CN102080827B - 能在线维护的硅烷燃烧塔 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种可在线维护的硅烷燃烧塔，所述塔体内设置有燃烧室、左喷淋室和右喷淋室，所述塔体内设置有将燃烧室、左喷淋室和右喷淋室相互独立的隔板，所述隔板上分别对应设置有能够控制交换燃烧室内的气体与左右喷淋室内的气体的左气路隔断阀和右气路隔断阀，所述左喷淋室和右喷淋室之间设置有控制气体交换的喷淋室隔断阀，所述燃烧室的底部设置有通向塔体外的左清渣口和右清渣口，所述燃烧室和左右清渣口之间分别对应设置有左清渣隔断阀和右清渣隔断阀，双气路到达双喷淋室使得废气吸收的速度更快，效果更好。

Description

能在线维护的硅烷燃烧塔

技术领域

本发明涉及一种运用焚烧法处理可燃无机气体吸收的装置，特别是涉及一种能在线维护的硅烷燃烧塔。

背景技术

在电子元件和集成电路行业中产生的有害气体，一般采用以燃烧可燃性气体来燃烧硅烷的方式，采用这种方式处理有害气体时，由于可燃性气体的熄灭极易产生爆炸危险。

为了解决这个问题，中国专利申请200810093385.5公开了一种硅烷燃烧塔，具有塔体和水箱，塔体顶端设置有排气口，塔体内设置有燃烧筒、填料室、喷淋室和脱液室，燃烧筒下部设置在水箱中，燃烧筒外罩有镇流罩，镇流罩与燃烧筒间的空腔中装有喷淋装置，镇流罩外为填料室，填料室上方为脱液室，燃烧筒中设置有二块多孔挡板，将燃烧筒分隔成三个室，底部为燃烧室，中部为均压室，顶部为氮气保护室，燃烧室底部有通向塔体外的排渣口，燃烧室的塔体上有废气进气口和压缩空气进气口，废气进气口装有单向阀，氮气保护室的筒体上装有氮气进气口，氮气保护室的塔体的顶端有出气口；在填料室上部和喷淋室处的塔体上开有检修口，塔体外装有循环水泵，循环水泵的水泵进水口通入水箱的液面下、出水口通过水管接各喷淋装置。但是这种硅烷燃烧塔在清渣或者给喷淋系统填料时，必须要停机，大大影响了处理废气的进度，同时在遇到大量的废气时，单喷淋系统的设计使得废气的吸收处理不彻底，污染了环境。

由此可见，上述硅烷燃烧塔在结构与使用上，显然仍存在有不便与缺陷，而亟待加以进一步改进。为了解决硅烷燃烧塔存在的问题，相关厂商莫不费尽心思来谋求解决之道，但长久以来一直未见适用的设计被发展完成，而一般产品又没有适切的结构能够解决上述问题，此显然是相关业者急欲解决的问题。

有鉴于上述现有的硅烷燃烧塔存在的缺陷，本发明人基于从事此类产品设计制造多年丰富的实务经验及专业知识，并配合学理的运用，积极加以研究创新，以期创设一种新型结构的能在线维护的硅烷燃烧塔，能够改进一般现有的能在线维护的硅烷燃烧塔，使其更具有实用性。经过不断的研究、设计，并经反复试作样品及改进后，终于创设出确具实用价值的本发明。

发明内容

本发明的主要目的在于，克服现有的硅烷燃烧塔存在的缺陷，而提供一种新型结构的能在线维护的硅烷燃烧塔，所要解决的技术问题是使其可以实现在线给喷淋系统填料，并且左右喷淋室和双气路的设计，可以使得氨气的吸收更充分以及气路更加顺畅，从而更加适于实用，且具有产业上的利用价值。

本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。依据本发明提出的能在线维护的硅烷燃烧塔，包括塔体以及设置在塔体底部的水箱，所述塔体内的顶端设置有收水器，所述塔体内设置有燃烧室、左喷淋室和右喷淋室，所述塔体内设置有将燃烧室、左喷淋室和右喷淋室相互独立的隔板，所述隔板上分别对应设置有控制交换燃烧室气体到左右喷淋室的左右气路隔断阀，所述左喷淋室和右喷淋室之间设置有控制气体交换的喷淋室隔断阀，所述燃烧室的底部设置有通向塔体外的左清渣口和右清渣口，所述燃烧室和左右清渣口之间分别对应设置有左清渣隔断阀和右清渣隔断阀，所述燃烧室处的塔体上设置有压缩多个进气口，所述水箱中的液体通过管路流入到左右喷淋室内对应设置的左喷淋系统和右喷淋系统中，所述左喷淋系统和右喷淋系统中的液体喷洒后最终流入到塔体底部的水箱中，尾气从进气口进入到塔体的燃烧室内，硅烷与通入的空气接触从而燃烧或者发生氧化反应，生成的二氧化硅粉尘落到水箱内，燃烧完的气体中的氨气则通过打开左右气路隔断阀对应进入到左喷淋室和右喷淋室内，所述水箱中的液体通过管路连接到左右喷淋室内设置的喷淋系统，喷淋系统中的液体喷洒后流入到塔体底部的水箱中，通过设置在塔体外的循环泵实现喷淋系统中的液体和水箱中的液体的循环，经过左右喷淋室中和反应后的气体最终由排气口排人大气中。

本发明的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现。

前述的能在线维护的硅烷燃烧塔，其中所述塔体的底部设置有可以将悬浮在所述水箱液体表面的泡沫分离出来的粉尘分离系统。

前述的能在线维护的硅烷燃烧塔，其中所述燃烧室处对应的塔体上设置有新风补气口和压缩空气进气口，由于硅烷与空气接触发生自燃的特点，由进气口进入燃烧室内的硅烷与压缩空气进气口的空气充分燃烧生成二氧化硅，消除了硅烷废气。

前述的能在线维护的硅烷燃烧塔，其中所述水箱和所述左右喷淋室内的喷淋系统连接的管路上分别对应设置有流量调节阀，通过流量调节阀可以控制喷淋系统中的中和液的流速和流量，当需要检修一个喷淋室时，关闭相对应控制喷淋室中喷淋系统的中和液的流量调节阀和左右喷淋室之间设置的喷淋室隔断阀，这样另一个喷淋室可以继续中和尾气，检修所在的喷淋室不进行中和尾气的工作，方便用户的维护。

前述的能在线维护的硅烷燃烧塔，其中所述隔板和塔体之间处的塔体上设置有清理粘结在隔板内壁上粉尘的清渣通气口和保护用的氮气口，通过吹扫清渣通气口可以清除粘结在隔板内壁上的粉尘。  

前述的能在线维护的硅烷燃烧塔，其中所述左右喷淋室和收水器的塔体上分别对应设置有检修孔，客户通过关闭控制阀，通过检修孔实现了用户的在线检修。

前述的能在线维护的硅烷燃烧塔，其中所述水箱的塔体上设置有进水口和补水口。

借由上述技术方案，本发明能在线维护的硅烷燃烧塔至少具有下列优点：

1、通过燃烧室的反应的废气通过双气路分别到达左右喷淋室与循环液发生中和反应，使得废气吸收的速度更快，效果更好，同时在两个喷淋室之间设置喷淋室隔断阀，当需要更换喷淋系统内的填料或者对喷淋室进行检修或填料及喷头更换时，通过关闭喷淋室隔断阀，左右喷淋室分别独立密封，这样可以实现在线维修，一个喷淋室继续进行处理废气，另一个喷淋室可进行检修或填料及喷头更换，大大的方便了客户。

2、粉尘分离系统的设计，可以有效的将漂浮在水箱液面上的二氧化硅分离出来。

3、通过流量调节阀，便于使用者对喷淋室进行检修或者对中和反应的快慢进行调控，同时也便于填料更换。

4、增加了清渣通气口 ，利用压缩空气的压力可以轻松的清除粘结在隔板内壁上的二氧化硅粉尘。

综上所述，本发明特殊结构的能在线维护的硅烷燃烧塔，实现了在线给喷淋系统填料，并且左右喷淋室和双气路的设计，可以使得氨气的吸收更充分以及气路更加顺畅，从而更加适于实用，其具有上述诸多的优点及实用价值，并在同类产品中未见有类似的结构设计公开发表或使用而确属创新，其不论在结构上或功能上皆有较大的改进，在技术上有较大的进步，并产生了好用及实用的效果，且较现有的能在线维护的硅烷燃烧塔具有增进的多项功效，从而更加适于实用，而具有产业的广泛利用价值，诚为一新颖、进步、实用的新设计。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本发明的较佳实施例并配合附图详细说明如后。

本发明的具体实施方式由以下实施例及其附图详细给出。

附图说明

图1为本发明所述的能在线维护的硅烷燃烧塔的内部结构示意图；

图2为本发明所述的能在线维护的硅烷燃烧塔的左右喷淋室的结构示意图；

图3为本发明所述的能在线维护的硅烷燃烧塔的燃烧室的示意图。

图中，1、水箱；2、收水器；3、燃烧室；4、左清渣口；4.1右清渣口；5、压缩空气进气口；6、左清渣隔断阀；6.1右清渣隔断阀；7、新风补气口；8、左清渣通气口；9、右清渣通气口；10、进气口；11、左气路隔断阀；11.1右气路隔断阀；12、进水口；13、补水口；15、粉尘分离系统；16、左喷淋室；16.1、右喷淋室；17、左喷淋系统；17.1右喷淋系统；18、喷淋室隔断阀；19、流量调节阀；20、循环泵；21、第一填料层。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明为达成预定发明目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例，对依据本发明提出的能在线维护的硅烷燃烧塔其具体实施方式、结构、特征及其功效，详细说明如后。

请参阅图1、图2和图3所示，本发明较佳实施例的能在线维护的硅烷燃烧塔，包括塔体以及设置在塔体底部的水箱1，塔体内的顶端设置有收水器2，塔体内设置有燃烧室、左喷淋室和右喷淋室，所述塔体内设置有将燃烧室3、左喷淋室16和右喷淋室16.1相互独立的隔板，隔板上分别设置有左气路隔断阀11和右气路隔断阀11.1，左喷淋室16和右喷淋室16.1之间设置有控制气体交换的喷淋室隔断阀18，当需要对某一喷淋室进行维护时，关闭喷淋室隔断阀18,同时对应关闭其与燃烧室相连接的气路调节阀，这样实现了在线维护，便于客户生产。燃烧室3的底部设置有通向塔体外的左清渣口4和右清渣口4.1，燃烧室3和左右清渣口之间分别对应设置有左清渣隔断阀6和右清渣隔断阀6.1，燃烧室3处的塔体上设置有多个进气口10，左喷淋系统17和右喷淋系统17.1中的液体喷洒后最终流入到塔体底部的水箱1中，设置在塔体外部的循环泵20将水箱1中的液体通过管路流入到左右喷淋室内对应设置的左喷淋系统17和右喷淋系统17.1中，水箱1和左右喷淋系统连接的管路上分别对应设置有流量调节阀19，通过流量调节阀19来控制中和液的流量以及控制喷淋系统的开关，在水箱1处的塔体上设置有进水口12和补水口13。

废气首先从进气口10进入燃烧室3中和从压缩空气进气口5中进入的空气进行燃烧后，硅烷和氧气作用生成二氧化硅，经过反应的带着二氧化硅粉尘的气体通过打开的左气路隔断阀11和右气路隔断阀11.1沿着隔板和塔体的内壁进入设置在喷淋室下部的第一填料层21，有的落在水箱1内的液体上，通过设置在水箱1液体表面的粉尘分离系统15将悬浮在液体表面的泡沫分离出来，隔板和塔体之间处的塔体上设置有清渣通气口和氮气口用来清理粘结在隔板内壁上二氧化硅粉尘，经过第一填料层21中和后的气体进入到左喷淋室16和右喷淋室16.1，废气与左喷淋系统17和右喷淋系统17.1喷洒的中和液发生反应被充分吸收后，通过设置在塔体顶端的收水器2吸收中和液后排出塔体外，收水器2的设计可以节约由于发热随着中和掉的气体流入到大气中的中和液，降低了成本，并且保护了环境。

上述如此结构构成的本发明能在线维护的硅烷燃烧塔的技术创新，对于现今同行业的技术人员来说均具有许多可取之处，而确实具有技术进步性。

以上所述，仅是本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制，虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明,任何熟悉本专业的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围内,当可利用上述揭示的技术内容作出些许更动或修饰为等同变化的等效实施例,但凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所作的任何简单修改、等同变化与修饰，均仍属于本发明技术方案的范围内。

Claims (8)

1.能在线维护的硅烷燃烧塔，包括塔体以及设置在塔体底部的水箱，所述塔体内的顶端设置有收水器，所述塔体内设置有燃烧室、左喷淋室和右喷淋室，所述塔体内设置有将燃烧室、左喷淋室和右喷淋室相互独立的隔板，所述隔板上分别对应设置有能够控制交换燃烧室内的气体与左喷淋室和右喷淋室内的气体的左气路隔断阀和右气路隔断阀，所述左喷淋室和右喷淋室之间设置有控制气体交换的喷淋室隔断阀，所述燃烧室的底部设置有通向塔体外的左清渣口和右清渣口，所述燃烧室与左清渣口和右清渣口之间分别对应设置有左清渣隔断阀和右清渣隔断阀，所述燃烧室处的塔体上设置有压缩多个进气口，所述水箱中的液体通过管路流入到左右喷淋室内对应设置的左喷淋系统和右喷淋系统中，所述左喷淋系统和右喷淋系统中的液体喷洒后最终流入到塔体底部的水箱中。

2.根据权利要求1所述的能在线维护的硅烷燃烧塔，其特征在于，所述塔体的底部设置有能将悬浮在所述水箱液体表面的泡沫分离出来的粉尘分离系统。

3.根据权利要求1所述的能在线维护的硅烷燃烧塔，其特征在于，所述燃烧室处对应的塔体上设置有新风补气口和压缩空气进气口。

4.根据权利要求1所述的能在线维护的硅烷燃烧塔，其特征在于，所述水箱与所述左喷淋室和右喷淋室内的喷淋系统连接的管路上分别对应设置有流量调节阀。

5.根据权利要求1所述的能在线维护的硅烷燃烧塔，其特征在于，所述隔板和塔体之间处的塔体上设置有清理粘结在隔板内壁上粉尘的清渣通气口和保护用的氮气口。

6.根据权利要求1所述的能在线维护的硅烷燃烧塔，其特征在于，所述左喷淋室和右喷淋室处的塔体上分别对应设置有检修孔。

7.根据权利要求1所述的能在线维护的硅烷燃烧塔，其特征在于，所述收水器的塔体上设置有检修孔。

8.根据权利要求1所述的能在线维护的硅烷燃烧塔，其特征在于，所述水箱的塔体上设置有进水口和补水口。

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