作設備及用於在其中處理基板之方法 | |
CN102383197B (zh) | 用工艺气体处理基底的方法 | |
CN103715302A (zh) | 一种低表面浓度的扩散方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C02 | Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001) | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20111123 |