CN101930122B - 微镜显示器 - Google Patents
微镜显示器 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101930122B CN101930122B CN2010102068157A CN201010206815A CN101930122B CN 101930122 B CN101930122 B CN 101930122B CN 2010102068157 A CN2010102068157 A CN 2010102068157A CN 201010206815 A CN201010206815 A CN 201010206815A CN 101930122 B CN101930122 B CN 101930122B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- reverberator
- reflection sheet
- micro
- mirror display
- bands
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
Abstract
本发明提供一种微镜显示器，包括：基板；第一反射器，能够沿第一轴线旋转，用于通过第一反射器的两层导电反射层之间的衍射或干涉将入射光中第一谱带的光进行反射；第二反射器，能够沿第二轴线旋转，用于通过第二反射器的两层导电反射层之间的衍射或干涉将入射光中第二谱带的光进行反射；第三反射器，能够沿第三轴线旋转，用于通过第三反射器的两层导电反射层之间的衍射或干涉，将入射光中第三谱带的光进行反射；第一反射器、第二反射器和第三反射器以阵列方式设置且彼此分开，第一轴线、第二轴线和第三轴线平行于基板。本发明提供的微镜显示器能够实现多种颜色的显示，光路设计简单，而且不需要对不同颜色的光束进行复杂的控制。
Description
技术领域
本发明实施例涉及显示技术领域，尤其涉及一种微镜显示器(MicroMirror Display)。
背景技术
投影设备中用到的微镜器件(Digital Mirror Device，简称MMD)最初是由霍贝克(Hornbeck)在美国专利文件US5600383中提出来的，该DMD包括可偏转的同构镜(isomorphic mirrors)组成的阵列。所有的镜子都是相同的，都能够反射并调制入射光(例如，可见光)。相应地，如果需要处理不同谱带的光，例如，需要产生不同的颜色，则需要一种彩色图像显示器。可以通过单个DMD先后进行处理来获得彩色图像显示器。也可以通过分别与各个波长或颜色对应的DMD来获得彩色图像显示器，即用3种DMD与三棱镜相结合，每个主要的颜色的光作为一个主要的光束进行处理。
对采用单个DMD同时处理多个颜色，美国专利文件US6250763、US7403320和US7542199介绍了一些方法。这些方法包括基于具有不同方向的微镜偏转轴(Micro Deflection Axes，简称MDA)的微镜像素的多通道的空间色彩处理方法。然后，这些方法中，需要复杂的光路设计，对于彼此分开的不同颜色的光束的控制也很复杂，因此，这些方法对于投影显示设备来说都不够实用，也很难以商业化。
发明内容
本发明实施例提供一种微镜显示器，用以解决现有技术中采用DMD处理多种颜色时所需光路设计和对不同颜色的光束控制复杂的问题。
本发明提供了一种微镜显示器，包括：
第一反射器，包含两层导电反射膜，设置在固定于所述基板上的第一可变形固定柱上，能够沿着第一轴线旋转，用于通过两层导电反射膜之间的衍射或者干涉，将入射光中第一谱带的光进行反射；
第二反射器，包含两层导电反射膜，设置在固定于所述基板上的第二可变形固定柱上，能够沿着第二轴线旋转，用于通过两层导电反射膜之间的衍射或者干涉，将所述入射光中第二谱带的光进行反射；
第三反射器，包含两层导电反射膜，设置在固定于所述基板上的第三可变形固定柱上，能够沿着第三轴线旋转，用于通过两层导电反射膜之间的衍射或者干涉，将所述入射光中第三谱带的光进行反射；
所述第一反射器、第二反射器和第三反射器以阵列方式设置且彼此分开，所述第一轴线、第二轴线和第三轴线平行于所述基板。
本发明提供的微镜显示器分别由第一反射器、第二反射器和第三反射器分别能够将入射光中第一谱带、第二谱带和第三谱带的光根据两层导电反射膜之间的衍射或者干涉进行反射，从而能够实现多种颜色的显示，光路设计简单，而且不需要对不同颜色的光束进行复杂的控制，结构简单，且具有实用性。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1所示为本发明微镜显示器的立体结构示意图；
图2所示为本发明微镜显示器实施例一的侧视结构示意图；
图3所示为图2中第一反射器210的旋转示意图；
图4所示为本发明微镜显示器实施例二的侧视结构示意图；
图5所示为图4中第一反射器210的旋转示意图；
图6所示为本发明微镜显示器实施例三的侧视结构示意图；
图7所示为本发明微镜显示器实施例四的侧视结构示意图；
图8所示为本发明微镜显示器实施例五的侧视结构示意图；
图9a、图9b和图9c分别是本发明各实施例中第一衍射谱61、第二衍射谱62和第三衍射谱63的衍射谱示意图；
图10a、10b和10c分别是本发明各实施例中第一反射器210、第二反射器220和第三反射器230的俯视形状示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图1所示为本发明微镜显示器的立体结构示意图，该微镜显示器包括基板200、第一反射器210、第二反射器220和第三反射器230，第一反射器210设置在固定于基板200上的第一可变形固定柱上，可以包括两层导电反射膜，能够沿着第一轴线218旋转，用于通过两层导电反射膜之间的衍射或干涉，将入射光20(入射方向如图1中箭头A所示)中第一谱带的光进行反射；第二反射器220设置在固定于基板200上的第二可变形固定柱上，可以包括两层导电反射膜，能够沿着第二轴线228旋转，用于通过两层导电反射膜之间的衍射或者干涉，将入射光中第二谱带的光进行反射；第三反射器230设置在固定于基板上的第三可变形固定柱上，可以包括两层导电反射膜，能够沿着第三轴线238旋转，用于通过两层导电反射膜之间的衍射或者干涉，将入射光中第三谱带的光进行反射。第一反射器210、第二反射器220和第三反射器230以阵列方式设置且彼此分开，第一轴线218、第二轴线228和第三轴线238平行于基板200，第一轴线218、第二轴线228和第三轴线238之间可以彼此平行。由于图1是立体图，所以图1中没有示出第一可变形固定柱、第二可变形固定柱和第三可变形固定柱的结构。
本发明提供的微镜显示器，第一反射器、第二反射器和第三反射器分别能够将入射光中第一谱带、第二谱带和第三谱带的光通过两层导电反射膜之间的衍射或者干涉进行反射，从而能够实现多种颜色的显示，光路设计简单，而且不需要对不同颜色的光束进行复杂的控制，结构简单且具有实用性。
如图2所示为本发明微镜显示器实施例一的侧视结构示意图。该实施例中，第一反射器210固定在第一可变形固定柱210a上，第二反射器220固定在第二可变形固定柱220a上，第三反射器230固定在第三可变形固定柱230a上。
第一反射器210的两层导电反射膜包括沿着垂直于基板的方向上错开层叠设置的第一高位反射元件211和第一低位反射元件212，第一高位反射元件211的表面和第一低位反射元件212的表面在与基板垂直的方向上的高度差为第一距离31，该第一距离等于m*(λ1/4)，λ1是第一谱带的中心波长，m是奇数。第一高位反射元件211和第一低位反射元件212可以使得入射光中第一谱带的光被反射的部分产生相消干涉(destructive interference)或者衍射。
第二反射器220的两层导电反射膜包括沿着垂直于基板的方向上错开层叠设置的第二高位反射元件221和第二低位反射元件222，第二高位反射元件221的表面和第二低位反射元件222的表面在与基板垂直的方向上的高度差为第二距离32，该第二距离等于n*(λ2/4)，λ2是第二谱带的中心波长，n是奇数。第二高位反射元件221和第二低位反射元件222可以使得入射光中第二谱带的光被反射的部分产生相消干涉(destructive interference)或者衍射。
第三反射器230的两层导电反射膜包括沿着垂直于基板的方向上错开层叠设置的第三高位反射元件231和第三低位反射元件232，第三高位反射元件231的表面和第三低位反射元件232的表面在与基板垂直的方向上的高度差为第三距离33，该第三距离等于p*(λ3/4)，λ3是第三谱带的中心波长，p是奇数。第三高位反射元件231和第三低位反射元件232可以使得入射光中第三谱带的光被反射的部分产生相消干涉(destructive interference)或者衍射。
图2中，如果第一高位反射元件211、第二高位反射元件221和第三高位反射元件231将入射光反射的部分能够分别等于第一低位元件212、第二低位元件222和第三低位反射元件232反射的部分，则可以分别使得入射光中第一谱带、第二谱带和第三谱带的光的衍射达到最大。
图2中，第一反射器210还可以包括第一顶部电极219a，在基板200上还可以设置有第一底部电极219b，第一顶部电极219a和第一底部电极219b均与驱动电路290连接，具体地，第一顶部电极219a可以通过第一可变形固定柱210a与驱动电路290连接。第一顶部电极219a和第一底部电极219b之间相互隔开一定空间。驱动电路290设置在基板200上，用于分别驱动第一反射器210沿着第一轴线218旋转，驱动第二反射器220沿着第二轴线228旋转，驱动第三反射器230沿着第三轴线238旋转。
第二反射器220还可以包括第二顶部电极229a，在基板200上还可以设置有第二底部电极229b，第二顶部电极229a和第二底部电极229b均与驱动电路290连接，具体地，第二顶部电极229a可以通过第二可变形固定柱220a与驱动电路290连接。第二顶部电极229a和第二底部电极229b之间相互隔开一定空间。
第三反射器230还可以包括第三顶部电极239a，在基板200上还可以设置有第三底部电极239b，第三顶部电极239a和第三底部电极239b均与驱动电路290连接，具体地，第三顶部电极229a可以通过第三可变形固定柱230a与驱动电路290连接。第三顶部电极239a和第三底部电极239b之间相互隔开一定空间。
如图3所示为图2中第一反射器210的旋转示意图，第一顶部电极219a和第一底部电极219b均与驱动电路290连接，驱动电路290可以分别向第一顶部电极219a和第一底部电极219b充电。当第一顶部电极219a和第一底部电极219b上施加的电的极性相反时，第一反射器210可以在静电驱动下发生旋转，那么入射光20中被第一反射器210反射的部分由于偏离了垂直反射方向，这样，第一反射器210所在的子像素就显示黑色。根据微镜显示器的时序控制，第一反射器210的子像素所呈现的颜色可以保持一段时间。向第一顶部电极219a和第一底部电极219b施加的电的幅值和延迟时间可以预先确定。
基于同样的原理，如果分别向第二顶部电极229a和第二底部电极229b施加极性相反的电，则第二反射器220也能够发生偏转，如果分别向第三顶部电极239a和第三底部电极239b施加极性相反的电，则第三反射器230也能够发生偏转。第一高位反射元件211的表面和第一低位反射元件212的表面之间相差第一距离，第二高位反射元件221的表面和第二低位反射元件222的表面之间相差第二距离，第三高位反射元件231的表面和第三低位反射元件232的表面之间相差第三距离，这三个距离分别是第一谱带的中心波长的四分之一的奇数倍、第二谱带的中心波长的四分之一的奇数倍和第三谱带的中心波长的四分之一的奇数倍，因此第一反射器210、第二反射器220和第三反射器230分别能够将第一谱带、第二谱带和第三谱带的光反射出去进而使得反射出去的光发生相消干涉或衍射。
图2中，驱动电路290可以设置在基板200中，如同现有的数字光处理(Digital Light Processor，简称DLP)中的可变形微镜器件那样，也可以是设置一个单独的设备中，与基板200电连接。设置在基板200中的驱动电路290可以包括互补金属氧化物半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor，简称CMOS)器件，基板200可以是由硅制成，也可以由其他固态材料制成，例如氧化硅、氮化硅和碳化硅等硅绝缘材料，也可以由这些材料的组合物制成。
图2中，微镜显示器可以封装在一个透明封装板100中，基板200、第一反射器210、第二反射器220和第三反射器230可以被封装在透明封装板100中。第一顶部电极219a、第二顶部电极229a、第三顶部电极239a、第一底部电极219b、第二底部电极229b和第三底部电极239b可以由铝、钛、铜、钽、钨、钴、镍、铂和金中的任一种或这些材料的合金制成。
如图4所示为本发明微镜显示器实施例二的侧视结构示意图，该实施例中，第一反射器210的两层导电反射膜包括沿着垂直于基板的方向上堆叠设置的第一顶部反射片215和第一底部反射片216，第一顶部反射片215的表面和第一底部反射片216的表面之间的垂直距离为第一距离。第一顶部反射片215和第一底部反射片216可以使得入射光中第一谱带的光被反射的部分产生相消干涉(destructive interference)或者衍射。
第二反射器220的两层导电反射膜包括沿着垂直于基板的方向上堆叠设置的第二顶部反射片225和第二底部反射片226，第二顶部反射片225的表面和第二底部反射片226的表面之间的垂直距离为第二距离。第二顶部反射片225和第二底部反射片226可以使得入射光中第二谱带的光被反射的部分产生相消干涉(destructive interference)或者衍射。
第三反射器230的两层导电反射膜包括沿着垂直于基板的方向上堆叠设置的第三顶部反射片235和第三底部反射片236，第三顶部反射片235的表面和第三底部反射片236的表面之间的垂直距离为第三距离。第三顶部反射片235和第三底部反射片236可以使得入射光中第三谱带的光被反射的部分产生相消干涉(destructive interference)或者衍射。
图4中，如果第一顶部反射片215、第二顶部反射片225和第三顶部反射片235能够分别将入射光中第一谱带的光、第二谱带的光和第三谱带的光反射50％，将剩下的50％的光分别入射到第一底部反射片216、第二底部反射片226和第三底部反射片236上，这样可以分别使得入射光中第一谱带、第二谱带和第三谱带的光的衍射达到最大。
如图5所示为图4中第一反射器210的旋转示意图，第一顶部电极219a和第一底部电极219b均与驱动电路290连接，驱动电路290可以分别向第一顶部电极219a和第一底部电极219b充电。当第一顶部电极219a和第一底部电极219b上施加的电的极性相反时，第一反射器210可以在静电驱动下发生旋转，那么入射光20中被第一反射器210反射的部分由于偏离了垂直反射方向，这样，第一反射器210所在的子像素就显示黑色。根据微镜显示器的时序控制，第一反射器210的子像素所呈现的颜色可以保持一段时间。向第一顶部电极219a和第一底部电极219b施加的电的幅值和延迟时间可以预先确定。
基于同样的原理，如果分别向第二顶部电极229a和第二底部电极229b施加极性相反的电，则第二反射器220也能够发生偏转，如果分别向第三顶部电极239a和第三底部电极239b施加极性相反的电，则第三反射器230也能够发生偏转。第一顶部反射片215的表面和第一底部反射片216的表面之间相差第一距离，第二顶部反射片225的表面和第二底部反射片226的表面之间相差第二距离，第三顶部反射片235的表面和第三底部反射片236的表面之间相差第三距离，这三个距离分别是第一谱带的中心波长的四分之一的奇数倍、第二谱带的中心波长的四分之一的奇数倍和第三谱带的中心波长的四分之一的奇数倍，因此第一反射器210、第二反射器220和第三反射器230分别能够将第一谱带、第二谱带和第三谱带的光反射出去进而使得反射出去的光发生相消干涉或衍射。
图4中，微镜显示器也可以封装在一个透明封装板100中。第一顶部反射片215和第一底部反射片216之间夹设第一透明隔离器217；第二顶部反射片225和第二底部反射片226之间夹设第二透明隔离器227；第三顶部反射片235和第三底部反射片236之间夹设第三透明隔离器237。
第一顶部反射片215、第一底部反射片216、第二顶部反射片225、第二底部反射片226、第三顶部反射片235和第三底部反射片236均可以由铝、钛、铜、锡、银、铂和金中的任一种或这些材料的合金制成。第一透明隔离器217、第二透明隔离器227和第三透明隔离器237均可以由固态聚合薄膜、氧化硅、氮化硅和透明碳中的任一种或者这些材料的合成材料制成。
如图6所示为本发明微镜显示器实施例三的侧视结构示意图，该实施例与图2所示的实施例相比，区别之处在于：图6所示的实施例中，第一反射器210不包括第一顶部电极219a，第二反射器220不包括第二顶部电极229a，第三反射器230不包括第三顶部电极239a，而是将驱动电路290与第一高位反射元件211、第二高位反射元件221和第三高位反射元件231连接，这样，通过向第一高位反射元件211和第一底部电极219b施加极性相反的电可以使得第一反射器210发生旋转，通过向第二高位反射元件221和第二底部电极229b施加极性相反的电可以使得第二反射器220发生旋转，通过向第三高位反射元件231和第三底部电极239b施加极性相反的电可以使得第三反射器230发生旋转。图2中，第一反射器210包括第一顶部电极219a，第二反射器220包括第二顶部电极229a，第三反射器230包括第三顶部电极239a，驱动电路290与第一顶部电极219a、第一底部电极219b、第二顶部电极229a、第二底部电极229b、第三顶部电极239a和第三底部电极239b相连接，通过向第一顶部电极219a和第一底部电极219b施加极性相反的电来使得第一反射器210发生旋转，通过向第二顶部电极229a和第二底部电极229b施加极性相反的电来使得第二反射器220发生旋转，通过向第三顶部电极239a和第三底部电极239b施加极性相反的电来使得第三反射器230发生旋转。
图6所示的这种结构，实质上是将第一顶部电极和第一高位反射元件做成了一体结构，将第二顶部电极和第二高位反射元件做成了一体结构，将第三顶部电极和第三高位反射元件做成了一体结构。
如图7所示为本发明微镜显示器实施例四的侧视结构示意图，该实施例与图2所示的实施例相比，区别之处在于：图7所示的实施例中，第一反射器210不包括第一顶部电极219a，第二反射器220不包括第二顶部电极229a，第三反射器230不包括第三顶部电极239a，而是将驱动电路290与第一低位反射元件212、第二低位反射元件222和第三低位反射元件232连接，这样，通过向第一低位反射元件212和第一底部电极219b施加极性相反的电可以使得第一反射器210发生旋转，通过向第二低位反射元件222和第二底部电极229b施加极性相反的电可以使得第二反射器220发生旋转，通过向第三低位反射元件232和第三底部电极239b施加极性相反的电可以使得第三反射器230发生旋转。图2中，第一反射器210包括第一顶部电极219a，第二反射器220包括第二顶部电极229a，第三反射器230包括第三顶部电极239a，驱动电路290与第一顶部电极219a、第一底部电极219b、第二顶部电极229a、第二底部电极229b、第三顶部电极239a和第三底部电极239b相连接，通过向第一顶部电极219a和第一底部电极219b施加极性相反的电来使得第一反射器210发生旋转，通过向第二顶部电极229a和第二底部电极229b施加极性相反的电来使得第二反射器220发生旋转，通过向第三顶部电极239a和第三底部电极239b施加极性相反的电来使得第三反射器230发生旋转。
图7所示的这种结构，实质上是将第一顶部电极和第一低位反射元件做成了一体结构，将第二顶部电极和第二低位反射元件做成了一体结构，将第三顶部电极和第三低位反射元件做成了一体结构。
如图8所示为本发明微镜显示器实施例五的侧视结构示意图，该实施例与图4所示的实施例相比，区别之处在于：图8所示的实施例中，第一反射器210不包括第一顶部电极219b，第二反射器220不包括第二顶部电极229a，第三反射器230不包括第三顶部电极239a，而是将驱动电路290与第一底部反射片216、第二底部反射片226和第三底部反射片236连接，这样，通过向第一底部反射片216和第一底部电极219b施加极性相反的电可以使得第一反射器210发生旋转，通过向第二底部反射片226和第二底部电极229b施加极性相反的电可以使得第二反射器220发生旋转，通过向第三底部反射片236和第三底部电极239b施加极性相反的电可以使得第三反射器230发生旋转。图4中，第一反射器210包括第一顶部电极219a，驱动电路290与第一顶部电极219a、第一底部电极219b、第二顶部电极229a、第二底部电极229b、第三顶部电极239a和第三底部电极239b相连接，通过向第一顶部电极219a和第一底部电极219b施加极性相反的电来使得第一反射器210发生旋转，通过向第二顶部电极229a和第二底部电极229b施加极性相反的电来使得第二反射器220发生旋转，通过向第三顶部电极239a和第三底部电极239b施加极性相反的电来使得第三反射器230发生旋转。
图8所示的这种结构，实质上是将第一顶部电极和第一底部反射片做成了一体结构，将第二顶部电极和第二底部反射片做成了一体结构，将第三顶部电极和第三底部反射片做成了一体结构。
本发明前述各实施例中，第一谱带、第二谱带和第三谱带分别可以是红紫光吸收谱带、黄光吸收谱带和蓝绿光吸收谱带。第一反射器210具体可以用于根据两层导电反射膜之间的衍射或干涉将入射光中以红紫光为中心波长的第一谱带的光进行反射。第二反射器220具体可以用于根据两层导电反射膜之间的衍射或干涉将入射光中以黄光为中心波长的第二谱带的光进行反射。第三反射器230具体可以用于根据两层导电反射膜之间的衍射或干涉将入射光中以蓝绿光为中心波长的第一谱带的光进行反射。
如图9a、图9b和图9c分别是本发明各实施例中第一衍射谱61、第二衍射谱62和第三衍射谱63的衍射谱示意图，第一衍射谱61、第二衍射谱62和第三衍射谱63分别是第一反射器210、第二反射器220和第三反射器230的衍射谱。图9a中，第一谱带51的中心波长是41，在可见光的光谱范围(可见光的光谱范围大约是380nm到750nm)。类似地，图9b中，第二谱带52的中心波长是42，图9c中，第三谱带53的中心波长是43。
可以将第一反射器210、第二反射器220和第三反射器230分别设置成与第一衍射谱61、第二衍射谱62和第三衍射谱63相对应，第一衍射谱61、第二衍射谱62和第三衍射谱63可以分别是红紫吸收谱、黄光吸收谱和蓝绿光吸收谱，这三个吸收谱的中心波长分别接近于420nm、530nm和640nm。蓝绿光、黄光和红紫光是红光、绿光和蓝光的补充色，基于这些颜色可以实现彩色显示，同样也适用于3色印刷行业。
如图10a、10b和10c分别是本发明各实施例中第一反射器210、第二反射器220和第三反射器230的俯视形状示意图，每个第一反射器210、第二反射器220和第三反射器230组成一个组，一个微镜显示器中包括多个这样的组，第一反射器210、第二反射器220和第三反射器230以阵列形式设置。
第一反射器210、第二反射器220和第三反射器230可以是规则的形状，可以是如图10a所示的三角形，可以是如图10b所示的四边形，可以是如图10c所示的六边形，还可以是矩形、八边形或圆形等图形。
最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (14)
1.一种微镜显示器，其特征在于，包括：
基板；
第一反射器，包含两层导电反射膜，设置在固定于所述基板上的第一可变形固定柱上，能够沿着第一轴线旋转，用于通过两层导电反射膜之间的衍射或者干涉，将入射光中第一谱带的光进行反射；
第二反射器，包含两层导电反射膜，设置在固定于所述基板上的第二可变形固定柱上，能够沿着第二轴线旋转，用于通过两层导电反射膜之间的衍射或者干涉，将所述入射光中第二谱带的光进行反射；
第三反射器，包含两层导电反射膜，设置在固定于所述基板上的第三可变形固定柱上，能够沿着第三轴线旋转，用于通过两层导电反射膜之间的衍射或者干涉，用于将所述入射光中第三谱带的光进行反射；
所述第一反射器、第二反射器和第三反射器以阵列方式设置且彼此分开，所述第一轴线、第二轴线和第三轴线平行于所述基板；
其中，所述第一反射器的两层导电反射膜包括在沿着垂直于所述基板的方向上堆叠设置的第一顶部反射片和第一底部反射片，所述第一顶部反射片的表面和第一底部反射片的表面之间的垂直距离为第一距离，所述第一距离等于m*(λ1/4)，λ1是所述第一谱带的中心波长，m是奇数；
所述第二反射器的两层导电反射膜包括在沿着垂直于所述基板的方向上堆叠设置的第二顶部反射片和第二底部反射片，所述第二顶部反射片的表面和第二底部反射片的表面之间的垂直距离为第二距离，所述第二距离等于n*(λ2/4)，λ2是所述第二谱带的中心波长，n是奇数；
所述第三反射器的两层导电反射膜包括在沿着垂直于所述基板的方向上堆叠设置的第三顶部反射片和第三底部反射片，所述第三顶部反射片的表面和第三底部反射片的表面之间的垂直距离为第三距离，所述第三距离等于p*(λ3/4)，λ3是所述第三谱带的中心波长，p是奇数。
2.根据权利要求1所述的微镜显示器，其特征在于，所述第一顶部反射 片和第一底部反射片之间夹设第一透明隔离器；
所述第二顶部反射片和第二底部反射片之间夹设第二透明隔离器；
所述第三顶部反射片和第三底部反射片之间夹设第三透明隔离器。
3.根据权利要求2所述的微镜显示器，其特征在于，第一顶部反射片、第一底部反射片、第二顶部反射片、第二底部反射片、第三顶部反射片和第三底部反射片均由铝、钛、铜、锡、银、铂和金中的任一种或这些材料的合金制成。
4.根据权利要求3所述的微镜显示器，其特征在于，所述第一透明隔离器、第二透明隔离器和第三透明隔离器均由固态聚合薄膜、氧化硅、氮化硅和透明碳中的任一种或者这些材料的合成材料制成。
5.根据权利要求4所述的微镜显示器，其特征在于，还包括驱动电路，分别与所述第一反射器、第二反射器和第三反射器连接，用于分别驱动所述第一反射器沿着第一轴线旋转，驱动所述第二反射器沿着第二轴线旋转，驱动所述第三反射器沿着第三轴线旋转。
6.根据权利要求5所述的微镜显示器，其特征在于，所述基板上还设置有第一底部电极、第二底部电极和第三底部电极，所述第一底部电极、第二底部电极和第三底部电极分别与所述驱动电路连接。
7.根据权利要求6所述的微镜显示器，其特征在于，所述驱动电路分别与所述第一底部反射片、第二底部反射片和第三底部反射片连接。
8.根据权利要求6所述的微镜显示器，其特征在于，所述第一反射器还包括第一顶部电极，所述第一顶部电极与所述驱动电路连接；
所述第二反射器还包括第二顶部电极，所述第二顶部电极与所述驱动电路连接；
所述第三反射器还包括第三顶部电极，所述第三顶部电极与所述驱动电路连接。
9.根据权利要求8所述的微镜显示器，其特征在于，所述第一顶部电极、第二顶部电极、第三顶部电极、第一底部电极、第二底部电极和第三底部电 极由铝、钛、铜、钽、钨、钴、镍、铂和金中的任一种或这些材料的合金制成。
10.根据权利要求5-7中任一权利要求所述的微镜显示器，其特征在于，所述基板由硅、氧化硅、氮化硅或者碳化硅中的任一种或者这些材料的组合物制成；
所述驱动电路包括互补金属氧化物半导体CMOS器件。
11.根据权利要求1-7中任一权利要求所述的微镜显示器，其特征在于，所述第一反射器具体用于通过两层导电反射膜之间的衍射或者干涉，将入射光中以红紫光为中心波长的第一谱带的光进行反射；
所述第二反射器具体用于通过两层导电反射膜之间的衍射或者干涉，将入射光中以黄光为中心波长的第二谱带的光进行反射；
所述第三反射器具体用于通过两层导电反射膜之间的衍射或者干涉，将入射光中以蓝绿光为中心波长的第三谱带的光进行反射。
12.根据权利要求1-7中任一权利要求所述的微镜显示器，其特征在于，所述第一轴线、第二轴线和第三轴线彼此平行。
13.根据权利要求1-7中任一权利要求所述的微镜显示器，其特征在于，所述第一反射器、第二反射器和第三反射器的俯视形状为三角形、四边形、圆形、六边形或者八边形。
14.根据权利要求1-7中任一权利要求所述的微镜显示器，其特征在于，所述基板、第一反射器、第二反射器和第三反射器被透明封装板密封。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US21801409P | 2009-06-17 | 2009-06-17 | |
| US61/218,014 | 2009-06-17 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101930122A CN101930122A (zh) | 2010-12-29 |
| CN101930122B true CN101930122B (zh) | 2012-11-28 |
Family
ID=43369386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN2010102068157A Active CN101930122B (zh) | 2009-06-17 | 2010-06-17 | 微镜显示器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101930122B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN105182661B (zh) * | 2015-08-26 | 2017-04-19 | 南京中科神光科技有限公司 | 一种白光光源的单dmd投影装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101256281A (zh) * | 2006-07-31 | 2008-09-03 | 视频有限公司 | 超薄显示系统 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH09101468A (ja) * | 1995-10-04 | 1997-04-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | カラー式変形可能ミラーデバイス及び投射型画像表示装置 |
| US7787170B2 (en) * | 2004-06-15 | 2010-08-31 | Texas Instruments Incorporated | Micromirror array assembly with in-array pillars |
-
2010
- 2010-06-17 CN CN2010102068157A patent/CN101930122B/zh active Active
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101256281A (zh) * | 2006-07-31 | 2008-09-03 | 视频有限公司 | 超薄显示系统 |
Non-Patent Citations (2)
| Title |
|---|
| JP特开平9-101468A 1997.04.15 |
| 李晓红.精讲数字光学处理(DLP)投影显示器工作原理及优缺点.《家电维修技术》.2009,397-399. * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN101930122A (zh) | 2010-12-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US6088102A (en) | Display apparatus including grating light-valve array and interferometric optical system | |
| CN102893212B (zh) | 通过校准数据调节静电力来保持空腔深度平行关系的反射式显示器 | |
| US7391551B2 (en) | Method for driving light deflector, light deflector, light deflection array, image forming device, and image projection display apparatus | |
| TWI352873B (en) | Spatial light modulator with off-angle electrodes | |
| US8873129B2 (en) | Tetrachromatic color filter array for reflective display | |
| JP4185120B2 (ja) | 表示装置 | |
| JP2009151269A (ja) | 電気泳動表示素子およびその駆動方法 | |
| US20050225827A1 (en) | Display device based on bistable electrostatic shutter | |
| KR20130020812A (ko) | 컬러 전기-광학 디스플레이 | |
| KR20020003817A (ko) | 광학 다층 구조체, 광학 절환 장치 및 화상 디스플레이 | |
| US20170038597A1 (en) | Display apparatus | |
| JP2003057745A (ja) | 単板式カラー画像表示装置 | |
| CN102854622A (zh) | 扫描型图像显示装置和扫描型投影装置 | |
| EP1803017B1 (en) | Micromirror having offset addressing electrode | |
| KR20160097238A (ko) | 컬러-조합 요소를 구비한 광 다중화기 | |
| CN101943828B (zh) | 反射型彩色滤光液晶显示器 | |
| CN101930122B (zh) | 微镜显示器 | |
| CN101498837A (zh) | 基于柔性支撑结构的光栅光调制器及阵列 | |
| US8035885B2 (en) | TWDM element, imager, and method for temporally and spatially modulating by using the same | |
| US20110025957A1 (en) | Liquid crystal on silicon imager | |
| JP4614027B2 (ja) | 光学多層構造体および光スイッチング素子、並びに画像表示装置 | |
| JP2003057567A (ja) | 光学多層構造体、光スイッチング素子およびその製造方法、並びに画像表示装置 | |
| JP4416197B2 (ja) | 電気泳動表示装置 | |
| JP2002023070A (ja) | 光学多層構造体および光スイッチング素子、並びに画像表示装置 | |
| CN101382656A (zh) | 桥式光栅光调制器及其阵列 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| C14 | Grant of patent or utility model | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| ASS | Succession or assignment of patent right |
Owner name: SHANGHAI LEXVU OPTO MIRCOELECTRICS TECHNOLOGY CO., Free format text: FORMER OWNER: JIANGSU LIHENG ELECTRONIC CO., LTD. Effective date: 20121101 |
|
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| COR | Change of bibliographic data |
Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 212009 ZHENJIANG, JIANGSU PROVINCE TO: 200000 PUDONG NEW ZONE, SHANGHAI CITY |
|
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20121101 Address after: 200000, Shanghai Zhangjiang hi tech park, 3000 East Road, No. 5 building, room 501B Patentee after: Shanghai Lexvu Opto Mircoelectrics Technology Co., Ltd. Address before: 212009 Zhenjiang hi tech Industrial Development Zone, Jiangsu Province, No. twelve, No. 211, room 668 Patentee before: Jiangsu Liheng Electronic Co., Ltd. |
|
| C41 | Transfer of patent application or patent right or utility model | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20160407 Address after: 710075, arc building, No. 60, West Avenue, new industrial park, hi tech Zone, Shaanxi, Xi'an, 204 Patentee after: Xi'an Yisheng Photoelectric Technology Co., Ltd. Address before: 201203, Shanghai Zhangjiang hi tech park, 3000 East Road, No. 5 building, room 501B Patentee before: Shanghai Lexvu Opto Mircoelectrics Technology Co., Ltd. |