CN101877325A - 晶片中心定位装置 - Google Patents

晶片中心定位装置 Download PDF

Info

Publication number
CN101877325A
CN101877325A CN2010101813966A CN201010181396A CN101877325A CN 101877325 A CN101877325 A CN 101877325A CN 2010101813966 A CN2010101813966 A CN 2010101813966A CN 201010181396 A CN201010181396 A CN 201010181396A CN 101877325 A CN101877325 A CN 101877325A
Authority
CN
China
Prior art keywords
rotating disk
bearing
axle
spider
drag hook
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2010101813966A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101877325B (zh
Inventor
张文斌
王仲康
杨生荣
袁立伟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CETC Beijing Electronic Equipment Co
Original Assignee
Beijing Semiconductor Equipment Institute
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing Semiconductor Equipment Institute filed Critical Beijing Semiconductor Equipment Institute
Priority to CN 201010181396 priority Critical patent/CN101877325B/zh
Publication of CN101877325A publication Critical patent/CN101877325A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101877325B publication Critical patent/CN101877325B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明提供了一种晶片中心定位装置，涉及半导体专用设备晶片中心定位装置技术领域。其中心盘上安装有承片台和轴，轴通过轴承和旋转盘相连，轴固定在座体上，旋转盘通过机械传动装置和电机相连；中心盘上至少设有3个条形辐射状孔，各条形辐射状孔和旋转盘间均设有曲柄拉钩机构，每个曲柄拉钩机构的一端均和旋转盘相绞联，另一端通过其上绞联的定位滑块和条形辐射状孔滑动配合。本发明解决了传统晶片中心定位装置控制难度大、结构复杂的技术问题，具有结构简单紧凑、运行平稳、可靠性强、使用方便的特点。特别适用于对晶片进行加工的半导体专用设备上。

Description

晶片中心定位装置
技术领域
本发明涉及半导体专用设备晶片中心定位装置技术领域。
背景技术
在半导体专用设备制造过程中，实现硅片的自动中心定位是一项关键技术。在现代化的生产设备中，常见的对晶片中心定位的装置有：V形中心定位、旋转中心定位等。其中V形中心定位对V形件表面粗糙度要求很高，加工难度大；旋转中心定位装置结构较为复杂，旋转控制难度大，还存在难于控制的问题，而且精度难以保证，成本也较高。
发明内容
本发明的目的是提供一种晶片中心定位装置，主要要解决传统晶片中心定位装置控制难度大、结构复杂的技术问题，与现有技术相比，该装置具有结构简单紧凑、运行平稳、可靠性强、使用方便的特点。特别适用于对晶片进行加工的半导体专用设备上。
本发明是这样实现的：一种晶片中心定位装置，其特征在于具有以下机械结构：中心盘上安装有承片台和轴，轴通过轴承和旋转盘相连，轴固定在座体上，旋转盘通过机械传动装置和电机相连；中心盘上至少设有3个条形辐射状孔，各条形辐射状孔和旋转盘间均设有曲柄拉钩机构，每个曲柄拉钩机构的一端均和旋转盘相绞联，另一端通过其上绞联的定位滑块和条形辐射状孔滑动配合。
所述的中心盘上安装有可检测承片台上有无片的第1传感器，旋转盘上安装有可检测旋转盘旋转角度的第2传感器及其挡光板。
优选的技术方案，所述的条形辐射状孔为6个较好。
所述的轴上可依次套有旋转盘、轴承、内隔圈、外隔圈、轴承、轴承盖、轴承锁母，轴承锁母通过螺纹和紧定螺钉固定在轴上；机械传动装置的大齿轮安装在旋转盘上，小齿轮与大齿轮啮合。
所述的定位滑块及其连接关系可为：在第1锁紧螺钉依次套有拉钩挡圈、拉钩、下滑柱、中心盘、滑柱轴承、上定位滑柱。
本发明的积极效果是明显的：主要要解决了传统晶片中心定位装置控制难度大、结构复杂的技术问题，与现有技术相比，该装置具有结构简单紧凑、运行平稳、可靠性强、使用方便的特点。特别适用于对晶片进行加工的半导体专用设备上。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图2是图1的仰视立体结构示意图。
图3是图1的立体结构示意图。
图中：1-中心盘，2-下滑柱，3-上位滑柱，4-第1锁紧螺钉，5-滑柱轴承，6-拉钩挡圈，7-拉钩(或拉杆)，8-轴承，9-承片台，10-轴，11-内隔圈，12-外隔圈，13-旋转盘，14-第1传感器，15-座体(或电机板)，16-第2传感器底板，17-小齿轮，18-第2传感器及其挡光板，19-第2传感器，20-大齿轮，21轴承盖，22-轴承锁母，23-第2锁紧螺钉，24-紧定螺钉，25-第3锁紧螺钉，26-滑柱轴承锁母，27-拉钩轴垫。
具体实施方式
下面结合较佳实施例和附图对本发明进一步说明，但不作为对本发明的限定。
参见图1、2、3，该晶片中心定位装置，具有以下机械结构：中心盘1上安装有承片台9和轴10，轴10通过轴承8和旋转盘13相连，轴10固定在座体15上，旋转盘13通过机械传动装置和电机相连；中心盘1上设有6个条形辐射状孔，各条形辐射状孔和旋转盘13间均设有曲柄拉钩机构，每个曲柄拉钩机构的一端均和旋转盘13相绞联，另一端通过其上绞联的定位滑块和条形辐射状孔滑动配合；中心盘1上安装有可检测承片台9上有无片的第1传感器14，旋转盘13上安装有可检测旋转盘旋转角度的第2传感器及其挡光板18。轴10上依次套有旋转盘13、轴承8、内隔圈11、外隔圈12、轴承8、轴承盖21、轴承锁母22，轴承锁母22通过螺纹和紧定螺钉24固定在轴10上；机械传动装置的大齿轮20安装在旋转盘13上，小齿轮17与大齿轮20啮合。定位滑块及其连接关系为：在第1锁紧螺钉4依次套有拉钩挡圈6、拉钩7、下滑柱2、中心盘1、滑柱轴承5、上定位滑柱3。拉钩7一端联在中心盘1上，拉钩7另一端固定在旋转盘13上，第3锁紧螺钉25依次套有拉钩挡圈6、拉钩7、拉钩轴垫27、滑柱轴承5、旋转盘13、滑柱轴承锁母26。第1传感器14安装在中心盘1上，第2传感器19和第2传感器底板16安装在电机板15上，第2传感器及其挡光板18安装在旋转盘13上。
这种新型的晶片中心定位装置主要由拉钩系统、传感器检测系统和旋转盘系统等几部分组成。工作原理：第1传感器14安装在中心盘1上，检测承片台9上有无片；一旦感应到晶片，电机带动小齿轮17旋转，小齿轮17与大齿轮20直连，大齿轮20安装在旋转盘13上；拉钩7一端固定在中心盘1上，拉钩7另一端固定在旋转盘13上，中心盘1上开有六个均布的滑槽，旋转盘13旋转带动六个均布拉钩7在中心盘1滑槽中滑动；第2传感器19和第2传感器底板16安装在电机板15上，第2传感器及其挡光板18安装在旋转盘13上，第2传感器检测旋转盘旋转角度，确定晶片是否至中心。旋转盘13旋转带动六个均布拉钩7在中心盘1滑槽中滑动，迫使晶片至中心。
电机可用斯达特微步电机。
其电气线路略，均可设计，为已有技术。
如半机械或人工控制，第1传感器，第2传感器也可不用。
本发明是一种结构简单实用、使用方便、结构可靠、运行平稳的晶片中心定位装置。与传统技术相比，本发明有明显特点，结构微妙，控制精度高。由于采用了旋转盘和拉钩系统的双重结构设计，使该装置整体结构紧凑，安装简单，结构可靠、运行平稳，应用方便，成本低廉；可广泛应用于半导体专用设备中晶片的中心定位。

Claims (5)

1.一种晶片中心定位装置，其特征在于具有以下机械结构：中心盘(1)上安装有承片台(9)和轴(10)，轴(10)通过轴承(8)和旋转盘(13)相连，轴(10)固定在座体(15)上，旋转盘(13)通过机械传动装置和电机相连；中心盘(1)上至少设有3个条形辐射状孔，各条形辐射状孔和旋转盘(13)间均设有曲柄拉钩机构，每个曲柄拉钩机构的一端均和旋转盘(13)相绞联，另一端通过其上绞联的定位滑块和条形辐射状孔滑动配合。
2.根据权利要求1所述的晶片中心定位装置，其特征在于中心盘(1)上安装有可检测承片台(9)上有无片的第1传感器(14)，旋转盘(13)上安装有可检测旋转盘旋转角度的第2传感器及其挡光板(18)。
3.根据权利要求1所述的晶片中心定位装置，其特征在于所述的条形辐射状孔为6个。
4.根据权利要求1所述的晶片中心定位装置，其特征在于所述的轴(10)上依次套有旋转盘(13)、轴承(8)、内隔圈(11)、外隔圈(12)、轴承(8)、轴承盖(21)、轴承锁母(22)，轴承锁母(22)通过螺纹和紧定螺钉(24)固定在轴(10)上；机械传动装置的大齿轮(20)安装在旋转盘(13)上，小齿轮(17)与大齿轮(20)啮合。
5.根据权利要求1、2或3所述的晶片中心定位装置，其特征在于所述的定位滑块及其连接关系为：在第1锁紧螺钉(4)依次套有拉钩挡圈(6)、拉钩(7)、下滑柱(2)、中心盘(1)、滑柱轴承(5)、上定位滑柱(3)。
CN 201010181396 2010-05-25 2010-05-25 晶片中心定位装置 Active CN101877325B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201010181396 CN101877325B (zh) 2010-05-25 2010-05-25 晶片中心定位装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN 201010181396 CN101877325B (zh) 2010-05-25 2010-05-25 晶片中心定位装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101877325A true CN101877325A (zh) 2010-11-03
CN101877325B CN101877325B (zh) 2012-12-05

Family

ID=43019844

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN 201010181396 Active CN101877325B (zh) 2010-05-25 2010-05-25 晶片中心定位装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101877325B (zh)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103358136A (zh) * 2012-04-09 2013-10-23 大进合紧固件（昆山）有限公司 结构改进的数控机床用夹具
CN104034662A (zh) * 2014-06-13 2014-09-10 北京工业大学 一种用于拉曼光谱法测量晶圆残余应力的精确定位工具-定位仪
CN105021099A (zh) * 2015-07-16 2015-11-04 北京工业大学 一种大尺寸磨削晶圆翘曲测量夹具
CN105702605A (zh) * 2015-12-21 2016-06-22 北京中电科电子装备有限公司 一种晶片中心定位装置
CN107887318A (zh) * 2017-12-15 2018-04-06 广东工业大学 一种晶圆盘定位装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103358136A (zh) * 2012-04-09 2013-10-23 大进合紧固件（昆山）有限公司 结构改进的数控机床用夹具
CN104034662A (zh) * 2014-06-13 2014-09-10 北京工业大学 一种用于拉曼光谱法测量晶圆残余应力的精确定位工具-定位仪
CN104034662B (zh) * 2014-06-13 2016-05-25 北京工业大学 一种用于拉曼光谱法测量晶圆残余应力的精确定位工具-定位仪
CN105021099A (zh) * 2015-07-16 2015-11-04 北京工业大学 一种大尺寸磨削晶圆翘曲测量夹具
CN105702605A (zh) * 2015-12-21 2016-06-22 北京中电科电子装备有限公司 一种晶片中心定位装置
CN105702605B (zh) * 2015-12-21 2018-11-06 北京中电科电子装备有限公司 一种晶片中心定位装置
CN107887318A (zh) * 2017-12-15 2018-04-06 广东工业大学 一种晶圆盘定位装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN101877325B (zh) 2012-12-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101877325B (zh) 晶片中心定位装置
CN108002286B (zh) 驱动模块和包括该驱动模块的塔式升降机构
CN202267633U (zh) 扭杆测量装置
CN106002777A (zh) 电子排水阀控制器装配机的转台夹紧装置
CN103617960A (zh) 一种脆性薄片的转移装置
CN116642445B (zh) 一种轴承外圈检测设备
CN201394758Y (zh) 轧辊磨床床头架柔性拨盘
CN105702605A (zh) 一种晶片中心定位装置
CN202083407U (zh) 一种简易测试轴承工夹具
CN205136981U (zh) 一种利用密珠轴系的高精度转位装置
CN202128710U (zh) 一种转盘组件
CN202462112U (zh) 车轮模具分度卡盘
CN202540085U (zh) 圆锥滚子基面磨床下料托板装置
CN105651541B (zh) 用于超高真空系统的样品拾放装置
CN103017966A (zh) 检测缆绳张力的压力传感机构
CN205374036U (zh) 用于轴承检测装置的转动机构
CN209503151U (zh) 多支点齿轮固定装置
CN203765317U (zh) 一种车床用制动盘胎夹具
CN201514318U (zh) 齿轮快速装夹装置
CN102788607A (zh) 一种高精度端齿盘定位转台
CN203101206U (zh) 一种扶梯驱动主轴摩擦测试仪
CN103964136B (zh) 用于非硅mems零件的自动送料机
CN102616140B (zh) 一种dig汽车仪表转动表盘的支持结构
CN202455211U (zh) 一种动力传动系统
CN209469776U (zh) 一种提升机蜗轮

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
ASS Succession or assignment of patent right

Owner name: CETC BEIJING ELECTRONIC EQUIPMENT CO., LTD.

Free format text: FORMER OWNER: NO.45 INST., CHINA ELECTRONIC SCIENCE AND TECHNOLOGY GROUP CORP.

Effective date: 20101214

C41 Transfer of patent application or patent right or utility model
COR Change of bibliographic data

Free format text: CORRECT: ADDRESS; FROM: 065201 NO.20, HAIYOU AVENUE, ECONOMIC DEVELOPMENT ZONE, YANJIAO, SANHE CITY, HEBEI PROVINCE TO: 100176 ROOMA119, NO.18, XIHUAN SOUTH ROAD, ECONOMIC AND TECHNOLOGICAL DEVELOPMENT ZONE, BEIJING

TA01 Transfer of patent application right

Effective date of registration: 20101214

Address after: 100176 room All9, No. 18 West South Road, Beijing economic and Technological Development Zone

Applicant after: CETC Beijing Electronic Equipment Co., Ltd.

Address before: 065201 Hebei Province, Sanhe Yanjiao Economic Development Zone, 20 main street

Applicant before: No.45 Inst., China Electronic science and Technology Group Corp.

C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant