CN102154619B - 真空高温快速加热装置 - Google Patents

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Abstract

本发明为真空高温快速加热装置，涉及电子加工设备领域，为提高加热效率，采用“8”型红外辐射加热管，均采用陶瓷制作的接线端子与玻璃管发热段一起处于真空加热室内，当温度＞200℃，玻璃陶瓷连接处就会开裂。真空密封处易损坏，为此本发明将接线端子通过真空管安装极置于真空加热室外、玻璃管加热段仍处于加热室内，加热管与真空安装极之间硅胶密封的位置跟着也处于真空安装极外侧，本发明能在200℃以上温度正常工作，并具有结构简单，制作容易的有益效果。

Description

真空高温快速加热装置
技术领域
本发明涉及电子器件加工设备领域，尤其是加热器设备。
背景技术
对基片进行真空镀膜的设备中加热器是一个重要的设备，通常用石英管加热，为了提高加热效率，快速加热，采用8字型红外辐射加热管，其接线端子用陶瓷制作，固接线端子与玻璃管发热一起处于其空加热室内，玻璃与陶瓷的膨胀系数不同，当温度＞200℃，玻璃与陶瓷连接处就会开裂，这远低于需要的工作温度。另外因为8字型加热管结构比较复杂，在大气中不易实现真空密封。因此在上述现有技术的基础上进行了改进。
发明内容
本发明的目的为提供一种避免在200℃以上温度陶瓷与玻璃连接处开裂并能满足此温度下真空密封的真空高温快速加热装置。
实现上述目的的技术方案如下：
真空高温快速加热装置，具有真空加热室，在真空加热室内装有8字型红外辐射加热管，其特征为：8字型红外辐射加热管的陶瓷接线端子通过真空管安装板置于真空加热室外，8字型红外辐射加热管的玻璃管加热段处于真空加热室内，8字型红外辐射加热管与真空管安装板之间的硅胶密封的位置处于真空安装板外侧，加热管周围用硅胶密封的位置外盖有加热管密封板，用螺栓将密封板固定在安装板上，8字型红外辐射加热管的尾部半球加热管托条上，加热管托条与真空管安装板之间具有螺杆固定件，真空管安装板与真空加热室之间通过O型密封圈密封。
本发明具有使8字型红外辐射加热管能在200℃以上正常工作，并且具有结构简单，制作容易的有益效果。
附图说明
附图用来提供对本发明的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本发明的实施例一起用于解释本发明，并不构成对本发明的限制。在附图中：
图1为本发明真空高温快速加热装置的结构示意图；
图2为加热管安装板的俯视结构示意图。
图中各标号的名称为：
1-8字型红外辐射加热管
2-加热管安装板
3-加热管托条
4-螺杆固定件
5-陶瓷接线端子
6-8字型玻璃管
7-密封硅胶
8-真空管安装板与真空加热管之间的O型密封圈
9-加热管密封板
10-导线。
具体实施方式
先对下 实施例并结构附图对本发明的技术方案作进一步说明。
在真空高温快速加热装置的壁上装有加热管安装板工，在板上开有多个加热管安装孔8字型红外辐射加热管1通过安装孔固定在安装板上，陶瓷接线端子与处于真空高温快速加热装置外侧，在加热管周围用706B硅胶7密封外盖有加热管密封板9，用螺栓将密封板固定在安装板上，8字型红外辐射加热管另一端加热管托条3上，加热管托条通过螺杆固定件4固定在加热管安装板2上，加热管安装板和真空高温快速加温装置通过O型密封圈8进行真空密封，密封圈型号为315*5.3氟胶。

Claims (1)

1.真空高温快速加热装置，具有真空加热室，在真空加热室内装有8字型红外辐射加热管，其特征为：8字型红外辐射加热管的陶瓷接线端子通过真空管安装板置于真空加热室外，8字型红外辐射加热管的玻璃管加热段处于真空加热室内，8字型红外辐射加热管与真空管安装板之间的硅胶密封的位置处于真空安装板外侧，加热管周围用硅胶密封的位置外盖有加热管密封板，用螺栓将密封板固定在安装板上，8字型红外辐射加热管的尾部半球加热管托条上，加热管托条与真空管安装板之间具有螺杆固定件，真空管安装板与真空加热室之间通过O型密封圈密封。
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