CN101893751A - 聚焦镜组及激光加工应用光学系统 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种聚焦镜组及激光加工应用光学系统，该聚焦镜组包括沿紫外激光入射方向于光轴上依次放置的聚焦镜组第一透镜、聚焦镜组第二透镜、聚焦镜组第三透镜、聚焦镜组第四透镜以及聚焦镜组第五透镜，聚焦镜组的焦距为30mm，入瞳直径为15mm。本发明对激光加工系统所使用的紫外激光和照明系统所使用的可见照明光消色差，将紫外激光聚焦点和可见照明光聚焦点点重合为一个，消除色差对成像监控系统成像的干扰，使成像监控系统能够清晰，准确的对加工位置进行监控、定位，保证紫外加工的准确性和质量。同时，还可采用可见照明光聚焦点对紫外激光聚焦点进行对准，对待加工工件位置进行精确定位。
Description
【技术领域】
本发明涉及一种光学装置及系统，尤其涉及一种聚焦镜组及激光加工应用光学系统。
【背景技术】
随着激光加工的不断发展，需要加工的介质品种日益增加，要求加工出来的效果也越来越精细，尤其是一些特殊材料。由于UV紫外激光具有聚焦光斑极小，且加工热影响区微乎其微等优点，使用UV紫外激光进行激光加工越来越广泛。
UV紫外激光加工主要是用于超精细打标、特殊材料打标和划刻等，特别是IT领域中用它来切割、划线，不但要求其划刻出的图案清晰、准确，而且还要求其工作情况是实时监控的。由于紫外光是人眼不可见的，因此在工作过程中无法进行实时监控，对待加工工件位置进行精确定位，给刻线工作带来很多麻烦。
传统上，采用可见照明光视觉系统对紫外线加工进行监测，但是由于可见照明光与紫外线波长不同，造成色差，使得视觉系统无法准确对紫外线加工进行监测，对待加工工件位置进行精确定位。
【发明内容】
有鉴于此，有必要提供一种消色差，对紫外线加工进行准确监控、定位、对准的聚焦镜组。
此外，还提供一种消色差，对紫外线加工进行准确监控、定位、对准的激光加工应用光学系统。
一种聚焦镜组，包括沿紫外激光入射方向于光轴上依次放置的聚焦镜组第一透镜、聚焦镜组第二透镜、聚焦镜组第三透镜、聚焦镜组第四透镜以及聚焦镜组第五透镜，所述聚焦镜组第一透镜与聚焦镜组第二透镜均为弯月型透镜，且曲面均朝向紫外激光出射方向弯曲；所述聚焦镜组第三透镜与聚焦镜组第四透镜为双凸型透镜；所述聚焦镜组第五透镜为双凹型透镜，所述聚焦镜组的焦距为30mm，入瞳直径为15mm。
优选的，所述聚焦镜组对波长为355nm与532nm的两种波长的光束消色差。
优选的，所述聚焦镜组第一透镜由第七曲面和第八曲面构成，曲率半径分别为-13.2±5％mm和-25±5％mm，光轴上中心间隔为2.5±5％mm，折射率/色散系数为1.6/41，误差为±5％；
所述聚焦镜组第二透镜由第九曲面和第十曲面构成，曲率半径分别为-260±5％mm和-18.4±5％mm，光轴上中心间隔为3.2±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
所述聚焦镜组第三透镜由第十一曲面和第十二曲面构成，曲率半径分别为30±5％mm和-60±5％mm，光轴上中心间隔为3±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
所述聚焦镜组第四透镜由第十三曲面和第十四曲面构成，曲率半径分别为31±5％mm和-71±5％，光轴上中心间隔为2.8±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
所述聚焦镜组第五透镜由第十五曲面和第十六曲面构成，曲率半径分别为-39±5％mm和39±5％mm，光轴上中心间隔为1.6±5％mm，折射率/色散系数为1.6/41，误差为±5％。
优选的，所述第八曲面与所述第九曲面光轴上中心间隔为0.2±5％mm；所述第十曲面与所述第十一曲面光轴上中心间隔为0.2±5％mm；所述第十二曲面与所述第十三曲面光轴上中心间隔为0.2±5％mm；所述第十四曲面与所述第十五曲面光轴上中心间隔为1±5％mm。
一种激光加工应用光学系统，包括激光加工系统和激光监控系统，所述激光加工系统和激光监控系统共用一个聚焦镜组，所述聚焦镜组包括沿紫外激光入射方向于光轴上依次放置的聚焦镜组第一透镜、聚焦镜组第二透镜、聚焦镜组第三透镜、聚焦镜组第四透镜以及聚焦镜组第五透镜，所述聚焦镜组第一透镜与聚焦镜组第二透镜均为弯月型透镜，且曲面均朝向紫外激光出射方向弯曲；所述聚焦镜组第三透镜与聚焦镜组第四透镜为双凸型透镜；所述聚焦镜组第五透镜为双凹型透镜，所述聚焦镜组的焦距为30mm，入瞳直径为15mm。
优选的，所述聚焦镜组第一透镜由第七曲面和第八曲面构成，曲率半径分别为-13.2±5％mm和-25±5％mm，光轴上中心间隔为2.5±5％mm，折射率/色散系数为1.6/41，误差为±5％；
所述聚焦镜组第二透镜由第九曲面和第十曲面构成，曲率半径分别为-260±5％mm和-18.4±5％mm，光轴上中心间隔为3.2±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
所述聚焦镜组第三透镜由第十一曲面和第十二曲面构成，曲率半径分别为30±5％mm和-60±5％mm，光轴上中心间隔为3±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
所述聚焦镜组第四透镜由第十三曲面和第十四曲面构成，曲率半径分别为31±5％mm和-71±5％，光轴上中心间隔为2.8±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
所述聚焦镜组第五透镜由第十五曲面和第十六曲面构成，曲率半径分别为-39±5％mm和39±5％mm，光轴上中心间隔为1.6±5％mm，折射率/色散系数为1.6/41，误差为±5％。
优选的，所述第八曲面与所述第九曲面光轴上中心间隔为0.2±5％mm；所述第十曲面与所述第十一曲面光轴上中心间隔为0.2±5％mm；所述第十二曲面与所述第十三曲面光轴上中心间隔为0.2±5％mm；所述第十四曲面与所述第十五曲面光轴上中心间隔为1±5％mm。
优选的，所述激光加工系统还包括：从紫外激光入射端开始，在所述聚焦镜组之前，于光轴上依次放置的扩束镜组、第一滤光反光镜，所述扩束镜组包括：紫外激光出射方向沿光轴依次放置的扩束镜组第一透镜、扩束镜组第二透镜以及扩束镜组第三透镜；所述扩束镜组第一透镜为双凹型透镜；扩束镜组第二透镜与扩束镜组第三透镜均为弯月型透镜，且曲面均向着紫外激光出射方向弯曲，所述扩束镜组扩束倍数为8倍，允许的最大入射光束直径为1mm，适用波长为355nm。
优选的，所述扩束镜组第一透镜由第一曲面和第二曲面构成，曲率半径分别为-5±5％mm和9±5％mm，光轴上中心间隔为1±5％mm，折射率/色散系数为1.46/68，误差为±5％；
所述扩束镜组第二透镜由第三曲面和第四曲面构成，曲率半径分别为-19±5％mm和-10±5％mm，光轴上中心间隔为1.2±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
所述扩束镜组第三透镜由第五曲面和第六曲面构成，曲率半径分别为-9±5％mm和-12±5％mm，光轴上中心间隔为1±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
第二曲面与第三曲面光轴上中心间隔为42±5％mm。第四曲面与第五曲面光轴上中心间隔为1±5％mm。
优选的，还包括激光监控系统，所述激光监控系统包括照明系统及与所述聚焦镜组同光轴设置的成像监控系统，所述照明系统包括：从可见照明光源端开始，在所述聚焦镜组之前，沿光轴依次放置的第二滤光反光镜、第三滤光反光镜、第四滤光反光镜、第一滤光反光镜，所述成像监控系统还包括：沿成像光路，在所述聚焦镜组之后，于光轴依次放置的第一滤光反光镜、第四滤光反光镜、第五滤光反光镜以及CCD接收面。
上述聚焦镜组及激光加工应用光学系统，对激光加工系统所使用的紫外激光和照明系统所使用的可见照明光消色差，将紫外激光聚焦点和可见照明光聚焦点点重合为一个，消除色差对成像监控系统成像的干扰，使成像监控系统能够清晰，准确的对加工位置进行监控、定位，保证紫外加工的准确性和质量。同时，还可采用可见照明光聚焦点对紫外激光聚焦点进行对准，对待加工工件位置进行精确定位。
【附图说明】
图1是一个实施例中激光加工应用光学系统结构示意图；
图2是一个实施例中扩束镜组结构示意图；
图3是一个实施例中聚焦镜组的结构示意图；
图4是一个实施例中激光加工系统的弥散斑图；
图5是一个实施例中激光加工系统的球差图；
图6是一个实施例中激光加工系统的光学传递函数MTF图；
图7是一个实施例中成像监控系统的弥散斑图；
图8是一个实施例中成像监控系统的球差图；
图9是一个实施来中成像监控系统的光学传递函数MTF图。
【具体实施方式】
下面结合附图，对本发明的具体实施方式进行详细描述。
图1是一个实施例中激光加工应用光学系统结构示意图。该实施例中，激光应用光学系统包括激光加工系统和激光监控系统。
激光加工系统用于对待加工工件进行加工，其包括：从激光出射端开始沿光轴依次放置的扩束镜组100、第一滤光反光镜200以及聚焦镜组300。
图2是一个实施例中扩束镜组结构示意图。该实施例中，扩束镜组100对激光进行扩束整形，其包括沿激光出射方向沿光轴依次放置的扩束镜组第一透镜110、扩束镜组第二透镜120以及扩束镜组第三透镜130。扩束镜组第一透镜110为双凹型透镜；扩束镜组第二透镜120和扩束镜组第三透镜130均为弯月型透镜，且曲面均向着激光出射方向弯曲。
该实施例中，扩束镜组各透镜结构和参数为：沿激光出射方向，扩束镜组第一透镜110由第一曲面111和第二曲面112构成，曲率半径分别为R1和R2，光轴上中心间隔为d1，材料为Nd1：Vd1(折射率：色散系数)。扩束镜组第二透镜120由第三曲面121和第四曲面122构成，曲率半径分别为R3和R4，光轴上中心间隔为d3，材料为Nd3：Vd3。扩束镜组第三透镜130由第五曲面131和第六曲面132构成，曲率半径分别为R5和R6，光轴上中心间隔为d5，材料为Nd5：Vd5。第二曲面112与第三曲面121光轴上中心间隔为d2。第四曲面122与第五曲面131光轴上中心间隔为d4。
该实施例中，扩束镜组各透镜参数具体数据如表1所示，该扩束镜组：
β＝8X D入＝1.0mm λ＝355nm
其中，β为扩束倍数，D入为扩束镜组允许的最大入射光束直径，λ为波长。
| 序号 | 曲面 | 曲率半径R(mm) | 曲面间隔d(mm) | 材料Nd/Vd |
| 1 | 第一曲面 | -5±5％ | 1±5％ | 1.46/68(±5％) |
| 2 | 第二曲面 | 9±5％ | 42±5％ | |
| 3 | 第三曲面 | -19±5％ | 1.2±5％ | 1.5/70(±5％) |
| 4 | 第四曲面 | -10±5％ | 1±5％ | |
| 5 | 第五曲面 | -9±5％ | 1±5％ | 1.5/70(±5％) |
| 6 | 第六曲面 | -12±5％ |
表1
图3是一个实施例中聚焦镜组的结构示意图。该聚焦镜组对激光进行聚焦，并对紫外激光和可见照明光消色差，其包括沿激光出射方向沿光轴依次放置的聚焦镜组第一透镜210、聚焦镜组第二透镜220、聚焦镜组第三透镜230、聚焦镜组第四透镜240以及聚焦镜组第五透镜250。
聚焦镜组第一透镜210与聚焦镜组第二透镜220均为弯月型透镜，且曲面均向着激光出射方向弯曲。聚焦镜组第三透镜230和聚焦镜组第四透镜240为双凸型透镜。聚焦镜组第五透镜250为双凹型透镜。
该实施例中，聚焦镜组各透镜结构和参数为：沿激光出射方向，聚焦镜组第一透镜210由第七曲面211和第八曲面212构成，曲率半径分别为R7和R8，光轴上中心间隔为d7，材料为Nd7：Vd7。聚焦镜组第二透镜220由第九曲面221和第十曲面222构成，曲率半径分别为R9和R10，光轴上中心间隔为d9，材料为Nd9：Vd9。聚焦镜组第三透镜230由第十一曲面231和第十二曲面232构成，曲率半径分别为R11和R12，光轴上中心间隔为d11，材料为Nd11：Vd11。聚焦镜组第四透镜240由第十三曲面241和第十四曲面242构成，曲率半径分别为R13和R14，光轴上中心间隔为d13，材料为Nd13：Vd13。聚焦镜组第五透镜250由第十五曲面251和第十六曲面252构成，曲率半径分别为R15和R16，光轴上中心间隔为d15，材料为Nd15：Vd15。第八曲面212与第九曲面221光轴上中心间隔为d8。第十曲面222与第十一曲面231光轴上中心间隔为d10。第十二曲面232与第十三曲面241光轴上中心间隔为d12。第十四曲面242与第十五曲面251光轴上中心间隔为d14。
该实施例中，聚焦镜组各透镜参数具体数据如表2所示，该聚焦镜组：
f＝30mm D＝15mm λ＝355nm与λ＝532nm消色差
其中f为镜头的焦距，D为入瞳直径，λ为波长。
| 序号 | 曲面 | 曲率半径R(mm) | 曲面间隔d(mm) | 材料Nd/Vd |
| 7 | 第七曲面 | -13.2±5％ | 2.5±5％ | 1.6/41(±5％) |
| 8 | 第八曲面 | -25±5％ | 0.2±5％ | |
| 9 | 第九曲面 | -260±5％ | 3.2±5％ | 1.5/70(±5％) |
| 10 | 第十曲面 | -18.4±5％ | 0.2±5％ | |
| 11 | 第十一曲面 | 30±5％ | 3±5％ | 1.5/70(±5％) |
| 12 | 第十二曲面 | -60±5％ | 0.2±5％ | |
| 13 | 第十三曲面 | 31±5％ | 2.8±5％ | 1.5/70(±5％) |
| 14 | 第十四曲面 | -71±5％ | 1±5％ | |
| 15 | 第十五曲面 | -39±5％ | 1.6±5％ | 1.6/41(±5％) |
| 16 | 第十六曲面 | 39±5％ |
表2
激光监控系统包括照明系统和成像监控系统。照明系统用于对待加工工件加工位置进行照明，为成像监控系统提供观察光线，其包括：从可见照明光源400端开始沿光轴依次放置的第二滤光反光镜500、第三滤光反光镜600、第四滤光反光镜700、第一滤光反光镜200以及聚焦镜组300。成像监控系统用于对包括：从代加工工件端开始沿成像光路光轴依次放置的聚焦镜组300、第一滤光反光镜200、第四滤光反光镜700、第五滤光反光镜800以及CCD接收面900。
照明系统和成像监控系统均与激光加工系统共用第一滤光反光镜200和聚焦镜组300，照明系统和成像监控系统共用第四滤光反光镜700、第一滤光反光镜200和聚焦镜组300。
该实施例中，紫外激光经过扩束镜组100、第一滤光反光镜200以及聚焦镜组300后到达待加工工件表面，形成紫外激光聚焦点，对加工位置进行加工。可见照明光由可见照明光源400发出经过第二滤光反光镜500、第三滤光反光镜600、第四滤光反光镜700、第一滤光反光镜200以及聚焦镜组300到达待加工工件表面，形成可见照明光聚焦点，对加工位置进行照明。待加工工件表面光束经聚焦镜组300、第一滤光反光镜200、第四滤光反光镜700、第五滤光反光镜800后到达CCD接收面900，在CCD上成像。
扩束镜组100和聚焦镜组300对紫外激光进行扩束、聚焦，形成紫外激光聚焦点，使紫外激光加工出的线条精细、清晰。聚焦镜组300对紫外激光和可见照明光消色差，使紫外激光聚焦点和可见照明光聚焦点重合，形成一个重合的聚焦点，成像监控系统对该重合的聚焦点成像，从而可以消除色差对成像监控系统成像的干扰，能够精确的对加工位置进行监控、定位。由于聚焦镜组300将紫外激光聚焦点和可见照明光聚焦点重合，从而能够通过可见照明光的聚焦点来对准紫外激光的聚焦点。
下面，选用λ＝355nm紫外激光和λ＝532nm的可见照明光对该激光应用光学系统效果进行阐述。
图4是一个实施例中激光加工系统的弥散斑图，图5是一个实施例中激光加工系统的球差图，图6是一个实施例中激光加工系统的光学传递函数MTF图。结合图4至图6，该激光加工系统对λ＝355nm紫外激光进行扩束聚焦后，光斑成像质量已达到高斯理想成像标准，波差OPD≤λ/100。
图7是一个实施例中成像监控系统的弥散斑图；图8是一个实施例中成像监控系统的球差图；图9是一个实施来中成像监控系统的光学传递函数MTF图。结合图7至图9，该成像监控系统为对λ＝355nm紫外激光和λ＝532nm的可见照明光消色差的监控系统，在CCD上的成像效果完全超过CCD的质量要求，综合波差OPD≤λ/10。当CCD为1/3″ccd时，监控的范围为0.8*0.8mm2。
上述聚焦镜组及激光加工应用光学系统，对激光加工系统所使用的紫外激光和照明系统所使用的可见照明光消色差，将紫外激光聚焦点和可见照明光聚焦点点重合为一个，消除色差对成像监控系统成像的干扰，使成像监控系统能够清晰，准确的对加工位置进行监控、定位，保证紫外加工的准确性和质量。同时，还可采用可见照明光聚焦点对紫外激光聚焦点进行对准，对待加工工件位置进行精确定位。
以上所述实施例仅表达了本发明的实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (10)
1.一种聚焦镜组，其特征在于，包括沿紫外激光入射方向于光轴上依次放置的聚焦镜组第一透镜、聚焦镜组第二透镜、聚焦镜组第三透镜、聚焦镜组第四透镜以及聚焦镜组第五透镜，所述聚焦镜组第一透镜与聚焦镜组第二透镜均为弯月型透镜，且曲面均朝向紫外激光出射方向弯曲；所述聚焦镜组第三透镜与聚焦镜组第四透镜为双凸型透镜；所述聚焦镜组第五透镜为双凹型透镜，所述聚焦镜组的焦距为30mm，入瞳直径为15mm。
2.根据权利要求1所述的聚焦镜组，其特征在于，所述聚焦镜组对波长为355nm与532nm的两种波长的光束消色差。
3.根据权利要求1所述的聚焦镜组，其特征在于，所述聚焦镜组第一透镜由第七曲面和第八曲面构成，曲率半径分别为-13.2±5％mm和-25±5％mm，光轴上中心间隔为2.5±5％mm，折射率/色散系数为1.6/41，误差为±5％；
所述聚焦镜组第二透镜由第九曲面和第十曲面构成，曲率半径分别为-260±5％mm和-18.4±5％mm，光轴上中心间隔为3.2±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
所述聚焦镜组第三透镜由第十一曲面和第十二曲面构成，曲率半径分别为30±5％mm和-60±5％mm，光轴上中心间隔为3±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
所述聚焦镜组第四透镜由第十三曲面和第十四曲面构成，曲率半径分别为31±5％mm和-71±5％，光轴上中心间隔为2.8±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
所述聚焦镜组第五透镜由第十五曲面和第十六曲面构成，曲率半径分别为-39±5％mm和39±5％mm，光轴上中心间隔为1.6±5％mm，折射率/色散系数为1.6/41，误差为±5％。
4.根据权利要求3所述的聚焦镜组，其特征在于，所述第八曲面与所述第九曲面光轴上中心间隔为0.2±5％mm；所述第十曲面与所述第十一曲面光轴上中心间隔为0.2±5％mm；所述第十二曲面与所述第十三曲面光轴上中心间隔为0.2±5％mm；所述第十四曲面与所述第十五曲面光轴上中心间隔为1±5％mm。
5.一种激光加工应用光学系统，包括激光加工系统和激光监控系统，其特征在于，所述激光加工系统和激光监控系统共用一个聚焦镜组，所述聚焦镜组包括沿紫外激光入射方向于光轴上依次放置的聚焦镜组第一透镜、聚焦镜组第二透镜、聚焦镜组第三透镜、聚焦镜组第四透镜以及聚焦镜组第五透镜，所述聚焦镜组第一透镜与聚焦镜组第二透镜均为弯月型透镜，且曲面均朝向紫外激光出射方向弯曲；所述聚焦镜组第三透镜与聚焦镜组第四透镜为双凸型透镜；所述聚焦镜组第五透镜为双凹型透镜，所述聚焦镜组的焦距为30mm，入瞳直径为15mm。
6.根据权利要求5所述的激光加工应用光学系统，其特征在于，所述聚焦镜组第一透镜由第七曲面和第八曲面构成，曲率半径分别为-13.2±5％mm和-25±5％mm，光轴上中心间隔为2.5±5％mm，折射率/色散系数为1.6/41，误差为±5％；
所述聚焦镜组第二透镜由第九曲面和第十曲面构成，曲率半径分别为-260±5％mm和-18.4±5％mm，光轴上中心间隔为3.2±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
所述聚焦镜组第三透镜由第十一曲面和第十二曲面构成，曲率半径分别为30±5％mm和-60±5％mm，光轴上中心间隔为3±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
所述聚焦镜组第四透镜由第十三曲面和第十四曲面构成，曲率半径分别为31±5％mm和-71±5％，光轴上中心间隔为2.8±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
所述聚焦镜组第五透镜由第十五曲面和第十六曲面构成，曲率半径分别为-39±5％mm和39±5％mm，光轴上中心间隔为1.6±5％mm，折射率/色散系数为1.6/41，误差为±5％。
7.根据权利要求5所述的激光加工应用光学系统，其特征在于，所述第八曲面与所述第九曲面光轴上中心间隔为0.2±5％mm；所述第十曲面与所述第十一曲面光轴上中心间隔为0.2±5％mm；所述第十二曲面与所述第十三曲面光轴上中心间隔为0.2±5％mm；所述第十四曲面与所述第十五曲面光轴上中心间隔为1±5％mm。
8.根据权利要求5所述的激光加工应用光学系统，其特征在于，所述激光加工系统还包括：从紫外激光入射端开始，在所述聚焦镜组之前，于光轴上依次放置的扩束镜组、第一滤光反光镜，所述扩束镜组包括：紫外激光出射方向沿光轴依次放置的扩束镜组第一透镜、扩束镜组第二透镜以及扩束镜组第三透镜；所述扩束镜组第一透镜为双凹型透镜；扩束镜组第二透镜与扩束镜组第三透镜均为弯月型透镜，且曲面均向着紫外激光出射方向弯曲，所述扩束镜组扩束倍数为8倍，允许的最大入射光束直径为1mm，适用波长为355nm。
9.根据权利要求8所述的激光加工应用光学系统，其特征在于，所述扩束镜组第一透镜由第一曲面和第二曲面构成，曲率半径分别为-5±5％mm和9±5％mm，光轴上中心间隔为1±5％mm，折射率/色散系数为1.46/68，误差为±5％；
所述扩束镜组第二透镜由第三曲面和第四曲面构成，曲率半径分别为-19±5％mm和-10±5％mm，光轴上中心间隔为1.2±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
所述扩束镜组第三透镜由第五曲面和第六曲面构成，曲率半径分别为-9±5％mm和-12±5％mm，光轴上中心间隔为1±5％mm，折射率/色散系数为1.5/70，误差为±5％；
第二曲面与第三曲面光轴上中心间隔为42±5％mm。第四曲面与第五曲面光轴上中心间隔为1±5％mm。
10.根据权利要求5所述的激光加工应用光学系统，其特征在于，还包括激光监控系统，所述激光监控系统包括照明系统及与所述聚焦镜组同光轴设置的成像监控系统，所述照明系统包括：从可见照明光源端开始，在所述聚焦镜组之前，沿光轴依次放置的第二滤光反光镜、第三滤光反光镜、第四滤光反光镜、第一滤光反光镜，所述成像监控系统还包括：沿成像光路，在所述聚焦镜组之后，于光轴依次放置的第一滤光反光镜、第四滤光反光镜、第五滤光反光镜以及CCD接收面。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN 201010211576 CN101893751B (zh) | 2010-06-25 | 2010-06-25 | 聚焦镜组及激光加工应用光学系统 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101893751A true CN101893751A (zh) | 2010-11-24 |
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ID=43102991
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| CN 201010211576 Active CN101893751B (zh) | 2010-06-25 | 2010-06-25 | 聚焦镜组及激光加工应用光学系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN101893751B (zh) |
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| CN101893751B (zh) | 2012-08-22 |
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