CN101969476A - 用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法及系统 - Google Patents

Abstract

本发明提出一种用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法，包括：对以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口进行统一的接口设置，并配置每个仿真通道与实际物理通道的对应关系；对所述以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口进行初始化；接收所述以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口中一个或多个发送的数据，并对其进行转化。本发明通用性强，配置简单，易于与其他模块集成与分离的特点，而且克服了不同通信模式传输数据格式的归一化问题。并且，对于本发明的仿真系统开启多个设备同时运行的情况，系统运行良好。

Description

用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法及系统

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，特别涉及一种面向半导体制造装备功能仿真的通用可配置通讯模式管理方法及其系统。

背景技术

随着半导体行业的不断发展，半导体制造装备也越来越复杂。目前，在半导体制造装备中，半导体设备的控制端与设备端的通信模式可以分为以太网通信、串口通信、DeviceNet、数字IO与模拟IO几种。为了能对本发明有清楚的理解，以下对以上几种通讯模式进行简单介绍。

1、以太网通信模式

工业以太网在仿真过程中采用TCP通信协议。

2、串口通信模式

串口通信是在半导体制造装备平台中应用最为广泛的一种通信模式，包括RS485及RS232等。

3、数字IO通信模式

数字IO口通信模式在半导体制造装备的控制中，特别是设备的互锁功能中最为重要的通信模式。

4、模拟IO通信模式

模拟IO在半导体制造装备平台中应用也很广泛，因为大多数的设备IO输出信号都是模拟的，很多实际设备的工艺变化参数都是用模拟进行控制的。

5、DevieNet通信模式

在半导体制造装备平台中，广泛应用的另外一同通信方式为DeviceNet通信。DeviceNet通信模式采用CAN总线协议。CAN是Controller Area Network的缩写(以下称为CAN)，是ISO*1国际标准化的串行通信协议。在半导体制造装备中，各种各样的电子控制系统被开发了出来。由于这些系统之间通信所用的数据类型及对可靠性的要求不尽相同，由多条总线构成的情况很多，线束的数量也随之增加。为适应“减少线束的数量”、“通过多个LAN，进行大量数据的高速通信”的需要，1986年德国电气商博世公司开发出面向汽车的CAN通信协议。此后，CAN通过ISO11898及ISO11519进行了标准化。现在，CAN的高性能和可靠性已被认同，并被广泛地应用于工业自动化、船舶、医疗设备、工业设备等方面。

上述各个端口都有各自的特点，因此在半导体制造装备仿真过程中，如何对于这些复杂的通信接口进行有效的管理与配置成为了目前亟待解决的问题。另外，不仅要实现通信模式的统一化管理，另外对于系统性能也有很高要求。作为一个仿真系统，不能因为一个设备的通信过程出现问题就影响到其它设备的通信，设备与设备直接必须有比较好的隔离措施，即时一个设备的通信出现问题，其它仿真还应该能够继续正常接受数据，发送数据。

发明内容

本发明的主要目的是为了解决半导体设备通信模式的归一化配置管理的问题，提出一种新型的归一化通信模式管理方法，把半导体制造装备中复杂的通信模式封装为一种通用的通信模式。

为达到上述目的，本发明一方面提出一种用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法，包括以下步骤：对以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口进行统一的接口设置，并配置每个仿真通道与实际物理通道的对应关系；对所述以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口进行初始化；接收所述以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口中一个或多个发送的数据，并对其进行转化，其中，所述以太网通信接口、所述串口通信接口在接收到数据之后开启一个线程处理接收到的数据，且接收数据线程则继续监听端口；所述直接IO通信接口在接收到数据之后，判断此次接收的数据与之前的数据相比是否发生变化，如果判断发生变化则将其作为新数据向上层传输。

在本发明的一个实施例中，所述直接IO通信接口包括模拟IO通信接口和数字IO通信接口。

在本发明的一个实施例中，所述模拟IO通信接口通过判断前后两个数据的误差判断此次接收的数据与之前的数据相比是否发生变化。

在本发明的一个实施例中，对所述以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口配置板卡信息配置文件和板卡通道映射配置文件，所述板卡信息配置文件用于配置仿真系统所用板卡及板卡的通道数量信息，所述板卡通道映射配置文件用于描述板卡上每个通道被仿真系统中设备所占用的情况。

在本发明的一个实施例中，所述板卡信息配置文件和板卡通道映射配置文件为XML文件。

在本发明的一个实施例中，通信模式管理系统包括：标记特定IP通道接口，其中，接口参数提供了将于被标记的IP地址和端口号以及以太网卡的类型、序号，并提供使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，以及通道配置文件所在的路径；标记特定IO通道接口，其中，接口参数提供了将于被标记的板卡类型、板卡序号、通道号，并提供了使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，以及通道配置文件所在的路径；标记特定串口通道接口，其中，接口参数提供了串口板卡类型、串口通道名称、串口板卡序号，并提供了使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，以及通道配置文件所在的路径。

在本发明的一个实施例中，通信模式管理系统包括：查询特定端口使用情况接口，其中，接口参数提供了将要查询的板卡类型，板卡序号以及通道号，以及查询者的设备名称和子系统名称。

在本发明的一个实施例中，通信模式管理系统包括：通信协议配置结构体初始化接口，其中，所述接口提供通信协议所需要的配置数据，并以结构体对象的形式传给通信协议内部的结构体，对协议接口进行初始化。

在本发明的一个实施例中，通信模式管理系统包括：打开通信端口接口，其中，所述接口提供通信接口开启功能；关闭通信端口接口，其中，所述接口提供通信接口关闭功能；发送数据接口，其中，所述接口提供发送数据功能；传递接收数据接口，其中，所述接口为一个事件委托，当通信端口接收到数据后出发所述委托，向上层传递数据。

本发明另一方面还提出了一种用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理系统，包括：以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口；以及，与所述以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口对应的通信基类，所述通信基类包括串口通信子类、直接IO通信子类、以太网通信子类和DeviceNet通信子类，并为所述四个子类提供统一接口。

在本发明的一个实施例中，所述直接IO通信接口包括模拟IO通信接口和数字IO通信接口。

在本发明的一个实施例中，还包括：标记特定IP通道接口，其中，接口参数提供了将于被标记的IP地址和端口号以及以太网卡的类型、序号，并提供使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，以及通道配置文件所在的路径；标记特定IO通道接口，其中，接口参数提供了将于被标记的板卡类型、板卡序号、通道号，并提供了使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，以及通道配置文件所在的路径；标记特定串口通道接口，其中，接口参数提供了串口板卡类型、串口通道名称、串口板卡序号，并提供了使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，以及通道配置文件所在的路径。

在本发明的一个实施例中，还包括：查询特定端口使用情况接口，其中，接口参数提供了将要查询的板卡类型，板卡序号以及通道号，以及查询者的设备名称和子系统名称。

在本发明的一个实施例中，还包括：通信协议配置结构体初始化接口，其中，所述接口提供通信协议所需要的配置数据，并以结构体对象的形式传给通信协议内部的结构体，对协议接口进行初始化。

在本发明的一个实施例中，还包括：打开通信端口接口，其中，所述接口提供通信接口开启功能；关闭通信端口接口，其中，所述接口提供通信接口关闭功能；发送数据接口，其中，所述接口提供发送数据功能；传递接收数据接口，其中，所述接口为一个事件委托，当通信端口接收到数据后出发所述委托，向上层传递数据。

本发明通用性强，配置简单，易于与其他模块集成与分离的特点，而且克服了不同通信模式传输数据格式的归一化问题。并且，对于本发明的仿真系统开启多个设备同时运行的情况，系统运行良好。实验时给一个设备设置一个故障，该设备的通信中断，但是其它设备仍能够稳定运行，从而可以看出通过本发明保证了系统的稳定性。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为本发明实施例的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法流程图；

图2为本发明实施例的通信模式管理系统接口类关系结构图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。

本发明是基于Windows XP操作系统，采用Visual studio2008实现的。它可以完成半导体设备通信模式归一化配置管理功能，在配置界面可以配置各种通信模式的通信参数，在物理通道与仿真端口对应方面实现了可灵活配置的功能。当然本领域技术人员还可选择其他操作系统或其他程序语言基于本发明的方法步骤和系统结构实现，这些均应包含在本发明的保护范围之内。本发明所涉及的通讯子系统，需要考虑跨半导体制造装备中的通用性与针对性的问题，因此在实现方式上选择了单线程发送多线程数据接收的通信设计方案。

实际系统中使用的仿真系统程序是自主开发的基于C#的程序，针对半导体制造装备领域的通信类型，本发明只考虑以太网、串口、模拟IO、数字IO、DeviceNet等5种通信模式类型，这对于半导体制造领域来说已经够用了。另外，本发明考虑到将来的开发和发展，尽量将通信模块独立出来并向外提供统一的一个接口以方便和其他厂商或自身其他产品的兼容。

上面介绍的五种通信模式各有各的特点，为了便于该子系统与其他仿真子系统的集成，本发明实现了对通信模式的统一化管理，使得五种通信模式具有统一的对外接口。由于整个仿真平台需要做到通信接口的灵活可配置性，因此仿真过程开始之前需要配置每个仿真通道与实际物理通道的对应关系，IO通道的对应关系配置数据可通过XML文件存储。

如图1所示，为本发明实施例的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法流程图，其中，上述五种通信模式统一采用一种接口，提供给上层的调用过程也是相同的。该方法包括以下步骤：

步骤S101，对五种通信模式进行初始化，在本发明实施例中，对以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口配置板卡信息配置文件和板卡通道映射配置文件，板卡信息配置文件用于配置仿真系统所用板卡及板卡的通道数量信息，板卡通道映射配置文件用于描述板卡上每个通道被仿真系统中设备所占用的情况。优选地，板卡信息配置文件和板卡通道映射配置文件为XML文件。

由于仿真程序中出现的板卡、通道等信息必须与实际的物理板卡的通道对应上才有实际意义，因此本发明还实现了端口映射配置管理功能，负责对应仿真端口与实际物理端口之间的关系。端口映射管理功能分为两个XML配置文件。

1、板卡信息配置文件

板卡信息配置文件负责配置仿真系统所用板卡以及板卡的通道数量信息，配置信息保存在XML文件CardNumberConfig.xml中，XML文件格式如下：

板卡信息配置文件主要配置了包括板卡生产厂家、板卡名称、板卡类型、板卡数量、  板卡上面的通道数量等信息。在仿真程序初始化的时候会根据这些配置信息自动生成板卡通道映射初始文件。

2、板卡通道映射配置文件

板卡通道映射配置文件描述了板卡上面的每个通道被仿真系统中的设备所占用的情况。板卡通道映射配置文件保存在XML文件CardConfig.xml中，格式如下：

其中，为了便于对板卡通道映射配置文件的读写操作，判断设备端口是否与其他设备发生冲突，注册该设备已经使用的端口，该子系统封装了对XML文件的操作，提供了查询与标记接口。

步骤S102，打开通信端口。

步骤S103，判断是否接收到数据。如果判断未接收到数据，则执行步骤S105。

步骤S104，如果判断接收到数据，则进行数据处理。不同类型的通信处理模式不同，具体包括：

1、以太网通信模式管理方法

在仿真过程中可以对以太网接口配置IP地址和主机端口。为了避免接收数据的丢失，以太网类接收到数据之后都会开启一个线程去处理接收到的数据，而接收数据线程则继续监听端口，准备接收新的数据。由于是一个设备独占一个端口，因此发送数据的过程不再开启线程，单个设备内部对发送过程进行控制，不会出现两个数据同时发送的情况。

2、串口通信模式管理方法

在仿真过程中本发明可以配置串口的波特率、停止位、握手信号、数据位、校验方式等内容。为了避免接收数据的丢失，串口类接收到数据之后都会开启一个线程去处理接收到的数据，而接收数据线程则继续监听串口，准备接收新的数据。由于是一个设备独占一个端口，因此发送数据的过程不再开启线程，单个设备内部对发送过程进行控制，不会出现两个数据同时发送的情况。

3、模拟IO通信模式管理方法

在仿真过程中，仿真系统采用CPCI的模拟IO板卡，可以设置模拟IO的每个通道的电平范围，以及模拟IO通道与实际物理通道的对应关系。由于数字IO与模拟IO同属于直接IO，有很多共同点，因此采用与数字IO相同的管理方法。当接收到数据后，如果此数据与之前的数据相比发生了变化就表示有新的数据来到，需要向上层传输此新的数据。由于模拟IO口接收到的数据为模拟量，因此判断两个数据是否一致是根据他们的误差来判断的，如果前后两个数据的误差超过一定的范围就表示有新数据来到。

4、数字IO通信模式管理方法

仿真系统采用CPCI的数字IO板卡，可以设置数字IO的高低电平范围，以及IO通道与实际物理通道的对应关系。数字IO的每个线程负责一个板卡通道，当接收到数据后，如果此数据与之前的数据相比发生了变化就表示有新的数据来到，需要向上层传输此新的数据。

步骤S105，等待50ms。

步骤S106，判断端口是否关闭。如果判断端口未关闭，则返回步骤S103。

步骤S107，如果判断端口已关闭，则停止接收数据。

本发明的通信系统对外提供统一调用接口，在通信接口类的组织上是按照工厂方法的设计模式设计的，一个通信基类派生出4个通信子类，基类提供统一接口，子类提供具体通信模式的实现方法。如图2所示，为本发明实施例的通信模式管理系统接口类关系结构图。由于模拟IO与数字IO的相似性，因此用一个Direct_IO类负责这两种通信接口的管理，串口类Serialport实现对串口通信的管理，Ethernet类实现以太网通信的管理，DeviceNet实现DeviceNet的管理，同时四个通信接口类的管理是由通信管理类来实现的。上层对通信接口的调用只需要向通信接口管理类申请即可。

在本发明的一个实施例中，本发明的通信模式管理系统还包括：

1、标记特定IP通道接口

public static void SetChannelIP(string subsystem，string devicename，string IP，string adressport，string cardtype，string cardserialnum，string filepath)

其中，接口参数提供了将于被标记的IP地址与端口号以及以太网卡的类型，序号，提供了使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，最后一个文件路径参数是用来指出通道配置文件所在的路径。

2、标记特定IO通道接口

public static void SetChannelio(string subsystem，string devicename，string channel，string cardtype，string cardserialnum，string filepath)

其中，接口参数提供了将于被标记的板卡类型，板卡序号，通道号，提供了使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，最后一个文件路径参数是用来指出通道配置文件所在的路径。

3、标记特定串口通道接口

public static void SetChannel(string subsystem，string devicename，string channel，string cardtype，int cardserialnum，string filepath)

其中，接口参数提供了串口板卡类型、串口通道名称、串口板卡序号(由于只有一块板卡，此值为0)，提供了使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，最后一个文件路径参数是用来指出通道配置文件所在的路径。

4、查询特定端口使用情况接口

public static bool iscollision(string cardtype，string channel，string cardserialnum，string subsystemname，string devicename，string filepath)

其中，该接口参数提供了将要查询的板卡类型，板卡序号以及通道号，由于同一个设备的不同命令协议可以使用同一个串口或者以太网口，因此该接口还需要提供查询者的设备名称与子系统名称。

5、通信协议配置结构体初始化接口

public virtual void Init_Comm(object commobj)该接口提供了通信协议所需要的配置数据，以结构体对象的形式传给通信协议内部的结构体，对协议接口进行初始化。

6、打开通信端口接口

public virtual bool Open()提供通信接口开启功能，调用此函数后该通信协议所对应的端口开始接收数据。

7、关闭通信端口接口

public virtual bool Close()，提供通信接口关闭功能，调用此函数后通信协议所对应的端口停止接收数据。

8、发送数据接口

public virtual bool Comm_Send(string command，ArrayList comminfo)

该接口提供发送数据的功能，其中第一个参数表示需要发送的命令名称，第二个参数表示该命令所带的参数数据，以一个链表的形式给出。

9、传递接收数据接口

public delegate void EventHandler(object sender，InfoEventArgs e)

该接口是一个事件委托，当通信端口接收到数据后触发该委托，向上层传递数据。其中第一个参数表示触发该委托的对象，第二个参数表示接收的数据。

其中，通信模式管理方法及子系统数据结构设计如下：

1、以太网通信接口配置数据结构

在实例化一个以太网接口的时候，读取此XML文件，把socket的端口绑定在m_port所表示的端口，IP地址为m_ipaddress所表示的IP地址，数据结构中的数据是在统一接口界面上配置的。

IPAddress ip＝IPAddress.Parse(tcpconf.m_ipaddress)；

IPEndPoint ipep＝new IPEndPoint(ip，int.Parse(tcpconf.m_port))

listenSocket.Listen(10)

listenSocket.Bind(ipep)；

首先根据m_ipaddress产生IP地址，然后根据m_port产生端口，最后就可设定监听间隔，绑定端口，开始接收数据等操作。

2、串口通信接口配置数据结构

在界面上配置号串口物理参数后保存到XML文件中，实例化串口类的时候需要根据配置文件中的数据配置串口实例。配置参数包括端口、波特率、数据位、停止位、校验位、握手信号类型、结束标志等。

3、直接IO(包括模拟IO与数字IO)通信接口配置数据结构

在数字IO配置数据结构中，有通信实例的名称，通道，板卡号，通道类型(DI/DO)等信息。其中hhvrange表示数字通道为1是的最高电平，hlvrange表示数字通道为1时的最低电平；lhvrange表示数字通道为0时的最高电平，llvrange表示数字通道为0是的最低电平。实例化数字IO通信类的时候需要此配置数据与通道对应关系文件配合使用完成硬件与软件之间的连接。模拟通道与数字IO通道类似，用hhvrange与hlvrange表示通道电压范围，其他两项不用。

4、DeviceNet通信接口配置数据结构

在DeviceNet通信类实例化过程中需要配置实例名称，板卡和、波特率、物理地址等参数。

本发明通用性强，配置简单，易于与其他模块集成与分离的特点，而且克服了不同通信模式传输数据格式的归一化问题。并且，对于本发明的仿真系统开启多个设备同时运行的情况，系统运行良好，实验时给一个设备设置一个故障，该设备的通信中断，但是其它设备仍能够稳定运行，从而可以看出通过本发明保证了系统的稳定性。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同限定。

Claims (15)

1.一种用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法，其特征在于，包括以下步骤：

对以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口进行统一的接口设置，并配置每个仿真通道与实际物理通道的对应关系；

对所述以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口进行初始化；

接收所述以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口中一个或多个发送的数据，并对其进行转化，其中，所述以太网通信接口、所述串口通信接口在接收到数据之后开启一个线程处理接收到的数据，且接收数据线程则继续监听端口；所述直接IO通信接口在接收到数据之后，判断此次接收的数据与之前的数据相比是否发生变化，如果判断发生变化则将其作为新数据向上层传输。

2.如权利要求1所述的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法，其特征在于，所述直接IO通信接口包括模拟IO通信接口和数字IO通信接口。

3.如权利要求2所述的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法，其特征在于，所述模拟IO通信接口通过判断前后两个数据的误差判断此次接收的数据与之前的数据相比是否发生变化。

4.如权利要求1所述的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法，其特征在于，对所述以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口配置板卡信息配置文件和板卡通道映射配置文件，所述板卡信息配置文件用于配置仿真系统所用板卡及板卡的通道数量信息，所述板卡通道映射配置文件用于描述板卡上每个通道被仿真系统中设备所占用的情况。

5.如权利要求4所述的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法，其特征在于，所述板卡信息配置文件和板卡通道映射配置文件为XML文件。

6.如权利要求1所述的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法，其特征在于，通信模式管理系统包括：

标记特定IP通道接口，其中，接口参数提供了将于被标记的IP地址和端口号以及以太网卡的类型、序号，并提供使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，以及通道配置文件所在的路径；

标记特定IO通道接口，其中，接口参数提供了将于被标记的板卡类型、板卡序号、通道号，并提供了使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，以及通道配置文件所在的路径；

标记特定串口通道接口，其中，接口参数提供了串口板卡类型、串口通道名称、串口板卡序号，并提供了使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，以及通道配置文件所在的路径。

7.如权利要求6所述的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法，其特征在于，通信模式管理系统包括：

查询特定端口使用情况接口，其中，接口参数提供了将要查询的板卡类型，板卡序号以及通道号，以及查询者的设备名称和子系统名称。

8.如权利要求6所述的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法，其特征在于，通信模式管理系统包括：

通信协议配置结构体初始化接口，其中，所述接口提供通信协议所需要的配置数据，并以结构体对象的形式传给通信协议内部的结构体，对协议接口进行初始化。

9.如权利要求6所述的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理方法，其特征在于，通信模式管理系统包括：

打开通信端口接口，其中，所述接口提供通信接口开启功能；

关闭通信端口接口，其中，所述接口提供通信接口关闭功能；

发送数据接口，其中，所述接口提供发送数据功能；

传递接收数据接口，其中，所述接口为一个事件委托，当通信端口接收到数据后出发所述委托，向上层传递数据。

10.一种用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理系统，其特征在于，包括：

以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口；

以及，与所述以太网通信接口、串口通信接口、直接IO通信接口和DeviceNet通信接口对应的通信基类，所述通信基类包括串口通信子类、直接IO通信子类、以太网通信子类和DeviceNet通信子类，并为所述四个子类提供统一接口。

11.如权利要求10所述的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理系统，其特征在于，所述直接IO通信接口包括模拟IO通信接口和数字IO通信接口。

12.如权利要求10所述的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理系统，其特征在于，还包括：

标记特定IP通道接口，其中，接口参数提供了将于被标记的IP地址和端口号以及以太网卡的类型、序号，并提供使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，以及通道配置文件所在的路径；

标记特定IO通道接口，其中，接口参数提供了将于被标记的板卡类型、板卡序号、通道号，并提供了使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，以及通道配置文件所在的路径；

标记特定串口通道接口，其中，接口参数提供了串口板卡类型、串口通道名称、串口板卡序号，并提供了使用此端口的设备名称和该设备所在子系统的名称，以及通道配置文件所在的路径。

13.如权利要求12所述的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理系统，其特征在于，还包括：

查询特定端口使用情况接口，其中，接口参数提供了将要查询的板卡类型，板卡序号以及通道号，以及查询者的设备名称和子系统名称。

14.如权利要求12所述的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理系统，其特征在于，还包括：

通信协议配置结构体初始化接口，其中，所述接口提供通信协议所需要的配置数据，并以结构体对象的形式传给通信协议内部的结构体，对协议接口进行初始化。

15.如权利要求12所述的用于半导体制造设备仿真的通讯模式管理系统，其特征在于，还包括：

打开通信端口接口，其中，所述接口提供通信接口开启功能；

关闭通信端口接口，其中，所述接口提供通信接口关闭功能；

发送数据接口，其中，所述接口提供发送数据功能；

传递接收数据接口，其中，所述接口为一个事件委托，当通信端口接收到数据后出发所述委托，向上层传递数据。

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