CN101786626A - 还原炉和/或氢化炉高温水热量综合利用的方法 - Google Patents

还原炉和/或氢化炉高温水热量综合利用的方法 Download PDF

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耿玉侠
马国栋
李强
曹振岩
杨光
裴艳红
王兵
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Abstract

本发明公开了还原炉和/或氢化炉高温水热量综合利用的方法，步骤为：来自还原炉和/或氢化炉的高温水回水，分别通入1#高温水换热器、2#高温水换热器和高温水冷却器，高温水回水在1#高温水换热器与来自多晶硅生产的换热器的热水回水换热；高温水回水在2#高温水换热器与来自冷冻水机组的热水回水换热；高温水回水在高温水冷却器与循环冷却上水换热，用于调节高温水回水的温度；高温水回水经1#高温水换热器、2#高温水换热器和高温水冷却器换热后温度降低，用于还原炉和/或氢化炉的冷却。本发明可避免因多晶硅生产的换热器出现泄漏，对贵重设备造成腐蚀破坏。可以降低高温水回水温度，有利于还原炉和/或氢化炉的安全运行。节省能量。

Description

还原炉和/或氢化炉高温水热量综合利用的方法
技术领域
本发明涉及一种多晶硅生产中还原炉和/或氢化炉高温水热量综合利用的方法。
背景技术
多晶硅项目的主设备还原炉和/或氢化炉，一般为钢制设备，内部反应温度需要维持在1000～1300℃，为保护设备不被高温损坏，设备夹套中需通入大量温度范围为90～200℃的高温水进行冷却，保护设备安全运行。
国外技术对于还原炉和/或氢化炉的高温水余热利用考虑较少，基本是采用空冷器冷却或循环水冷却，这样的技术方案导致大量的热能被白白的浪费，投资大，运行费用较高。
国内的工程公司对于还原炉和/或氢化炉的高温水余热利用大都进行了考虑，但是余热利用是采用把还原炉和/或氢化炉夹套内的热水闪蒸为蒸汽，蒸汽用于多晶硅生产的换热器(例如精馏的再沸器等)，蒸汽经过换热器后产生的冷凝水返回还原炉和/或氢化炉的夹套循环使用，会造成：
(1)如果多晶硅生产的换热器中的工艺介质氯硅烷发生微量泄漏，和蒸汽冷凝水反应生成盐酸和二氧化硅，盐酸具有强腐蚀性，会对贵重设备还原炉和/或氢化炉造成腐蚀甚至损坏；
(2)闪蒸需要一定的温差才能产生大量的蒸汽，如果闪蒸出低品位蒸汽，由于蒸汽温度压力不高，不便于多晶硅生产的换热器的使用；
(3)如果闪蒸高品位蒸汽，必须提高高温水回水温度和压力，就使得还原炉和/或氢化炉的内壁温度升高，更接近还原炉和/或氢化炉的材料——不锈钢的极限使用温度，会减少不锈钢使用寿命，因此，对还原炉和/或氢化炉的安全运行产生影响。
发明内容
本发明的目的是克服现有技术中的不足，提供一种还原炉和/或氢化炉高温水热量综合利用的方法。
本发明的技术方案概述如下：
一种还原炉和/或氢化炉高温水热量综合利用的方法，包括如下步骤：来自还原炉和/或氢化炉的高温水回水，分别通入1#高温水换热器、2#高温水换热器和高温水冷却器，所述高温水回水在所述1#高温水换热器与来自多晶硅生产的换热器的热水回水换热，使多晶硅生产的换热器的热水回水温度升高后成为用于多晶硅生产的换热器的热水上水；所述高温水回水在所述2#高温水换热器与来自冷冻水机组的热水回水换热，使热水回水温度升高后成为用于冷冻水机组生产冷冻水的热水上水；所述高温水回水在所述高温水冷却器与循环冷却上水换热，用于调节所述还原炉和/或氢化炉产生的高温水回水的温度波动；所述高温水回水经所述1#高温水换热器、2#高温水换热器和高温水冷却器换热后温度降低后成为高温水上水，用于所述还原炉和/或氢化炉的冷却。
本发明方法的优点：(1)通过1#高温水换热器的设置，使多晶硅生产的换热器的热水系统与还原炉和/或氢化炉的冷却水系统隔离，一旦多晶硅生产的换热器出现氯硅烷物料的泄漏，也不会对还原炉和/或氢化炉等贵重设备造成腐蚀破坏。
(2)本发明采用热水作为中间传热媒介，可以降低高温水回水温度，使得还原炉和/或氢化炉的内壁温度降低，远离还原炉和/或氢化炉的材料——不锈钢的极限使用温度，延长还原炉和/或氢化炉使用寿命，有利于还原炉和/或氢化炉的安全运行。
(3)本发明可以节省大量能量。
(4)本发明可以生产冷冻水，满足多晶硅全厂生产和空调用冷冻水的需要，节省电力消耗。
附图说明
图1为本发明的工艺流程图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步的说明。
一种还原炉和/或氢化炉高温水热量综合利用的方法，包括如下步骤：来自还原炉和/或氢化炉的高温水回水，分别通入1#高温水换热器、2#高温水换热器和高温水冷却器，所述高温水回水在所述1#高温水换热器与来自多晶硅生产的换热器的热水回水换热，使多晶硅生产的换热器的热水回水温度升高后成为用于多晶硅生产的换热器的热水上水；所述高温水回水在所述2#高温水换热器与来自冷冻水机组的热水回水换热，使热水回水温度升高后成为用于冷冻水机组生产冷冻水的热水上水；所述高温水回水在所述高温水冷却器与循环冷却上水换热，用于调节所述还原炉和/或氢化炉产生的高温水回水的温度波动；所述高温水回水经所述1#高温水换热器、2#高温水换热器和高温水冷却器换热后温度降低后成为高温水上水，用于所述还原炉和/或氢化炉的冷却。

Claims (1)

1.一种还原炉和/或氢化炉高温水热量综合利用的方法，其特征是包括如下步骤：来自还原炉和/或氢化炉的高温水回水，分别通入1#高温水换热器、2#高温水换热器和高温水冷却器，所述高温水回水在所述1#高温水换热器与来自多晶硅生产的换热器的热水回水换热，使多晶硅生产的换热器的热水回水温度升高后成为用于多晶硅生产的换热器的热水上水；所述高温水回水在所述2#高温水换热器与来自冷冻水机组的热水回水换热，使热水回水温度升高后成为用于冷冻水机组生产冷冻水的热水上水；所述高温水回水在所述高温水冷却器与循环冷却上水换热，用于调节所述还原炉和/或氢化炉产生的高温水回水的温度波动；所述高温水回水经所述1#高温水换热器、2#高温水换热器和高温水冷却器换热后温度降低后成为高温水上水，用于所述还原炉和/或氢化炉的冷却。
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PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

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