CN102205440A - 直线凹槽加工方法和直线凹槽加工装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及直线凹槽加工方法和直线凹槽加工装置。在具有由安装了工具的滑块和为该滑块导向的直线导轨所构成的往复运动装置的直线凹槽加工装置中，对往复运动装置和工作台进行定位，从而使该滑块的往复运动方向与X轴方向处于相同的方向，通过把滑块的往复运动与工作台的X方向的移动组合起来，从而对工件加工出比工具或工作台的行程更长的直线凹槽。

Description

直线凹槽加工方法和直线凹槽加工装置

技术领域

本发明涉及进行直线凹槽加工的加工装置，特别涉及为接续加工长距离的直线凹槽的加工装置。

背景技术

在成形衍射光栅和液晶显示装置的导光板的金属模具中，需要加工几百～几万条直线凹槽。在加工这么大量的直线凹槽的加工过程中，为了缩短加工的时间，必须要有具有高速进给轴的加工机器。此外，由于在衍射光栅和导光板的金属模具中，即便是非常微小的加工误差也不容许，因而在高速驱动时，也必须是不产生振动的，平滑的直线移动。作为地实现这种高速度和高精度加工的进给机构，公知的机构是把空气轴承与线性电动机组合而成的结构。

在日本专利文献特开2007-130712号公报中公开了一种往复运动装置，它具有在导向部件与滑动部件之间构成的轴承，并在导向部件与滑动部件之间产生推力的机构，在滑动部件的直线移动轴行程的两端，将反向用的永久磁铁配置在滑动部件和导向部件之间，从而滑动部件和导向部件之间产生轴向的斥力。该专利文献公开了一种往复运动装置的技术，其借助于这种结构，当滑动部件的移动方向反过来时，就能减小直线驱动装置所需要的力。

此外，国际公开号为W097/04940的专利文献中公开了以下技术：在制造棱镜的金属模具那样的精密部件的情况下，要制造多个同样的加工件，借助于把这些加工件并排地布置，将它们作为大型的加工件来处理。

在制造像液晶显示装置的导光板那样的，具有更大面积的导光板时，就必须准备具有更大面积的金属模具。可是，在使用机床对工件加工直线凹槽的情况下，却基本上无法对超过安装工具或者工件的直线轴的直线进给行程量的长度的直线凹槽进行切削加工。

虽然如上述国际公开号为W097/04940的专利文献中所示的那样，在制造诸如棱镜的金属模具那样的精密部件的情况下，是通过制造多个同样的加工件，并把这些加工件并排地布置，就能够将它们作为大型的加工件来处理，但在加工微米级的微细间距凹槽的情况下，要让凹槽的间距一点也不错开地把这些加工件接续在一起非常困难。此外，毕竟当加工件是微细凹槽的加工件时，大多在精度上不能容许在把分开来的工件并排时所产生的，本身所存在的很小的接续点的情况。

发明内容

因此，本发明的目的就是提供一种用于对长距离的直线凹槽进行接续加工的加工方法和加工装置，它不必把工件分割开来，也不必将其从加工机器上拆卸下来。

为达到上述目的，按照本发明的加工方法，是一种借助于安装在沿着直线导轨作往复运动的滑块上的工具，对固定于工作台上的工件加工若干条长的直线凹槽的直线凹槽加工方法，再有，该加工方法包含以下步骤：在上述滑块向前运动时，让上述工具切入上述工件中加工出直线凹槽的第一步骤；在上述滑块返回运动时，让上述工具返回运动而从上述工件中退出的第二步骤；在上述工具从上述工件中退出一直到上述滑块移动到下一次向前运动的步骤之间，使上述工作台或上述直线导轨向与上述直线凹槽的延伸方向垂直相交的方向移动的第三步骤；在反复进行上述第一到第三步骤，完成了上述直线凹槽加工之后，让上述工作台向上述直线凹槽方向移动预定距离的第四步骤；为了与上述第四步骤之前加工出来的上述直线凹槽相互接续而反复进行上述第一到第三步骤加工出直线凹槽的第五步骤。

在上述第五步骤中，还可以包含让上述工作台移动，从而修正上述直线凹槽在间距方向上的接续点误差。

在上述第一步骤中，也可以使上述工具的刀尖的动作轨迹为曲线形状。

再有，为达到上述目的，按照本发明的直线凹槽加工装置，它具有由安装了工具的滑块和为该滑块导向的直线导轨所构成的往复运动装置，沿着直线导轨使该滑块作往复运动，借助于上述工具对固定于工作台上的工件加工出直线凹槽，再有，该加工装置还具有：驱动上述工具向与上述滑块的作往复运动方向垂直相交的方向切入的驱动工具切入的部件；使上述工作台向第一方向移动的第一驱动部件；使上述工作台向与上述第一方向垂直相交的第二方向移动的第二驱动部件；使上述往复运动装置向与第一方向和第二方向垂直相交的方向移动的第三驱动部件；对上述往复运动装置和上述工作台进行定位，从而使上述滑块的往复运动方向与上述第一方向处于相同的方向，通过把上述滑块的往复运动与上述工作台向上述第一方向的移动组合起来，从而对上述工件加工出比上述工具或上述工作台的行程更长的直线凹槽。

通过让上述工作台向上述第二方向移动，也可以修正由于上述往复运动装置相对于上述第一方向的安装误差所产生的上述直线凹槽在间距方向的接续点误差。

也可以在对上述工件加工凹槽时，使上述工具的刀尖的动作轨迹为曲线形状。

上述滑块可以做成用空气轴承支承在上述直线导轨上的线性电动机的结构。

由于本发明具有以上的结构，因而能提供不必把工件分割开来，也不必将其从加工机器上拆卸下来，就能接续加工出比安装工件的工作台行程和往复运动装置的行程更长的直线凹槽的加工装置。

附图说明

图1A是按照本发明的加工装置的概略结构图(正视图)，图1B是其侧视图。

图2是控制加工装置的控制装置的概略框图。

图3是说明构成图1A中所示的往复运动装置的滑块与直线导轨的概略结构的说明图。

图4A和图4B是表示图1A中所示的往复运动装置的工具进刀机构的图。

图5是说明图1A中所示的直线凹槽加工装置的轴的结构的图。

图6是使用安装在滑块上的工具对工件进行加工的说明图。

图7A和图7B是说明工件的长度和工作台的X轴方向的行程量，与滑块的行程量(安装在滑块上的工具的行程量)的关系的图。

图8A和图8B是对X轴与滑块的行程的组合进行说明的图。

图9A和图9B是用工具对工件进行切入的动作的说明图。

图10A、图10B和图10C是说明在直线加工凹槽与直线加工凹槽之间的接续点不产生毛刺的工具进刀动作的图。

图11A和图11B是说明工件与滑块的位置关系的图。

图12是说明在直线凹槽接续加工过程中的接续点位置与加工装置的轴方向及凹槽间距方向的关系的图。

图13是放大表示图12中所示的凹槽的接续点的图。

图14A、图14B和图14C是说明对凹槽深度方向上的接续点的误差进行修正的图。

具体实施方式

图1A和图1B是本发明一个实施例的加工装置的概略结构图。

直线凹槽加工装置20具有：床身21；从该床身21垂直竖立起来的立柱(column)22；设置在该立柱22上部并能上下活动的床头23；安装在该床头上的往复运动装置24；通过支承在上述床身21上，可沿正交的两个方向(X轴方向、Y轴方向)移动的夹具等把工件W固定在板面上的工作台4；以及分别向上下方向(Z轴方向)和水平方向(X-Y轴两个方向)驱动床头23的多个进给轴驱动电动机(省略了图示)。借助于这种结构，滑块1便能借助于直线导轨2在X轴方向上反复地进行单纯的往复运动。此外，工作台4通过两组进给机构，能在水平面内沿着互相垂直相交的X-Y轴两个方向进行移动。

此外，直线凹槽加工装置20除了控制X轴、Y轴和Z轴各条进给轴之外，还通过控制往复运动装置24的控制装置30来进行控。如图2所示，控制装置30具有中央处理器(CPU)、ROM、RAM，以及带显示装置的手动输入装置(显示装置/MDI单元)等，根据加工程序来控制直线凹槽加工装置20，在工件W上加工出直线凹槽来。往复运动装置24具有滑块1和直线导轨2，工具3则安装在滑块1上。

下面，用图3说明滑块1和直线导轨2的简要结构。

滑块1以轴支承在直线导轨2上，能沿着这根直线导轨2的轴向移动。这种轴承使用了空气轴承的结构。此外，在滑块1的产生推力的装置中，使用了线性电动机。在滑块1中设置了线圈27，在直线导轨2上设置了铁心29和驱动用的永久磁铁28。这些线圈27、铁心29和驱动用的永久磁铁28构成了线性电动机。线圈27以在滑块1的中心部分与直线导轨2的表面相对的方式配置在滑块1上。此外，滑块1在与相对于直线导轨2进行往复运动的行程的两端部相对应的直线导轨2的位置上设置驱动用的永久磁铁28，在这两个驱动用的永久磁铁28、28之间设有铁心29。如图4A及图4B所示，在滑块1上固定着板簧25，在该板簧25上则安装了对工件W进行凹槽加工的工具3。

让电流流过安装在滑块1上的线圈27，便驱动了线性电动机而使滑块1向直线导轨2的一个方向移动。然后，当滑块1往复运动到行程终点时，流经线圈27的电流方向便改变，从而使滑块1的移动方向反转。由于做成在滑块1的行程端部设置了构成线性电动机的驱动用的永久磁铁28的结构，所以不会发生推力的波动和齿槽效应现象，直线运动的精度很高，能进行高精度的直线凹槽加工。

图4A和图4B是表示本发明的加工机器所具有的往复运动装置24的工具进刀机构的图。如上所述，板簧25固定在滑块1上，在该板簧25上安装了对工件W进行凹槽加工的工具3。而且，为使板簧25伸缩而在板簧25与滑块1之间安装了压电元件26。

当对该压电元件26施加电压时，压电元件26便从图4A的状态与其电压大小相应地如图4B所示地伸长，推压板簧25而使工具3向切入的方向(Z轴方向)移动，对工件W进行进给，从而借助于滑块1的移动对工件W进行加工。由于该压电元件26能借助于控制装置(图中未表示)驱动它进行伸缩，从而通过板簧25让工具3产生进退动作，并改变对工件W进行凹槽加工的进刀量。即，压电元件26构成了调整工具3的进刀量的机构。

工具3安装在板簧25上，由于不是直接安装在压电元件26上，所以施加在工具3上的力不会直接传递到压电元件26上。因此，借助于板簧25，保护了相对伸缩方向对于除了压缩方向之外的外力很脆弱的压电元件26。

如上所述，通过改变流经设置在滑块1上的线圈27中的电流的方向，就能使滑块1作往复运动。而且，在该滑块1的往复运动过程中，借助于驱动控制压电元件26的控制装置，在滑块1向前运动时，通过让规定的电流流入压电元件26中而使其伸长，从而对工具3给以规定的进刀量，对工件W进行单程切削加工。而且，在返回运动时，便使压电元件26缩短，使工具3退回并避让到与工件W不干涉的位置上。

工具3对工件W的进刀量，可通过控制对压电元件26施加的电压的大小来进行调整。因此，通过控制施加在压电元件26上的电压，便能如图10中所示，进行具有规定曲率的吃刀深度的凹槽加工。

下面，对本发明的利用以上所说明的直线凹槽加工装置20，就能在工件W上加工出长度比工作台4在X轴方向上的行程和安装在往复运动装置24的滑块1上的工具3的行程都要长的直线凹槽的方法进行说明。

首先，利用图5说明直线凹槽加工装置20的轴的结构(参照图1)。如图5所示，直线凹槽加工装置20具有能让工作台4沿着X轴和Y轴这两个方向移动，并让滑块1沿着Z轴方向移动的装置。图5中，工件W以其长度方向与工作台4的X轴方向平行的方式安装在工作台4上。此外，往复运动装置24的直线导轨2也布置成让它的轴线长度方向与工作台4的X轴平行。另外，工作台4做成能够旋转的结构，在滑块1的驱动方向不与X轴方向平行时，就可以驱动工作台4转动，以使工作台4与滑块1互相平行。

由于滑块1能沿着直线导轨2的轴线长度方向移动，所以工作台4的X轴方向与往复运动装置24的滑块1的移动方向相同。Y轴与X轴垂直相交。此外，Z轴与X轴和Y轴垂直相交。另外，Y轴方向的移动，也可以做成用让往复运动装置24沿着Y轴方向移动来代替工作台4的移动的结构。此外，图5的工作台4描绘成圆形的部件，但工作台4并不限定是圆形的部件。

接着，说明对安装在工作台4上的工件W进行直线凹槽的加工过程。图6是说明利用安装在滑块上的工具对工件进行加工的图。如图6所示，工件W的右端用R来表示，左端用L来表示。支承在直线导轨2上的滑块1沿着直线导轨2作往复运动。与滑块1沿着直线导轨2作往复运动同步，工具3沿着图中所示的动作轨迹运动：tr1→tr2→tr3→tr4。关于工具3的动作，与以上用图3和图4所说明的相同。

在动作轨迹tr3(向前运动)中的工具3能对工件W进行直线凹槽加工。在工件W上行程的直线凹槽的延伸方向与滑块1的驱动方向相同。而且，如图5中所说明的那样，由于工作台4的X轴方向与往复运动装置24的滑块1的移动方向相同，所以在工件W上加工出来的直线凹槽的延伸方向就与X轴平行。

可是，如参照图6就能明白，由于滑块1能够移动的行程要比工件W的长度方向的长度短，结果，仅仅依靠滑块1的往复运动就无法对工件W进行从右端R一直到左端L的连续的直线凹槽加工。更正确地说，是因为工具3的动作轨迹tr3的行程达不到工件W的长度(从工件W的右端R到左端L的距离)。

因此，下面说明本发明通过利用装载着工件W的工作台的移动来在工件W上形成很长的直线凹槽的情况。首先，利用图7A和图7B，说明工件W的长度6和工作台4的在X轴方向的行程量7，以及滑块1的行程量5(安装在滑块1上的工具3的行程量)之间的关系。图7A表示出工作台4在X轴方向的行程量7比工件W的长度6短。此外，图7B表示，由于滑块1的行程量5也比工件W的长度6短，所以不可能在一次行程中把工件W长度6上的凹槽加工出来。标号8表示安装在滑块1上的工具3的行程量。

图8A和图8B是说明X轴与滑块行程组合的图。如图8A和图8B所示，凹槽切削本身是由驱动滑块1作往复运动来进行的，通过让工作台4向X轴方向移动，工件W与直线导轨2的在X轴方向上的相对位置便错开了。通过把工作台4沿X轴方向的移动与滑块1的往复驱动组合起来，就能在实质上加长安装在滑块1上的工具3的行程。

在图8A中表示出让工作台4向着-X轴方向移动，从而能对工件W的右侧部分进行加工，另一方面，在图8B中表示出让工作台4向着+X轴方向移动，从而能对工件W的左侧部分进行加工。利用这种加工方式，就能对仅仅用工作台4的行程与滑块1的行程各自的行程不能进行加工的长度的工件W实施直线凹槽的接续加工。

下面，利用图9A和图9B，说明工具对工件的进刀动作。如在图6中已经说明的那样，图9A说明了滑块1沿着直线导轨2的往复驱动。通过把驱动工具3沿着进出方向9作往复运动与滑块1的往复驱动组合在一起，工具3便沿着图中所示的动作轨迹tr1→tr2→tr3→tr4的进行轨迹运动。

此外，如图9B所示，让滑块1和直线导轨2向-Z轴方向移动，以使工具3处于能对工件W进行切削的位置。这样一来，工具3就能在动作轨迹tr3中对工件W进行直线凹槽加工。

另外，要进行补充说明的是，在图8A和图8B中，在让工作台4向-X轴方向移动的过程中，要在滑块1继续进行往复运动的状态下让往复运动装置24向Z轴方向移动，接着，让工作台4向-X轴方向移动。通过这样的工作过程，在让工作台4移动时，工具3不会在工件上加工出不需要的凹槽来。

为了使用安装在沿着直线导轨2作往复运动的滑块1上的工具3对固定于工作台4上的工件W加工出若干条长的直线凹槽，按如下方法进行。

在滑块1向前运动时，让工具3切入工件W中，对工件W加工直线凹槽。然后，当滑块1返回运动时，则使工具3返回运动而从工件W中退出。在工具3从工件W中退出一直到滑块1移动到下一个向前运动的步骤之间，让工作台4或具有直线导轨2的往复运动装置24向与直线凹槽的延伸方向垂直相交的方向(第二方向)移动。

然后，如上所述，在滑块1向前运动时，让工具3切入工件W中，对工件W加工直线凹槽。然后，当滑块1返回运动时，则使工具3返回运动而从工件W中退出。在工具3从工件W中退出一直到滑块1移动到下一个向前运动的步骤之间，让工作台4或具有直线导轨2的往复运动装置24向与直线凹槽的延伸方向垂直相交的方向移动。通过反复进行以上动作，就能加工出多条直线凹槽。

然后，当完成了所需要条数的直线凹槽的加工时，便让工作台4向直线凹槽的延伸方向(第一方向)移动规定的距离。在移动了规定距离之后，如上所述那样，通过让工作台4向与直线凹槽的延伸方向垂直相交的方向移动，就能加工出多条直线凹槽。

通过把让工作台4向第一方向移动之前所加工出来的若干条直线凹槽，与让工作台4向第一方向移动后所加工出来的若干条直线凹槽相互接续，就能对工件W加工出若干条很长的直线凹槽。

这里，如图9B所示，在让工具3对凹槽的深度方向呈直线状切入时(参见虚线的圆10R)，或者让工具3退出来时(参见虚线的圆10L)，则让工具3迅速地上下。此时，在作为工件W的直线凹槽的接续点的部分上有大的毛刺产生。当在工件W上产生这种毛刺时，这种毛刺就会对直线凹槽的接续点的外观和工件W的精度产生恶劣的影响。

因此，就要像图10A所示的那样，让工具3对工件W呈曲线形地切入。图10A表示用工具3对工件W进行直线凹槽加工的状态。在虚线的圆10R内，通过将工具的动作轨迹tr2和tr3连接成曲线状，就能使工具3以曲线状对工件W进行切入。此外，在虚线的圆10L内，通过将工具的动作轨迹tr 3和tr 4连接成曲线状，就能使工具3以曲线状从工件W中退出。工具3的这样的驱动能通过控制对压电元件26施加的电压来实现。

在让工具3对工件W以曲线状切入，进行直线凹槽的接续加工时，必须让接续点处不产生凹凸。图10B表示的例子是，为了不在这些直线凹槽的接续点产生凹凸，在直线凹槽的接续点(11R、11L)重复地进行了凹槽加工。图10C表示的例子是，把直线凹槽的曲线形状的曲率半径增大而使直线凹槽深度方向的接续点的误差(突起部分)减小。

如图10C所示，在把工具3对工件W以曲线状切入的场合，与图9B所示把工具3对工件W以直线状切入的情况比较，能够减少直线凹槽的接续点所产生的毛刺。由此，能够提高直线凹槽的外观和工件W的精度。

在把直线凹槽相互接续而加工一条直线凹槽的场合，相互接续的直线凹槽的延伸方向必须整齐划一。图11A是从上方看到的工件W与滑块1的位置关系的图。安装在滑块1上的工具3沿着直线导轨2切削出直线凹槽。如图11A所示，当工作台4的X轴的进给方向与直线导轨2的安装角度不平行时，便会在直线凹槽的间距方向16上产生误差12。在这种情况下，通过使工作台4在与X轴垂直相交的Y轴方向移动，就能把直线凹槽相互接续。

下面，用图11B来说明相互接续的一个例子，当工作台4的X轴的进给方向与直线导轨2的安装角度存在图11A所示的关系的情况下，第一部分直线凹槽13与第二部分直线凹槽14相互接续。

首先，在加工了第一部分直线凹槽13之后，让工作台4向-X轴方向移动。然后，当在该状态下接着进行第二部分直线凹槽14的加工时，便加工出如虚线所示的这部分直线凹槽14′，产生了在间距方向的接续点误差12。

因此，要使工作台4向-Y轴方向仅移动一个消除间距方向的接续点误差12的距离(箭头15)。在让工作台4向该-Y方向移动之后，再进行第二部分直线凹槽14的加工。这样一来，便如图11B所示，第一部分直线凹槽13与第二部分直线凹槽14便在间距方向不产生接续点误差12地连接起来。另外，由于间距方向的接续点误差12很小，因而只要将消除间距方向的接续点误差12的距离(箭头15)作为误差的绝对值进行处理即可。

下面，用图12和图13来说明直线凹槽的间距方向16的修正方法。图12是说明在对凹槽进行接续加工时的接续点位置与加工装置的轴方向以及凹槽间距方向的关系的图。在工件W上形成了在Y轴方向呈V字形的连续的凹槽17。如使用图11A和图11B所说明的那样，由于直线导轨2安装角度的误差，在凹槽的接续点18产生了凹槽间距方向16的错位。

图13是放大表示图12所示的凹槽的接续点18的图。当使用显微镜和电子显微镜之类的测量仪器时，图12的凹槽的接续点18如图13所示的那样，能够根据应接续的凹槽彼此的顶点的错移量来确认凹槽间距方向的误差量。把确认所得到的误差量储存在直线凹槽加工装置20的控制装置30的RAM等的存储器里(参见图2)。

在以后相同阶段的加工中同样地对凹槽进行接续加工的过程中，在让装载了工件W的工作台向X轴方向移动而加工凹槽的接续点时，为了消除上述误差量而让该工作台向Y轴方向移动到使其抵消的位置。之后，通过开始凹槽的加工，就能修正误差。由于误差量很微小，所以只要让工作台向Y轴方向(或者-Y轴方向)移动一个误差量的绝对值的量即可。

接着，用图14A-图14C，对修正凹槽深度方向的接续点的误差进行说明。图14A表示在工具的切入轨迹(动作轨迹)上曲率半径小的情况，图14B表示在工具的切入轨迹(动作轨迹)上曲率半径大的情况。当以图14A中的凹槽深度方向的接续点误差为dep1，而以图14B中的凹槽深度方向的接续点误差为dep2时，则dep1＞dep2。这样由工具3对工件W作切入动作的曲线的曲率半径越大，就越能减小工具3在加工凹槽的行程中的凹槽深度方向的接续点误差(突起部分)。通过使用曲率半径更大的工具来进行切入动作，能进一步修正深度方向的接续点误差。

此外，图14C表示用比滑块1的行程更短的距离来分割直线凹槽进行加工的情况。这样，通过以短的距离分割凹槽并进行加工而能减小凹槽深度方向的接续点的误差dep 3。分割凹槽的次数越多就越能修正深度方向的误差。

Claims (7)

1.一种借助于安装在沿着直线导轨作往复运动的滑块上的工具，对固定于工作台上的工件加工若干条长的直线凹槽的直线凹槽加工方法，其特征在于，其包含以下步骤：

在上述滑块向前运动时，让上述工具切入上述工件中加工出直线凹槽的第一步骤；

在上述滑块返回运动时，让上述工具返回运动而从上述工件中退出的第二步骤；

在上述工具从上述工件中退出一直到上述滑块移动到下一次向前运动的步骤之间，使上述工作台或上述直线导轨向与上述直线凹槽的延伸方向垂直相交的方向移动的第三步骤；

在反复进行上述第一到第三步骤，完成了上述直线凹槽加工之后，让上述工作台向上述直线凹槽方向移动预定距离的第四步骤；

为了与上述第四步骤之前加工出来的上述直线凹槽相互接续而反复进行上述第一到第三步骤加工出直线凹槽的第五步骤。

2.如权利要求1所述的加工若干条长的直线凹槽的直线凹槽加工方法，其特征在于，在上述第五步骤中，包含让上述工作台移动，以修正上述直线凹槽在间距方向的接续点误差。

3.如权利要求1或2所述的加工若干条长的直线凹槽的直线凹槽加工方法，其特征在于，在上述第一步骤中，上述工具的刀尖的动作轨迹为曲线形状。

4.一种直线凹槽加工装置，它具有由安装了工具的滑块和为该滑块导向的直线导轨所构成的往复运动装置，沿着直线导轨使该滑块作往复运动，借助于上述工具对固定于工作台上的工件加工出直线凹槽，其特征在于，该加工装置具有；

驱动上述工具向与上述滑块的作往复运动方向垂直相交的方向切入的驱动工具切入的部件；

使上述工作台向第一方向移动的第一驱动部件；

使上述工作台向与上述第一方向垂直相交的第二方向移动的第二驱动部件；

使上述往复运动装置向与上述第一方向和第二方向垂直相交的方向移动的第三驱动部件；

对上述往复运动装置和上述工作台进行定位，从而使上述滑块的往复运动方向与上述第一方向处于相同的方向，通过把上述滑块的往复运动与上述工作台向上述第一方向的移动组合起来，从而对上述工件加工出比上述工具或上述工作台的行程更长的直线凹槽。

5.如权利要求4所述的直线凹槽加工装置，其特征在于，通过让上述工作台向上述第二方向移动，从而修正由于上述往复运动装置相对于上述第一方向的安装误差所产生的上述直线凹槽在间距方向的接续点误差。

6.如权利要求4所述的直线凹槽加工装置，其特征在于，在对上述工件加工凹槽时，使上述工具的刀尖的动作轨迹为曲线形状。

7.如权利要求4～6中任何一项所述的直线凹槽加工装置，其特征在于，上述滑块做成用空气轴承支承在上述直线导轨上的线性电动机的结构。

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