CN102122608B - 化学制剂处理系统 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种化学制剂处理系统，包括构造相同的第一子系统和第二子系统、用于在两个子系统之间进行切换的第一方向切换阀、第二方向切换阀和第三方向切换阀以及工艺单元和在线化学分析仪。本发明的系统可以在不需要时间以重新注入化学制剂的情况下利用两个相同子系统的切换持续地向工艺单元提供化学制剂；该系统利用在线化学分析仪的帮助，可以循环再利用在工艺单元中已使用过的化学制剂，降低生产成本；该系统可快速而准确地控制化学制剂的温度、流量和压力。

Description

化学制剂处理系统

技术领域

本发明涉及半导体制造装置领域，尤其涉及一种化学制剂处理系统。

背景技术

近年来，各类型的化学制剂供给装置被广泛应用到半导体装置的生产当中。化学制剂供给装置可将化学制剂提供给用于制造半导体装置的工艺单元，如果提供给处理单元的化学制剂由于其内部成分的变化、细微分离颗粒的聚集，温度、流量和压力的变化等原因而不稳定，则半导体装置可能就有缺陷。因此，就要求有一种化学制剂供给装置来提供稳定的化学制剂。

发明内容

(一)要解决的技术问题

本发明的目的是在不停止生产工艺的情况下如何使化学制剂供给装置提供稳定的化学制剂。

(二)技术方案

为达到上述目的，本发明提出了一种化学制剂处理系统，，包括：

第一子系统，包括：第一储罐，第一循环泵，其输入端与所述第一储罐的输出端连接，第四方向切换阀，其输入端与第一循环过滤器的输出端连接，其第二输出端与所述第一储液罐的第三输入端连接；

第二子系统，包括：第二储罐，第二循环泵，其输入端与所述第二储罐的输出端连接，第五方向切换阀，其输入端与所述第二循环过滤器的输出端连接，其第二输出端与所述第二储液罐的第三输入端连接；

第一方向切换阀，其第一输出端与所述第一储罐的第一输入端连接，其第二输出端与所述第二储罐的第一输入端连接；

第二方向切换阀，其第一输入端与所述第四方向切换阀的第一输出端连接，其第二输入端与所述第五方向切换阀的第一输出端连接；

工艺单元，其输入端与所述第二方向切换阀的输出端连接；

第三方向切换阀，其输入端与所述工艺单元的第一输出端连接，其第一输出端与所述第一储罐的第二输入端连接，第二输出端与所述第二储罐的第二输入端连接。

其中，所述工艺单元上设置有排放端口。

其中，所述第一循环泵和所述第四方向切换阀之间顺序串联设置有第一热交换器、第一在线加热器和第一过滤器。

其中，所述第二循环泵和所述第五方向切换阀之间顺序串联设置有第二热交换器、第二在线加热器和第二过滤器。

其中，所述第一储液罐上设置有多个液位传感器。

其中，所述第二储液罐上设置有多个液位传感器。

其中，所述第二方向切换阀的输出端和所述工艺单元的输入端之间设置有在线化学分析仪。

(三)有益效果

本发明的上述技术方案具有如下优点：本发明的系统可以在不需要时间以重新注入化学制剂的情况下利用两个相同子系统的切换持续地向工艺单元提供化学制剂；该系统利用在线化学分析仪的帮助，可以循环再利用在工艺单元中已使用过的化学制剂，降低生产成本；该系统可快速而准确地控制化学制剂的温度、流量和压力。

附图说明

图1为本发明化学制剂处理系统实施例的示意图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本发明的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。

如图1为本发明化学制剂处理系统实施例的示意图，包括：第一子系统、第二子系统、第一方向切换阀2、第二方向切换阀16、第三方向切换阀14、工艺单元15、在线化学分析仪19。在本发明中所有的方向切换阀用于对不同功能的管路的切换。

第一子系统包括第一储液罐1、第一循环泵3、第一热交换器4、第一在线加热器5、第一过滤器6以及第四方向切换阀7。第一储罐1用于储存进入系统的化学试剂。第一循环泵3用于对储槽中的化学制剂进行稳定压力与流量循环。第一热交换器4和第一在线加热器5用于对化学制剂的温度进行精确控制，当温度低于工艺需求的温度时，第一在线加热器5会不断的加热流经的循环化学制剂，直到温度达到工艺要求，当化学制剂的温度超过工艺要求时，第一热交换器4启动，将流经的循环化学制剂的温度降低到工艺的要求。第一过滤器6，用于对不断循环流经的化学制剂进行不断的过滤，过滤掉化学制剂中的不符合工艺要求的颗粒。第一储罐1的输出端与第一循环泵3的输入端连接，第一循环泵3的输出端与与第一热交换器4的输入端连接，第一热交换器4的输出端与第一在线加热器5的输入端连接，第一在线加热器5的输出端与第一过滤器6的输入端连接，第一过滤器6的输出端与第四方向切换阀7的输入端连接，第四方向切换阀7的第一输出端与第二方向切换阀16的第一输入端连接，其第二输出端与第一储罐1的第三输入端连接，第一储罐1的第二输入端与第三方向切换阀14的第一输出端连接。第一储液罐1上设置有多个(例如四个)液位传感器17，用于控制第一储罐1中的化学制剂容量。

第一方向切换阀2的输入端为化学制剂供应端，其第一输出端与第一储罐1的第一输入端连接，其第二输出端与第二子系统的第二储罐8的第二输入端连接。第一方向切换阀2用于选择向第一储罐1还是向第二储罐8从系统外供应化学制剂。

第二子系统的构造与第一子系统相同，包括第二储罐8，第二循环泵9、第二热交换器10、第二在线加热器11和第二过滤器12、第五方向切换阀13。第二储罐8的输出端与第二循环泵9的输入端连接，第二循环泵9的输出端与第二热交换器10的输入端连接，第二热交换器10的输出端与第二在线加热器11的输入端连接，第二在线加热器11的输出端与第二过滤器12的输入端连接，第二过滤器12的输出端与第五方向切换阀13的输入端连接，第五方向切换阀13的第一输出端与第二方向切换阀16的第二输入端连接，其第二输出端与第二储罐8的第三输入端连接，第二储罐8的第一输入端与第三方向切换阀14的第二输出端连接。第二储液罐8上设置有多个液位传感器18，用于控制第二储罐8中的化学制剂容量。

第二方向切换阀16的输出端与工艺单元15的输入端连接，二者之间设置有在线化学分析仪19。工艺单元15的输出端与第三方向切换阀14的输入端连接。工艺单元15上还设置有排放端口。

当一套子系统为工艺单元供给符合工艺要求的化学制剂时，另一套子系统运行循环运转，时刻准备为工艺单元提供化学制剂，当在线化学分析仪提示目前去往工艺单元的化学制剂已经不符合工艺要求时，第二切换阀立刻将另一套子系统切换到工艺单元的方向上。工艺过程结束后，如果经在线化学分析仪测定化学制剂已经不符合工艺要求，化学制剂会通过排放口排除系统，如果化学制剂仍然符合工艺要求，则通过第三方向切换阀选择循环回第一储罐或第二储罐。

以上所述仅是本发明的实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种化学制剂处理系统，其特征在于，包括：

第一子系统，包括：第一储罐(1)，第一循环泵(3)，其输入端与所述第一储罐(1)的输出端连接，第四方向切换阀(7)，其输入端与第一循环过滤器(6)的输出端连接，其第二输出端与所述第一储液罐(1)的第三输入端连接；

第二子系统，包括：第二储罐(8)，第二循环泵(9)，其输入端与所述第二储罐(8)的输出端连接，第五方向切换阀(13)，其输入端与第二循环过滤器(12)的输出端连接，其第二输出端与所述第二储液罐(8)的第三输入端连接；

第一方向切换阀(2)，其第一输出端与所述第一储罐(1)的第一输入端连接，其第二输出端与所述第二储罐(8)的第一输入端连接；

第二方向切换阀(16)，其第一输入端与所述第四方向切换阀(7)的第一输出端连接，其第二输入端与所述第五方向切换阀(13)的第一输出端连接；

工艺单元(15)，其输入端与所述第二方向切换阀(16)的输出端连接；

第三方向切换阀(14)，其输入端与所述工艺单元(15)的第一输出端连接，其第一输出端与所述第一储罐(1)的第二输入端连接，第二输出端与所述第二储罐(8)的第二输入端连接。

2.如权利要求1所述的化学制剂处理系统，其特征在于，所述工艺单元(15)上设置有排放端口。

3.如权利要求2所述的化学制剂处理系统，其特征在于，所述第一循环泵(3)和所述第四方向切换阀(7)之间顺序串联设置有第一热交换器(4)、第一在线加热器(5)和第一过滤器(6)。

4.如权利要求3所述的化学制剂处理系统，其特征在于，所述第二循环泵(9)和所述第五方向切换阀(13)之间顺序串联设置有第二热交换器(10)、第二在线加热器(11)和第二过滤器(12)。

5.如权利要求4所述的化学制剂处理系统，其特征在于，所述第一储液罐(1)上设置有多个液位传感器(17)。

6.如权利要求5所述的化学制剂处理系统，其特征在于，所述第二储液罐(8)上设置有多个液位传感器(18)。

7.如权利要求6所述的化学制剂处理系统，其特征在于，所述第二方向切换阀(16)的输出端和所述工艺单元(15)的输入端之间设置有在线化学分析仪(19)。

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