CN102248817A - 激光打标的校正方法和校正装置以及激光打标系统 - Google Patents

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CN102248817A CN2010101801761A CN201010180176A CN102248817A CN 102248817 A CN102248817 A CN 102248817A CN 2010101801761 A CN2010101801761 A CN 2010101801761A CN 201010180176 A CN201010180176 A CN 201010180176A CN 102248817 A CN102248817 A CN 102248817A
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Abstract

本发明涉及一种激光打标的校正方法，包括下列步骤：计算需要标记的图形中每个点的位置信息；计算所述需要标记的图形中每个点的DA校正值；根据所述DA校正值对每个点进行校正。本发明还涉及一种激光打标的校正装置和一种激光打标系统。采用了上述校正方法的激光打标系统实现了高精度的激光打标，无论标记机的光、电系统误差来自哪里，校正过程中以有限个点的误差，推出无限个点的误差并进行校正，校正精度高。在坐标网格为64行64列时，能达到0.01mm级别的标记精度，基本满足目前所有行业的标记精度要求。

Description

激光打标的校正方法和校正装置以及激光打标系统
【技术领域】
本发明涉及光学领域，特别是涉及一种激光打标的校正方法，还涉及一种激光打标的校正装置，再涉及一种激光打标系统。
【背景技术】
振镜扫描式激光打标系统是通过光学折射、反折、聚焦把高能量的激光束引到加工产品上进行标记。由于光学镜组的特性，激光的焦平面会出现球形、枕形失真。如图1示，为一正方形图形实际标记时的失真图形。
传统的校正方法主要是通过纯光学、机电系统原理的分析，如光的折射特性、反射特性、聚焦特性、振镜偏转、传动系统、模数转换等误差的分析，从而推导出一套有理论基础的校正公式，对标记系统的激光进行校正，以便使图形正确地加工到产品上。
但实际上由于光学器件、机电器件本身误差的存在，在标记范围较大时，各种误差被组合在一起放大，导致校正精度不能满足某些高精度需求。此外传统的校正公式是线性校正，而实际中在距离标记中心相等的距离位置，不同区域精度也不一样，有的区域精度高，有的区域精度低，因此采用线性的校正公式亦会造成偏差。
以上原因造成传统的校正方法误差大，达不到加工精度的要求，一般在常用的100mm*100mm大小的加工区域，最大误差可达0.5mm，达不到行业要求，如半导体行业标记往往要求加工精度达到0.01～0.03mm。
【发明内容】
基于此，有必要提供一种高精度的激光打标的校正方法。
一种激光打标的校正方法，包括下列步骤：计算需要标记的图形中每个点的位置信息；计算所述需要标记的图形中每个点的DA校正值；根据所述DA校正值对每个点进行校正。
优选的，还包括下列步骤：生成坐标网格，即将激光打标的方形区域分为a行a列的方格坐标网格；标记所述坐标网格，即将所述坐标网格标记在水平校正板上；测量顶点坐标，即测量所述被标记在水平校正板上的坐标网格中顶点的实际坐标；计算所述顶点的DA补偿值；所述DA校正值是根据所述需要标记的图形中每个点的位置信息和所述DA补偿值算出的。
优选的，所述DA补偿值包括X轴方向DA补偿值和Y轴方向DA补偿值，具体是根据如下公式计算的：
X轴方向DA补偿值：Vmnx＝P*||X1|-|X2||*PPMMXS
Y轴方向DA补偿值：Vmny＝P*||Y1|-|Y2||*PPMMYS
其中P表示极性的正负，其值为1或-1；X1表示顶点的理想坐标X值，X2表示顶点标记后的X轴坐标测量值；PPMMXS表示X轴每毫米对应的电压值；Y1表示顶点的理想坐标Y值，Y2表示顶点标记后的Y轴坐标测量值；PPMMYS表示Y轴每毫米对应的电压值。
优选的，所述计算需要标记的图形中每个点的位置信息的步骤具体是根据所述每个点的坐标计算出所在的方格，并得到所述方格的4个顶点的坐标及DA补偿值。
优选的，所述计算所述需要标记的图形中每个点的DA校正值具体是根据所述每个点的坐标和4个顶点的坐标及DA补偿值进行计算：
X轴方向DA校正值：
Pmnx＝[h1*(l2*V3x+l1*V4x)+h2*(l2*V1x+l1*V2x)]/(h*l)
Y轴方向DA校正值：
Pmny＝[h1*(l2*V3y+l1*V4y)+h2*(l2*V1y+l1*V2y)]/(h*l)
其中l表示所述方格宽度，h表示所述方格高度，l1表示所述标记的图形中每个点中的一个与所述4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的X坐标之差，l2表示所述4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点与所述标记的图形中每个点中的一个的X坐标之差，h1表示所述标记的图形中每个点中的一个与所述4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的Y坐标之差，h2表示所述4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点与所述标记的图形中每个点中的一个的Y坐标之差，V1x、V1y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V2x、V2y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中右上方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V3x、V3y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中左下方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V4x、V4y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值。
本发明还提供一种高精度的激光打标的校正装置。
一种激光打标的校正装置，包括存储器、DA补偿值计算模块、DA校正值计算模块以及处理模块；所述存储器与所述DA补偿值计算模块、DA校正值计算模块以及处理模块均相连接，用于存储被标记在水平校正板上的a行a列的方格坐标网格中顶点的坐标实际测量值；所述DA补偿值计算模块接收所述顶点的坐标实际测量值，并计算所述顶点的DA补偿值后存储在所述存储器中；所述处理模块用于计算需要标记的图形中每个点的位置信息；所述DA校正值计算模块接收所述顶点的DA补偿值以及需要标记的图形中每个点的位置信息，计算需要标记的图形中每个点的DA校正值。
优选的，所述DA补偿值包括X轴方向DA补偿值和Y轴方向DA补偿值，具体是根据如下公式计算的：
X轴方向DA补偿值：Vmnx＝P*||X1|-|X2||*PPMMXS
Y轴方向DA补偿值：Vmny＝P*||Y1|-|Y2||*PPMMYS
其中P表示极性的正负，其值为1或-1；X1表示顶点的理想坐标X值，X2表示顶点标记后的X轴坐标测量值；PPMMXS表示X轴每毫米对应的电压值；Y1表示顶点的理想坐标Y值，Y2表示顶点标记后的Y轴坐标测量值；PPMMYS表示Y轴每毫米对应的电压值。
优选的，所述计算需要标记的图形中每个点的位置信息的步骤具体是根据所述每个点的坐标计算出所在的方格，并得到所述方格的4个顶点的坐标及DA补偿值。
优选的，所述计算所述需要标记的图形中每个点的DA校正值具体是根据所述每个点的坐标和4个顶点的坐标及DA补偿值进行计算：
X轴方向DA校正值：
Pmnx＝[h1*(l2*V3x+l1*V4x)+h2*(l2*V1x+l1*V2x)]/(h*l)
Y轴方向DA校正值：
Pmny＝[h1*(l2*V3y+l1*V4y)+h2*(l2*V1y+l1*V2y)]/(h*l)
其中l表示所述方格宽度，h表示所述方格高度，l1表示所述标记的图形中每个点中的一个与所述4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的X坐标之差，l2表示所述4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点与所述标记的图形中每个点中的一个的X坐标之差，h1表示所述标记的图形中每个点中的一个与所述4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的Y坐标之差，h2表示所述4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点与所述标记的图形中每个点中的一个的Y坐标之差，V1x、V1y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V2x、V2y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中右上方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V3x、V3y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中左下方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V4x、V4y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值。
本发明再提供一种高精度的激光打标系统。
一种激光打标系统，包括激光器、透镜组、振镜、振镜扫描模块，还包括所述的校正装置，用于对所述振镜进行校正。
采用了上述校正方法的激光打标系统实现了高精度的激光打标，无论标记机的光、电系统误差来自哪里，校正过程中以有限个点的误差，推出无限个点的误差并进行校正，校正精度高。在坐标网格为64行64列时，能达到0.01mm级别的标记精度，基本满足目前所有行业的标记精度要求。
【附图说明】
图1为一正方形图形在实际标记时的失真图形；
图2是一个实施例中激光打标系统的误差的获取方法流程图；
图3为一个实施例中N＝16时方格坐标网格图；
图4为激光打标的校正方法流程图；
图5为本发明激光打标系统的校正装置的结构示意图。
【具体实施方式】
本发明激光打标的校正方法首先需要获得误差数据。如图2所示，在优选的实施例中，误差数据可以通过如下步骤获得：
S10，生成坐标网格。
将待标记的区域(例如一个100mm*100mm正方形)分为2k行2k列的方格坐标网格(k为正整数)，k的大小可以根据校正精度选择，k越大校正精度越高，但同时会使得校正需要的时间呈几何增长。在优选的实施例中，N为16、32或64(即k＝4、5、6)，图3为一个实施例中N＝16时方格坐标网格图。
S20，标记坐标网格。
将方格坐标网格图用待校正的激光打标系统标记在水平校正板上。
S30，测量顶点坐标。
测量被标记在水平校正板上的方格坐标网格图中顶点的实际坐标。在优选的实施例中是遍测所有顶点的坐标。而实际生产中，可能只会对正方形区域的部分区域进行标记，所以也可以只测量部分区域的顶点坐标。另外，由于误差往往有一定的规律性，也可以只测量部分顶点的坐标，其余顶点坐标根据规律性算出。
另外该测量可以人工进行，亦可以采用设备自动进行，例如采用一个图形采集装置采集标记在水平校正板上的图像后通过测量装置自动测量。
S40，计算顶点的DA补偿值。
DA补偿值是指为了修正误差，对激光打标系统中的振镜偏转角度进行补偿而施加的控制振镜偏转的电压值。在优选的实施例中，DA补偿值的计算方法如下：
X轴方向DA补偿值：Vmnx＝P*||X1|-|X2||*PPMMXS
Y轴方向DA补偿值：Vmny＝P*||Y1|-|Y2||*PPMMYS
其中P表示极性的正负，其值为1或-1；X1表示顶点的理想坐标X值，X2表示顶点标记后的X轴坐标测量值；PPMMXS表示X轴每毫米对应的电压值；Y1表示顶点的理想坐标Y值，Y2表示顶点标记后的Y轴坐标测量值；PPMMYS表示Y轴每毫米对应的电压值。PPMMXS(或PPMMYS)具体是根据公式：PPMMXS＝R/L算出，R是振镜控制卡的分辨率，例如16位卡的分辨率就为65535(2的16次方减1)，L是坐标轴的范围，即待标记范围的长度或宽度。
上述S30中得到的顶点坐标和S40得到的DA补偿值都需要存储起来。在优选的实施例中，可以存储在一个二维表格中，该二维表格的C++描述如下：
    struct IA{
       double x；
       double y；
    }；
    typedef vector＜struct IA＞ROWADJUST_VEC；
    typedef vector＜ROWADJUST_VEC＞ROWCOL_VEC；
vector可为STL中线性表数组，也可以是自行实现的线性数组，由于线性数组直接存取的效率高，故采用之。
图3是本发明激光打标的校正方法流程图。包括下列步骤：
S110，计算需要标记的图形中每个点的位置信息。
在优选的实施例中，是根据需要标记的图形中每个点的坐标计算出其处于方格坐标网格的哪个方格中，并得到该方格的4个顶点的坐标及DA补偿值。
S120，计算需要标记的图形中每个点的DA校正值。
该DA校正值是指激光打标时需要对激光打标系统中的振镜偏转角度进行校正而施加的控制振镜偏转的电压值，是根据需要标记的图形中每个点的位置信息和DA补偿值算出的，具体计算公式如下：
X轴方向DA校正值：
Pmnx＝[h1*(l2*V3x+l1*V4x)+h2*(l2*V1x+l1*V2x)]/(h*l)
Y轴方向DA校正值：
Pmny＝[h1*(l2*V3y+l1*V4y)+h2*(l2*V1y+l1*V2y)]/(h*l)
其中l表示所述方格宽度，h表示所述方格高度(在优选的实施例中方格为正方格，因此l＝h)，l1表示标记的图形中每个点中的一个(即被校正点，下同)与4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的X坐标之差，l2表示4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点与标记的图形中每个点中的一个的X坐标之差，h1表示标记的图形中每个点中的一个与4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的Y坐标之差，h2表示4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点与标记的图形中每个点中的一个的Y坐标之差，V1x、V1y分别表示4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V2x、V2y分别表示4个顶点中在坐标网格中右上方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V3x、V3y分别表示4个顶点中在坐标网格中左下方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V4x、V4y分别表示4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值。
S130，根据所述DA校正值对每个点进行校正。
校正完成后，激光打标系统根据校正结果进行标记。
本发明还提供一种采用了上述校正方法的激光打标系统的校正装置。图5为本发明激光打标系统的校正装置500的结构示意图。包括存储器510、DA补偿值计算模块520、处理模块530以及DA校正值计算模块540。存储器510与DA补偿值计算模块520、处理模块530以及DA校正值计算模块540均相连接。
存储器510用于存储被标记在水平校正板上的a行a列的方格坐标网格中顶点的坐标实际测量值。
DA补偿值计算模块520接收顶点的坐标实际测量值，计算顶点的DA补偿值并存储在存储器510中。
在优选的实施例中，DA补偿值的计算方法如下：
X轴方向DA补偿值：Vmnx＝P*||X1|-|X2||*PPMMXS
Y轴方向DA补偿值：Vmny＝P*||Y1|-|Y2||*PPMMYS
其中P表示极性的正负，其值为1或-1；X1表示顶点的理想坐标X值，X2表示顶点标记后的X轴坐标测量值；PPMMXS表示X轴每毫米对应的电压值；Y1表示顶点的理想坐标Y值，Y2表示顶点标记后的Y轴坐标测量值；PPMMYS表示Y轴每毫米对应的电压值。PPMMXS(或PPMMYS)具体是根据公式：PPMMXS＝R/L算出，R是振镜控制卡的分辨率，例如16位卡的分辨率就为65535(2的16次方减1)，L是坐标轴的范围，即待标记范围的长度或宽度。
处理模块530用于计算需要标记的图形中每个点的位置信息。
在优选的实施例中，是根据需要标记的图形中每个点的坐标计算出其处于方格坐标网格的哪个方格中，并得到该方格的4个顶点的坐标及DA补偿值。
上述得到的顶点的坐标实际测量值、DA补偿值以及每个点的位置信息均存储在存储器510中。
DA校正值计算模块540接收顶点的DA补偿值以及需要标记的图形中每个点的位置信息，计算需要标记的图形中每个点的DA校正值。
具体计算公式如下：
X轴方向DA校正值：
Pmnx＝[h1*(l2*V3x+l1*V4x)+h2*(l2*V1x+l1*V2x)]/(h*l)
Y轴方向DA校正值：
Pmny＝[h1*(l2*V3y+l1*V4y)+h2*(l2*V1y+l1*V2y)]/(h*l)
其中l表示所述方格宽度，h表示所述方格高度(在优选的实施例中方格为正方格，因此l＝h)，l1表示标记的图形中每个点中的一个(即被校正点，下同)与4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的X坐标之差，l2表示4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点与标记的图形中每个点中的一个的X坐标之差，h1表示标记的图形中每个点中的一个与4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的Y坐标之差，h2表示4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点与标记的图形中每个点中的一个的Y坐标之差，V1x、V1y分别表示4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V2x、V2y分别表示4个顶点中在坐标网格中右上方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V3x、V3y分别表示4个顶点中在坐标网格中左下方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V4x、V4y分别表示4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值。
在优选的实施例中，存储器510存储的测量值具体是通过如下步骤获得的：首先将待标记的区域(例如一个100mm*100mm正方形)分为2k行2k列的方格坐标网格(k为正整数)，k的大小可以根据校正精度选择，k越大校正精度越高，但同时会使得校正需要的时间呈几何增长。该方格坐标网络可以由激光打标系统的振镜扫描模块生成。在优选的实施例中，N为16、32或64(即k＝4、5、6)。其次用待校正的激光打标系统将方格坐标网格图标记在水平校正板上。然后测量被标记在水平校正板上的方格坐标网格图中顶点的实际坐标。在优选的实施例中是遍测所有顶点的坐标。而实际生产中，可能只会对正方形区域的部分区域进行标记，所以也可以只测量部分区域的顶点坐标。另外，由于误差往往有一定的规律性，也可以只测量部分顶点的坐标，其余顶点坐标根据规律性算出。另外该测量可以人工进行，亦可以采用设备自动进行，例如采用一个图形采集装置采集标记在水平校正板上的方格坐标网格并通过一个测量装置自动测量后存储在存储器510中。
本发明还提供一种激光打标系统，与本领域人员习知的传统的激光打标系统一样包括激光器、透镜组、振镜、振镜扫描模块，区别在于还包括上述的校正装置，用于对所述振镜进行校正。
在优选的实施例中，上述激光打标系统还包括一个图形采集装置和一个测量装置。图形采集装置用于采集标记在水平校正板上的方格坐标网格图并传输给测量装置。测量装置用于测量采集到方格坐标网格的各顶点坐标，并将测量结果存储在校正装置的存储器中。
本发明实现了高精度的激光打标，无论标记机的光、电系统误差来自哪里，校正过程中以有限个点的误差，推出无限个点的误差并进行校正，校正精度高。在坐标网格为64行64列时，能达到0.01mm级别的标记精度，基本满足目前所有行业的标记精度要求。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种激光打标的校正方法，包括下列步骤：
计算需要标记的图形中每个点的位置信息；
计算所述需要标记的图形中每个点的DA校正值；
根据所述DA校正值对每个点进行校正。
2.根据权利要求1所述的激光打标的校正方法，其特征在于，还包括下列步骤：
生成坐标网格，即将激光打标的方形区域分为a行a列的方格坐标网格；
标记所述坐标网格，即将所述坐标网格标记在水平校正板上；
测量顶点坐标，即测量所述被标记在水平校正板上的坐标网格中顶点的实际坐标；
计算所述顶点的DA补偿值；
所述DA校正值是根据所述需要标记的图形中每个点的位置信息和所述DA补偿值算出的。
3.根据权利要求2所述的激光打标的校正方法，其特征在于，所述DA补偿值包括X轴方向DA补偿值和Y轴方向DA补偿值，具体是根据如下公式计算的：
X轴方向DA补偿值：Vmnx＝P*||X1|-|X2||*PPMMXS
Y轴方向DA补偿值：Vmny＝P*||Y1|-|Y2||*PPMMYS
其中P表示极性的正负，其值为1或-1；X1表示顶点的理想坐标X值，X2表示顶点标记后的X轴坐标测量值；PPMMXS表示X轴每毫米对应的电压值；Y1表示顶点的理想坐标Y值，Y2表示顶点标记后的Y轴坐标测量值；PPMMYS表示Y轴每毫米对应的电压值。
4.根据权利要求3所述的激光打标的校正方法，其特征在于，所述计算需要标记的图形中每个点的位置信息的步骤具体是根据所述每个点的坐标计算出所在的方格，并得到所述方格的4个顶点的坐标及DA补偿值。
5.根据权利要求4所述的激光打标的校正方法，其特征在于，所述计算所述需要标记的图形中每个点的DA校正值具体是根据所述每个点的坐标和4个顶点的坐标及DA补偿值进行计算：
X轴方向DA校正值：
Pmnx＝[h1*(l2*V3x+l1*V4x)+h2*(l2*V1x+l1*V2x)]/(h*l)
Y轴方向DA校正值：
Pmny＝[h1*(l2*V3y+l1*V4y)+h2*(l2*V1y+l1*V2y)]/(h*l)
其中l表示所述方格宽度，h表示所述方格高度，l1表示所述标记的图形中每个点中的一个与所述4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的X坐标之差，l2表示所述4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点与所述标记的图形中每个点中的一个的X坐标之差，h1表示所述标记的图形中每个点中的一个与所述4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的Y坐标之差，h2表示所述4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点与所述标记的图形中每个点中的一个的Y坐标之差，V1x、V1y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V2x、V2y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中右上方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V3x、V3y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中左下方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V4x、V4y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值。
6.一种激光打标的校正装置，其特征在于，包括存储器、DA补偿值计算模块、DA校正值计算模块以及处理模块；
所述存储器与所述DA补偿值计算模块、DA校正值计算模块以及处理模块均相连接，用于存储被标记在水平校正板上的a行a列的方格坐标网格中顶点的坐标实际测量值；所述DA补偿值计算模块接收所述顶点的坐标实际测量值，并计算所述顶点的DA补偿值后存储在所述存储器中；所述处理模块用于计算需要标记的图形中每个点的位置信息；所述DA校正值计算模块接收所述顶点的DA补偿值以及需要标记的图形中每个点的位置信息，计算需要标记的图形中每个点的DA校正值。
7.根据权利要求6所述的激光打标的校正装置，其特征在于，所述DA补偿值包括X轴方向DA补偿值和Y轴方向DA补偿值，具体是根据如下公式计算的：
X轴方向DA补偿值：Vmnx＝P*||X1|-|X2||*PPMMXS
Y轴方向DA补偿值：Vmny＝P*||Y1|-|Y2||*PPMMYS
其中P表示极性的正负，其值为1或-1；X1表示顶点的理想坐标X值，X2表示顶点标记后的X轴坐标测量值；PPMMXS表示X轴每毫米对应的电压值；Y1表示顶点的理想坐标Y值，Y2表示顶点标记后的Y轴坐标测量值；PPMMYS表示Y轴每毫米对应的电压值。
8.根据权利要求7所述的激光打标的校正装置，其特征在于，所述计算需要标记的图形中每个点的位置信息的步骤具体是根据所述每个点的坐标计算出所在的方格，并得到所述方格的4个顶点的坐标及DA补偿值。
9.根据权利要求8所述的激光打标的校正装置，其特征在于，所述计算所述需要标记的图形中每个点的DA校正值具体是根据所述每个点的坐标和4个顶点的坐标及DA补偿值进行计算：
X轴方向DA校正值：
Pmnx＝[h1*(l2*V3x+l1*V4x)+h2*(l2*V1x+l1*V2x)]/(h*l)
Y轴方向DA校正值：
Pmny＝[h1*(l2*V3y+l1*V4y)+h2*(l2*V1y+l1*V2y)]/(h*l)
其中l表示所述方格宽度，h表示所述方格高度，l1表示所述标记的图形中每个点中的一个与所述4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的X坐标之差，l2表示所述4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点与所述标记的图形中每个点中的一个的X坐标之差，h1表示所述标记的图形中每个点中的一个与所述4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的Y坐标之差，h2表示所述4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点与所述标记的图形中每个点中的一个的Y坐标之差，V1x、V1y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中左上方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V2x、V2y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中右上方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V3x、V3y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中左下方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值，V4x、V4y分别表示所述4个顶点中在坐标网格中右下方的顶点的X轴、Y轴方向DA补偿值。
10.一种激光打标系统，其特征在于，包括激光器、透镜组、振镜、振镜扫描模块，其特征在于，还包括如权利要求6-9中任意一项所述的校正装置，用于对所述振镜进行校正。
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