CN102223052A - 多自由度短行程平面电机 - Google Patents

Abstract

多自由度短行程平面电机，它涉及一种平面电机。它为解决永磁同步平面电机存在电机结构复杂、绕组的利用率低、损耗大、效率低、控制复杂以及定位精度低等问题而提出。初级装设在次级上下两边之间；初级绕组由六个跑道形的椭圆线圈构成；六个跑道形的椭圆线圈间间隔60°或呈正六边形设置或上述两种方式结合的方式进行设置；次级永磁体组装设位置与跑道形的椭圆线圈(1)的装设位置相对应；跑道形的椭圆线圈及其所对应次级上下边上的永磁体组共同构成所述平面电机的一个磁极；所述电机的六个磁极各自独立控制。它具有结构简单、绕组的利用率高、损耗小、效率高、控制简单以及定位精度高的优点。

Description

多自由度短行程平面电机

技术领域

本发明涉及一种平面电机，属于电机领域。

背景技术

现代精密、超精密加工装备对高响应、高速度、高精度的平面驱动装置有着迫切的需求，如机械加工、电子产品生产、机械装卸、制造自动化仪表设备甚至机器人驱动等。通常这些装置由旋转式电动机产生动力驱动，再由皮带、滚珠丝杆等机械装置，转换为直线运动。由于机械装置复杂，传动精度和速度都受到限制，且需经常调校，造成成本高、可靠性差、体积较大。最初的平面驱动装置是由两台直接驱动的直线电机来实现的，采用层叠式驱动结构，这种结构增加了传动系统的复杂性，从本质上没有摆脱低维运动机构叠加形成高维运动机构的模式。对于底层的直线电机，要承载上层直线电机及其相关机械部件的总质量，从而严重影响了定位和控制精确度。而直接利用电磁能产生平面运动的平面电机，具有出力密度高、低热耗、高速度、高精度和高可靠性的特点，因省去了从旋转运动到直线运动再到平面运动的中间转换装置，可把控制对象同电机做成一体化结构，具有反应快、灵敏度高、随动性好及结构简单等优点。根据平面电机电磁推力的产生原理，可以将平面电机分为变磁阻型、同步型和感应型。其中，同步型平面电机具有结构简单、推力大、效率高和响应速度快等良好的综合性能，在二维平面驱动装置、特别是精密二维平面驱动装置中具有广阔的应用前景。

现有的一种平面电机，其结构如图1和图2所示；该电机中包括定子和动子两大部件，它的工作原理类似于三相旋转永磁同步电机，定子包含铁心和4个相互垂直放置的推力绕组，每个绕组有独立的3个相，X向推力绕组用于驱动动子沿X方向运动，Y向推力绕组用于驱动动子沿Y方向运动。动子包含动子平台和4个永磁体阵列，永磁体阵列排列在动子平台的下表面，通过控制相应的三相绕组电流，动子平台就可以在平面上做定位运动。

但是，上述永磁同步平面电机存在电机结构复杂、绕组的利用率低、损耗大、效率低、控制复杂以及定位精度低等问题。

发明内容

本发明为了解决永磁同步平面电机存在电机结构复杂、绕组的利用率低、损耗大、效率低、控制复杂以及定位精度低等问题，而提出的多自由度短行程平面电机。

多自由度短行程平面电机，它由初级和次级组成；所述初级采用平板形结构；所述次级采用上下双边平板形结构；所述初级装设在次级上下两边之间；所述初级与次级之间留有气隙；所述初级所在平面与次级双边所在的各自平面相互平行；所述初级由初级绕组和初级基板组成；所述初级绕组固定设置在初级基板上；所述初级绕组由六个跑道形的椭圆线圈构成；所述跑道形的椭圆线圈的两个长直边为有效边，所述跑道形的椭圆线圈的两个有效边相互平行；所述六个跑道形的椭圆线圈沿圆周方向均匀设置在初级基板上，所述每相邻两个跑道形的椭圆线圈之间间隔60°；所述次级上下两边的结构及永磁体排列方式均相同；所述次级上边由六个相同的永磁体组和次级基板组成；所述每个永磁体组包括第一永磁体、第二永磁体和永磁体轭板；所述第一永磁体和第二永磁体采用长条形永磁体；所述第一永磁体与第二永磁体相互平行地固定设置在永磁体轭板上；所述永磁体轭板采用磁性材料制成的轭板；所述第一永磁体与第二永磁体的充磁方向相反，所述第一永磁体与第二永磁体的充磁方向均为沿三维坐标系中Z轴方向平行充磁；所述每个永磁体组固定装设在次级基板上，所述每个永磁体组在次级基板上的装设位置与每个跑道形的椭圆线圈在初级基板上的装设位置相对应；所述每个跑道形的椭圆线圈所对应次级上下边上的两个永磁体组的充磁方向相同。

多自由度短行程平面电机，它由初级和次级组成；所述初级采用平板形结构；所述次级采用上下双边平板形结构；所述初级装设在次级上下两边之间；所述初级与次级之间留有气隙；所述初级所在平面与次级双边所在的各自平面相互平行；所述初级由初级绕组和初级基板组成；所述初级绕组固定设置在初级基板上；所述初级绕组由六个跑道形的椭圆线圈构成；所述跑道形的椭圆线圈的两个长直边为有效边，所述跑道形的椭圆线圈的两个有效边相互平行；所述六个跑道形的椭圆线圈呈正六边形对称均匀地设置在初级基板上，所述次级上下两边的结构及永磁体排列方式均相同；所述次级上边由六个相同的永磁体组和次级基板组成；所述每个永磁体组包括第一永磁体、第二永磁体和永磁体轭板；所述第一永磁体和第二永磁体采用长条形永磁体；所述第一永磁体与第二永磁体相互平行地固定设置在永磁体轭板上；所述永磁体轭板采用磁性材料制成的轭板；所述第一永磁体与第二永磁体的充磁方向相反，所述第一永磁体与第二永磁体的充磁方向均为沿三维坐标系中Z轴方向平行充磁；所述每个永磁体组固定装设在次级基板上，所述每个永磁体组在次级基板上的装设位置与每个跑道形的椭圆线圈在初级基板上的装设位置相对应；所述每个跑道形的椭圆线圈所对应次级上下边上的两个永磁体组的充磁方向相同。

多自由度短行程平面电机，它由初级和次级组成；所述初级采用平板形结构；所述次级采用上下双边平板形结构；所述初级装设在次级上下两边之间；所述初级与次级之间留有气隙；所述初级所在平面与次级双边所在的各自平面相互平行；

所述初级由两组初级绕组和初级基板组成；所述两组初级绕组均固定设置在初级基板上；所述第一初级绕组由六个跑道形的椭圆线圈构成；所述跑道形的椭圆线圈的两个长直边为有效边，所述跑道形的椭圆线圈的两个有效边相互平行；所述第一初级绕组中六个跑道形的椭圆线圈沿圆周方向均匀设置在初级基板上，所述每相邻两个跑道形的椭圆线圈之间间隔60°；

所述第二初级绕组由六个跑道形的椭圆线圈构成；所述跑道形的椭圆线圈的两个长直边为有效边，所述跑道形的椭圆线圈的两个有效边相互平行；所述第二初级绕组中六个跑道形的椭圆线圈呈正六边形对称均匀地设置在初级基板上，所述第二初级绕组中的六个跑道形的椭圆线圈设置在第一初级绕组中每相邻两个跑道形的椭圆线圈之间的空隙处；所述次级上下两边的结构及永磁体排列方式均相同；所述次级上边由十二个相同的永磁体组和次级基板组成；所述每个永磁体组包括第一永磁体、第二永磁体和永磁体轭板；所述第一永磁体和第二永磁体采用长条形永磁体；所述第一永磁体与第二永磁体相互平行地固定设置在永磁体轭板上；所述永磁体轭板采用磁性材料制成的轭板；所述第一永磁体与第二永磁体的充磁方向相反，所述第一永磁体与第二永磁体的充磁方向均为沿三维坐标系中Z轴方向平行充磁；所述每个永磁体组固定装设在次级基板上，所述十二个永磁体组均分为两组；所述第一永磁体组在次级基板上的装设位置与第一初级绕组中每个跑道形的椭圆线圈在初级基板上的装设位置相对应；所述第二永磁体组在次级基板上的装设位置与第二初级绕组中每个跑道形的椭圆线圈在初级基板上的装设位置相对应；所述每个跑道形的椭圆线圈所对应次级上下边上的两个永磁体组的充磁方向相同。

本申请所述平面电机结构简单、绕组的利用率高、损耗小、效率高、控制简单以及定位精度高的优点。本申请所述平面电机的X向驱动、Y向驱动与绕Z轴偏转驱动共用一套绕组，可分别控制电机各个线圈电流的方向与大小，即可控制作用在动子上电磁力的方向与大小。

附图说明

图1为现有平面电机的结构示意图，其中部件A为x向绕组，部件B为动子平台，部件C为y向绕组，部件D为磁阵，部件E为x向绕组，部件F为铁芯，部件G为机架，部件H为y向绕组；图2为现有平面电机永磁体排列示意图；图3为具体实施方式一所述初级的结构示意图；图4为具体实施方式一所述次级的结构示意图；图5为具体实施方式四所述初级的结构示意图；图6为具体实施方式四所述次级的结构示意图；图7为具体实施方式七所述初级的结构示意图；图8为具体实施方式七所述次级的结构示意图。

具体实施方式

具体实施方式一：结合图3和图4说明本实施方式，本实施方式所述多自由度短行程平面电机，它由初级和次级组成；所述初级采用平板形结构；所述次级采用上下双边平板形结构；所述初级装设在次级上下两边之间；所述初级与次级之间留有气隙；所述初级所在平面与次级双边所在的各自平面相互平行；所述初级由初级绕组和初级基板组成；所述初级绕组固定设置在初级基板上；所述初级绕组由六个跑道形的椭圆线圈1构成；所述跑道形的椭圆线圈1的两个长直边为有效边，所述跑道形的椭圆线圈1的两个有效边相互平行；所述六个跑道形的椭圆线圈1沿圆周方向均匀设置在初级基板上，所述每相邻两个跑道形的椭圆线圈1之间间隔60°；所述次级上下两边的结构及永磁体排列方式均相同；所述次级上边由六个相同的永磁体组和次级基板组成；所述每个永磁体组包括第一永磁体2、第二永磁体3和永磁体轭板；所述第一永磁体2和第二永磁体3采用长条形永磁体；所述第一永磁体2与第二永磁体3相互平行地固定设置在永磁体轭板上；所述永磁体轭板采用磁性材料制成的轭板；所述第一永磁体2与第二永磁体3的充磁方向相反，所述第一永磁体2与第二永磁体3的充磁方向均为沿三维坐标系中Z轴方向平行充磁；所述每个永磁体组固定装设在次级基板上，所述每个永磁体组在次级基板上的装设位置与每个跑道形的椭圆线圈1在初级基板上的装设位置相对应；所述每个跑道形的椭圆线圈1所对应次级上下边上的两个永磁体组的充磁方向相同。

具体实施方式二：结合图4说明本实施方式，本实施方式与具体实施方式一不同点在于所述次级中的每个永磁体组还包括第三永磁体4，所述第三永磁体4采用长条形横向充磁的永磁体；所述第三永磁体4固定设置在第一永磁体2与第二永磁体3之间；所述第三永磁体4与第一永磁体2和第二永磁体3相互平行，所述第三永磁体4的充磁方向为相邻第一永磁体2和第二永磁体3中极性为S极的永磁体指向极性为N极的永磁体。

其它组成和连接方式与具体实施方式一相同。

具体实施方式三：本实施方式与具体实施方式一或二不同点在于所述初级的制冷方式采用液冷方式；所述初级基板上设置有冷却液通道；所述初级基板的上表面上设置有隔热层；所述初级基板及次级基板均采用高强度材料制成的基板。其它组成和连接方式与具体实施方式一或二相同。

具体实施方式四：结合图5和图6说明本实施方式，本实施方式多自由度短行程平面电机，它由初级和次级组成；所述初级采用平板形结构；所述次级采用上下双边平板形结构；所述初级装设在次级上下两边之间；所述初级与次级之间留有气隙；所述初级所在平面与次级双边所在的各自平面相互平行；所述初级由初级绕组和初级基板组成；所述初级绕组固定设置在初级基板上；所述初级绕组由六个跑道形的椭圆线圈1构成；所述跑道形的椭圆线圈1的两个长直边为有效边，所述跑道形的椭圆线圈1的两个有效边相互平行；所述六个跑道形的椭圆线圈1呈正六边形对称均匀地设置在初级基板上，所述次级上下两边的结构及永磁体排列方式均相同；所述次级上边由六个相同的永磁体组和次级基板组成；所述每个永磁体组包括第一永磁体2、第二永磁体3和永磁体轭板；所述第一永磁体2和第二永磁体3采用长条形永磁体；所述第一永磁体2与第二永磁体3相互平行地固定设置在永磁体轭板上；所述永磁体轭板采用磁性材料制成的轭板；所述第一永磁体2与第二永磁体3的充磁方向相反，所述第一永磁体2与第二永磁体3的充磁方向均为沿三维坐标系中Z轴方向平行充磁；所述每个永磁体组固定装设在次级基板上，所述每个永磁体组在次级基板上的装设位置与每个跑道形的椭圆线圈1在初级基板上的装设位置相对应；所述每个跑道形的椭圆线圈1所对应次级上下边上的两个永磁体组的充磁方向相同。

具体实施方式五：结合图6说明本实施方式，本实施方式与具体实施方式四不同点在于所述次级中的每个永磁体组还包括第三永磁体4，所述第三永磁体4采用长条形横向充磁的永磁体；所述第三永磁体4固定设置在第一永磁体2与第二永磁体3之间；所述第三永磁体4与第一永磁体2和第二永磁体3相互平行，所述第三永磁体4的充磁方向为相邻第一永磁体2和第二永磁体3中极性为S极的永磁体指向极性为N极的永磁体。其它组成和连接方式与具体实施方式四相同。

具体实施方式六：本实施方式与具体实施方式四或五不同点在于所述初级的制冷方式采用液冷方式；所述初级基板上设置有冷却液通道；所述初级基板的上表面上设置有隔热层；所述初级基板及次级基板均采用高强度材料制成的基板。其它组成和连接方式与具体实施方式四或五相同。

具体实施方式七：结合图7和图8说明本实施方式，本实施方式所述多自由度短行程平面电机，它由初级和次级组成；所述初级采用平板形结构；所述次级采用上下双边平板形结构；所述初级装设在次级上下两边之间；所述初级与次级之间留有气隙；所述初级所在平面与次级双边所在的各自平面相互平行；

所述初级由两组初级绕组和初级基板组成；所述两组初级绕组均固定设置在初级基板上；所述第一初级绕组由六个跑道形的椭圆线圈1构成；所述跑道形的椭圆线圈1的两个长直边为有效边，所述跑道形的椭圆线圈1的两个有效边相互平行；所述第一初级绕组中六个跑道形的椭圆线圈1沿圆周方向均匀设置在初级基板上，所述每相邻两个跑道形的椭圆线圈1之间间隔60°；

所述第二初级绕组由六个跑道形的椭圆线圈1构成；所述跑道形的椭圆线圈1的两个长直边为有效边，所述跑道形的椭圆线圈1的两个有效边相互平行；所述第二初级绕组中六个跑道形的椭圆线圈1呈正六边形对称均匀地设置在初级基板上，所述第二初级绕组中的六个跑道形的椭圆线圈1设置在第一初级绕组中每相邻两个跑道形的椭圆线圈1之间的空隙处；所述次级上下两边的结构及永磁体排列方式均相同；所述次级上边由十二个相同的永磁体组和次级基板组成；所述每个永磁体组包括第一永磁体2、第二永磁体3和永磁体轭板；所述第一永磁体2和第二永磁体3采用长条形永磁体；所述第一永磁体2与第二永磁体3相互平行地固定设置在永磁体轭板上；所述永磁体轭板采用磁性材料制成的轭板；所述第一永磁体2与第二永磁体3的充磁方向相反，所述第一永磁体2与第二永磁体3的充磁方向均为沿三维坐标系中Z轴方向平行充磁；所述每个永磁体组固定装设在次级基板上，所述十二个永磁体组均分为两组；所述第一永磁体组在次级基板上的装设位置与第一初级绕组中每个跑道形的椭圆线圈1在初级基板上的装设位置相对应；所述第二永磁体组在次级基板上的装设位置与第二初级绕组中每个跑道形的椭圆线圈1在初级基板上的装设位置相对应；所述每个跑道形的椭圆线圈1所对应次级上下边上的两个永磁体组的充磁方向相同。

具体实施方式八：结合图8说明本实施方式，本实施方式与具体实施方式七不同点在于所述次级中的每个永磁体组还包括第三永磁体4，所述第三永磁体4采用长条形横向充磁的永磁体；所述第三永磁体4固定设置在第一永磁体2与第二永磁体3之间；所述第三永磁体4与第一永磁体2和第二永磁体3相互平行，所述第三永磁体4的充磁方向为相邻第一永磁体2和第二永磁体3中极性为S极的永磁体指向极性为N极的永磁体。其它组成和连接方式与具体实施方式七相同。

具体实施方式九：本实施方式与具体实施方式七或八不同点在于所述初级的制冷方式采用液冷方式；所述初级基板上设置有冷却液通道；所述初级基板的上表面上设置有隔热层；所述初级基板及次级基板均采用高强度材料制成的基板。其它组成和连接方式与具体实施方式七或八相同。

本申请所述平面电机既可为动次级结构，也可为动初级结构。

以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明，不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本发明所提交的权利要求书确定的专利保护范围。

Claims (9)

1.多自由度短行程平面电机，其特征在于它由初级和次级组成；所述初级采用平板形结构；所述次级采用上下双边平板形结构；所述初级装设在次级上下两边之间；所述初级与次级之间留有气隙；所述初级所在平面与次级双边所在的各自平面相互平行；所述初级由初级绕组和初级基板组成；所述初级绕组固定设置在初级基板上；所述初级绕组由六个跑道形的椭圆线圈(1)构成；所述跑道形的椭圆线圈(1)的两个长直边为有效边，所述跑道形的椭圆线圈(1)的两个有效边相互平行；所述六个跑道形的椭圆线圈(1)沿圆周方向均匀设置在初级基板上，所述每相邻两个跑道形的椭圆线圈(1)之间间隔60°；所述次级上下两边的结构及永磁体排列方式均相同；所述次级上边由六个相同的永磁体组和次级基板组成；所述每个永磁体组包括第一永磁体(2)、第二永磁体(3)和永磁体轭板；所述第一永磁体(2)和第二永磁体(3)采用长条形永磁体；所述第一永磁体(2)与第二永磁体(3)相互平行地固定设置在永磁体轭板上；所述永磁体轭板采用磁性材料制成的轭板；所述第一永磁体(2)与第二永磁体(3)的充磁方向相反，所述第一永磁体(2)与第二永磁体(3)的充磁方向均为沿三维坐标系中Z轴方向平行充磁；所述每个永磁体组固定装设在次级基板上，所述每个永磁体组在次级基板上的装设位置与每个跑道形的椭圆线圈(1)在初级基板上的装设位置相对应；所述每个跑道形的椭圆线圈(1)所对应次级上下边上的两个永磁体组的充磁方向相同。

2.根据权利要求1所述的多自由度短行程平面电机，其特征在于所述次级中的每个永磁体组还包括第三永磁体(4)，所述第三永磁体(4)采用长条形横向充磁的永磁体；所述第三永磁体(4)固定设置在第一永磁体(2)与第二永磁体(3)之间；所述第三永磁体(4)与第一永磁体(2)和第二永磁体(3)相互平行，

所述第三永磁体(4)的充磁方向为相邻第一永磁体(2)和第二永磁体(3)中极性为S极的永磁体指向极性为N极的永磁体。

3.根据权利要求1或2所述的多自由度短行程平面电机，其特征在于所述初级的制冷方式采用液冷方式；所述初级基板上设置有冷却液通道；所述初级基板的上表面上设置有隔热层。

4.多自由度短行程平面电机，其特征在于它由初级和次级组成；所述初级采用平板形结构；所述次级采用上下双边平板形结构；所述初级装设在次级上下两边之间；所述初级与次级之间留有气隙；所述初级所在平面与次级双边所在的各自平面相互平行；所述初级由初级绕组和初级基板组成；所述初级绕组固定设置在初级基板上；所述初级绕组由六个跑道形的椭圆线圈(1)构成；所述跑道形的椭圆线圈(1)的两个长直边为有效边，所述跑道形的椭圆线圈(1)的两个有效边相互平行；所述六个跑道形的椭圆线圈(1)呈正六边形对称均匀地设置在初级基板上，所述次级上下两边的结构及永磁体排列方式均相同；所述次级上边由六个相同的永磁体组和次级基板组成；所述每个永磁体组包括第一永磁体(2)、第二永磁体(3)和永磁体轭板；所述第一永磁体(2)和第二永磁体(3)采用长条形永磁体；所述第一永磁体(2)与第二永磁体(3)相互平行地固定设置在永磁体轭板上；所述永磁体轭板采用磁性材料制成的轭板；所述第一永磁体(2)与第二永磁体(3)的充磁方向相反，所述第一永磁体(2)与第二永磁体(3)的充磁方向均为沿三维坐标系中Z轴方向平行充磁；所述每个永磁体组固定装设在次级基板上，所述每个永磁体组在次级基板上的装设位置与每个跑道形的椭圆线圈(1)在初级基板上的装设位置相对应；所述每个跑道形的椭圆线圈(1)所对应次级上下边上的两个永磁体组的充磁方向相同。

5.根据权利要求4所述的多自由度短行程平面电机，其特征在于所述次级中的每个永磁体组还包括第三永磁体(4)，所述第三永磁体(4)采用长条形横向充磁的永磁体；所述第三永磁体(4)固定设置在第一永磁体(2)与第二永磁体(3)之间；所述第三永磁体(4)与第一永磁体(2)和第二永磁体(3)相互平行，

所述第三永磁体(4)的充磁方向为相邻第一永磁体(2)和第二永磁体(3)中极性为S极的永磁体指向极性为N极的永磁体。

6.根据权利要求4或5所述的多自由度短行程平面电机，其特征在于所述初级的制冷方式采用液冷方式；所述初级基板上设置有冷却液通道；所述初级基板的上表面上设置有隔热层。

7.多自由度短行程平面电机，其特征在于它由初级和次级组成；所述初级采用平板形结构；所述次级采用上下双边平板形结构；所述初级装设在次级上下两边之间；所述初级与次级之间留有气隙；所述初级所在平面与次级双边所在的各自平面相互平行；

所述初级由两组初级绕组和初级基板组成；所述两组初级绕组均固定设置在初级基板上；所述第一初级绕组由六个跑道形的椭圆线圈(1)构成；所述跑道形的椭圆线圈(1)的两个长直边为有效边，所述跑道形的椭圆线圈(1)的两个有效边相互平行；所述第一初级绕组中六个跑道形的椭圆线圈(1)沿圆周方向均匀设置在初级基板上，所述每相邻两个跑道形的椭圆线圈(1)之间间隔60°；

所述第二初级绕组由六个跑道形的椭圆线圈(1)构成；所述跑道形的椭圆线圈(1)的两个长直边为有效边，所述跑道形的椭圆线圈(1)的两个有效边相互平行；所述第二初级绕组中六个跑道形的椭圆线圈(1)呈正六边形对称均匀地设置在初级基板上，所述第二初级绕组中的六个跑道形的椭圆线圈(1)设置在第一初级绕组中每相邻两个跑道形的椭圆线圈(1)之间的空隙处；所述次级上下两边的结构及永磁体排列方式均相同；所述次级上边由十二个相同的永磁体组和次级基板组成；所述每个永磁体组包括第一永磁体(2)、第二永磁体(3)和永磁体轭板；所述第一永磁体(2)和第二永磁体(3)采用长条形永磁体；所述第一永磁体(2)与第二永磁体(3)相互平行地固定设置在永磁体轭板上；所述永磁体轭板采用磁性材料制成的轭板；所述第一永磁体(2)与第二永磁体(3)的充磁方向相反，所述第一永磁体(2)与第二永磁体(3)的充磁方向均为沿三维坐标系中Z轴方向平行充磁；所述每个永磁体组固定装设在次级基板上，所述十二个永磁体组均分为两组；所述第一永磁体组在次级基板上的装设位置与第一初级绕组中每个跑道形的椭圆线圈(1)在初级基板上的装设位置相对应；所述第二永磁体组在次级基板上的装设位置与第二初级绕组中每个跑道形的椭圆线圈(1)在初级基板上的装设位置相对应；所述每个跑道形的椭圆线圈(1)所对应次级上下边上的两个永磁体组的充磁方向相同。

8.根据权利要求7所述的多自由度短行程平面电机，其特征在于所述次级中的每个永磁体组还包括第三永磁体(4)，所述第三永磁体(4)采用长条形横向充磁的永磁体；所述第三永磁体(4)固定设置在第一永磁体(2)与第二永磁体(3)之间；所述第三永磁体(4)与第一永磁体(2)和第二永磁体(3)相互平行，

所述第三永磁体(4)的充磁方向为相邻第一永磁体(2)和第二永磁体(3)中极性为S极的永磁体指向极性为N极的永磁体。

9.根据权利要求7或8所述的多自由度短行程平面电机，其特征在于所述初级的制冷方式采用液冷方式；所述初级基板上设置有冷却液通道；所述初级基板的上表面上设置有隔热层。

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