CN101793910A - 一种光学原理的加速度传感器 - Google Patents
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Abstract
一种光学原理的加速度传感器,它包括器件封装、支承结构、附加质量块、应力发光膜层、光电转换元件,其特征是器件封装内连有支承结构,支承结构的端部连有附加质量块,在支承结构的上表面涂覆应力发光膜层,应力发光膜层正上方有光电转换元件。本发明的优点是:具有自生特性,不需要供电,传感器始终维持待机状态;光学传感,受电磁干扰的影响小;敏感材料尤需极化或定向,耐冲击,抗过载能力强;使用温度范围宽,可以高温应用。
Description
技术领域
本发明涉及一种加速度传感器,尤其涉及一种光学原理的加速度传感器。
背景技术
加速度传感器的工作原理主要有压电式、压阻式、可变电容式、热导式、机械式等几种。根据量程、精度、可靠性等方面的要求,工业应用主要采用压电式和压阻式。压电式加速度传感器依赖于压电材料,在受到冲击时容易退极化而失效;压阻式加速度传感器在稳定性、量程、使用温度等方面存在不足。本发明的加速度传感器适于工业和其它应用,且没有上述传感器的缺点。
应力发光发生于特殊的荧光材料。例如,专利CN1772836A“含有各向异性的应力发光体的应力发光组合物及其制备方法”描述了应力发光体的制备方法并提供了应力发光涂层。应力发光材料直接将机械能转化为光,无需外加激发光或电进行激发。
加速度信息以振动机械能的形式被转化为光之后,需要进行光电转换才能得到适于检测和分析的电信号。光电转换元件利用了光电效应,包括释放出真空自由电子的外光电效应,以及改变光电材料电学特性的内光电效应。以光伏效应为例,光照在半导体PN结区,在PN结的两端就产生光生电动势。电压信号是常用的电测信号。
发明内容
本发明的目的在于提供一种光学原理的加速度传感器,传感器有自生特性,抗电磁干扰,耐冲击和过载,使用温度高。
本发明是这样来实现的,它包括器件封装、支承结构、附加质量块、应力发光膜层、光电转换元件,其特征是器件封装内连有支承结构,支承结构的端部连有附加质量块,在支承结构的上表面涂覆应力发光膜层,应力发光膜层正上方有光电转换元件。
本发明所述的应力发光膜层为应力发光材料的镀层,优选材料是铝酸盐或者含有应力发光材料的涂层。
本发明所述的支承结构的材料为金属、单晶或陶瓷。
本发明所述的附加质量块的材料为重质合金或其它高密度材料。
本发明所述的光电转换元件为光敏二极管、光敏三极管、光敏电阻或光电管。
本发明所述的器件封装内可以灌注添加阻尼液。
本发明的优点是:具有自生特性,不需要供电,传感器始终维持待机状态;光学传感,受电磁干扰的影响小;敏感材料无需极化或定向,耐冲击,抗过载能力强;使用温度范围宽,可以高温应用。
附图说明
图1为本发明的结构原理截面图。
在图中,1、应力发光膜层 2、光电转换元件 3、支承结构 4、附加质量块 5、引线 6、器件封装
具体实施方式
如图1所示,加速度传感器由应力发光膜层1、光电转换元件2、支承结构3、附加质量块4、引线5及器件封装6组成。器件封装6内还可以灌注添加阻尼液。常见应力发光材料为铝酸盐类。以铝酸盐应力发光材料和光学透明树脂的混合物涂覆支承结构3。支承结构3的材质是金属合金、硅、碳膜或其它结构材料,材料的选择除机械特性外,还需要考虑它和应力发光膜层1的热膨胀系数的匹配或隔离失配造成的热应力。附加质量块4可以采用和支承结构3同种材料或不同于支承结构3材质的重质合金。附加质量块4和支承结构3连接在一起,应力集中于应力发光膜层1的涂覆区域,可以提高器件的灵敏度。应力集中的结构可以是图1的悬臂梁结构,也可以是其它形式。
加速度传感器的质量块M-刚度系数K-阻尼系数C的二阶系统模型中,忽略应力发光膜层1的弹性系数的贡献,支承结构3提供了刚度系数K;在没有灌注阻尼液时基本可以忽略阻尼的影响;忽略支承结构3本身的质量,仅考虑质量块4的质量M,则该传感器的理想固有频率为
通过黏贴、焊接、铆接等方式固定在器件封装6上的光电转换元件2的受光面正对应力发光膜层1,以充分接收信号光。光电转换元件2通常选择光敏二极管或光敏三极管等光伏元件,也可以选用光敏电阻、光电管、CMOS、甚至CCD作为光电元件。电信号由引线5穿通器件封装6引出。光电转换元件2可以置于封装6外部,此情况下用导光元件穿通器件封装6将信号荧光导出到光电转换元件2的受光面。
完整的测量和信号转换过程是:在测量范围内,加速度场中加速度为a,附加质量块4施加给支承结构3的力为F=Ma,支承结构3的应变∝Ma,施加于应力发光膜层1的应力∝Ma,应力发光强度∝Ma,光敏二极管输出短路电流∝Ma或输出开路电压与应力发光强度呈对数式单调变化。输出的电信号可以经过调理、变换、数字化,构成加速度变送器。
本发明基于以上原理,但不限于上述实施方式。
Claims (6)
1.一种光学原理的加速度传感器,它包括器件封装、支承结构、附加质量块、应力发光膜层、光电转换元件,其特征是器件封装内连有支承结构,支承结构的端部连有附加质量块,在支承结构的上表面涂覆应力发光膜层,应力发光膜层正上方有光电转换元件。
2.根据权利要求1所述的一种光学原理的加速度传感器,其特征是所述的应力发光膜层为应力发光材料的镀层,优选材料是铝酸盐或者含有应力发光材料的涂层。
3.根据权利要求1所述的一种光学原理的加速度传感器,其特征是所述的支承结构的材料为金属、单晶或陶瓷。
4.根据权利要求1所述的一种光学原理的加速度传感器,其特征是所述的附加质量块的材料为重质合金或其它高密度材料。
5.根据权利要求1所述的一种光学原理的加速度传感器,其特征是所述的光电转换元件为光敏二极管、光敏三极管、光敏电阻或光电管。
6.根据权利要求1所述的一种光学原理的加速度传感器,其特征是所述的器件封装内可以灌注添加阻尼液。
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