CN101975796A - 无引线陶瓷片式气敏元件 - Google Patents

无引线陶瓷片式气敏元件 Download PDF

Info

Publication number
CN101975796A
CN101975796A CN2010102716395A CN201010271639A CN101975796A CN 101975796 A CN101975796 A CN 101975796A CN 2010102716395 A CN2010102716395 A CN 2010102716395A CN 201010271639 A CN201010271639 A CN 201010271639A CN 101975796 A CN101975796 A CN 101975796A
Authority
CN
China
Prior art keywords
ceramic
electrode
heating
chip
gas sensor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2010102716395A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101975796B (zh
Inventor
张小水
钟克创
张开文
祁明锋
王利利
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
WEISHENG ELECTRONICS TECH Co Ltd ZHENGZHOU
Original Assignee
WEISHENG ELECTRONICS TECH Co Ltd ZHENGZHOU
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by WEISHENG ELECTRONICS TECH Co Ltd ZHENGZHOU filed Critical WEISHENG ELECTRONICS TECH Co Ltd ZHENGZHOU
Priority to CN 201010271639 priority Critical patent/CN101975796B/zh
Publication of CN101975796A publication Critical patent/CN101975796A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101975796B publication Critical patent/CN101975796B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)

Abstract

本发明提供一种无引线陶瓷片式气敏元件,它包括陶瓷基座和陶瓷片式气敏芯片;所述气敏芯片包括陶瓷基片、加热电阻、加热电极、隔离层、气敏材料和测量电极,陶瓷基片、加热电阻、隔离层、气敏材料依次印刷在一起;陶瓷基座上设置有通孔和穿过通孔的印刷电极,陶瓷基座正面设置有加热电极印刷点和测量电极印刷点,陶瓷基座背面设置有加热电极输入端和测量电极输出端,加热电极印刷点和测量电极印刷点通过印刷电极分别连接加热电极输入端和测量电极输出端;加热电极和测量电极分别连接在加热电极印刷点和测量电极印刷点上。该气敏元件具有设计科学、性能运行稳定、灵敏度高、精度高、适于工业规模化生产的优点。

Description

无引线陶瓷片式气敏元件
技术领域
本发明涉及一种气敏元件,具体地说,涉及一种无引线陶瓷片式气敏元件。
背景技术
目前,国内的旁热式金属氧化物半导体气敏元件的结构主要是悬挂式结构,悬挂式结构元件抗震性能差,而且,它的生产工艺大多采用手工制作工艺,依赖人工操作所产生的不稳定性致使该类元件性能参数离散性大,生产成本高,同时,极大程度地限制了该类气敏元件生产产业化规模的扩大发展。
现有的片式厚膜半导体气敏元件气敏芯片采用厚膜丝网印刷工艺在陶瓷基片两侧分别制作加热器和气敏材料,其制作工艺较为繁杂,芯片通过引线采用悬挂式结构封装在金属外壳中,使得该类气敏元件抗盐雾腐蚀性能差,同时,该类气敏元件的不足也限制了它的发展及使用方向。
为此,人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。
发明内容
本发明针对现有技术的不足,提供了一种设计科学、性能运行稳定、灵敏度高、精度高、适于工业规模化生产的无引线陶瓷片式气敏元件。
本发明所采用的技术方案如下:一种无引线陶瓷片式气敏元件,它包括有陶瓷基座和陶瓷片式气敏芯片;所述陶瓷片式气敏芯片包括有陶瓷基片、加热电阻、连接加热电阻的加热电极、隔离层、至少一种气敏材料和连接气敏材料的测量电极,所述陶瓷基片一侧与所述加热电阻一侧采用厚膜丝网印刷技术印刷在一起,所述加热电阻另一侧与所述隔离层一侧采用厚膜丝网印刷技术印刷在一起,所述隔离层另一侧与所述气敏材料一侧采用厚膜丝网印刷技术印刷在一起;所述陶瓷基座上设置有通孔和穿过通孔的印刷电极,所述陶瓷基座正面设置有加热电极印刷点和测量电极印刷点,所述陶瓷基座背面设置有加热电极输入端和测量电极输出端,所述加热电极印刷点和所述测量电极印刷点通过所述印刷电极分别连接所述加热电极输入端和所述测量电极输出端;所述陶瓷片式气敏芯片的加热电极和测量电极采用点胶机点金浆料或合金浆料的方式分别连接在所述陶瓷基座的加热电极印刷点和测量电极印刷点上。
基于上述,所述陶瓷基座正面设置有安装槽,所述安装槽内设置有加热电极支撑体和测量电极支撑体,所述加热电极印刷点和所述测量电极印刷点分别设置在所述加热电极支撑体和所述测量电极支撑体上。
基于上述,该气敏元件还包括有金属外壳,所述陶瓷基座和所述陶瓷片式气敏芯片封装在所述金属外壳里。
本发明相对现有技术具有突出的实质性特点和显著进步,具体的说,该气敏元件具有以下优点:
1、该气敏元件采用的陶瓷片式气敏芯片将加热电阻、隔离层和气敏材料印刷在陶瓷基片的同侧,并且采用叠层印刷工艺,使得本芯片制作技术摆脱了传统手工制作工艺,且利于工业化生产,利于提高芯片的运行性能和精度,利于降低芯片性能参数的离散性,具有制作工艺简单、成本低、易于规模化生产的突出优点;
2、该气敏元件采用的陶瓷基座结构设计独特、科学,利于陶瓷片式气敏芯片与陶瓷基座的安装、连接,利于与其它外围电路的连接,利于提高气敏元件的灵敏度和精度,具有使用方便、实用性突出的优点;
3、所述陶瓷片式气敏芯片与陶瓷基座之间的连接采用点胶机点金浆料或合金浆料的技术,工艺简单,连接无需引线;其改变了现有气敏元件的悬挂式结构,避免了传统悬挂式结构所存在的缺陷,解决了现有传感器抗震性能差、抗盐雾腐蚀性能差和性能参数离散性大等问题,并利于和可实现高效自动化生产。
附图说明
图1是所述无引线陶瓷片式气敏元件的结构示意图;
图2是所述陶瓷片式气敏芯片的结构示意图;
图3是所述陶瓷基座的正面结构示意图;
图4是所述陶瓷基座的背面结构示意图。
具体实施方式
下面通过具体实施方式,对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
如图1所示,一种无引线陶瓷片式气敏元件,它包括有陶瓷基座1、陶瓷片式气敏芯片2和金属外壳3,所述陶瓷基座1和所述陶瓷片式气敏芯片2封装在所述金属外壳3里;
如图2所示,所述陶瓷片式气敏芯片2包括有陶瓷基片21、加热电阻22、连接加热电阻22的加热电极25、隔离层23、气敏材料24和连接气敏材料24的测量电极26,其中,所述陶瓷基片21一侧与所述加热电阻22一侧采用厚膜丝网印刷技术印刷在一起,所述加热电阻22另一侧与所述隔离层23一侧采用厚膜丝网印刷技术印刷在一起,所述隔离层23另一侧与所述气敏材料24一侧采用厚膜丝网印刷技术印刷在一起;所述厚膜丝网印刷技术是气敏元件加工制作领域常用的一种技术;
如图3和图4所示,所述陶瓷基座1上设置有通孔11和穿过通孔11的印刷电极12,所述陶瓷基座1正面设置有加热电极印刷点15和测量电极印刷点16,所述陶瓷基座1背面设置有加热电极输入端13和测量电极输出端14,所述加热电极印刷点15和所述测量电极印刷点16通过所述印刷电极12分别连接所述加热电极输入端13和所述测量电极输出端14;
所述陶瓷片式气敏芯片2的加热电极25和测量电极26采用点胶机点金浆料或合金浆料的方式分别连接在所述陶瓷基座1的加热电极印刷点15和测量电极印刷点16上。
基于上述,所述陶瓷基座1正面设置有安装槽,所述安装槽内设置有加热电极支撑体和测量电极支撑体,所述加热电极印刷点15和所述测量电极印刷点16分别设置在所述加热电极支撑体和所述测量电极支撑体上;该结构利于加热电极25和测量电极26分别与加热电极印刷点15和测量电极印刷点16的连接,同时,也利于陶瓷片式气敏芯片2与陶瓷基座1物理结构的牢固。
在其它实施例中,所述陶瓷基座可以是供单气体气敏芯片连接也可以是供阵列式多气体气敏芯片连接的结构,所述陶瓷片式气敏芯片可以是单一气敏材料也可以是多种气敏材料组成的阵列印刷在陶瓷片上的结构,也就是说,本发明所述无引线陶瓷片式气敏元件可以是单气体检测元件也可以是阵列式多气体检测元件。
本发明在终端使用时,可采用SMT片式装配工艺,也可采用标准的插件连接,既可以卧式安装也可以立式安装,产品的外形尺寸减小,使用更加方便。
最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其限制;尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明,所属领域的普通技术人员应当理解:依然可以对本发明的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换;而不脱离本发明技术方案的精神,其均应涵盖在本发明请求保护的技术方案范围当中。

Claims (3)

1.一种无引线陶瓷片式气敏元件,其特征在于:该气敏元件包括有陶瓷基座和陶瓷片式气敏芯片;所述陶瓷片式气敏芯片包括有陶瓷基片、加热电阻、连接加热电阻的加热电极、隔离层、至少一种气敏材料和连接气敏材料的测量电极,所述陶瓷基片一侧与所述加热电阻一侧采用厚膜丝网印刷技术印刷在一起,所述加热电阻另一侧与所述隔离层一侧采用厚膜丝网印刷技术印刷在一起,所述隔离层另一侧与所述气敏材料一侧采用厚膜丝网印刷技术印刷在一起;所述陶瓷基座上设置有通孔和穿过通孔的印刷电极,所述陶瓷基座正面设置有加热电极印刷点和测量电极印刷点,所述陶瓷基座背面设置有加热电极输入端和测量电极输出端,所述加热电极印刷点和所述测量电极印刷点通过所述印刷电极分别连接所述加热电极输入端和所述测量电极输出端;所述陶瓷片式气敏芯片的加热电极和测量电极采用点胶机点金浆料或合金浆料的方式分别连接在所述陶瓷基座的加热电极印刷点和测量电极印刷点上。
2.根据权利要求1所述的无引线陶瓷片式气敏元件,其特征在于:所述陶瓷基座正面设置有安装槽,所述安装槽内设置有加热电极支撑体和测量电极支撑体,所述加热电极印刷点和所述测量电极印刷点分别设置在所述加热电极支撑体和所述测量电极支撑体上。
3.根据权利要求1或2所述的无引线陶瓷片式气敏元件,其特征在于:该气敏元件还包括有金属外壳,所述陶瓷基座和所述陶瓷片式气敏芯片封装在所述金属外壳里。
CN 201010271639 2010-09-03 2010-09-03 无引线陶瓷片式气敏元件 Active CN101975796B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201010271639 CN101975796B (zh) 2010-09-03 2010-09-03 无引线陶瓷片式气敏元件

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201010271639 CN101975796B (zh) 2010-09-03 2010-09-03 无引线陶瓷片式气敏元件

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101975796A true CN101975796A (zh) 2011-02-16
CN101975796B CN101975796B (zh) 2013-01-09

Family

ID=43575699

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201010271639 Active CN101975796B (zh) 2010-09-03 2010-09-03 无引线陶瓷片式气敏元件

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101975796B (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106018484A (zh) * 2016-07-13 2016-10-12 苏州纳格光电科技有限公司 半导体气体传感器芯片、传感器及传感器的制备方法
CN107703189A (zh) * 2017-10-14 2018-02-16 郑州炜盛电子科技有限公司 Mems气敏元件及模组的陶瓷封装

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001505998A (ja) * 1996-12-07 2001-05-08 セントラル リサーチ ラボラトリーズ リミティド 電気化学式電池
CN101059462A (zh) * 2007-05-21 2007-10-24 郑州炜盛电子科技有限公司 热线型气体传感器
US20080210576A1 (en) * 2005-07-14 2008-09-04 Nair Balakrishnan G Multilayer gas sensor having dual heating zones
CN101701928A (zh) * 2009-10-27 2010-05-05 武汉理工大学 纳米壁结构气敏传感器及其制备方法
CN201811933U (zh) * 2010-09-03 2011-04-27 郑州炜盛电子科技有限公司 无引线陶瓷片式气敏元件

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001505998A (ja) * 1996-12-07 2001-05-08 セントラル リサーチ ラボラトリーズ リミティド 電気化学式電池
US20080210576A1 (en) * 2005-07-14 2008-09-04 Nair Balakrishnan G Multilayer gas sensor having dual heating zones
CN101059462A (zh) * 2007-05-21 2007-10-24 郑州炜盛电子科技有限公司 热线型气体传感器
CN101701928A (zh) * 2009-10-27 2010-05-05 武汉理工大学 纳米壁结构气敏传感器及其制备方法
CN201811933U (zh) * 2010-09-03 2011-04-27 郑州炜盛电子科技有限公司 无引线陶瓷片式气敏元件

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
《电子元件与材料》 19961031 高官明等 用于氮化铝陶瓷基片的电子浆料 第41-45页 1-3 第15卷, 第5期 *

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106018484A (zh) * 2016-07-13 2016-10-12 苏州纳格光电科技有限公司 半导体气体传感器芯片、传感器及传感器的制备方法
CN107703189A (zh) * 2017-10-14 2018-02-16 郑州炜盛电子科技有限公司 Mems气敏元件及模组的陶瓷封装

Also Published As

Publication number Publication date
CN101975796B (zh) 2013-01-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20130069181A1 (en) Encapsulation structure for silicon pressure sensor
WO2020215654A1 (zh) 热线型气体传感器芯片、传感器及传感器的制备方法
CN101975803A (zh) 一种平面气体传感器及其制作方法
CN101975796B (zh) 无引线陶瓷片式气敏元件
CN201811933U (zh) 无引线陶瓷片式气敏元件
CN205720077U (zh) 半导体气体传感器及其封装结构
CN102842398B (zh) 一种片式陶瓷敏感元件的制备方法及其相应产品
CN206407909U (zh) 一种双面芯片及环境传感器
CN209930528U (zh) 自带独立测温线路的新型陶瓷加热片
CN209927762U (zh) 一种无引线单个陶瓷片式气体传感器
CN207908088U (zh) 陶瓷mems压力传感器
CN204286668U (zh) 压力传感器
CN207050858U (zh) 一种热释电红外探测器敏感元支撑基板
CN209310957U (zh) 具有印刷线路板的压容式陶瓷压力传感器
CN101059462A (zh) 热线型气体传感器
CN209927763U (zh) 一种片式气体传感器的陶瓷封装
CN113405697A (zh) 一种方形陶瓷电容式压力传感器
CN109946350B (zh) 一种无引线单个陶瓷片式气体传感器
CN102520018A (zh) 基于半导体氧化物敏感的集成化二氧化碳传感器
CN117191231B (zh) 陶瓷压力传感器及其制造方法
KR0173242B1 (ko) 칩형 후막형 가스센서
CN213600260U (zh) 一种高温节能型传感器
CN106872532A (zh) 一种贴片式半导体气体传感器
CN204189037U (zh) 拇指力控二维坐标跟踪定位组件
CN107764865A (zh) 一种阵列化、集成化的光增强型气体传感器及其制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant