CN101726989B

CN101726989B - 用以制造具有可辨识标记的基板的方法

Info

Publication number: CN101726989B
Application number: CN2009103098246A
Authority: CN
Inventors: 江佳铭; 颜思琳; 游辉钟
Original assignee: CPTF Optronics Co Ltd; Chunghwa Picture Tubes Ltd
Priority date: 2009-11-16
Filing date: 2009-11-16
Publication date: 2011-09-07
Anticipated expiration: 2029-11-16
Also published as: CN101726989A

Abstract

本发明揭露一种用以制造具有可辨识标记的基板的方法，包含：提供一基板；于所述基板上规划至少二基板区域；提供一光罩，所述光罩上四角落各包含预先形成的至少一光罩辨识标记，其中所述光罩的周边范围是大于所述基板的周边范围，且所述些光罩辨识标记包含至少二类型的光罩辨识标记；及利用所述光罩于所述至少二基板区域上分别执行曝光，以于所述至少二基板区域上形成对应至所述些光罩辨识标记的至少八基板辨识标记，并使所述至少八基板辨识标记中至少二基板辨识标记因重复曝光而消失，藉此，在所述至少二基板区域上分别形成有对应至所述至少二类型的光罩辨识标记的所述些基板辨识标记。

Description

用以制造具有可辨识标记的基板的方法

技术领域

本发明大体上是关于基板辨识的领域，更具体而言，是一种利用扫描式曝光以制造具有可辨识标记的基板的方法。

背景技术

随着笔记型计算机、显示器及电视等需求量不断提高，薄膜晶体管液晶显示器(Thin-Film Transistor Liquid Crystal Display，TFT-LCD)面板的出货量也随的增高，但面板的价格除了与供需有关之外，亦与其良率、经济切割尺寸等因素习习相关。

关于经济切割尺寸方面，为了节省成本，在面板制程中常会利用切裂基板的制程，其是将一尺寸较大的基板进行加工，之后进行切割以进一步制成复数个尺寸较小的面板，举例而言，可将一基板切割成四块，成为「1/4」切裂基板，如图1所示，以便在一次制程中能切割出四片TFT-LCD面板。在图一中，基板100可切割成110、120、130及140等四块尺寸较小的基板区域，因为受限于大型光罩的价格昂贵以及曝光机台的稼动率考虑，一般业界仅利用同一套光罩进行扫描式曝光，因此在上述四区域中利用光罩曝光形成的图案(Pattern)将完全相同，其图案可为如图一左上角放大显示的范例。在放大显示的区域110中，一般形成的图案可大致分为显示区域112(数组图案区域)及非显示区域114，亦有业者利用非显示区域114的位置形成辨识标记116，以提供譬如厂商、型号或其它等信息。

在上述设计中，基板区域110至140形成的四块「1/4」切裂基板具有相同的图案，亦即具有相同的辨识标记116，因此在切割后并无法分辨各个「1/4」切裂基板在原基板100上的分布位置。因此，当其中特定基板区域出现不良问题时，业者并无法有效追踪问题来源。

因此，在本发明的实施例中，在不增加硬件负担之下，仅利用同一套光罩进行扫描式曝光，即能在每个基板区域上皆产生不同的识别标记，提供先前技术中无法预期的功效。

发明内容

在本发明实施例的目的提供一种用以制造具有可辨识标记的基板的方法，包含：提供一基板；于所述基板上规划至少二基板区域；提供一光罩，所述光罩上四角落各包含预先形成的至少一光罩辨识标记，其中所述光罩的周边范围是大于所述基板的周边范围，且所述些光罩辨识标记包含至少二类型的光罩辨识标记；及利用所述光罩于所述至少二基板区域上分别执行曝光，以于所述至少二基板区域上形成对应至所述些光罩辨识标记的至少八基板辨识标记，并使所述至少八基板辨识标记中至少二基板辨识标记因重复曝光而消失，藉此，在所述至少二基板区域上分别形成有对应至所述至少二类型的光罩辨识标记的所述些基板辨识标记。

在本发明的较佳实施例中，所述些光罩辨识标记及所述些基板辨识标记包含文字、数字、符号或以上的组合。

在本发明的较佳实施例中，所述至少二基板区域可为直线排列或非直线排列。

在本发明的较佳实施例中，所述些光罩辨识标记于所述光罩上四角落可皆为相同、皆不相同或两两相同。

在本发明的较佳实施例中，所述基板可为薄膜晶体管(Thin-Film Transistor，TFT)基板、彩色滤光片(Color Filter，CF)基板或其它基板。

在本发明的较佳实施例中，更包含切割所述基板的步骤，使所述至少二基板区域分离。

关于本发明的详细实施例说明于下述实施方式，并配合图式说明，以俾利阅者可更加理解本发明的优点。

附图说明

【图式简单说明】

图1显示先前技术的切裂基板示意图；

图2A至H显示本发明实施例的切裂基板示意图；

图3A至E显示本发明实施例的切裂基板示意图；

图4A至E显示本发明实施例的切裂基板示意图；及

图5A至F显示本发明实施例的切裂基板示意图。

【主要组件符号说明】

100 基板

110、120、130、140 基板区域

112 显示区域

114 非显示区域

116 基板辨识标记

200 基板

210、220 基板区域

212 显示区域

214 非显示区域

222 显示区域

224 非显示区域

300 基板

310、320、330 基板区域

400 基板

410、420、430、440 基板区域

500 基板

510、520、530、540 基板区域

具体实施方式

在本发明的实施例中提供多种实施方式，以使阅者可更理解本发明的精神以及诸多优点。譬如，本发明将提供「1/2」切裂基板、「1/3」切裂基板及「1/4」切裂基板等实施方式的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，但其仅是用以说明而非用以将本发明局限于所揭露的特定实施方式。事实上，本领域中具有通常知识者可经由本发明的教示及建议，而有动机根据本发明所揭露的实施例加以变化，以更加适应不同的实际应用情形，譬如「1/9」切裂基板及其它等，且这些变化在合理范围内皆应归属于本发明。

在本发明的一实施例中，提供一种用以制造具有可辨识标记的基板的方法的「1/2」切裂基板实施方式，如图2A至D所示。在图2A中，基板200在规划中欲切割成210及220上下两基板区域(在切割后即成为切裂基板)，利用本发明的方式，只需提供一种光罩图案(包含对应于基板上显示区域上的图案、非显示区域上的基板辨识标记及其它等的光罩图案设计)，即可在基板区域210及基板区域220上产生不同的基板辨识标记。需注意，在此中是利用光罩上的图案以在基板200的不同基板区域210及220上形成辨识标记，为方便说明，文中是将光罩上的辨识标记称为「光罩辨识标记」，而在基板区域210及220上形成的辨识标记称为「基板辨识标记」，即经由曝光显影等步骤而利用光罩上的光罩辨识标记在基板区域210及220上形成基板辨识标记。此外，为达到重迭的效果，在本发明的实施例中，光罩的周边范围是大于个别基板区域210及220的周边范围，亦须注意此中所指「周边范围」，一般而言是指光罩所涵盖的区域的面积，但并不限于面积，以图2B为例，光罩(粗框)所涵盖的周边范围大于基板区域212的周边范围，使部分光罩辨识标记是对准于另一基板区域212。在后述的图5A中，光罩的周边范围是大于基板区域510，并涵盖到基板区域520、530及540。即对应不同的实施方式，光罩的周边范围所需的大小可视情况调整，关于图5A的相关实施例将于后详述。在图2B中，光罩是对准基板200的上缘(包含基板区域210及一部分基板区域220)进行曝光以形成图案，此图案包含显示区域212、非显示区域214及复数个标示「1」及「2」的基板辨识标记，其中复数个基板辨识标记「1」及「2」是分布于非显示区域214之中的四个角落，且从图案左上角、左下角、右下角及右上角分别为「1」、「2」、「2」及「1」，且图案左下角及右下角的基板辨识标记是位于基板区域220的范围内。其中，在较佳实施例中，为了能在不同基板区域上产生不同的文字、数字或符号等，因此光罩辨识标记及对应的基板辨识标记的类别至少与基板区域的个数相同(或以上)，譬如，基板区域212及214有两个，因此光罩辨识标记及基板辨识标记包含「1」及「2」。在图2C中，同样的光罩图案是对准于基板200的下缘(包含基板区域220及一部分基板区域210)曝光以形成图案。其中，在图2B中位于图案左下角及右下角的基板辨识标记(位于基板区域220的范围内)在图2C中因为重复曝光(及显影等制程)而消失，因此基板区域210内四角落的基板辨识标记皆显示为「1」，而基板区域220仅下方两角落具有基板辨识标记，但皆显示为「2」，切割后如图2D所示。因此，利用重复曝光的原理，使基板区域210及220利用同一套光罩而产生不同的基板辨识标记。然而，本发明并不限于此，譬如，在本发明其它实施例中，是可利用不同的光罩/基板辨识标记达到辨识的效果，如图2E至H所示。其中步骤与图2A至D相似，故不加以赘述，仅说明其不同之处。在图2E至H中，其在每一角落皆同时标记「1」及「2」，且「1」在较上方处而「2」在较下方处。最后切割后的效果如图二H所示，在基板区域210中虽然同时包含基板辨识标记「1」及「2」，但四个角落皆是显示基板辨识标记「1」。相似地，在基板区域220中虽然同时包含基板辨识标记「1」及「2」，但四个角落皆是显示基板辨识标记「2」，因此，使切割后的两区域具有极明显的可辨识效果。

在本发明的另一实施例中，提供一种用以制造具有可辨识标记的基板的方法的「1/3」切裂基板实施方式，如图3A至E所示。在接下来图式中，为简洁说明的目的，并未将显示区域及非显示区域表现出来，但为避免影响到显示区域，一般是将基板辨识标记形成于非显示区域中。在图3A中，基板300是欲切割成310、320及330等三个基板区域(在切割后即成为切裂基板，为方便说明，皆以基板区域称呼)。在图3B中，为了区别三个基板区域，辨识标记可同时包含辨识标记「a」、「b」及「c」，但需注意其仅是用以说明本发明，本发明并不限于此。本发明亦可广泛地以其它方式加以实施。在图3B中，光罩图案是对准于基板300的上缘，包含基板区域310及一部分基板区域320。在图3C中，光罩图案是对准于基板300的中间位置，包含基板区域320、一部分基板区域310及一部分基板区域330，且一部分图案是覆盖先前形成的图案。在图3D中，光罩图案是对准于基板300的下缘，包含基板区域330及一部分基板区域320，且一部分图案是覆盖先前形成的图案。图3E则是将基板切割后的示意图，可看到在基板区域300中虽然同时包含「a」、「b」及「c」三种辨识标记，但位于基板区域300四角落者皆为「a」。相似地，位于基板区域320四角落者皆为b，且位于区域330四角落者皆为c。因此，在此实施例中，即利用了同一套光罩图案，经由重复曝光(及显影)而在基板区域310、320及330上形成明显可区分的不同辨识标记。

在本发明的另一实施例中，「1/3」切裂基板亦可利用其它实施方式，如图4A至图4E所示。在图4A至图4E中，利用相同的露光范围、与辨识标记的错位分布及搭配多重曝光的特性，可产生不同于图3A至图3E中基板辨识标记的分布，以此方式，基板区域410、420及430上分布于角落的基板辨识标记皆为不同的数字分布。其中，「角落」是意指位于非显示区域中，但并不限于特定距离，可视实际需求略为调整及变更位置。

虽然于上述提供了本发明多种实施方式的详细说明，但本发明并不限于此，譬如，本发明并不限于「1/2」或「1/3」切裂基板(或未切割前的基板区域)，亦可于实施于其它不同的切裂数目，此外，本发明的实施例不仅能以直线式排列重复曝光，亦不仅能以数字或英文字母作为光罩/基板辨识标记。在下述本发明另一实施例中，是利用本发明的扫描式曝光辨识方法提供一种「1/4」切裂基板，以非直线排列进行重复曝光，以于各基板区域得到明显可加以辨识的不同基板辨识标记，如图5A至F所示。在图5A中，光罩图案是对准于基板500的左上角，包含基板区域510、一部分基板区域520、一部分基板区域530及一部分基板区域540，并在上述基板区域中分别形成一基板辨识标记。此实施利依序利用「○」、「◇」、「△」及「☆」作为一说明。在图5B中，光罩图案是对准于基板400的左下角，包含基板区域520、一部分基板区域510、一部分基板区域530及一部分基板区域540，并在上述基板区域上分别形成「◇」、「○」、「△」及「☆」等基板辨识标记，其中，依上述重复曝光显影原理，原先在图5A中形成的「◇」及「△」基板辨识标记，在图5B中因为重复曝光而消失。在图5C中，光罩图案是对准于基板500的右下角，包含基板区域530、一部分基板区域510、一部分基板区域520及一部分基板区域540，并在上述基板区域上分别形成「△」、「○」、「◇」及「☆」等基板辨识标记，其中，原先在图5B中形成的「△」及「☆」等基板辨识标记，在图五C中因为重复曝光而消失。在图5D中，光罩图案是对准于基板500的右下角，包含基板区域440、一部分基板区域510、一部分基板区域520及一部分基板区域530，并在上述基板区域上分别形成「☆」、「○」、「◇」、及「△」等辨识标记，其中，原先在图5C中形成的「○」及「☆」等基板辨识标记，在图5D中因为重复曝光(及显影)而消失。最后形成的图案如图5E所示，经过切割后如图五F所示，在基版区域510中，在其左上角、左下角及右下角皆形成有「○」的基板辨识标记；在基板区域520中，在其左下角、右下角及右上角皆形成有「◇」的基板辨识标记；在基板区域430中，在其右下角及右上角皆形成有「△」的基板辨识标记；及在基板区域440中，在其右上角形成有「☆」的基板辨识标记。

经由上述详细的实施方式叙述，以及伴随的图式及说明，本领域中具有通常知识者可更加理解本发明的优点。其中，上述的方法可广泛用于各种领域，譬如其中所述基板，并不限于特定基板，其可广泛适用于譬如薄膜晶体管(Thin-Film Transistor，TFT)基板、彩色滤光片(Color Filter，CF)基板或其它基板等，使能达到节省光罩数目亦能分辨切裂基板分布位置的目的，并可进一步应用于譬如液晶显示器的领域。然而，需注意实施例图式中各组件并不限于所显示的特定形状、大小或比例等，为了突显说明本发明实施例的特色，部分组件的形状、大小或比例是经过调整。此外，为使本发明实施例的优点更易于了解，在说明中并未巨细靡遗描述所有组件，但这些组件并未被排除，仍应包含于本发明以使本发明可合理运作。因此，本发明的精神与范围应由下述申请专利范围所定义，并参考上述实施方式，于合理范围下做最广义的解释。

Claims

1.一种用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：包含：提供一基板；于该基板上规划至少二基板区域；提供一光罩，该光罩上四角落各包含预先形成的至少一光罩辨识标记，其中该光罩的周边范围是大于该基板的周边范围，且该些光罩辨识标记包含至少二类型的光罩辨识标记；及利用该光罩于该至少二基板区域上分别执行曝光，以于该至少二基板区域上形成对应至该些光罩辨识标记的至少八基板辨识标记，并使该至少八基板辨识标记中至少二基板辨识标记因重复曝光而消失，藉此，在该至少二基板区域上分别形成有对应至该至少二类型的光罩辨识标记的该些基板辨识标记。

2.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：其中该些光罩辨识标记及该些基板辨识标记包含文字、数字或符号。

3.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：其中该至少二基板区域是为直线排列。

4.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：其中该至少二基板区域是为非直线排列。

5.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：其中该些光罩辨识标记于该光罩上四角落是皆为相同。

6.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：其中该些光罩辨识标记于该光罩上四角落是皆不相同。

7.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于；其中该些光罩辨识标记于该光罩上四角落是两两相同。

8.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：其中该基板为薄膜晶体管基板。

9.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：其中该基板为彩色滤光片基板。

10.根据权利要求1所述的用以制造具有可辨识标记的基板的方法，其特征在于：更包含切割该基板的步骤，使该至少二基板区域分离。