CN101858946A - 一种氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法 - Google Patents

一种氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101858946A
CN101858946A CN 201010166376 CN201010166376A CN101858946A CN 101858946 A CN101858946 A CN 101858946A CN 201010166376 CN201010166376 CN 201010166376 CN 201010166376 A CN201010166376 A CN 201010166376A CN 101858946 A CN101858946 A CN 101858946A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sample
crystal boundary
volt
grain boundary
ampere characteristic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN 201010166376
Other languages
English (en)
Other versions
CN101858946B (zh
Inventor
何金良
刘俊
曾嵘
胡军
龙望成
雒凤超
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tsinghua University
Original Assignee
Tsinghua University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tsinghua University filed Critical Tsinghua University
Priority to CN2010101663761A priority Critical patent/CN101858946B/zh
Publication of CN101858946A publication Critical patent/CN101858946A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101858946B publication Critical patent/CN101858946B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Electric Means (AREA)

Abstract

本发明涉及一种氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法，属于精细电工材料的定量分析技术领域。将将被测样品磨平并抛光，在样品表面沉积微型银电极阵列，利用精密微探针平台和光学显微镜观察，使针尖与样品上的微电极紧密接触，测量单个氧化锌晶界的伏安特性曲线；对样品施加多次冲击电流作用，测量样品在承受电流冲击的不同阶段单个晶界的伏安特性曲线数据；最后计算出该晶界所对应的非线性系数、击穿电压和泄漏电流等参数，并得到冲击电流对单个晶界特性的影响规律。本方法更为直观地展现出晶界的老化规律，为氧化锌压敏电阻导电机理、老化机理和改性研究提供了更为新颖的测试分析手段。

Description

一种氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法
技术领域
本发明涉及一种氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法，属于精细电工材料的定量分析技术领域。
背景技术
氧化锌压敏电阻由于具有优良的非线性伏安特性和良好的冲击能力吸收能力，在高、中、低压电气工程领域均有广泛的应用。如在电力系统中主要应用为金属氧化物避雷器，吸收不同幅度和脉冲宽度的冲击电流，以限制电力系统过电压，保护电气设备的绝缘。然而，氧化锌压敏电阻在使用过程中会经常受到瞬时冲击电流的作用，使得其电气性能发生显著的老化，最终会导致氧化锌压敏电阻的热崩溃或破裂，影响其正常使用。对于氧化锌压敏电阻老化特性和老化机理的研究向来是该领域的研究热点。
氧化锌压敏电阻在高温烧结过程中会形成晶粒-晶界-晶粒的微结构，在该微结构中会形成双肖特基势垒，从而产生非线性伏安特性，所以氧化锌压敏电阻的性能较大程度上取决于晶界特性。目前对氧化压敏电阻老化特性的研究主要集中于老化前后宏观电气性能的改变，尚未研究冲击电流对单个晶界的作用规律和作用机理。对单晶界老化特性的研究有助于开展与氧化锌压敏电阻相关的导电机理、老化机理和性能改进方面的研究。目前关于氧化锌压敏电阻冲击老化特性的分析和研究尚停留在宏观尺度，多针对于压敏电阻块体样品的冲击老化特性，无法深入其微观尺度的特性。
发明内容
本发明的目的是提出一种氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法，采用光刻手段在抛光的压敏电阻表面沉积直径为微米级的微型金属电极，通过精密微探针平台操纵微探针与金属电极紧密接触，结合伏安特性测试仪准确测量氧化锌压敏电阻在承受冲击电流作用前后单晶界伏安特性的变化。
本发明提出的氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法，包括以下步骤：
(1)将被测试氧化锌压敏电阻样品表面磨平并抛光，使表面粗糙度Ra为0.8-1.6，然后将样品在900-1100℃下加热，腐蚀10-20分钟，使压敏电阻样品的晶界在显微镜下清晰可见；
(2)以上述样品作为基质材料，在抛光过的表面涂覆光刻胶，采用光刻技术将掩膜版的外形结构转移到上述样品表面，利用真空镀膜处理在样品表面沉积微型银电极阵列，最后采用有机溶剂将多余的光刻胶除去；
(3)利用精密微探针平台，通过高倍光学显微镜观察，移动微探针的针尖，使针尖与上述样品上的微电极紧密接触，将伏安特性测试仪与微探针相连，测量单个氧化锌晶界的伏安特性曲线；
(4)对上述被测试氧化锌压敏电阻样品施加多次冲击电流作用，重复步骤(3)，得到被测试氧化锌压敏电阻样品在承受电流冲击的不同阶段单个晶界的伏安特性曲线数据；
(5)依次选取单晶界伏安特性中每个数据点，对与该数据点相邻的5个数据点进行对数拟合，得到局部的非线性系数，定义局部非线性系数中的最大值为该晶界的非线性系数α，与该数据点相对应的伏安特性电压和电流分别定义为该晶界的击穿电压Vb和泄漏电流IL；
(6)对不同冲击电流作用阶段下的多个单晶界伏安特性数据，按照步骤(5)依次计算出该晶界所对应的非线性系数、击穿电压和泄漏电流等参数，比较同一个晶界的伏安特性在不同冲击电流阶段的变化，得到冲击电流对单个晶界特性的影响规律。
本发明提出的氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法，从微观尺度上直接测量了单个晶界的伏安特性，可以更直观展现出冲击电流作用后每个晶界的老化现象。采用本发明所提出的实验手段，可以测量出氧化锌压敏电阻每个晶界的伏安特性和老化特性，也可以通过测量多个晶界的特性参数，统计其老化规律，可以为计算材料学提供可靠的实验数据。冲击电流的波形、幅值、作用次数和作用间隔对氧化锌压敏电阻宏观老化性能有较大的影响。通过改变相关物理量，可以研究其对氧化锌压敏电阻单晶界老化特性的影响规律，为探寻氧化锌压敏电阻的老化机理和改性研究提供实验参考。与常规的测试方法相比，本发明方法将实验扩展到微结构尺度，直接测量了晶界的伏安特性参数，可以更为直观地展现出晶界的老化规律，为氧化锌压敏电阻导电机理、老化机理和改性研究提供了更为新颖的测试分析手段。
附图说明
图1是本发明提出的氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性测试流程图。
图2是本发明的一个实施例。
具体实施方式
本发明提出的氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法，其流程框图如图1所示，包括以下步骤：
(1)将被测试氧化锌压敏电阻样品表面磨平并抛光，使表面粗糙度Ra为0.8-1.6，然后将样品在900-1100℃下加热，腐蚀10-20分钟，使压敏电阻样品的晶界在显微镜下清晰可见；
(2)以上述样品作为基质材料，在抛光过的表面涂覆光刻胶，采用光刻技术将掩膜版的外形结构转移到上述样品表面，利用真空镀膜处理在样品表面沉积微型银电极阵列，最后采用有机溶剂将多余的光刻胶除去；
(3)利用精密微探针平台，通过高倍光学显微镜观察，移动微探针的针尖，使针尖与上述样品上的微电极紧密接触，将伏安特性测试仪与微探针相连，测量单个氧化锌晶界的伏安特性曲线；
(4)对上述被测试氧化锌压敏电阻样品施加多次冲击电流作用，重复步骤(3)，得到被测试氧化锌压敏电阻样品在承受电流冲击的不同阶段单个晶界的伏安特性曲线数据；
(5)依次选取单晶界伏安特性中每个数据点，对与该数据点相邻的5个数据点进行对数拟合，得到局部的非线性系数，定义局部非线性系数中的最大值为该晶界的非线性系数α，与该数据点相对应的伏安特性电压和电流分别定义为该晶界的击穿电压Vb和泄漏电流IL；
(6)对不同冲击电流作用阶段下的多个单晶界伏安特性数据，按照步骤(5)依次计算出该晶界所对应的非线性系数、击穿电压和泄漏电流等参数，比较同一个晶界的伏安特性在不同冲击电流阶段的变化，得到冲击电流对单个晶界特性的影响规律。
以下结合附图，详细介绍本发明的一个实施例。
(1)将被试氧化锌压敏电阻样品置于自动研磨机的碳化硅磨盘上(粗糙度为1μm)磨平表面，并抛光15分钟，再将样品置于箱式高温电炉中，在1100℃下加热腐蚀15分钟，使得压敏电阻表面的晶界在显微镜下明显可见；
(2)以上述样品作为基质材料，在其抛光过的表面涂覆光刻胶，根据被试样品晶粒的尺寸选择合适的掩膜版，本实例采用了具有圆形感光区的掩膜图形，每个圆形感光区的直径为10μm，相邻感光区的间距为5μm，采用光刻技术将掩膜版的外形结构转移到上述样品表面，经过真空镀膜处理后在样品表面沉积一层厚度为100nm的微型银电极阵列，最后用丙酮溶液除去多余的光刻胶，最终在光滑的氧化锌压敏电阻样品表面沉积了一系列的微型金属电极，相邻电极之间会存在若干个晶界层，在显微镜下可以观察到微电极、晶粒和晶界的结构，以及相邻微电极之间的晶粒个数；
(3)利用精密微探针平台(Summit 11000M，Cascade Microtech Inc.，Beaverton，Oregon，USA)和高倍光学显微镜(FS-70，Mitutoyo Corporation，Kawasaki-shi，Kanagawa，Japan)，手动操作微探针平台上的定位装置以移动针尖直径为0.5μm的微探针与前述微电极紧密接触，再将伏安特性测试仪通过电缆与微探针相连，测量相邻两个电极间的伏安特性曲线；
(4)对上述被测试氧化锌压敏电阻样品施加多次标准雷电冲击电流(波头时间8μs，脉冲宽度为20μs)作用，冲击电流密度为500A/cm2，相邻冲击电流作用间隔为15s，当冲击电流作用结束后重复步骤(3)，得到被测试氧化锌压敏电阻样品在承受多次电流冲击的不同阶段单个晶界的伏安特性曲线数据；
(5)依次选取单晶界伏安特性曲线中每个数据点，对与该数据点相邻的5个数据点进行对数拟合，得到局部的非线性系数，定义局部非线性系数中的最大值为该晶界的非线性系数α，与该数据点相对应的伏安特性电压和电流分别定义为该晶界的击穿电压Vb和泄漏电流IL；
(6)对不同冲击电流作用阶段下的多个单晶界伏安特性数据，按照步骤(5)依次计算出该晶界所对应的非线性系数、击穿电压和泄漏电流等参数，比较同一个晶界的伏安特性在不同冲击电流阶段的变化，得到冲击电流对单个晶界特性的影响规律。
图2表示了一个氧化锌压敏电阻在承受多次冲击电流作用以后，其中单个晶界伏安特性的变化趋势。从图2中可以看出该晶界击穿电压约为3.1V，在承受多次冲击电流作用后击穿电压值变化不大。冲击电流的作用对单晶界的泄漏电流和非线性系数有较明显的影响，随着冲击电流作用次数的增加，泄漏电流呈显著增大趋势，而非线性伏安特性逐渐降低。

Claims (1)

1.一种氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法，其特征在于该方法包括以下步骤：
(1)将被测试氧化锌压敏电阻样品表面磨平并抛光，使表面粗糙度Ra为0.8-1.6，然后将样品在900-1100℃下加热，腐蚀10-20分钟，使压敏电阻样品的晶界在显微镜下清晰可见；
(2)以上述样品作为基质材料，在抛光过的表面涂覆光刻胶，采用光刻技术将掩膜版的外形结构转移到上述样品表面，利用真空镀膜处理在样品表面沉积微型银电极阵列，最后采用有机溶剂将多余的光刻胶除去；
(3)利用精密微探针平台，通过高倍光学显微镜观察，移动微探针的针尖，使针尖与上述样品上的微电极紧密接触，将伏安特性测试仪与微探针相连，测量单个氧化锌晶界的伏安特性曲线；
(4)对上述被测试氧化锌压敏电阻样品施加多次冲击电流作用，重复步骤(3)，得到被测试氧化锌压敏电阻样品在承受电流冲击的不同阶段单个晶界的伏安特性曲线数据；
(5)依次选取单晶界伏安特性中每个数据点，对与该数据点相邻的5个数据点进行对数拟合，得到局部的非线性系数，定义局部非线性系数中的最大值为该晶界的非线性系数σ，与该数据点相对应的伏安特性电压和电流分别定义为该晶界的击穿电压Vb和泄漏电流IL；
(6)对不同冲击电流作用阶段下的多个单晶界伏安特性数据，按照步骤(5)依次计算出该晶界所对应的非线性系数、击穿电压和泄漏电流等参数，比较同一个晶界的伏安特性在不同冲击电流阶段的变化，得到冲击电流对单个晶界特性的影响规律。
CN2010101663761A 2010-05-07 2010-05-07 一种氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法 Active CN101858946B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010101663761A CN101858946B (zh) 2010-05-07 2010-05-07 一种氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2010101663761A CN101858946B (zh) 2010-05-07 2010-05-07 一种氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101858946A true CN101858946A (zh) 2010-10-13
CN101858946B CN101858946B (zh) 2012-01-11

Family

ID=42944964

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2010101663761A Active CN101858946B (zh) 2010-05-07 2010-05-07 一种氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101858946B (zh)

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102103166A (zh) * 2010-11-30 2011-06-22 西安交通大学 一种用于ZnO压敏电阻性能评价的无损检测方法
CN103884918A (zh) * 2014-03-10 2014-06-25 西安交通大学 一种针对氧化锌避雷器电阻片老化程度的检测方法
CN105158572A (zh) * 2015-07-28 2015-12-16 西安交通大学 碳纤维复合材料非破坏性雷电流作用下阻抗特性测量方法及测量装置
CN105510683A (zh) * 2015-12-29 2016-04-20 清华大学 宽温度范围压敏电阻阀片内部电流分布均匀性测试方法
CN108254399A (zh) * 2018-01-26 2018-07-06 上海大学 一种晶界电学特性的表征方法
CN108957169A (zh) * 2018-05-15 2018-12-07 大连理工大学 基于极化去极化电荷差的氧化锌避雷器服役状态评价方法
CN109212386A (zh) * 2017-06-30 2019-01-15 比亚迪股份有限公司 轨道交通系统中耐压器件的寿命检测方法及装置
CN109342843A (zh) * 2018-09-18 2019-02-15 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司广州局 一种基于非线性系数的氧化锌避雷器老化判定方法
CN109709426A (zh) * 2018-12-29 2019-05-03 国家电网有限公司 一种大容量mov用电阻片柱电流分布试验方法及装置
CN110763375A (zh) * 2019-11-07 2020-02-07 南方科技大学 一种介电层、离子电容式柔性触觉传感器及其制备方法和应用
CN110954591A (zh) * 2019-12-04 2020-04-03 清华大学 氧化锌晶界老化过程离子迁移行为观测方法
CN113075523A (zh) * 2021-03-22 2021-07-06 云南电网有限责任公司保山供电局 ZnO阀片直流伏安特性新型拟合方法
CN115166449A (zh) * 2022-08-11 2022-10-11 云南电网有限责任公司电力科学研究院 氧化锌阀片性能评估方法和系统
CN115327271A (zh) * 2022-08-11 2022-11-11 云南电网有限责任公司电力科学研究院 计及潮湿环境的氧化锌阀片劣化程度评估方法
CN116559571A (zh) * 2023-06-14 2023-08-08 广东电网有限责任公司 一种电缆金属护层保护器耐老化能力评估方法及系统

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103336210B (zh) * 2013-06-28 2015-06-24 清华大学 一种氧化锌压敏电阻单晶界老化特性的测试方法

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60238770A (ja) * 1984-05-11 1985-11-27 Meidensha Electric Mfg Co Ltd 避雷器の動作責務試験方法
JPH04154624A (ja) * 1990-10-16 1992-05-27 Alps Electric Co Ltd 磁気ヘッド用Ｍｎ−Ｚｎフェライト
CN101055779A (zh) * 2007-03-08 2007-10-17 上海交通大学 晶界添加氧化物或氮化物提高钕铁硼永磁材料性能的方法

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60238770A (ja) * 1984-05-11 1985-11-27 Meidensha Electric Mfg Co Ltd 避雷器の動作責務試験方法
JPH04154624A (ja) * 1990-10-16 1992-05-27 Alps Electric Co Ltd 磁気ヘッド用Ｍｎ−Ｚｎフェライト
CN101055779A (zh) * 2007-03-08 2007-10-17 上海交通大学 晶界添加氧化物或氮化物提高钕铁硼永磁材料性能的方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
《无机材料学报》 19910630 孙鸿涛等 ZnO变阻器的单晶界组成和性能 192-195 1 第6卷, 第2期 2 *

Cited By (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102103166A (zh) * 2010-11-30 2011-06-22 西安交通大学 一种用于ZnO压敏电阻性能评价的无损检测方法
CN102103166B (zh) * 2010-11-30 2013-07-10 西安交通大学 一种用于ZnO压敏电阻性能评价的无损检测方法
CN103884918A (zh) * 2014-03-10 2014-06-25 西安交通大学 一种针对氧化锌避雷器电阻片老化程度的检测方法
CN103884918B (zh) * 2014-03-10 2016-07-06 西安交通大学 一种针对氧化锌避雷器电阻片老化程度的检测方法
CN105158572A (zh) * 2015-07-28 2015-12-16 西安交通大学 碳纤维复合材料非破坏性雷电流作用下阻抗特性测量方法及测量装置
CN105158572B (zh) * 2015-07-28 2018-02-27 西安交通大学 碳纤维复合材料非破坏性雷电流作用下阻抗特性测量方法及测量装置
CN105510683A (zh) * 2015-12-29 2016-04-20 清华大学 宽温度范围压敏电阻阀片内部电流分布均匀性测试方法
CN109212386A (zh) * 2017-06-30 2019-01-15 比亚迪股份有限公司 轨道交通系统中耐压器件的寿命检测方法及装置
CN108254399A (zh) * 2018-01-26 2018-07-06 上海大学 一种晶界电学特性的表征方法
CN108957169A (zh) * 2018-05-15 2018-12-07 大连理工大学 基于极化去极化电荷差的氧化锌避雷器服役状态评价方法
CN109342843A (zh) * 2018-09-18 2019-02-15 中国南方电网有限责任公司超高压输电公司广州局 一种基于非线性系数的氧化锌避雷器老化判定方法
CN109709426A (zh) * 2018-12-29 2019-05-03 国家电网有限公司 一种大容量mov用电阻片柱电流分布试验方法及装置
CN109709426B (zh) * 2018-12-29 2021-08-20 国家电网有限公司 一种大容量mov用电阻片柱电流分布试验方法及装置
CN110763375A (zh) * 2019-11-07 2020-02-07 南方科技大学 一种介电层、离子电容式柔性触觉传感器及其制备方法和应用
CN110763375B (zh) * 2019-11-07 2022-04-05 南方科技大学 一种介电层、离子电容式柔性触觉传感器及其制备方法和应用
CN110954591A (zh) * 2019-12-04 2020-04-03 清华大学 氧化锌晶界老化过程离子迁移行为观测方法
CN110954591B (zh) * 2019-12-04 2021-08-17 清华大学 氧化锌晶界老化过程离子迁移行为观测方法
CN113075523A (zh) * 2021-03-22 2021-07-06 云南电网有限责任公司保山供电局 ZnO阀片直流伏安特性新型拟合方法
CN115166449A (zh) * 2022-08-11 2022-10-11 云南电网有限责任公司电力科学研究院 氧化锌阀片性能评估方法和系统
CN115327271A (zh) * 2022-08-11 2022-11-11 云南电网有限责任公司电力科学研究院 计及潮湿环境的氧化锌阀片劣化程度评估方法
CN115327271B (zh) * 2022-08-11 2024-07-23 云南电网有限责任公司电力科学研究院 计及潮湿环境的氧化锌阀片劣化程度评估方法
CN116559571A (zh) * 2023-06-14 2023-08-08 广东电网有限责任公司 一种电缆金属护层保护器耐老化能力评估方法及系统
CN116559571B (zh) * 2023-06-14 2024-06-18 广东电网有限责任公司 一种电缆金属护层保护器耐老化能力评估方法及系统

Also Published As

Publication number Publication date
CN101858946B (zh) 2012-01-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101858946A (zh) 一种氧化锌压敏电阻单晶界冲击老化特性的测试方法
Beidaghi et al. Electrochemically activated carbon micro-electrode arrays for electrochemical micro-capacitors
CN105510683B (zh) 宽温度范围压敏电阻阀片内部电流分布均匀性测试方法
CN107144613A (zh) 三电极阵列局部电化学信息测试系统及测试方法
CN112014666B (zh) 一种氧化锌避雷器阀片的雷电流伏安特性一致性评价方法
CN103353563A (zh) 一种单片压敏电阻阀片内部的电流分布均匀性测试方法
CN103983902B (zh) 一种确定交流电缆交联聚乙烯绝缘电压耐受指数的方法
CN101074984A (zh) 高压霍尔效应测量装置和测量方法
CN106683811B (zh) 一种测试氧化锌压敏电阻阀片电流分布的装置
CN113960423A (zh) 一种避雷器阀片冲击能量耐受能力的评估方法
CN108362959A (zh) 一种利用导电原子力显微镜装置检测薄膜忆阻特性的检测系统及方法
Hang et al. Investigation of partial discharge in piezoelectric ceramics
CN116481633A (zh) 采用分布式多电极测量微/纳机电系统振动模态的方法
CN104698253A (zh) 一种锂电池开路电压的测定方法
Rastegar et al. Measurement of signal‐to‐noise ratio in graphene‐based passive microelectrode arrays
Witzleben Switching kinetics of valence change memory devices on a sub-100 ps timescale
CN102890218B (zh) 用于金属氧化物避雷器的雷电冲击试验电路
KR100573931B1 (ko) 면저항 인증표준물질 제조방법
CN101769885A (zh) 一种用于陶瓷材料晶粒晶界性能测试电极及其测试方法
Kowalewski Selection of excitation signals for high-impedance spectroscopy
CN112033660A (zh) 一种发电机防晕系统应力测试分析方法
CN105137216A (zh) 一种氧化锆薄膜电阻转变特性检测装置及其检测方法
CN108398417A (zh) 一种评价锂离子电池正极片中导电剂分散情况的方法
CN110780201B (zh) 一种电池最高耐受温度的确定方法
CN102185609A (zh) 利用曲线拟合扣除积分漂移的方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant