CN101937361A - 一种仿真子系统的构建及管理方法和装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种仿真子系统的构建及管理方法，包括：创建仿真子系统，并配置所述仿真子系统的属性，所述仿真子系统的属性包括所述仿真子系统内部的仿真设备及所述仿真设备之间的耦合关系；配置完成后，保存所述仿真子系统；和接收仿真控制命令，并根据所述仿真控制命令控制所述仿真子系统执行相应的仿真动作。本发明还公开了一种仿真子系统的构建及管理装置，包括配置模块、保存模块和控制模块。本发明的仿真子系统的构建及管理方法及装置，可根据仿真需求，配置所需仿真的相关设备及其相关组合子系统，可以根据不同的项目所需要的硬件不同，灵活配置仿真子系统的属性，满足不同的项目需求。

Description

一种仿真子系统的构建及管理方法和装置

技术领域

本发明涉及计算机应用技术及半导体领域，特别涉及一种仿真子系统的构建及管理方法和装置。

背景技术

随着集成电路芯片集成度的不断提升和芯片功能的不断提高，人们对工艺的要求越来越高。在半导体制造装备的研究、开发和测试工作中，包括硬件和软件的研发。开发软件中大部分是设备控制软件，这些软件在进行测试时，需要首先在仿真环境下进行验证，而单纯为某一个项目开发软件测试平台不仅耗时过大而且可重用性很差，为了提高软件测试的效率和准确定位系统所存在问题，迫切需要一个通用的软件测试平台系统。需要提供各项目使用的所有硬件的仿真程序，使开发出来的软件能在此基础之上运行，从而进行测试。

在半导体制造装备的研究、开发和测试工作中，仿真具有重要作用。一方面，由于生产过程控制本身的复杂性，对理论研究不断提出新的要求，而理论研究需提高设备的利用率。要借助于仿真工具；另一方面，面对各种系统控制软件包，需要现成的仿真平台，全面反映算法在实际生产运行中的效果，得到有指导意义的算法改进策略、参数在线调整方法等。仿真平台的使用，能够准确测试设备控制系统软件，可以减少控制系统软件执行与集成电路制造工艺过程的失败，能解决集成电路工艺设备的工艺稳定性，工艺可靠性，减少设备维修时间，最大程度的提高设备的利用率。

现有的仿真子系统的构建及管理装置从功能上讲，主要负责整个系统的管理，搭建以及仿真控制，提供系统级的配置和编辑功能。系统层主要分为系统管理模块、仿真模块。

具体的说，系统管理模块包括配置系统功能子模块和创建子系统耦合关系功能子模块。

其中，配置系统功能子模块主要功能包括：

1)添加系统：用户在界面中输入系统名称添加一个新的系统；

2)编辑系统：在添加系统列表中可以对已添加的系统进行修改和删除；

3)保存系统：用户可以选保存按钮把添加的系统存到XML文件中。

创建子系统耦合关系功能子模块主要功能包括：

添加：

1)根据创建的子系统列表选取需要设定耦合关系的子系统。

2)选取子系统之后，添加耦合关系名称，新的耦合关系名称会添加进耦合关系名称列表。

3)根据创建的耦合关系列表选取需要配置的耦合关系的动作

4)选取子系统内的设备以及此设备接收的命令。

5)设置动作的步骤数目(将耦合动作细化为一些步骤，每一步骤都对应一个耦合动作类型)

6)配置创建完成的每一个步骤。仿真平台中将耦合动作类型分为了3类，包括设备行为、耦合行为条件、延迟等待。每一类都有需要配置的内容，如下：

61)配置设备行为：该类型是直接执行指定设备的Action。

62)配置动作条件：该类型是判断设备属性达到什么要求的时候执行下一步骤，判断的条件可以组合，判断之后的行为分为then和else(例如：设备MFC的流速大于1000时，执行步骤2，否则执行步骤3)。配置的内容包括：设备属性(根据创建的设备属性列表来选取)、条件判断(＜，＞，＝＝，＜＝，＝＞)、属性值(需要用户指定)、逻辑关系(and，or，xor)。即可以将很多条件判断组合成一种条件判断)、then Step、Else Step。新的动作条件添加进动作条件列表。

63)配置延迟等待：该类型是执行动作等待相应时间。配置的内容包括：等待时间(需要执行等待多长时间，单位为ms)、下一步执行的步骤(选取下一步执行的步骤)。

7)新的耦合动作会添加进耦合动作列表中。

编辑：创建完成之后可以对添加耦合动作中的任何一步进行编辑。

删除：可以在耦合动作名称列表、动作条件列表中删除添加的内容。

保存：将耦合动作保存成XML文件。配置设备参数子模块：保存用户配置的设备参数，放到一个容器配置控制命令子模块：将用户配置的命令放到容器中对应设备参数的位置

系统层还包括仿真模块。仿真模块的主要功能为通过仿真状态管理接口实现对仿真的控制，包括启动仿真，停止仿真，单步仿真，仿真模块还完成了对控制端通信的管理功能，控制端通过底层接口卡发送命令给仿真系统，然后通过通信管理接口把命令下发给对应的设备，实现对命令的分发功能，此外通过设备间通信的管理接口处理仿真运行期的设备间互相关联操作。操作定义就是在设计模块中完成的。

上述仿真子系统的构建及管理装置无法根据不同的制造装备的要求对仿真子系统进行配置，无法满足不同项目的不同硬件的需求，配置的灵活性差。

发明内容

本发明的目的旨在至少解决上述技术缺陷之一，特别提出了一种仿真子系统的构建及管理方法和装置，以适用于面向装备控制软件测试的不同制造装备的仿真系统，并且可以根据不同的仿真需求，灵活配置仿真子系统的属性。

为达到上述目的，本发明一方面提出了一种仿真子系统的构建及管理方法，包括如下步骤：

创建仿真子系统，并配置所述仿真子系统的属性，所述仿真子系统的属性包括所述仿真子系统内部的仿真设备及所述仿真设备之间的耦合关系，其中，配置仿真子系统内部的仿真设备还包括：

配置所述仿真设备的属性，所述仿真设备的属性包括所述仿真设备的名称、类型和通讯端口，

将配置完成的仿真设备添加到所述仿真子系统；

配置完成后，保存所述仿真子系统；和

接收仿真控制命令，并根据所述仿真控制命令控制所述仿真子系统执行相应的仿真动作。

根据本发明实施例的仿真子系统的构建及管理方法，可根据仿真需求，配置需要仿真的相关设备及其相关组合子系统。仿真子系统经过配置后可适用于面向装备控制软件测试用的不同制造装备的仿真系统，并且可以根据不同的项目所需要的硬件不同，灵活配置仿真子系统的属性，满足不同的项目需求。

本发明另一方面提出了一种仿真子系统的构建及管理装置，包括：

配置模块，用于创建仿真子系统，并配置所述仿真子系统的属性，所述仿真子系统的属性包括所述仿真子系统内部的仿真设备及所述仿真设备之间的耦合关系，其中，配置模块配置仿真子系统内部的仿真设备还包括：

所述配置模块配置所述仿真设备的属性，所述仿真设备的属性包括所述仿真设备的名称、类型和通讯端口，

所述配置模块将配置完成的仿真设备添加到所述仿真子系统；

保存模块，用于保存所述配置后的仿真子系统；和

控制模块，用于接收仿真控制命令，并根据所述仿真控制命令控制所述仿真子系统执行相应的仿真动作。

根据本发明实施例的仿真子系统的构建及管理装置，可根据仿真需求，配置所需仿真的相关设备及其相关组合子系统。仿真子系统经过配置后可适用于面向装备控制软件测试用的不同制造装备的仿真系统，并且可以根据不同的项目所需要的硬件不同，灵活配置仿真子系统的属性，满足不同的项目需求。

本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明上述的和/或附加的方面和优点从下面结合附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1为根据本发明实施例的仿真子系统的构建及管理方法的流程图；

图2为图1中仿真子系统的构建及管理方法的实施流程图；

图3为根据本发明实施例的配置并保存仿真子系统的流程图；

图4为根据本发明实施例的配置仿真子系统的管理界面示意图；

图5为图4中仿真子系统的右键菜单界面示意图；

图6为根据本发明实施例的添加仿真子系统界面示意图；

图7为根据本发明实施例的向仿真子系统添加仿真设备界面示意图；

图8为根据本发明实施例的添加仿真系统界面示意图；

图9为根据本发明实施例的向仿真系统中添加仿真子系统界面示意图；

图10为根据本发明实施例的配置仿真子系统耦合关系界面示意图；

图11为根据本发明实施例的添加仿真子系统添加耦合动作界面示意图；

图12为根据本发明实施例的配置仿真子系统耦合动作界面示意图；

图13为图12中配置仿真子系统耦合动作延时动作界面示意图；

图14为图12中配置仿真子系统耦合动作执行动作配置界面示意图；

图15为图12中配置仿真子系统耦合动作条件判断动作配置界面示意图；

图16为根据本发明实施例的配置完成后的仿真子系统的管理界面示意图；

图17为图16中仿真子系统的右键菜单界面示意图；

图18为根据本发明实施例的控制仿真子系统执行仿真的流程图；

图19为根据本发明实施例的仿真子系统运行启动前的管理界面示意图；

图20为根据本发明实施例的仿真子系统运行启动过程中的管理界面示意图；和

图21为根据本发明实施例的仿真子系统的构建及管理装置的示意图。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。

为了更好的理解本发明，下面参考附图描述根据本发明实施例的仿真子系统的构建及管理方法。在下面的描述中，以面向半导体制造装备功能的仿真系统为例，需要理解的是本发明并不限于用于向半导体制造装备功能的仿真系统。

如图1、2所示，本发明实施例的仿真子系统的构建及管理方法，包括如下步骤：

S101：创建仿真子系统，并配置仿真子系统的属性；

首先创建仿真子系统，然后配置仿真子系统的属性。结合图3所示，配置仿真子系统的属性包括配置仿真子系统内部的仿真设备及仿真设备之间的耦合关系。

图4示出了仿真子系统管理界面。在图4中，Subsystem选项用于创建仿真子系统，Device用于向仿真子系统添加设备，CouplingCondition用于设置仿真子系统内部设备耦合条件的，CouplingRelationshi用于设置仿真子系统内部耦合关系执行动作的。其中，左边的树状列表为对仿真子系统配置结束之后将所配置的所有仿真子系统以树状结构显示的地方，而右边的空白为查看的位置。根据选择左边树状结构的子系统会在右边显示该设备相应的相关信息。右键点击对应的仿真子系统会出现一个右键选项，可以方便用户操作，如图5所示。

下面结合仿真子系统管理界面具体描述创建并配置仿真子系统的属性的过程。

S1011：创建仿真子系统

首先，创建仿真子系统，并对该仿真子系统命名。然后将创建完成的仿真子系统添加到子系统列表中。在添加的过程中，用户可以随时对仿真子系统进行处理，包括编辑或者删除子系统。

基于图4中的仿真子系统管理界面创建仿真子系统，点击subsystem菜单下的edit子菜单，在弹出的窗口中添加仿真子系统，对该仿真子系统命名。点击ADD按钮，将仿真子系统添加到右边的子系统列表中，添加过程中可以随时编辑或者删除子系统。添加完仿真子系统点击Save按钮进行保存，点击Cancel按钮取消这次操作。如果点击save按钮，对话框关闭后配置完成的子系统会显示在左边的子系统树种。如图6所示，在文本框中写入仿真子系统名称sub1，点击add按钮，仿真子系统名称sub1出现在右边的仿真子系列表中。

S1012：配置仿真子系统的属性

其中，仿真子系统的属性包括仿真子系统内部的仿真设备及仿真设备之间的耦合关系。

(1)配置仿真子系统内部的仿真设备

具体而言，配置仿真子系统内部的仿真设备包括：配置仿真设备的属性并将配置完成的仿真设备添加到所述仿真子系统。其中，仿真设备的属性包括仿真设备的名称、类型和通讯端口。

结合图4和图7所示，基于图4中的仿真子系统管理界面创建仿真子系统，点击Device菜单下面的Adddevice菜单，进入添加仿真设备界面。在弹出的窗口中可以选择要添加仿真设备的仿真子系统，然后选择添加仿真设备的名称、仿真设备所属类型并为该仿真设备的每条命令配置相应的通讯端口。点击Ok按钮，继续选择其他命令，一个设备配置完成后就可以点击Add按钮把设备添加到仿真子系统，并在右边的列表中显示出来。在右边的列表中也可以点击remove按钮删除子系统的一个设备。最后点击save按钮保存配置，点击cancel按钮可以取消本次配置操作。

将仿真设备添加到仿真子系统后，需要进一步将仿真子系统添加到相应的仿真系统中。

首先，添加并选取仿真子系统相应的仿真系统。结合图4和图8所示，点击system菜单下的添加菜单，弹出添加系统窗口。输入仿真统名称，点击ADD按钮把仿真系统添加到右边的列表中，列表中的仿真系统还可以进行修改和删除。设置完成后点击save按钮进行保存并退出界面，点击cancel按钮退出本次设置。退出窗口后，配置完成的仿真系统名称会出现在主窗口左边系统树节点上。

然后向该仿真系统中添加仿真子系统。结合图8和图9所示，点击Addsubsystem菜单，可以向仿真系统中添加仿真子系统。选择要添加子系统的系统名称，然后在子系统列表中选择要添加的子系统，点击ADD按钮添加到右边的列表中，在列表中可以删除一个仿真子系统。设置完成后点击save按钮保存本次设置，如果点击cancel按钮则退出窗口，取消本次设置。

(2)配置仿真设备之间的耦合关系。

首先，创建耦合关系列表，然后从耦合关系列表中，选取耦合关系对所述仿真设备的进行配置。

其中，选取耦合关系对仿真设备进行配置包括：

配置仿真设备的耦合条件和对应耦合条件的耦合命令；

根据耦合条件和耦合命令，配置仿真设备的耦合动作。

(21)配置仿真设备的耦合条件和耦合命令

首先选择仿真子系统，然后选择该仿真子系统内部的仿真设备，配置该仿真备的耦合条件以及满足该耦合条件后发送的耦合命令。

结合图4和图10所示，点击couplingcondition按钮，进入仿真子系统设备耦合关系配置界面。选择仿真子系统名，然后选择该仿真子系统内部的仿真设备，配置仿真设备的耦合条件，点击添加判断条件组件框中的add按钮，配置的添加会显示在后边的列表中。然后在组件do action中选择满足这个耦合条件后发送的耦合命令，点击组件中的add按钮保存设置。在右边的列表中可以删除或者修改刚才的设置。点击save按钮，可以继续配置其他仿真备的耦合条件，如果选择的quit选项，点击save按钮会推出配置界面。

(22)配置仿真设备的耦合动作

首先选择配置的耦合动作的名称，选择与该耦合动作对应的仿真设备与仿真设备的耦合命令。然后配置该耦合动作的步骤数目，根据步骤数目，配置每一步骤的耦合动作类型。其中，耦合动作类型包括：耦合动作的延迟、耦合动作的条件判断和耦合动作的执行。完成上述对耦合动作的配置后，保存该耦合动作。

在本发明的一个实施例中，采用XML格式保存该耦合动作。

结合图10和11所示，点击couplingrelationship菜单，添加仿真子系统的耦合动作。当添加耦合动作完毕后可以切换到第二个tab页面，如图12所示。具体操作流程如下：

选择配置完成的耦合动作名称；选择耦合动作对应的仿真设备与仿真设备的耦合命令；设备耦合动作执行的步骤数量，并点击OK按钮；在stepno下拉框中选择耦合步骤，然后选择动作类型；配置完毕后点击Add按钮添加到右边的列表中；点击save按钮可以保存本次设置，并可以继续设置其他的耦合动作；如果点击了quit选项，点击save按钮将退出设置界面。

下面结合图13-15描述三种不同的耦合动作类型。

A：耦合动作类型为延时

结合图12和13所示，选择延时按钮，弹出如图13的对话框。然后设置延时时间，以毫秒为单位。设置完毕后点击save按钮保存本次设置并退出对话框。

B：耦合动作类型为执行耦合动作

结合图12和14所示，选择执行动作按钮，弹出如图14的对话框，执行设备的耦合动作。选择设备，选择设备的动作，点击OK按钮退出设置界面，点击cancel按钮取消本次设置。

C：耦合动作类型为判断耦合条件

结合图12和15所示，设置条件判断动作。依次选择仿真设备，仿真设备参数，耦合条件，耦合条件为真时执行的动作Thenstep，条件为假时执行的动作Elsestep。点击ADD按钮添加到右边的列表中，点击OK按钮退出设备页面，点击Cancel按钮取消本次设置。

由此，完成了对仿真子系统的内部的仿真设备及仿真设备之间的耦合关系相关属性的配置。

图16示出了仿真子系统配置完成后的系统配置管理界面。在SystemManagerPage，上方工具栏是系统配置功能按钮，System选项为创建仿真系统，Addsubsystem为向仿真系统添加子仿真系统，系统配置结束之后将所配置的所有仿真系统以树状结构显示在左边的树状结构中，而右边的空白是查看的位置，根据选择左边树状结构的系统会在右边显示该设备相应的相关信息。右键点击对应的系统会出现一个右键选项，可以方便用户操作，如图17所示。

S102：配置完成后，保存仿真子系统；

在步骤101对仿真子系统配置完成的基础上，保存上述仿真子系统。

在本发明的一个实施例中，仿真子系统以XML格式进行保存。

S103：接收仿真控制命令，并根据仿真控制命令控制仿真子系统执行相应的仿真动作。

图18示出了控制仿真子系统执行仿真的流程图。如图18所示，首先，接收来自外部的仿真控制命令，根据接收到仿真控制命令，选取仿真子系统内相应的仿真设备。然后检查仿真设备内的工作端口是否冲突。

如果仿真设备的工作端口无冲突，则将仿真控制命令通过通信管理接口发送到相应的仿真设备；否则结束仿真。

当仿真设备的工作端口无冲突时，仿真设备开始运行，并将仿真设备的工作端口进行初始化。初始化后，将接收到的仿真控制命令与相应的工作端口绑定。根据控制命令触发事件进行相应的耦合动作处理，解析数据执行耦合动作，直至所有的控制命令均已完成，则结束仿真。

结合图19-20所示，当启动仿真子系统开始仿真时，可以接收和发送命令并执行相关动作了，同时在右边的表格中会列出该子系统配置的所有参数信息，能够做到及时刷新这些参数状态。同样，如果需要停止或者退出该子系统运行，点击右键的相关菜单即可。运行前界面如图19所示。

在仿真子系统运行之前，在左边的树状结构中会将配置好的子系统列举出来，需要运行某个子系统时只需要右键点击树状结构中的子系统名称，点击菜单中的Run即可。点击Run之后如图20所示。

当点击Run之后，会弹出一个窗口提示用户已经启动仿真子系统，可以接收和发送命令并执行相关动作了，同时在右边的表格中会列出该仿真子系统包含的所有设备以及设备配置的所有参数信息，能够做到及时刷新这些参数状态。同样，如果需要停止或者退出该子系统运行，点击右键的相关菜单即可。

仿真子系统运行仿真主要完成子系统的动态仿真功能，仿真设备接收到数据并执行相应的动作，改变仿真设备的参数值，然后触发仿真子系统的耦合关系进行相应的处理，最后主系统界面以表格的形式动态显示仿真子系统内各个设备的参数值。

根据本发明实施例的仿真子系统的构建及管理方法，可根据仿真需求，配置需要仿真的相关设备及其相关组合子系统。仿真子系统经过配置后可适用于面向装备控制软件测试用的不同制造装备的仿真系统，并且可以根据不同的项目所需要的硬件不同，灵活配置仿真子系统的属性，满足不同的项目需求。

本发明实施例还提出了一种仿真子系统的构建及管理装置。如图21所示，该装置100包括配置模块110、保存模块120和控制模块130。

配置模块110首先创建仿真子系统，然后配置仿真子系统的属性。结合图3所示，配置仿真子系统的属性包括配置仿真子系统内部的仿真设备及仿真设备之间的耦合关系。

本发明实施例种仿真子系统的构建及管理装置100还包括用户界面模块140。该用户界面模块140可以输入配置模块110、保存模块120和控制模块130执行过程的参数，并以界面形式显示执行结果。

图4示出了仿真子系统管理界面。在图4中，Subsystem选项用于创建仿真子系统，Device用于向仿真子系统添加设备，CouplingCondition用于设置仿真子系统内部设备耦合条件的，CouplingRelationshi用于设置仿真子系统内部耦合关系执行动作的。其中，左边的树状列表为对仿真子系统配置结束之后将所配置的所有仿真子系统以树状结构显示的地方，而右边的空白为查看的位置。根据选择左边树状结构的子系统会在右边显示该设备相应的相关信息。右键点击对应的仿真子系统会出现一个右键选项，可以方便用户操作，如图5所示。

下面结合仿真子系统管理界面具体描述配置模块110创建并配置仿真子系统的属性的过程。

首先，配置模块110创建仿真子系统，并对该仿真子系统命名。然后将创建完成的仿真子系统添加到子系统列表中。在添加的过程中，用户可以随时对仿真子系统进行处理，包括编辑或者删除子系统。

基于图4中的仿真子系统管理界面创建仿真子系统，点击subsystem菜单下的edit子菜单，在弹出的窗口中添加仿真子系统，对该仿真子系统命名。点击ADD按钮，将仿真子系统添加到右边的子系统列表中，添加过程中可以随时编辑或者删除子系统。添加完仿真子系统点击Save按钮进行保存，点击Cancel按钮取消这次操作。如果点击save按钮，对话框关闭后配置完成的子系统会显示在左边的子系统树种。如图6所示，在文本框中写入仿真子系统名称sub1，点击add按钮，仿真子系统名称sub1出现在右边的仿真子系列表中。

然后配置模块110配置仿真子系统的属性。其中，仿真子系统的属性包括仿真子系统内部的仿真设备及仿真设备之间的耦合关系。

(1)配置模块110配置仿真子系统内部的仿真设备

具体而言，配置仿真子系统内部的仿真设备包括：配置仿真设备的属性并将配置完成的仿真设备添加到所述仿真子系统。其中，仿真设备的属性包括仿真设备的名称、类型和通讯端口。

结合图4和图7所示，基于图4中的仿真子系统管理界面创建仿真子系统，点击Device菜单下面的Adddevice菜单，进入添加仿真设备界面。在弹出的窗口中可以选择要添加仿真设备的仿真子系统，然后选择添加仿真设备的名称、仿真设备所属类型并为该仿真设备的每条命令配置相应的通讯端口。点击Ok按钮，继续选择其他命令，一个设备配置完成后就可以点击Add按钮把设备添加到仿真子系统，并在右边的列表中显示出来。在右边的列表中也可以点击remove按钮删除子系统的一个设备。最后点击save按钮保存配置，点击cancel按钮可以取消本次配置操作。

配置模块110将仿真设备添加到仿真子系统后，需要进一步将仿真子系统添加到相应的仿真系统中。

首先，配置模块110添加并选取仿真子系统相应的仿真系统。结合图4和图8所示，点击system菜单下的添加菜单，弹出添加系统窗口。输入仿真统名称，点击ADD按钮把仿真系统添加到右边的列表中，列表中的仿真系统还可以进行修改和删除。设置完成后点击save按钮进行保存并退出界面，点击cancel按钮退出本次设置。退出窗口后，配置模块110配置完成的仿真系统名称会出现在主窗口左边系统树节点上。

然后配置模块110向该仿真系统中添加仿真子系统。结合图8和图9所示，点击Addsubsystem菜单，可以向仿真系统中添加仿真子系统。选择要添加子系统的系统名称，然后在子系统列表中选择要添加的子系统，点击ADD按钮添加到右边的列表中，在列表中可以删除一个仿真子系统。设置完成后点击save按钮保存本次设置，如果点击cancel按钮则退出窗口，取消本次设置。

(2)配置模块110配置仿真设备之间的耦合关系。

首先，配置模块110创建耦合关系列表，然后从耦合关系列表中，选取耦合关系对所述仿真设备的进行配置。

其中，配置模块110选取耦合关系对仿真设备进行配置包括：

配置仿真设备的耦合条件和对应耦合条件的耦合命令；

根据耦合条件和耦合命令，配置仿真设备的耦合动作。

(21)配置模块110配置仿真设备的耦合条件和耦合命令

首先配置模块110选择仿真子系统，然后选择该仿真子系统内部的仿真设备，配置该仿真备的耦合条件以及满足该耦合条件后发送的耦合命令。

结合图4和图10所示，点击couplingcondition按钮，进入仿真子系统设备耦合关系配置界面。选择仿真子系统名，然后选择该仿真子系统内部的仿真设备，配置仿真设备的耦合条件，点击添加判断条件组件框中的add按钮，配置的添加会显示在后边的列表中。然后在组件do action中选择满足这个耦合条件后发送的耦合命令，点击组件中的add按钮保存设置。在右边的列表中可以删除或者修改刚才的设置。点击save按钮，可以继续配置其他仿真备的耦合条件，如果选择的quit选项，点击save按钮会推出配置界面。

(22)配置模块110配置仿真设备的耦合动作

首先配置模块110选择配置的耦合动作的名称，选择与该耦合动作对应的仿真设备与仿真设备的耦合命令。然后配置该耦合动作的步骤数目，根据步骤数目，配置每一步骤的耦合动作类型。其中，耦合动作类型包括：耦合动作的延迟、耦合动作的条件判断和耦合动作的执行。完成上述对耦合动作的配置后，保存该耦合动作。

在本发明的一个实施例中，采用XML格式保存该耦合动作。

结合图10和11所示，点击couplingrelationship菜单，添加仿真子系统的耦合动作。当添加耦合动作完毕后可以切换到第二个tab页面，如图12所示。具体操作流程如下：

选择配置完成的耦合动作名称；选择耦合动作对应的仿真设备与仿真设备的耦合命令；设备耦合动作执行的步骤数量，并点击OK按钮；在stepno下拉框中选择耦合步骤，然后选择动作类型；配置完毕后点击Add按钮添加到右边的列表中；点击save按钮可以保存本次设置，并可以继续设置其他的耦合动作；如果点击了quit选项，点击save按钮将退出设置界面。

下面结合图13-15描述三种不同的耦合动作类型。

A：耦合动作类型为延时

结合图12和13所示，选择延时按钮，弹出如图13的对话框。然后设置延时时间，以毫秒为单位。设置完毕后点击save按钮保存本次设置并退出对话框。

B：耦合动作类型为执行耦合动作

结合图12和14所示，选择执行动作按钮，弹出如图14的对话框，执行设备的耦合动作。选择设备，选择设备的动作，点击OK按钮退出设置界面，点击cancel按钮取消本次设置。

C：耦合动作类型为判断耦合条件

结合图12和15所示，设置条件判断动作。依次选择仿真设备，仿真设备参数，耦合条件，耦合条件为真时执行的动作Thenstep，条件为假时执行的动作Elsestep。点击ADD按钮添加到右边的列表中，点击OK按钮退出设备页面，点击Cancel按钮取消本次设置。

由此，配置模块110完成了对仿真子系统的内部的仿真设备及仿真设备之间的耦合关系相关属性的配置。

图16示出了仿真子系统配置完成后的系统配置管理界面。在SystemManagerPage，上方工具栏是系统配置功能按钮，System选项为创建仿真系统，Addsubsystem为向仿真系统添加子仿真系统，系统配置结束之后将所配置的所有仿真系统以树状结构显示在左边的树状结构中，而右边的空白是查看的位置，根据选择左边树状结构的系统会在右边显示该设备相应的相关信息。右键点击对应的系统会出现一个右键选项，可以方便用户操作，如图17所示。

在配置模块110配置完成后，保存模块120保存上述仿真子系统。

在本发明的一个实施例中，保存模块120以XML格式保存仿真子系统。

控制模块130接收仿真控制命令，并根据仿真控制命令控制仿真子系统执行相应的仿真动作。

如图18所示，首先，控制模块130接收来自外部的仿真控制命令，根据接收到仿真控制命令，选取仿真子系统内相应的仿真设备。然后检查仿真设备内的工作端口是否冲突。

如果仿真设备的工作端口无冲突，控制模块130则将仿真控制命令通过通信管理接口发送到相应的仿真设备；否则结束仿真。

当仿真设备的工作端口无冲突时，仿真设备开始运行，并将仿真设备的工作端口进行初始化。初始化后，将接收到的仿真控制命令与相应的工作端口绑定。根据控制命令触发事件进行相应的耦合动作处理，解析数据执行耦合动作，直至所有的控制命令均已完成，则结束仿真。

结合图19-20所示，当启动仿真子系统开始仿真时，可以接收和发送命令并执行相关动作了，同时在右边的表格中会列出该子系统配置的所有参数信息，能够做到及时刷新这些参数状态。同样，如果需要停止或者退出该子系统运行，点击右键的相关菜单即可。运行前界面如图19所示。

在仿真子系统运行之前，在左边的树状结构中会将配置好的子系统列举出来，需要运行某个子系统时只需要右键点击树状结构中的子系统名称，点击菜单中的Run即可。点击Run之后如图20所示。

当点击Run之后，会弹出一个窗口提示用户已经启动仿真子系统，可以接收和发送命令并执行相关动作了，同时在右边的表格中会列出该仿真子系统包含的所有设备以及设备配置的所有参数信息，能够做到及时刷新这些参数状态。同样，如果需要停止或者退出该子系统运行，点击右键的相关菜单即可。

仿真子系统运行仿真主要完成子系统的动态仿真功能，仿真设备接收到数据并执行相应的动作，改变仿真设备的参数值，然后触发仿真子系统的耦合关系进行相应的处理，最后主系统界面以表格的形式动态显示仿真子系统内各个设备的参数值。

根据本发明实施例的仿真子系统的构建及管理装置，可根据仿真需求，配置需要仿真的相关设备及其相关组合子系统。仿真子系统经过配置后可适用于面向装备控制软件测试用的不同制造装备的仿真系统，并且可以根据不同的项目所需要的硬件不同，灵活配置仿真子系统的属性，满足不同的项目需求。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同限定。

Claims (13)

1.一种仿真子系统的构建及管理方法，其特征在于，包括如下步骤：

创建仿真子系统，并配置所述仿真子系统的属性，所述仿真子系统的属性包括所述仿真子系统内部的仿真设备及所述仿真设备之间的耦合关系，其中，配置仿真子系统内部的仿真设备还包括：

配置所述仿真设备的属性，所述仿真设备的属性包括所述仿真设备的名称、类型和通讯端口，

将配置完成的仿真设备添加到所述仿真子系统；

配置完成后，保存所述仿真子系统；和

接收仿真控制命令，并根据所述仿真控制命令控制所述仿真子系统执行相应的仿真动作。

2.如权利要求1所述的构建及管理方法，其特征在于，所述配置仿真设备之间的耦合关系还包括：

创建耦合关系列表；

从所述耦合关系列表中，选取耦合关系对所述仿真设备的进行配置。

3.如权利要求2所述的构建及管理方法，其特征在于，所述选取耦合关系对仿真设备进行配置还包括：

配置所述仿真设备的耦合条件和对应所述耦合条件的耦合命令；

根据所述耦合条件和耦合命令，配置所述仿真设备的耦合动作。

4.如权利要求3所述的构建及管理方法，其特征在于，所述配置仿真设备的耦合动作还包括：

配置所述耦合动作的步骤数目；

根据所述步骤数目，配置每一步骤的耦合动作类型；

保存所述耦合动作。

5.如权利要求4所述的构建及管理方法，其特征在于，所述耦合动作类型包括：耦合动作的延迟、耦合动作的条件判断和耦合动作的执行。

6.如权利要求1所述的构建及管理方法，其特征在于，所述控制仿真子系统执行相应的仿真动作还包括：

根据接收到仿真控制命令，选取所述仿真子系统内相应的仿真设备；

检查所述仿真设备的端口是否冲突；

如果所述仿真设备的端口无冲突，则将所述仿真控制命令通过通信管理接口发送到相应的仿真设备，否则结束仿真；

控制所述仿真设备根据所述仿真控制命令执行相应的仿真动作。

7.一种仿真子系统的构建及管理装置，其特征在于，包括：

配置模块，用于创建仿真子系统，并配置所述仿真子系统的属性，所述仿真子系统的属性包括所述仿真子系统内部的仿真设备及所述仿真设备之间的耦合关系，其中，配置模块配置仿真子系统内部的仿真设备还包括：

所述配置模块配置所述仿真设备的属性，所述仿真设备的属性包括所述仿真设备的名称、类型和通讯端口，

所述配置模块将配置完成的仿真设备添加到所述仿真子系统；

保存模块，用于保存所述配置后的仿真子系统；和

控制模块，用于接收仿真控制命令，并根据所述仿真控制命令控制所述仿真子系统执行相应的仿真动作。

8.如权利要求7所述的构建及管理装置，其特征在于，所述配置模块配置仿真设备之间的耦合关系还包括：

所述配置模块创建耦合关系列表；

从所述耦合关系列表中，所述配置模块选取耦合关系对所述仿真设备的进行配置。

9.如权利要求8所述的构建及管理装置，其特征在于，所述配置模块选取耦合关系对仿真设备进行配置还包括：

所述配置模块配置所述仿真设备的耦合条件和对应所述耦合条件的耦合命令；

根据所述耦合条件和耦合命令，所述配置模块配置所述仿真设备的耦合动作。

10.如权利要求9所述的构建及管理装置，其特征在于，所述配置模块配置仿真设备的耦合动作还包括：

所述配置模块配置所述耦合动作的步骤数目；

根据所述步骤数目，所述配置模块配置每一步骤的耦合动作类型；

所述配置模块保存所述耦合动作。

11.如权利要求10所述的构建及管理装置，其特征在于，所述耦合动作类型包括：耦合动作的延迟、耦合动作的条件判断和耦合动作的执行。

12.如权利要求7所述的构建及管理装置，其特征在于，所述控制模块控制仿真子系统执行相应的仿真动作还包括：

根据接收到仿真控制命令，所述控制模块选取所述仿真子系统内相应的仿真设备；

所述控制模块检查所述仿真设备的端口是否冲突；

如果所述仿真设备的端口无冲突，所述控制模块则将所述仿真控制命令通过通信管理接口发送到相应的仿真设备，否则结束仿真；

所述控制模块控制所述仿真设备根据所述仿真控制命令执行相应的仿真动作。

13.如权利要求7所述的构建及管理装置，其特征在于，所述仿真子系统的构建及管理装置还包括用户界面模块，所述用户界面模块，用于输入所述配置模块、保存模块和控制模块执行过程的参数，并以界面形式显示执行结果。

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