CN102134740A - 硅单晶炉摄像头安装支架 - Google Patents

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惠梦君
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WUXI HUISON-DUER CRYSTAL TECHNOLOGIES AND EQUIPMENT Co Ltd
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Abstract

本发明公开一种硅单晶炉摄像头安装支架,其包括设置于观察窗上的立板,所述观察窗平行于硅单晶炉筒径向线,所述立板水平面上与硅单晶炉筒径向线平行,且所述立板之上并列设置有第一摄像头和第二摄像头,将第一摄像头和第二摄像头在水平面上放在炉筒径向线上,在垂直面上位置错开,并各自可以调整俯视角,实际装配时,水平面上将立板与炉筒径向线平行,第一摄像头和第二摄像头与径向线重合,然后在垂直面上调制摄像头俯角,上述硅单晶炉摄像头安装支架不仅结构简单,易于实现;而且安装方便,调整容易,摄像头的俯角受观察窗尺寸限制小,适用面宽。

Description

硅单晶炉摄像头安装支架
技术领域
本发明涉及硅单晶炉摄像头安装结构,尤其是涉及一种硅单晶炉摄像头安装支架。
背景技术
硅单晶炉可以通过摄像头获取晶棒生长过程中固液界面的图像,请参阅图1及图2所示,图1为传统的硅单晶炉摄像头安装结构的示意图,图2为传统的硅单晶炉摄像头安装结构的俯视图,通常一台单晶炉配合观察窗1需要安装第一摄像头10和第二摄像头11,所述观察窗1设置于单晶炉筒的竖直方向之上,第一摄像头10采用长焦镜头,聚焦在液面中心,控制籽晶生长;第二摄像头11聚焦在晶棒外缘,控制晶棒生长,安装时,第一摄像头10和第二摄像头11的中心在水平面上处同一圆周上,且在垂直面上有一定角度差别,这种安装结构主要缺点是需要2个对立安装支架,分别调整,安装复杂,同时摄像头的俯角受观察窗结构限制。
发明内容
本发明的目的在于提供一种硅单晶炉摄像头安装支架,其具有结构简单,安装方便,调整容易以及摄像头的俯角受观察窗尺寸限制小的特点。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现:
一种硅单晶炉摄像头安装支架,其包括设置于观察窗上的立板,所述立板水平面上与硅单晶炉筒径向线平行,且所述立板之上并列设置有若干个摄像头。
特别地,所述摄像头设置为2个,且水平面上镜头的设置与硅单晶炉筒径向线重合。
本发明的有益效果为,所述硅单晶炉摄像头安装支架不仅结构简单,易于实现;而且安装方便,调整容易,摄像头的俯角受观察窗尺寸限制小,适用面宽。
附图说明
下面根据附图和实施例对本发明作进一步详细说明。
图1为传统的硅单晶炉摄像头安装结构的示意图,
图2为传统的硅单晶炉摄像头安装结构的俯视图,
图3为本发明硅单晶炉摄像头安装支架的结构示意图,
图4为本发明硅单晶炉摄像头安装支架的俯视图。
具体实施方式
请参照图3及图4所示,图3为本发明硅单晶炉摄像头安装支架的结构示意图,图4为本发明硅单晶炉摄像头安装支架的俯视图。于本实施例中,一种硅单晶炉摄像头安装支架,其包括设置于观察窗1上的立板3,所述观察窗1平行于硅单晶炉筒径向线4,所述立板3水平面上与硅单晶炉筒径向线4平行,且所述立板3之上并列设置有第一摄像头20和第二摄像头21,将第一摄像头20和第二摄像头21在水平面上放在炉筒径向线4上。在垂直面上位置错开,并各自可以调整俯视角。
实际装配时,水平面上将立板3与炉筒径向线4平行,第一摄像头20和第二摄像头21与径向线4重合。然后在垂直面上调制摄像头俯角。
上述硅单晶炉摄像头安装支架不仅结构简单,易于实现;而且安装方便,调整容易,摄像头的俯角受观察窗尺寸限制小,适用面宽。
以上实施例只是阐述了本发明的基本原理和特性,可以随摄像头的设置个数的改变而改变,本发明不受上述事例限制,在不脱离本发明精神和范围的前提下,本发明还有各种变化和改变,这些变化和改变都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。

Claims (2)

1.一种硅单晶炉摄像头安装支架,其特征在于:包括设置于观察窗上的立板,所述立板水平面上与硅单晶炉筒径向线平行,且所述立板之上并列设置有若干个摄像头。
2.根据权利要求1所述的硅单晶炉摄像头安装支架;其特征在于:所述摄像头设置为2个,且水平面上镜头的设置与硅单晶炉筒径向线重合。
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