CN101927121A - 控温型除湿柜 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种微电子、半导体等精密器件和材料的存储及干燥处理柜，尤其是一种控温型除湿柜。它包括一柜体，在柜体内部设有温控模块、快速除湿模块，控制模块组成，所述温控模块包括一发热源，并设有对流循环部件及循环风道；快速除湿模块包含除湿装置及除湿气流阀控系统；控制模块包含显示及设定部分，控制主板，温湿度采样信号输入部分；通过设定部分可对柜内的温湿度进行设定，而且也可对其它参数如温湿度的安全值，报警，偏差修正的值等进行设定。本发明的控温型除湿柜能适应于在生产线上频繁的取放材料和频繁的开启柜门的情况下使用，此类情况下将能有效地保证柜内的温度和干燥度的要求。

Description

控温型除湿柜

技术领域

本发明涉及一种微电子、半导体等精密器件和材料的存储及干燥处理柜，尤其是一种控温型除湿柜。

背景技术

目前，微电子产品的生产过程中，产品向这高度的微型集成方向发展，在生产过程中减少来自环境中的尘埃和湿气已成为提高产品品质的关键性因素，由此而产生了许多电子除湿柜，广泛地应用于存放各类湿度敏感器材和材料，但现有的电子除湿柜降湿速度慢，内部低湿稳定性及均匀性不佳，不能适应于在生产线上频繁的取放材料和频繁的开启柜门的情况下使用，特别是不能对已受潮的湿敏元器件进行处理，此类情况下讲不能有效地完成对湿敏元器件的安全存储及再处理，并且现有的除湿柜除湿方式单一，在整体除湿效果上有所欠缺。

目前的电子除湿柜的功能只是存储湿敏器件，对于已受潮的元器件，电子除湿柜并不能起到对元器件再处理的作用，通常的做法是使用烘箱进行高温烘烤，但对于许多元器件的材料，并不能使用高温烘烤，同时高温烘烤会使元器件的金属引脚氧化，降低元器件的后续加工性能，仅使用较低的温度烘烤，虽然不会损坏元器件，但也达不到烘烤的效果，而只有在对温度控制的同时，即温度可根据元器件可耐受的烘烤温度调节，又将湿度降低到很低的水平，如5％RH，才能得到一个即安全，又有效率的烘烤再处理环境。

发明内容

本发明的目的之一是提供一种适应于生产线上频繁开启时快速除湿存储的除湿柜，同时可以对各类湿敏器件受潮后进行控温除湿烘烤的控温型除湿柜。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

它包括一柜体，在柜体内部设有温控模块、快速除湿模块，控制模块组成，

所述温控模块包括一发热源，并设有对流循环部件及循环风道。

快速除湿模块：快速除湿模块包含除湿装置及除湿气流阀控系统。

控制模块包含显示及设定部分，控制主板，温湿度采样信号输入部分。

通过设定部分可对柜内的温湿度进行设定，而且也可对其它参数如温湿度的安全值，报警，偏差修正的值等进行设定。再由控制主板计算后进行输出控制信号驱动或停止温控模块及快速除湿模块工作；实现温湿度的自动控制。

优选地，所述发热源为双股发热电缆或铁铬合金电热丝，所述发热源铺设于柜体循环风道内。

优选地，所述快速除湿模块包括除湿装置及气流阀控系统；除湿装置深度过滤将压缩空气深度除湿后充入柜内并将柜内潮湿空气置换出柜体，实现除湿功能；气流阀控系统用以对干燥后的压缩空气是否充入柜体进行控制，在柜内湿度到达设定湿度后，气流阀控系统停止充入干燥压缩空气，反之则充入。

优选地，温度控制模块所述传感部件接受柜内温度状况并发送到比较部件与设定值比较，并根据比较结果调整控制输出，并将控制指令输出至加热单元，进行或停止加热，以实现对温度的控制和调节单元包括一温湿度传感部件、一参数设定及比较部件，兼具控制输出功能。

优选地，所述经过快速除湿后的干燥气流由对流循环部件驱动，流经循环风道进行温度处理，从而最终获得经过低湿和温度调制的气体；并由对流循环部件对气流按设定的风速进行循环以保持湿度的均匀性。传感部件接受柜体温湿度状况并发送到比较部件与设定值比较，并根据比较结果调整温湿度模块工作条件及对流循环以确保温湿度控制的精度和最小的波动度。

优选地，柜体由防静电喷涂的钢体密封空间及磁封密闭门组成，整个柜体表面电阻可以满足1Mohm-100Mohm/每平方单位。对地电阻右可以满足＞1Mohm和小于己于100Mohm.此表面电阻及对地电阻符合防静电规范的要求，保证了有静电后可以比较快的使静电消散，保护元器件；同时卸除静电的同时，不会因为电阻太小，使泄流电流过大造成电子元器件损伤；

优选地，所述控制模块还连接一显示模块，可实现温湿度的设定、运行状态及报警显示等功能。

本发明的控温型除湿柜能适应于在生产线上频繁的取放材料和频繁的开启柜门的情况下使用，此类情况下将能有效地保证柜内的温度和干燥度的要求。

附图说明

图1为本发明实施例的功能模块组成示意图；

图2为本发明实施例的整体结构示意图。

本发明目的、功能及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

如图1和图2所示，本发明的实施例它包括一柜体1，在柜体内部设有温控模块2、快速除湿模块3，控制模块4组成，

所述温控模块2包括一发热源21，并设有对流循环部件22及循环风道23。

快速除湿模块3包含除湿装置31及除湿气流阀控系统32。

控制模块4包含显示及设定部分41，控制主板42，温湿度采样信号输入部分43。

通过设定41部分可对柜内的温湿度进行设定，而且也可对其它参数如温湿度的安全值，报警，偏差修正的值等进行设定；再由控制主板42计算后进行输出控制信号驱动或停止温控模块及快速除湿模块工作；实现温湿度的自动控制。

优选地，所述发热源21为双股发热电缆或铁铬合金电热丝，所述发热源11铺设于柜体循环风道内。

优选地，所述快速除湿模块3包括除湿装置31及气流阀控系统32；除湿装置深度过滤将压缩空气深度除湿后充入柜内并将柜内潮湿空气置换出柜体，实现除湿功能；气流阀控系统用以对干燥后的压缩空气是否充入柜体进行控制，在柜内湿度到达设定湿度后，气流阀控系统停止充入干燥压缩空气，反之则充入。

温度控制模块所述传感部件接受柜内温度状况并发送到比较部件与设定值比较，并根据比较结果调整控制输出，并将控制指令输出至加热单元，进行或停止加热，以实现对温度的控制和调节单元包括一温湿度传感部件、一参数设定及比较部件，兼具控制输出功能。

所述经过快速除湿后的干燥气流由对流循环部件驱动，流经循环风道进行温度处理，从而最终获得经过低湿和温度调制的气体；并由对流循环部件对气流按设定的风速进行循环以保持湿度的均匀性。传感部件接受柜体温湿度状况并发送到比较部件与设定值比较，并根据比较结果调整温湿度模块工作条件及对流循环以确保温湿度控制的精度和最小的波动度。

柜体由防静电喷涂的钢体密封空间及磁封密闭门组成，整个柜体表面电阻可以满足1Mohm-100Mohm/每平方单位。对地电阻右可以满足＞1Mohm和小于己于100Mohm.此表面电阻及对地电阻符合防静电规范的要求，保证了有静电后可以比较快的使静电消散，保护元器件；同时卸除静电的同时，不会因为电阻太小，使泄流电流过大造成电子元器件损伤；

所述控制主板42还连接一显示模块44，可实现温湿度的设定、运行状态及报警显示等功能。

柜体1由防静电喷涂的钢体密封空间及磁封密闭门组成，整个柜体对地电阻1Mohm左右。

其中，普通压缩空气经过快速除湿模块3处理后，成为深度干燥的压缩空气，注入到柜内置换掉柜内原有的湿空气，从而快速降低湿度。

1.柜内的空气经过对流循环部件12的作用被吸入循环风道，经过加热源后，空气温度被加热，并被循环风机重新吹回到柜内，实现温度控制的功能。

2.图2为本发明实施例的自动温湿度控制原理模块图，所有上述的温湿度控制都有此温湿度控制单元控制。

其工作原理是：

由温湿度传感器检柜内的温湿度，并反馈回控制主板，经与设定值比较后，将温湿度控制的指令发给温度控制、除湿功能的执行元件，进行或停止加热或除湿动作，实现温湿度的控制。

3.本发明则由于除湿功能不间断，低湿控制稳定等特点而解决了此问题。

4.本发明提供了一个造价低，运行成本低廉的方法(仅需少量的压缩空气)来实现除湿功能。

5.本发明更提供了一个在低湿状态下进行烘烤的功能，该功能大大扩展了可进行烘烤湿敏材料的范围，同时相比于传统的高温烘烤，还大大提高了烘烤的效率。

6.综合来说，本发明提供了一个多功能的控温型除湿方法：

-即可以用于湿敏器件的快速除湿存储

-又可以用于中低温+除湿烘烤，如40℃+5％RH，60℃+5％RH

-还可以用于单纯的高温烘烤，如125℃，150℃

本发明的特点还在于它提供的控温、除湿方法简单、价廉、运行成本低、除湿效果好。

以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (7)

1.一种控温型除湿柜，其特征在于：它包括一柜体，在柜体内部设有温控模块、快速除湿模块，控制模块组成，

所述温控模块包括一发热源，并设有对流循环部件及循环风道。

快速除湿模块包含除湿装置及除湿气流阀控系统。

控制模块包含显示及设定部分，控制主板，温湿度采样信号输入部分。

通过设定部分可对柜内的温湿度进行设定，而且也可对其它参数如温湿度的安全值，报警，偏差修正的值等进行设定；再由控制主板计算后进行输出控制信号驱动或停止温控模块及快速除湿模块工作；实现温湿度的自动控制。

2.如权利要求1所述的控温型除湿柜，其特征在于：所述发热源为双股发热电缆或铁铬合金电热丝，所述发热源铺设于柜体循环风道内。

3.如权利要求1或2所述的控温型除湿柜，其特征在于：所述快速除湿模块包括除湿装置及气流阀控系统；除湿装置深度过滤将压缩空气深度除湿后充入柜内并将柜内潮湿空气置换出柜体，实现除湿功能；气流阀控系统用以对干燥后的压缩空气是否充入柜体进行控制，在柜内湿度到达设定湿度后，气流阀控系统停止充入干燥压缩空气，反之则充入。

4.如权利要求3所述的控温型除湿柜，其特征在于：温度控制模块所述传感部件接受柜内温度状况并发送到比较部件与设定值比较，并根据比较结果调整控制输出，并将控制指令输出至加热单元，进行或停止加热，以实现对温度的控制和调节单元包括一温湿度传感部件、一参数设定及比较部件，兼具控制输出功能。

5.如权利要求4所述的控温型除湿柜，其特征在于所述经过快速除湿后的干燥气流由对流循环部件驱动，流经循环风道进行温度处理，从而最终获得经过低湿和温度调制的气体；并由对流循环部件对气流按设定的风速进行循环以保持湿度的均匀性。传感部件接受柜体温湿度状况并发送到比较部件与设定值比较，并根据比较结果调整温湿度模块工作条件及对流循环以确保温湿度控制的精度和最小的波动度。

6.如权利要求5所述的控温型除湿柜，其特征在于：柜体由防静电喷涂的钢体密封空间及磁封密闭门组成，整个柜体表面电阻可以满足1Mohm-100Mohm/每平方单位。对地电阻右可以满足＞1Mohm和小于己于100Mohm.此表面电阻及对地电阻符合防静电规范的要求，保证了有静电后可以比较快的使静电消散，保护元器件；同时卸除静电的同时，不会因为电阻太小，使泄流电流过大造成电子元器件损伤；

7.如权利要求6所述的控温型除湿柜，其特征在于：所述控制模块还连接一显示模块，可实现温湿度的设定、运行状态及报警显示等功能。

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