CN101666663A

CN101666663A - 环境参数测量方法及系统

Info

Publication number: CN101666663A
Application number: CN200810042590A
Authority: CN
Inventors: 王勇; 张�诚; 吴建桦; 侯大维; 杨洪春; 吕秋玲
Original assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Current assignee: Semiconductor Manufacturing International Shanghai Corp
Priority date: 2008-09-05
Filing date: 2008-09-05
Publication date: 2010-03-10

Abstract

本发明提供了环境参数测量方法及系统，以提高测量效率；该方法包括：获得需要测量环境参数的位置的位置信息；采集所述位置对应的环境参数值；以及存储所述位置信息和环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值信息。

Description

环境参数测量方法及系统

技术领域

本发明涉及测量领域，尤其涉及环境参数测量方法及系统。

背景技术

在集成电路制造过程中，由于生产区域的温度和湿度等环境因素严重影响集成电路的性能，因此集成电路制造工厂需要定期测量生产区域的温度和湿度等环境参数，以严密监控生产区域的环境因素，将其保持在生产需要的范围内。

以测量生产区域的温度和湿度为例，现有测量方法如下：监控人员每天人工在生产区域中的规定位置采集温度及湿度，再记录测量出的各规定位置对应的温度和湿度；然后将记录的温度和湿度信息输入到计算机，并更新到制造执行系统(MES，Manufacturing Execution System)及质量工程(QE，QualityEngineering)系统上。

但是由于需要测量温度和湿度的规定位置很多，例如有134个，而且测量次数频繁，例如每天都需要测量，因此一方面使得测量人员工作极其繁重，测量时间很长，另一方面很可能会有温度和湿度信息的采集错误、记录错误、信息输入错误及更新错误等风险，这两方面都使得测量效率降低。

发明内容

本发明提供环境参数的测量方法及系统，以提高测量效率。

本发明提出了环境参数的测量方法，包括：获得需要测量环境参数的位置的位置信息；采集所述位置对应的环境参数值；以及存储所述位置信息和环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值信息。

本发明还提出了环境参数的测量系统，包括：位置信息获得单元，用于获得需要测量环境参数的位置的位置信息；环境参数采集单元，用于采集所述位置对应的环境参数值；以及存储单元，用于存储所述位置信息获得单元获得的位置信息和环境参数采集单元采集的环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值信息。

本发明通过获得需要测量环境参数的位置的位置信息；采集所述位置对应的环境参数值；以及存储所述位置信息和环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值信息，实现了自动采集、记录需要测量环境参数的位置的位置信息及对应的环境参数值信息，解决了现有环境参数测量技术中通过人工进行采集及记录上述信息，存在的效率低下的问题，提高了环境参数的测量效率。

附图说明

图1为本发明实施例提出的测量方法的流程图；

图2为本发明实施例提出的环境参数测量系统的结构示意图。

具体实施方式

根据上述分析，现有测量生产区域的温度和湿度的方法是通过人工来采集、记录和更新各个规定位置的温度和湿度，但由于需要测量的位置多达上百个，且测量频率较大，因此有测量效率很低的问题。针对该问题，本发明实施例提出如果可以自动采集、记录甚至更新所述各个规定位置的温度和湿度，则必将大大提高测量效率。基于上述想法，本发明实施例提出如下测量方法，以提高测量效率。

图1为本发明实施例提出的测量方法的流程图，结合该图可知，本发明实施例提出的环境参数测量方法，包括：

步骤1，获得需要测量环境参数的位置的位置信息；

需要测量环境参数的位置可以是预先规定的，也可以在一定区域内随机测量，这和实际实施情况有关。

所述位置信息的形式多样，例如可以是编号，例如位置1，位置2...等，也可以是空间描述信息，例如左上，左下等信息。

步骤2，采集所述位置对应的环境参数值；

所述环境参数值可以有多种，例如温度和湿度等，根据具体需要，还可以有压强，空气质量等参数。

为实现自动记录采集的环境参数值，较佳的，采用能够直接或间接与计算机进行数据传递的测量装置来采集环境参数，这样即可将采集的环境参数值传递给计算机自动记录起来；当然也可以先记录到其他存储介质上，然后转存到计算机记录。

步骤3，存储所述位置信息和环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值信息。

在获得位置信息及测量出环境参数值后，还需要将位置信息和环境参数值信息存储起来，在存储上述信息时，应该按照对应关系进行存储，即还需要存储位置信息及其对应的环境参数值的对应关系，所述对应关系可以是直接存储，也可以是间接存储。例如直接存储可以采取下述形式，位置信息1对应环境参数值信息1，位置信息2对应环境参数值信息2等。而间接存储可以是将位置信息与其对应的环境参数信息存储在同一行，这样也能够起到存储所述对应关系的作用。

此外步骤1中，为获得位置信息，通常可以在需要测量环境参数的位置预先设置标识装置，其内存储有位置信息，这样当需要获得所述位置信息时，可以从所述标识装置内获得该位置信息。

在从所述标识装置内获得位置信息时，可以先识别出所述标识装置，再从识别出的标识装置内获得位置信息，由于在所述位置可能只有所述标识装置，或只能从所述标识信息获得位置信息，因此识别标识装置的步骤是可选的。

如果要识别标识装置，则有多种识别方式，下面给出几个示例：

例1，发送第一识别信号，然后接收标识装置根据第一识别信号返回的反馈信号，再根据所述反馈信号，识别出所述标识装置。这种识别方式中，标识装置在接收到第一识别信号才返回反馈信号，节约发送信号消耗的资源。

例2，接收标识装置发送第二识别信号，根据第二识别信号，识别出所述标识装置。这一示例中，标识装置无需接收到第一识别信号，即可发出第二识别信号供以识别。这种识别方式中，仅需要接收第二识别信号，即可识别标识装置，因此操作简便，易于实现。

上述信号的形式可以有多种，例如光信号、电信号、磁信号或相应的混合信号等。

此外无论是否识别标识装置，从标识装置获得位置信息的方式都有多种，下面给出几个示例：

例1，标识装置无需经过外界请求，直接发送位置信息，因此只需要在规定位置接收位置信息即可。这种获得方式由于仅需接收位置信息即可，因此操作简单，易于实现。

例2，标识装置需要接收到请求发送位置信息的请求信息才发送位置信息，因此此时需要首先发送用于请求标识装置发送位置信息的请求信息，然后接收标识装置根据该请求信息发送的位置信息，从而获得位置信息。这种获得方式由于仅在得到请求信息时，才发送位置信息，因此能够节约资源。

另外如果将上述方法在集成电路生产领域实施，则由于测量的环境参数通常需要在MES及QE系统更新，因此在步骤3存储上述信息及对应关系后，还可以将存储的所述对应关系及信息，更新到MES及QE系统。

下面给出在集成电路生产领域实施上述方法的一个实施例。本实施例中，存储位置信息的标识装置为条形码标签，使用条形码扫描仪从标签内读取位置信息，以及使用与计算机传递数据的温湿度计，例如德图温湿度计，采集温度和湿度值。则具体实施过程为：

在规定位置使用条形扫描仪从标签内读取该位置的位置信息，然后使用温湿度计采集该位置的温度和湿度值，再按照表1的形式存储所述位置信息、温度、湿度值信息及间接存储对应关系，最后将存储的上述信息更新到MES及QE系统。

表1

位置信息	温度值	湿度值
位置信息	温度值	湿度值	位置1	温度值1	湿度值1
...	...	...	位置1	温度值1	湿度值1
...	...	...	位置n	温度值n	湿度值n

在上述实施例中，由于无需人工采集、记录及更新温度和湿度值信息，因此解决了现有测量技术效率低下的问题，提高了测量效率。

本发明实施例还提出了环境参数测量系统，以提高环境参数的测量效率。

图2为本发明实施例提出的环境参数测量系统的结构示意图，由该图可知，该系统包括：

位置信息获得单元21，用于获得需要测量环境参数的位置的位置信息；

环境参数采集单元22，用于采集所述位置对应的环境参数值；以及

存储单元23，用于存储所述位置信息获得单元21获得的位置信息和环境参数采集单元23采集的环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值信息。

此处位置信息获得单元21的具体结构有多种，当在需要测量环境参数的位置设置有存储位置信息的标识装置时，如果需要识别该标识装置，则位置信息获得单元21可以包括：用于识别所述标识装置的子单元，以及用于从识别出的标识装置内获得位置信息的子单元。由于在所述位置可能只有所述标识装置，或只能从所述标识信息获得位置信息，因此用于识别所述标识装置的子单元是可选的。

如果有用于识别所述标识装置的子单元，则该子单元有多种结构，下面给出两种：

第一种用于识别所述标识装置的子单元，包括：用于发送第一识别信号的子单元；用于接收标识装置根据第一识别信号返回的反馈信号的子单元，以及根据所述反馈信号，识别出所述标识装置的子单元。

第二种用于识别所述标识装置的子单元，包括：用于接收标识装置发送的第二识别信号的子单元，用于根据第二识别信号，识别出所述标识装置的子单元。这一示例中，标识装置无需接收到第一识别信号，即可发出第二识别信号供以识别。

此外无论是否识别标识装置，用于从识别出的标识装置内获得位置信息的子单元可以有多种结构，下面给出两种：

第一种用于从识别出的标识装置内获得位置信息的子单元，包括用于在规定位置接收位置信息的子单元，由于此时标识装置无需经过外界请求，直接发送位置信息，因此只需要在规定位置接收位置信息即可。

第二种用于从识别出的标识装置内获得位置信息的子单元，包括：用于发送用于请求标识装置发送位置信息的请求信息的子单元，以及用于接收标识装置根据该请求信息发送的位置信息的子单元。由于此时标识装置需要接收到请求发送位置信息的请求信息才发送位置信息，因此此时需要首先发送用于请求标识装置发送位置信息的请求信息，然后接收标识装置根据该请求信息发送的位置信息，从而获得位置信息。

另外如果将上述系统在集成电路生产领域实施，则由于测量的环境参数通常需要在MES及QE系统更新，因此该系统还可以设置用于将存储的所述对应关系及信息，更新到MES及QE系统的单元。

本发明实施例通过获得需要测量环境参数的位置的位置信息；采集所述位置对应的环境参数值；以及存储所述位置信息和环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值信息，实现了自动采集、记录需要测量环境参数的位置的位置信息及对应的环境参数值信息，解决了现有环境参数测量技术中通过人工进行采集及记录上述信息，存在的效率低下的问题，提高了环境参数的测量效率。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims

1、一种环境参数测量方法，其特征在于，包括：

获得需要测量环境参数的位置的位置信息；

采集所述位置对应的环境参数值；以及

存储所述位置信息和环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值信息。

2、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述环境参数为集成电路生产区域的环境参数。

3、如权利要求2所述的方法，其特征在于，所述环境参数为温度和湿度。

4、如权利要求1所述的方法，其特征在于，采用能够与计算机进行数据传递的采集装置采集所述环境参数。

5、如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述位置预先设置有标识装置，该标识装置存储有该位置的位置信息；以及

从所述标识装置内获得所述位置信息。

6、如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述从标识装置内获得位置信息，具体包括：

识别所述标识装置；

从识别出的所述标识装置内获得位置信息。

7、如权利要求6所述的方法，其特征在于，识别所述标识装置，具体包括：

发送第一识别信号；

接收标识装置根据第一识别信号返回的反馈信号；

根据所述反馈信号，识别出所述标识装置。

8、如权利要求6所述的方法，其特征在于，识别所述标识装置，具体包括：

接收标识装置发送的第二识别信号；

根据第二识别信号，识别出所述标识装置。

9、如权利要求5～8任一项所述的方法，其特征在于，所述获得位置信息，具体包括：

接收标识装置发送的所述位置信息。

10、如权利要求9所述的方法，其特征在于，所述获得位置信息，还具体包括：发送用于请求标识装置发送位置信息的请求信息的步骤。

11、如权利要求2～8任一项所述的方法，其特征在于，还包括将存储的所述对应关系及信息，更新到制造执行系统及质量工程系统的步骤。

12、一种环境参数测量系统，其特征在于，包括：

位置信息获得单元，用于获得需要测量环境参数的位置的位置信息；

环境参数采集单元，用于采集所述位置对应的环境参数值；以及

存储单元，用于存储所述位置信息获得单元获得的位置信息和环境参数采集单元采集的环境参数值信息的对应关系、位置信息及环境参数值信息。

13、如权利要求12所述的系统，其特征在于，包括：所述环境参数为集成电路生产区域的环境参数。

14、如权利要求13所述的系统，其特征在于，所述环境参数为温度和湿度。

15、如权利要求14所述的系统，其特征在于，环境参数采集单元采用能够与计算机进行数据传递的采集装置，采集所述温度和湿度。

16、如权利要求12所述的系统，其特征在于，在所述位置预先设置有标识装置，该标识装置存储有该位置的位置信息；以及所述位置信息获得单元从所述标识装置内获得所述位置信息。

17、如权利要求12～16中任一项所述的系统，其特征在于，还包括用于将存储的所述对应关系及信息，更新到制造执行系统及质量工程系统的单元。