CN101683704A - 模块式激光加工系统和功能模块 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种用于借助于加工激光束(14)来加工工件(20)的模块式激光加工系统(10)，其具有：多个具有光束通过区域(102)的功能模块(100)；构成为纤维连接模块(104)的的功能模块(100)，其用于容纳射出所述加工激光束(14)的纤维端；以及构成为准直仪模块(106)的功能模块(100)，其具有准直仪透镜(16a、16b、16c)，其中所述准直仪透镜可从一组具有不同的焦距的准直仪透镜中选择，所述焦距相当于栅距(L1)或所述栅距的整数倍，其特征在于，功能模块(100)的所述光束通过区域(102)的沿着加工激光束光路的长度(A)相当于栅距(L1)或所述栅距的整数倍。

Description

模块式激光加工系统和功能模块
技术领域
本发明涉及一种用于借助于加工激光束来加工工件的模块式激光加工系统和用于组成该模块式激光加工系统的功能模块。
背景技术
在其中安装了由多个功能模块组成的激光加工头的模块式激光加工系统是已知的。在这种情况下，功能模块在沿加工激光束的光路的相应的位置上完成确定的任务，其中功能模块的光束射入侧和光束射出侧构成为使得其能够与其它的功能模块耦联，以便因此获得用于激光加工头的安装的模块化系统。在这种情况下，已知的功能模块的通常的功能是：容纳玻璃纤维；固定准直仪透镜保护玻璃；容纳准直仪透镜；沿x或y方向调节相应的功能模块，即在垂直于激光加工光束光路的平面内进行调节；耦合输出用于测量激光功率的加工激光束；容纳聚焦透镜；容纳用于保护聚焦透镜的保护玻璃并且在需要时设有用于通过横向流动的保护气体屏蔽加工激光头的横向射流模块。
然而用于激光加工头的安装的已知的光学模块模块化系统指的是，虽然功能模块在其光束射入侧和光束射出侧可分别相互耦联，但是这些都具有不同的外形尺寸。
因此在激光加工头的无法使激光加工光束准直的位置上，基于插入的透镜模块的相应的焦距不能够容易地插入或更换功能模块。
DE 202004013136U1说明了一种模块式光波光学镜，尤其是用于工件的激光束加工的模块式激光束加工系统，所述模块式激光束加工系统具有沿着加工激光束光路可串联地相互连接的功能模块。在这种情况下，设有用于容纳光导纤维的端部的构成为纤维连接模块的功能模块。此外激光加工系统包括能够借助不同焦距的准直仪透镜构成的光学模块。
发明内容
本发明的目的是，提供一种模块式激光加工系统和功能模块，在所述功能模块中简化了在准直仪透镜的不同的焦距的情况下的激光加工系统的匹配。
该目的通过根据本发明的模块式激光加工系统和通过根据本发明的功能模块得以实现。在下文中阐述了本发明的有利的构造和改进。
根据本发明，提出一种用于借助于加工激光束来加工工件的模块式激光加工系统，所述模块式激光加工系统具有：多个具有光束通过区域的功能模块，所述多个功能模块沿着加工激光束光路可串联地相互连接；构成为纤维连接模块的功能模块，其用于容纳射出加工激光束的纤维端；以及构成为准直仪模块的功能模块，其具有准直仪透镜，所述准直仪透镜使加工激光束准直，其中准直仪透镜可从一组具有不同焦距的准直仪透镜中选择，所述焦距相当于栅距或所述栅距的整数倍，其中功能模块的光束通过区域的沿着加工激光束光路的长度相当于栅距或所述栅距的整数倍。
还提出一种模块式激光加工系统，所述模块式激光加工系统由多个的模块组成，其中设有用于保持用于耦合输出激光加工光束的纤维的模块并且设有用于保持准直仪透镜的另一个模块，并且其中扫描插入的准直仪透镜的焦距，因此具有多倍栅距。在这种情况下，基于使用的栅距使模块适应相应的焦距，使得在具有焦距的准直仪透镜更换为具有更大的焦距的准直仪透镜的情况下，一个或多个模块能够插入纤维保持模块和准直仪模块之间并且因此除了少量微调外还提供在纤维端和具有更大的焦距的重新使用的准直仪透镜之间的相应的距离。
对于模块的紧凑构造，有利是，栅距位于20mm和35mm之间的范围内，并且对于栅距的整数倍的简单的计算适合的是，栅距尤其是25mm。
对于模块式激光加工系统的多样的使用性，有利的是，多个功能模块包括具有固定件的基本模块，所述固定件适合用于容纳准直仪透镜、聚焦透镜、光束捕集器、保护玻璃、光学过滤器或光阑。
为了在模块式激光加系统中到达用于使激光加工光束聚焦或准直的沿激光束方向的调节，有利的是，多个功能模块包括具有可沿z方向调节的固定件的z调节模块，所述固定件适合用于容纳纤维套筒、准直仪透镜或聚焦透镜。
此外适合的是，为了在垂直于相应的功能模块的激光束方向的平面内进行相应的调节，多个功能模块包括x调节模块或y调节模块，通过所述x调节模块或y调节模块，设置在所述调节模块光束上游的功能模块能够沿x或y方向相对于设置在所述调节模块光束下游的功能模块进行调节。
在这种情况下适合的是，x调节模块或y调节模块在其光束射入侧和光束射出侧的部分内具有固定件，所述固定件适合用于容纳纤维套筒、准直仪透镜或聚焦透镜。
在使用通过激光加工光束引导的加工气体时，有利的是，多个功能模块包括具有用于加工气体的连接件的供气模块，所述加工气体可输送给供气模块的光束通过区域。
为了达到模块式激光加工系统的最佳的冷却，在所述激光加工系统中功能模块基于其良好的导热的材料成分处于热耦联状态，有利的是，多个功能模块包括冷却模块，所述冷却模块具有围绕冷却模块的光束通过区域的环形通道，所述环形通道适合于冷却液体的通过以便冷却冷却模块。
对于在激光加工系统的相应地希望的空间结构中加工激光束的转向或对于用于测量激光强度的加工激光束的耦合输出，有利的是，多个功能模块包括光束转向模块，所述光束转向模块具有用于耦合输出部分加工激光束的半透明的转向镜或用于使加工激光束转向的镜面的转向镜。在这种情况下，光束通过区域的长度不必与栅距相同，而是例如能够相当于两倍或三倍的栅距。
为了允许各个功能模块相互简单地装配，适合的是，多个功能模块在其光束射入侧分别具有螺钉转接件，借助所述螺钉转接件一个功能模块可与另一个功能模块的光束射出侧连接。
对于实现用于使保护气体或加工气体通过的沿着加工激光束光路密封的气体通道，有利的是，多个功能模块在其光束射入侧或在其光束射出侧分别具有密封元件，所述密封元件包围光束通过区域的开口区域，以便在相互连接的状态下形成多个功能模块的气密的通道。
此外根据本发明，提出一种具有光束通过区域的功能模块，其通过与其它的功能模块的串联连接来构成用于借助于加工激光束加工工件的模块式激光加工系统，所述其它的功能模块沿着加工激光束光路可串联地相互连接，其中模块式激光加工系统包括：构成为纤维连接模块的功能模块，其用于容纳射出加工激光束的纤维端；以及构成为准直仪模块的功能模块，其具有准直仪透镜，所述准直仪透镜使加工激光束准直，并且其中准直仪透镜可从一组具有不同焦距的准直仪透镜中选择，所述焦距相当于栅距或所述栅距的整数倍。在这种情况下，根据本发明，功能模块的光束通过区域的沿着加工激光束光路的长度相当于栅距或所述栅距的整数倍。
附图说明
下面例如借助于附图详细地阐述本发明。附图示出：
图1示出插入不同焦距的准直仪透镜的三个根据本发明的模块式激光加工系统的非常简化的示意图；
图2A示出根据本发明的基本模块的示意的立体图；
图2B示出根据本发明的基本模块的示意的剖视图；
图2C示出根据本发明的基本模块的示意的俯视图；
图3示出根据本发明的z调节模块的示意的剖视图；
图4示出根据本发明的x调节模块或y调节模块的示意的割视图；
图5示出根据本发明的供气模块的示意的剖视图；
图6示出根据本发明的冷却模块的示意的剖视图；以及
图7示出根据本发明的光束转向模块的示意的侧视图。
具体实施方式
在附图的不同的图中相互对应的结构元件设有相同的参考标记。
在图1(a)、(b)和(c)中示出三个不同的根据本发明的模块式激光加工系统10的非常简化的示意图，如它们与激光加工机或激光加工设备一起使用。在这种情况下，由激光加工机通过纤维12输送的加工激光束14从纤维12中耦合输出，通过具有不同焦距的相应的准直仪透镜16a、16b、16c准直并且通过光学镜18在工件20上聚焦，以便在使用加工激光束14的情况下加工工件20，其中例如能够进行焊接或切割加工。
在这种情况下，模块式激光加工系统10由多个功能模块100构成，所述功能模块通过还将详细地说明的统一的耦联系统可相互连接。在这种情况下，功能模块100具有使激光加工光束14通过的光束通过区域102。在这种情况下，沿着激光加工束14的通过区域的长度与长度A相同。在这种情况下，长度A不必与使用的功能模块100的实际的高度恰好相同，而相当于相应的功能模块100相对于总光路的结构的长度。在光束转向模块中(如在图7中所示)，长度A也能够相当于加工激光束14在通道中经过相应的模块的长度。
纤维12保持在纤维连接模块104内，其中纤维12的纤维端在纤维连接模块104的高度方面绘制在中心。从纤维12的纤维端耦合输出的加工激光束14通过在准直仪模块106中的相应的准直仪透镜16a、16b、16c准直，其中准直仪透镜16a、16b、16c同样在准直仪模块106的高度方面绘制在中心。然而相应的光学部件的这个构造是纯示意性的，因为对于实现本发明来说重要的不是在功能模块内光学部件的构造本身，而是在插入的功能模块内沿光束方向在相同位置上的相应的光学部件的构造，因此达到在纤维12的纤维端和准直仪透镜16a、16b、16c之间的基本距离与长度A相同。
在图1(a)中示出的示例中，准直仪透镜16a的焦距与栅距L1相同并且与长度A相同。然而栅距不必与在准直仪透镜系统中使用的最小的焦距相同，因此例如具有最小的焦距的准直仪透镜能够相当于三倍的栅距。通过沿光束方向的调节进行相应于使用的焦距的精确的匹配和对焦，如在后面还将更明确的说明。
因此本发明的目的是，在使用准直仪透镜16a、16b、16c的不同的焦距的情况下，达到模块式激光加工系统10的容易的结构改变。在这种情况下，使用准直仪透镜16a、16b、16c，所述准直仪透镜16a、16b、16c的焦距被扫描，那么所述焦距为栅距L1的整数倍。如在图1(b)中所示，在具有例如与栅距L1(图1(a))相同的焦距的准直仪透镜更换为具有相当于栅距L1的两倍的第二焦距L2的准直仪透镜时，因为功能模块100的光束通过区域的长度A相当于栅距L1，那么功能模块100能够容易地插入准直仪模块106和纤维连接模块104之间。在这种情况下应该指出，功能模块100不是绝对必须具有与栅距L1相同的长度A，例如也可设想，例如光束转向模块的确定的模块能够在其光束通过区域方面具有相当于三倍的栅距L1的长度A。
那么如在图1(a)至1(c)中所示，通过使用准直仪透镜16a、16b和16c的与长度L1相同的、L2＝2L1和L3＝3L1的被扫描的焦距，以简单的方式通过安装具有在本示例中相当于栅距L1的长度A的功能模块100使模块式激光加系统10结构改变。在这种情况下，产生的独特的优点的是，在使用用于准直仪透镜16a的焦距的栅距L1的情况下装配的功能模块100(图1(a))能够在使用具有长度为L2的焦距的准直仪透镜16b的情况下，容易地设置在纤维连接模块104和准直仪模块106之间，因此模块式激光加工系统10的总高度没有改变并且因此达到激光加工系统的紧凑的结构类型。
那么下面将详细地阐述根据图1的功能模块100的不同的实施形式。
在图2A至图2C中示出构成为基本模块200的功能模块100。
基本模块200在其顶部具有螺钉转接件202，所述顶部在与其它的功能模块连接的状态下，基于容易的装配最好为光束射入侧。在基本模块200的本实例中，螺钉转接件202由四个螺纹销204组成，所述螺纹销204远离端面表面206垂直地延伸并且设置在俯视图(图2C)中形成矩形的基本模块200的相应的角上。基本模块200在底部的端面表面208上具有孔210(只在图2A中示出)，螺纹销204穿过所述孔用于将基本模块200与其它的例如构成为基本模块200的功能模块连接并且能够借助于盖形螺母固定。
此外在基本模块200的顶部的表面206上设有环形凸起214，所述环形凸起围绕光束通过区域102并且所述环形凸起在其尺寸方面与在基本模块200的底部内的凹部216配套，以便因此在连接多个基本模块200时提供在环形凸起214和圆形的凹部216之间的插塞连接。
环形凸起214由在基本模块200的顶部的表面206内构成的环形槽218围绕。在环形槽208内嵌有密封环220，所述密封环在近模块200与另一个基本模块200连接时与接触基本模块200的底部的端面表面208接触并且因此使多个功能模块的光束通过区域102相对于外界密封。
如在图2A中所示，基本模块200构成长方体形，其中在基本模块200的顶部端面表面206和底部端面表面208之间的距离相当于长度A，所述长度最好为25mm。基本模块的宽度最好为50mm。
在基本模块200的外侧上设有螺纹孔222和配合孔224，以便允许其它部分装配在模块式激光加工系统上，例如水冷却布置，或者以便激光加工系统10固定在激光加工机上。
基本模块200能够在光束通过区域102具有适合用于容纳光学部件的固定件。因此例如能够将准直仪透镜、聚焦透镜、光学过滤器、光阑或保护玻璃固定在基本模块200内，其中例如可能通过可旋拧的插入件(未示出)。在这种情况下，相应地透镜、玻璃或过滤器最好构成圆形。然而也可设想，在基本模块内设置用于光束捕集器或光阑的固定件。
下面将阐述构成为z调节模块的功能模块，在图3中示出所述功能准模块的示意的剖视图。在这种情况下，将只阐述与基本模块200的部件不同的部件。
z调节模块300在其光束通过区域102内具有沿z方向或平行于加工激光束光路的方向的方向自由移动的插入件302，所述插入件能够通过旋拧入螺纹孔306内的锁定螺钉304固定。
在这种情况下，插入件302能够支撑光学部件，其中对于准直仪透镜或用于固定纤维12的纤维端的纤维套筒的固定件来说，使用z调节模块300是尤其优选的。
在图4中示出x调节模块或y调节模块400的示意的剖视图。在这种情况下设有x调节模块或y调节模块400，以便能够将设置在所述调节模块400光束上游的功能模块100沿x或y方向相对于设置在所述调节模块400光束下游的功能模块100进行调节。在这种情况下，根据本发明提出，x调节模块或y调节模块400分别只是沿垂直于加工激光束光路的方向的方向是可调节的，其中通过装配两个调节模块400能够实现沿垂直于加工激光束光路的方向的平面内的两个方向的调节，所述两个调节模块400的调节方向垂直于放置在下面的调节模块400。
x调节模块或y调节模块400具有上面的或光束射入侧的部分402和下面的或光束射出侧的部分404，其中上面的部分402安装在下面的部分404上的垂直于光束通过方向延伸的导轨元件406内。在此导轨元件406由在上面的部分402内的伸长的凸起元件408组成，所述凸起元件408在伸长的槽410内延伸。在图4中示出的实施例中，伸长的凸起元件408和伸长的槽410在截面图中是矩形的，然而在这里可设想所有可能的形状，因此例如可设想燕尾榫接合。上面的部分402借助中间部分412延伸入下面的部分404内，其中设置在螺纹孔414内的锁定螺钉416通过与上面的部分402的中间部分412接触将上面的部分402锁定在下面的部分404内。上面的部分402的中间部分412在其围绕光束通过区域的环形的内侧具有螺纹416，具有外螺纹420的插入件418可旋拧入所述螺纹内。在此能够为此设有插入件418用于容纳准直仪透镜、聚焦透镜或纤维套筒，所述纤维套筒用于容纳纤维12的纤维端。
在图5中示出构成为供气模块500的功能模块100的示意的剖视图。供气模块500在其围绕光束通过区域102的内壁502内具有内螺纹504，具有外螺纹508的供气插入件506可旋拧入所述内螺纹内。供气插入件506构成套筒形，其中在供气插入件506的壁内构成供给喷嘴510，通过所述供给喷嘴510能够将加工气体或保护气体供给光束通过区域102。在此供给的气体通过供气管路(未示出)导入套筒形的供气插入件506的外壁和供气模块500的内壁502之间的空间内，并且然后通过供气喷嘴510流入光束通过区域102内。
在图6中示出构成为冷却模块600的功能模块100的示意的剖视图。
冷却模块600具有上面的或光束射入侧的部分602和下面的或光束射出侧的部分604，其中上面的部分602具有套筒形的凹部并且下面的部分604具有套筒形的部分606和基座部分608。在此下面的部分604借助其套筒形的部分606插入上面的部分602的套筒形的凹部的内部，其中下面的部分604的长方体形的基座部分608紧靠在上面的部分602的端面上。如基本模块200一样，上面的部分602具有环形凸起610，其中环形凸起610的端面与下面的部分604的套筒形的部分606的端面在共同插入的状态下齐平。下面的部分604的套筒形的部分606在其外壁内具有多个的环形槽612，所述环形槽在插入上面的部分602内的状态下与上面的部分602的内壁一起构成环形通道。
下面的部分604的套筒形的部分606在朝向上面的部分602的环形凸起610的侧面上具有密封环614，以便朝着冷却模块600密封通过环形槽612形成的环形通道。此外，环形通道沿下面的部分604的方向通过密封环616密封，所述密封环设置在位于上面的部分602的朝向下面的部分604的端面内的环形槽618内，其中在下面的部分604与上面的部分602共同插入的状态下，密封环616密封两个部分602和604的连接。为了冷却冷却模块600，最好使用如水的冷却液体，所述冷却模块最好如同其它的功能模块100一样由金属制成并且因此确保与整个系统的良好的热接触。水通过供给通道(未示出)供给通过环形槽612形成的环形通道。在这种情况下，例如可能的是，形成多个环形通道或者设有螺旋形的环形通道，其中在这种情况下，将水输送入一端且在另一端排出。
在图7中示出光束转向模块700的侧视图。
光束转向模块700除了已经在基本模块200的说明中阐述的螺钉转接件202外具有位于侧面的螺钉转接件702，所述螺钉转接件在功能上相当于螺钉转接件202的功能。光束转向模块具有上面的部分704和下面的部分706，所述上面的部分和下面的部分在剖视图范围内分别具有直角三角形的形式。在这种情况下，上面的部分704和下面的部分706与相应的斜边部分连接，使得它们总体上形成直角的体部的剖视图。在这种情况下，能够在上面的部分704的斜边部分上装配反射镜，通过所述反射镜使来自一侧的激光加工光束直角地偏转。然而也可设想，装配部分透光的反射镜，从而将来自光束转向模块700的底部的激光加工光束穿过半透明的反射镜到达顶部并且部分激光加工光束朝一侧耦合输出。
穿过光束转向模块700的加工激光束的长度A再次被调整至栅距L1，如在图1中所示。在这种情况下尤其有利的是，例如可选择两倍的栅距L1，即例如50mm。因此可设想，在准直仪透镜16a、16b、16c的大焦距情况下，在纤维保持模块104和准直仪模块106之间插入转向模块。
因此通过本发明达到，通过将使用的光学模块的通过长度A调整至激光加工系统的模块的所使用的准直仪透镜的被扫描的焦距能够实现通过各个功能模块100的简单的重新装配达到紧凑的结构。在这种情况下，功能模块100不是绝对必须满足某种功能，而是也能够简单地作为间距保持模块使用。因此例如能够简单地通过插入两个间距保持模块100重新装调准直仪透镜的从低焦距到高焦距的过渡，其中只需要少量的微调或完全不需要微调。
因此除了在不同准直仪透镜焦距情况下的模块式激光加工系统的紧凑的结构外，也能够实现模块式激光加工系统的快速的重新装调。

Claims (13)

1.一种用于借助于加工激光束(14)来加工工件(20)的模块式激光加工系统(10)，所述模块式激光加工系统(10)具有：多个具有光束通过区域(102)的功能模块(100)，所述多个功能模块能够沿着加工激光束光路串联地相互连接；构成为纤维连接模块(104)的功能模块(100)，其用于容纳射出所述加工激光束(14)的纤维端；以及构成为准直仪模块(106)的功能模块(100)，其具有准直仪透镜(16a、16b、16c)，所述准直仪透镜(16a、16b、16c)使所述加工激光束(14)准直，其中所述准直仪透镜(16a、16b、16c)能够从一组具有不同焦距的准直仪透镜中选择，所述焦距相当于栅距(L1)或所述栅距的整数倍，其中功能模块(100)的所述光束通过区域(102)的沿着加工激光束光路的长度(A)相当于栅距(L1)或所述栅距的整数倍。
2.如权利要求1所述的模块式激光加工系统，其特征在于，所述栅距(L1)位于20mm和35mm之间的范围内。
3.如权利要求2所述的模块式激光加工系统，其特征在于，所述栅距(L1)为25mm。
4.如权利要求1、2或3所述的模块式激光加工系统，其特征在于，所述多个功能模块(100)包括具有固定件的基本模块(200)，所述固定件适合用于容纳准直仪透镜、聚焦透镜、光束捕集器、保护玻璃、光学过滤器或光阑。
5.如前述权利要求中任一项所述的模块式激光加工系统，其特征在于，所述多个功能模块(100)包括具有能够沿z方向调节的固定件(302)的z调节模块(300)，所述固定件(302)适合用于容纳纤维套筒、准直仪透镜或聚焦透镜。
6.如前述权利要求中任一项所述的模块式激光加工系统，其特征在于，所述多个功能模块(100)包括x调节模块或y调节模块(400)，通过所述x调节模块或y调节模块(400)，设置在所述调节模块(400)光束上游的功能模块(100)能够沿x或y方向相对于设置在所述调节模块(400)光束下游的功能模块(100)进行调节。
7.如权利要求6所述的模块式激光加工系统，其特征在于，所述x调节模块或y调节模块(400)在其光束射入侧和光束射出侧的部分内具有固定件(418)，所述固定件(418)适合用于容纳纤维套筒、准直仪透镜或聚焦透镜。
8.如前述权利要求中任一项所述的模块式激光加工系统，其特征在于，所述多个功能模块(100)包括具有用于加工气体的连接件的供气模块(500)，所述加工气体能够输送给所述供气模块(500)的所述光束通过区域(102)。
9.如前述权利要求中任一项所述的模块式激光加工系统，其特征在于，所述多个功能模块(100)包括冷却模块(600)，所述冷却模块(600)具有围绕所述冷却模块(600)的所述光束通过区域(102)的环形通道，所述环形通道适合于冷却液体通过以便冷却所述冷却模块(600)。
10.如前述权利要求中任一项所述的模块式激光加工系统，其特征在于，所述多个功能模块(100)包括光束转向模块(700)，所述光束转向模块(700)具有用于耦合输出部分所述加工激光束(14)的半透明的转向镜或用于使所述加工激光束(14)转向的镜面的转向镜。
11.如前述权利要求中任一项所述的模块式激光加工系统，其特征在于，所述多个功能模块(100)在其光束射入侧分别具有螺钉转接件(202)，借助所述螺钉转接件(202)一个功能模块(100)能够与另一个功能模块(100)的光束射出侧连接。
12.如前述权利要求中任一项所述的模块式激光加工系统，其特征在于，所述多个功能模块(100)在其光束射入侧或在其光束射出侧分别具有一个密封元件(220)，所述密封元件(220)包围所述光束通过区域(102)的开口区域，以便在相互连接的状态下形成所述多个功能模块(100)的气密的通道。
13.一种具有光束通过区域(102)的功能模块(100)，其通过与其它的功能模块(100)的串联连接来构成用于借助于加工激光束(14)来加工工件(20)的模块式激光加工系统(10)，所述其它的功能模块(100)能够沿着加工激光束光路串联地相互连接，其中所述模块式激光加工系统(10)包括：构成为纤维连接模块(104)的功能模块(100)，其用于容纳射出所述加工激光束(14)的纤维端；以及构成为准直仪模块(106)的功能模块(100)，其具有准直仪透镜(16a、16b、16c)，所述准直仪透镜(16a、16b、16c)使所述加工激光束(14)准直，并且其中所述准直仪透镜(16a、16b、16c)能够从一组具有不同焦距的准直仪透镜中选择，所述焦距相当于栅距(L1)或所述栅距的整数倍，其特征在于，所述功能模块(100)的所述光束通过区域(102)的沿着所述加工激光束光路的长度(A)相当于栅距(L1)或所述栅距的整数倍。
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