CN101655390B - 激光绝对辐射传递标准装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种激光绝对辐射传递标准装置，包括传递标准器和灵敏度线性测量装置。主要技术特点是，传递标准器增加了取样斩波器组件，被测连续激光经过取样斩波器组件后转换为脉冲波，由此大大减小了光电探测器光敏面上的热效应和饱和效应，将现有技术中的激光功率的1mW最大测量值提高到100mW；灵敏度线性测量装置增加了时序斩波器组件，由此可以对本发明中传递标准器的灵敏度线性进行标定。本发明的突出优点是，量值传递精度高，可保证对0.5mW～100mW的激光功率进行精确测量，激光功率测量或灵敏度线性标定所用的时间少。

Description

激光绝对辐射传递标准装置

技术领域

本发明光学计量领域，主要涉及一种激光功率传递标准装置，尤其涉及一种激光绝对辐射传递标准装置。

背景技术

激光率是评价激光的重要参数，通常采用激光绝对辐射传递标准装置对其进行测量。激光绝对辐射传递标准装置可以是单独的传递标准器，也可以由传递标准器和灵敏度线性测量装置构成。传统的传递标准器由陷阱型光电探测器、数字电压表和计算机系统组成。连续激光辐射到陷阱型光电探测  器探测面上，输出电响应被数字电压表测量，计算机系统对电响应测量数据进行处理后获得被测激光的功率值。为了保证传递标准器测量结果的准确性和统一性，传递标准器需要向上一级标准溯源并根据溯源结果对传递标准器进行线性修正。传递标准器的溯源一般采用与低温辐射计直接比对法，即在输出功率小于1mW的标准激光光源照射下，先用低温辐射计测量获得激光功率P₀，再用传递标准器测量获得测量电压V，测量电压V与激光功率P₀的比值作为传递标准器溯源获得的灵敏度R₀；再用灵敏度线性测量装置对传递标准器的灵敏度线性进行测量。这种灵敏度线性测量装置的工作原理为：将带有两个光孔的调制盘放置在激光光源与传递标准器的光电探测器之间且两个光孔分别对准灵敏度线性测量装置中的两条光路，通过一个由步进电机驱动的挡板实现传递标准器的三次不同采样(即挡板分别处于遮挡第一光孔或遮挡第二光孔或均不遮挡这三个位置上)获得在激光功率值P_i下的三个电压响应值V₁、V₂、V₃，传递标准器的计算机系统根据一组功率标定公式计算出P_i所对应 的标定灵敏度R_i并存盘。传递标准器可根据存盘的标定灵敏度R_i对其以后测量的激光功率进行修正。然而，对于功率大于1mW的连续激光而言，由于饱和效应和热效应，传递标准器的灵敏度线性和稳定性都会迅速变差，无法完成高精度的激光功率测量。此外，在对传递标准器进行线性标定中，由于灵敏度线性测量装置在采集电压响应值V₁、V₂、V₃时，挡板的运动是间断的，因此，在同一个激光功率值下的采样周期较长，导致激光光源的稳定性对标定灵敏度R_i带来较大影响，进而降低了标定精度。

发明内容

本发明要解决的第一个技术问题是，针对现有激光功率传递标准装置的不足，提供一种能够对0.5mW～100mW的连续激光进行精确测量的激光绝对辐射传递标准装置。

为解决上述技术问题，本发明提供的激光绝对辐射传递标准装置是在传统传递标准器的基础上增加了一个含有第一直流电机、第一壳体、第一盖板和第一叶片的取样斩波器组件，所述传统传递标准器含有光电探测器、数字电压表和装有数据处理软件包的计算机系统，所述第一叶片为圆片结构且带有1～4个第一透光孔，所述第一透光孔均匀分布在以叶片中心为圆心的同一圆周上；所述第一壳体为U型且底部带有第二透光孔，第二透光孔位于与第一壳体底部中心为圆心的圆周上；第一盖板上带有中心孔和第三透光孔，第三透光孔位于以第一盖板中心为圆心的圆周上；所述第一直流电机安装在第一盖板的中心孔处，第一叶片位于第一壳体中且第一叶片中心与第一直流电机转轴固连，第一盖板固连在第一壳体的敞口一端，所述第二透光孔和第三透光孔的圆心正对第一透光孔所在的圆周；取样斩波器组件放置在被测激光器与所述光电探测器之间，且所述第二、第三透光孔与光电探测器上的光束输入口正对；被测激光器输出的连续激光经过所述取样斩波器组件后变为脉冲光，该脉冲光被光电探测器探测并转换成脉冲电压信号，脉冲电压信号经所述数字电压表采集后送入所述计算机系统；所述数据处理软件包含有存储模块和激光功率计算模块，存储模块中存有灵敏度随响应电压变化的灵敏度线性标定曲线和测量不确定度随响应电压变化的测量不确定度标定曲线，激光功率计算模块根据有效测量电压计算被测激光器的激光功率及对应的扩展不确定度并输出，所述有效测量电压取所述脉冲电压信号中各峰值扣除背景噪声的平均值。

本发明还包括灵敏度线性测量装置，且所述数据处理软件包还含有灵敏度线性标定模块，所述灵敏度线性测量装置含有标准激光光源、双光路组件和时序斩波器组件，所述时序斩波器组件包括第二直流电机、第二壳体、第二盖板、第二叶片，所述第二壳体为U型且底部带有第一、第二通光孔，第一、第二通光孔位于以第二壳体底部中心为圆心的同一半径线上，第二盖板带有中心孔和第三第四通光孔，第三、第四通光孔位于以第二盖板中心为圆心的同一半径线上，第二叶片为圆片结构，其上带有与所述第一叶片上第一透光孔相同数量的选光孔组且每个选光孔组含四个通孔，其中，第一通孔和第二通孔位于第二叶片的第一同心圆周上，第三通孔和第四通孔位于第二叶片的第二同心圆周上，第二通孔和第三通孔位于第二叶片的第一条半径线上，第一通孔和第四通孔分别位于第二叶片的第二、第三半径线上，第二和第三半径线对称位于第一半径线的两侧；所述第二直流电机安装在第二盖板的中心孔处，第二叶片位于第二壳体中且第二叶片中心与第二直流电机转轴固连，第二盖板固连在第二壳体的敞口一端，其中第一通光孔和第三通光孔正对所述第一同心圆周，第二通光孔和第四通光孔正对所述第二同心圆周；时序斩波器组件放置在双光路组件中，其中，第一通光孔和第三通光孔位于第一光路中，第二通光孔和第四通光孔位于第二光路中；进行灵敏度线性标定时，所述灵敏度线性测量装置替代所述取样斩波器组件而放置在所述光电探测器的前方，所述标准激光光源输出功率为变量P_i的连续激光进入所述双光路组件后分成两束光并分别进入第一光路和第二光路且i为标定时的功率采样数，当第二叶片的每个选光孔组的各通孔相继与第一和第二通光孔导通时，传递标准器的 光电探测器输出由V₁、V₃和V₂构成的多个电压脉冲序列，其中，V₁是第一束光的测量电压，V₃是第一和第二束光的合光束测量电压，V₂是第二束光的测量电压；所述数字电压表采集所述电压脉冲序列并送入所述计算机系统，所述灵敏度线性标定模块的功能是通过相应的计算公式获得所述灵敏度随响应电压变化的灵敏度线性标定曲线和所述测量不确定度随响应电压变化的测量不确定度标定曲线。

本发明的有益效果体现在以下几个方面。

(一)本发明中的传递标准器是在传统传递标准器的基础上，增加了取样斩波器组件，被测激光束通过斩波器组件的叶片转换成脉冲信号，这样，大大减小了光电探测器光敏面上的热效应和饱和效应，从而使本发明中的传递标准器可以对0.5mW～100mW的激光功率进行测量。

(二)本发明在现有灵敏度线性测量装置的基础上增加了时序斩波器组件，由此可以对本发明中传递标准器的灵敏度线性进行标定；此外，由于时序斩波器组件的第二叶片是以连续转动方式取样的，与采用间断运动方式取样的现有技术相比，因取样时间短而减少了本发明在标定过程中激光光源稳定性对灵敏度线性标定曲线R_i不确定度的影响，由此提高了灵敏度线性标定曲线R_i的精度，可保证本发明能够对0.5mW～100mW的激光功率进行精确测量。

(三)本发明在传递标准器和灵敏度线性测量装置中都采用斩波器获取激光能量信号，当叶片上的透光孔有激光通过时，光电探测器探测到的信号为含有背景噪声的激光信号，而当叶片上的透光孔没有激光通过时，光电探测器所探测到的信号仅为背景噪声信号，因此，与现有激光功率传递标准装置相比，本发明无论是进行激光功率测量还是灵敏度线性测量，都无需再对背景噪声进行单独的测量，从而节约了激光功率测量或灵敏度线性标定的时间。

附图说明

图1是本发明传递标准器的结构组成示意图。

图2是本发明的第一叶片示意图。

图3是本发明获得的取样脉冲波形图。

图4是本发明激光功率灵敏度线性测量装置示意图。

图5是本发明的第二叶片示意图。

图6是本发明获得的时序脉冲波形图。

具体实施方式

下面结合附图及优选实施例对本发明作进一步的详述。

根据图1所示，本发明优选实施例中的传递标准器包括取样斩波器组件1、光电探测器2、数字电压表3、计算机系统4、驱动电源5。光电探测器2选用陷阱型光电探测器。数字电压表选用keithley2001型数字多用表，其burst模式的采样周期为1s。计算机系统装有数据处理软件包。驱动电源5选用LM317AT三端可调稳压电源，其上带有用于更换负载的插拔口。取样斩波器1含有第一直流电机、第一壳体、第一盖板和第一叶片1-1。第一直流电机选用Maxon直流电动机并通过驱动电源5驱动。第一叶片1-1是用硬铝板料制作的圆片(参见图2)，其上带有两个第一透光孔1-11，两个第一透光孔1-11对称分布在以第一叶片1-1中心为圆心的第一圆周上。在本优选实施例中，采样信号的脉宽定为3ms，采样频率定为12Hz，由于第一透光孔1-11相对于第一叶片1-1中心的张角直接决定了信号的脉宽，因此，为了满足3ms脉宽要求，必须对第一透光孔1-11的位置及直径进行匹配设计；而第一叶片1-1的转速可以直接影响采样频率，因此，为了满足12Hz的采样频率要求，而又不使叶片转速太快，可以适当增加第一透光孔1-11的数量，本优选实施例选用了两个第一透光孔1-11。第一壳体是用硬铝板料制作的U型方壳且底部带有第二透光孔，第二透光孔位于以第一壳体底部中心为圆心的第二圆周上。第一盖板是用硬铝板料制作的方板，方板的主体板面带有中心孔和第三透光孔，侧面带有支撑架；第三透光孔位于以第一盖板中心为圆心的第三圆周上。第一、第二、第三圆 周半径相等。第一直流电机安装在第一盖板的中心孔处，第一叶片1-1位于第一壳体中且第一叶片1-1中心与第一直流电机转轴固连，第一盖板固连在第一壳体的敞口一端且保证第二透光孔和第三透光孔正对。取样斩波器组件1放置在被测激光器与光电探测器2之间，并使第二、第三透光孔与光电探测器2上的光束输入口正对。被测激光器输出的连续激光经过取样斩波器组件1后变为峰值功率与连续激光功率相等的脉冲光(参见图3)，该脉冲光被光电探测器2探测并转换成脉冲电压信号，脉冲电压信号经所述数字电压表3采集后送入计算机系统4。

根据图4所示，本发明优选实施例中的响应灵敏度线性测量装置含有时序斩波器组件9、标准激光光源7、双光路组件8。标准激光光源7是由Ar+激光器和稳功仪构成的标准激光光源，其输出功率在0.4mW～1W的范围内可调，在进行灵敏度线性测量时，本优选实施例将标准激光光源7的采样范围设置在4mW～512mW，并且按照后一个采样功率值是前一个采样功率值两倍的关系设置采样序列。双光路组件8含有两个楔形棱镜、两个平面反射镜和吸收池10，两个楔形棱镜的楔角为1⁰，其上镀有半透半反光学膜层，两个平面反射镜为全反射反射镜。两个楔形棱镜和两个平面反射镜分别放在一个矩形的四个顶点上，其中，两个楔形棱镜位于一条对角线，两个平面反射镜位于另一条对角线上。时序斩波器组件9包括第二直流电机、第二壳体、第二盖板、第二叶片9-1。第二直流电机选用Maxon直流电动机并通过驱动电源5驱动。第二壳体是用硬铝板料制作的U型方壳且底部带有第一、第二通光孔A、B，第一、第二通光孔A、B位于以第二壳体底部中心为圆心的同一条半径线上。第二盖板是用硬铝板料制作的方板，方板的主体带有中心孔和第三、第四通光孔C、D，第三、第四通光孔C、D位于以第二盖板中心为圆心的同一条半径线上。第二叶片9-1是用硬铝板料制作的圆片(参见图5)，由于选光孔的组数必须与第一叶片1-1上的第一透光孔1-11数量相同，因此第二叶片9-1上带有两组选光孔，而每组选光孔带有四个通孔9-11、9-12、9-13、9-14，其中，第一通孔9-11 和第二通孔9-12位于与第二叶片9-1同心的小圆周上，第三通孔9-13和第四通孔9-14位于与第二叶片9-1同心的大圆周上，第二通孔9-12和第三通孔9-13位于第二叶片9-1的第一半径线上，第一通孔9-11和第四通孔9-14分别位于第二叶片9-1的第二、第三半径线上，第二和第三半径线对称位于第一半径线的两侧。由于第三通孔9-13、第四通孔9-14位于大圆周上，要满足采样脉宽的要求，这两个孔必须与第一通孔9-11、第二通孔9-12有相同的圆心角，因此这两个孔要比第一通孔9-11和第二通孔9-12大。第二直流电机安装在第二盖板的中心孔处，第二叶片9-1位于第二壳体中且第二叶片9-1中心与第二直流电机转轴固连，第二盖板固连在第二壳体的敞口一端，其中第一通光孔A和第三通光孔C正对，第二通光孔B和第四通光孔D正对。第一和第三通光孔的圆心正对第二叶片9-1的小圆周，第二和第四通光孔的圆心正对第二叶片9-1的大圆周；时序斩波器组件9放置在双光路组件8中，其中，第二壳体一端面向第一楔形棱镜和第一平面反射镜，第二盖体一端面向楔形棱镜和第二平面反射镜。在进行灵敏度线性标定测量时，响应灵敏度线性测量装置替代取样斩波器组件1，而放置在光电探测器2的前方，激光光源输出功率为P₁的连续激光束经稳功仪后进入双光路组件8，该光束首先经第一楔形镜分成两路，第二路光即折射光束进入时序斩波器组件9的第二通光孔B即双光路组件8中的第二光路；第一路光即反射光束再经第一平面反射镜后进入时序斩波器组件9的第一通光孔A即双光路组件中的第一光路；当第二叶片9-1的第一组选光孔相继与第一和第二通光孔A、B导通时，传递标准器的光电探测器2将输出一个脉冲序列，即当第一通孔9-11转到第一通光孔A的位置时，第一路光依次经第一通孔9-11、第三通光孔C后照射到第二楔形棱镜，再经第二楔形棱镜透射后被传递标准器的光电探测器2接收，经第二楔形棱镜反射后的光束进入吸收池10；当第二通孔9-12和第三通孔9-13同时对应转到第一通光孔A和第二通光孔B的位置时，第一路光依次经第二通孔9-12、第三通光孔C后照射到第二楔形棱镜，再经第二楔形棱镜透射后被光电探测器2接收，而经第二楔形棱镜反射后的光 束进入吸收池10；与此同时，第二路光依次经第三通孔9-13和第四通光孔D后照射到第二平面反射镜，光束经第二平面反射镜的全反射后照射到第二楔形棱镜，再经第二楔形棱镜反射后被光电探测器2接收；当第四通孔9-14转到第二通光孔B的位置时，第二路光经依次第四通孔9-14和第四通光孔D后照射到第二平面反射镜，光束经第二平面反射镜的全反射后照射到第二楔形棱镜，再经第二楔形棱镜反射后被光电探测器2接收。当第二叶片9-1继续转动，使第二组选光孔相继与第一和第二通光孔A、B导通时，光电探测器2将输出第二个脉冲序列，每个脉冲序列含有三个电压响应脉冲信号，即V₁、V₃、V₂。由于第一光路和第二光路的光程相等，因此，当第二通孔9-12、第三通孔9-13对应与第一通光孔A、第二通光孔B同时导通时，第一光路和第二光路的光束同时到达光电探测器2的靶面上，因而，光电探测器2输出的响应电压是两束光的合成响应电压(参见图6)。

数字电压表3对光电探测器2输出的电压响应信号进行采集并存储。对于激光功率测量而言，数字电压表采集6～12个周期的电压信号。在灵敏度线性测量中，数字电压表3将对激光光源采样序列下的每个功率值均采集6～12个周期的脉冲序列电压并存盘。

数据处理软件含有存储模块、激光功率计算模块和灵敏度线性标定模块。存储模块用于存放经过灵敏度线性测量标定获得的R-V灵敏度线性标定曲线和u-V测量不确定度标定曲线。

激光功率计算模块的功能是根据以下公式计算被测激光器的激光功率及其相应的扩展不确定度并输出：

$P=\frac{V}{R^{\′}}---\left(1\right)$

$V=\frac{1}{n}\underset{j=1}{\overset{n}{\mathrm{\Σ}}}(V_j-V_{\mathrm{jo}})---\left(2\right)$

$U=2\sqrt{u^2+u_{R^{\′}}^2}---\left(3\right)$

$u=\frac{\sqrt{\frac{\underset{j=1}{\overset{n}{\mathrm{\Σ}}}{(V_j-V_{j0}-V)}^2}{n(n-1)}}}{V}---\left(4\right)$

式中，P为被测激光功率，V为有效测量电压，V_j为全部采样信号中的峰值电压，V_j0为采样信号中的背景噪声电压，R′为与V对应的标定灵敏度，可通过插值法在R-V灵敏度线性标定曲线上获得，U为被测激光功率P对应的扩展不确定度，u_R’为与V对应的标定测量不确定度，可通过插值法在u-V测量不确定度标定曲线上获得，u为与V对应的计算测量不确定度，j表示测量时的采样脉冲数且j＝1，2，3……，n。

灵敏度线性标定模块的功能是根据下述公式获得灵敏度线性标定曲线及其测量不确定曲线：

$C_{\mathrm{ij}}=\frac{V_{1\mathrm{ij}}+V_{2\mathrm{ij}}}{V_{3\mathrm{ij}}}---\left(5\right)$

$C_i=\frac{1}{n}\underset{j=1}{\overset{n}{\mathrm{\Σ}}}{C}_{\mathrm{ij}}---\left(6\right)$

$u_i=\frac{\sqrt{\frac{\underset{j=1}{\overset{n}{\mathrm{\Σ}}}{(C_{\mathrm{ij}}-C_i)}^2}{n(n-1)}}}{C_i}---\left(7\right)$

$R_i=\frac{R_0}{\underset{k=1}{\overset{i}{\mathrm{\Π}}}{C}_k}---\left(8\right)$

$u_{\mathrm{Ri}}=\sqrt{u_0^2+\underset{k=1}{\overset{i}{\mathrm{\Σ}}}{u}_k---\left(9\right)}$

式中，i为标定时的功率采样数量且i＝1，2，3，……；k对应一个i时的功率采样数量即k＝1，2，3，……，i；j为同一采样功率值下采集到的脉冲序列数量且j＝1，2，3，……，n；C_ij为任一个采样脉冲序列的修正系数，V_1ij为第一光路中光束的响应电压，V_2ij为第二光路中光束的响应电压，V_3ij为第一、第二光路合光束 的响应电压，C_i为不同采样功率值下的灵敏度线性修正系数的平均值，R_i为不同采样功率值下的标定灵敏度，它是随两光路的和光束响应电压值变化的一组标定值，通常称为R-V灵敏度线性标定曲线，R₀为0.5mW标准激光功率条件下与低温辐射计比对获得的溯源灵敏度，u₀为在R₀下计算的测量不确定度，u_i为同一采样功率值下的计算测量不确定度。u_Ri为不同采样功率值下的标定测量不确定度，它是随两光路的和光束响应电压值变化的一组标定值，通常称为u-V测量不确定度标定曲线。标定测量后，用获得的R-V灵敏度线性标定曲线和u-V测量不确定度标定曲线更新存储模块，以在激光功率测量时调用。

Claims (2)

1.一种激光绝对辐射传递标准装置，包括含有光电探测器[2]、数字电压表[3]和计算机系统[4]的传递标准器，且计算机系统[4]装有数据处理软件包，其特征在于：还包括一个含有第一直流电机、第一壳体、第一盖板和第一叶片[1-1]的取样斩波器组件[1]，所述第一叶片[1-1]为圆片结构且带有1～4个第一透光孔[1-11]，所述第一透光孔[1-11]均匀分布在以叶片中心为圆心的同一圆周上；所述第一壳体为U型且底部带有第二透光孔，第二透光孔位于以第一壳体底部中心为圆心的圆周上；第一盖板上带有中心孔和第三透光孔，第三透光孔位于与第一盖板中心为圆心的圆周上；所述第一直流电机安装在第一盖板的中心孔处，第一叶片[1-1]位于第一壳体中且第一叶片[1-1]中心与第一直流电机转轴固连，第一盖板固连在第一壳体的敞口一端，所述第二透光孔和第三透光孔的圆心正对第一透光孔[1-11]所在的圆周；取样斩波器组件[1]放置在被测激光器与所述光电探测器[2]之间，且所述第二、第三透光孔与光电探测器[2]上的光束输入口正对；被测激光器输出的连续激光经过所述取样斩波器组件[1]后变为脉冲光，该脉冲光被光电探测器[2]探测并转换成脉冲电压信号，脉冲电压信号经所述数字电压表[3]采集后送入所述计算机系统[4]；所述数据处理软件包含有存储模块和激光功率计算模块，存储模块中存有灵敏度随响应电压变化的灵敏度线性标定曲线和测量不确定度随响应电压变化的测量不确定度标定曲线，激光功率计算模块根据有效测量电压计算被测激光器的激光功率及其对应的扩展不确定度并输出，其中，有效测量电压取所述脉冲电压信号中各峰值功率扣除背景噪声的平均峰值。

2.根据权利要求1所述的激光绝对辐射传递标准装置，其特征在于：还包括灵敏度线性测量装置，且所述数据处理软件包还含有灵敏度线性标定模块，所述灵敏度线性测量装置含有标准激光光源[7]、双光路组件[8]和时序斩波器组件[9]，所述时序斩波器组件[9]包括第二直流电机、第二壳体、第二盖板、第二叶片[9-1]，所述第二壳体为U型且底部带有第一、第二通光孔[A、B]，第一、第二通光孔[A、B]位于以第二壳体底部中心为圆心的同一半径线上，第二盖板带有中心孔和第三、第四通光孔[C、D]，第三、第四通光孔[C、D]位于以第二盖板中心为圆心的同一半径线上，第二叶片[9-1]为圆片结构，其上带有与所述第一叶片[1-1]上第一透光孔[1-11]相同数量的选光孔组且每个选光孔组含四个通孔，其中，第一通孔[9-11]和第二通孔[9-12]位于第二叶片[9-1]的第一同心圆周上，第三通孔[9-13]和第四通孔[9-14]位于第二叶片[9-1]的第二同心圆周上，第二通孔[9-12]和第三通孔[9-13]位于第二叶片[9-1]的第一条半径线上，第一通孔[9-11]和第四通孔[9-14]分别位于第二叶片[9-1]的第二、第三半径线上，第二和第三半径线对称位于第一半径线的两侧；所述第二直流电机安装在第二盖板的中心孔处，第二叶片[9-1]位于第二壳体中且第二叶片[9-1]中心与第二直流电机转轴固连，第二盖板固连在第二壳体的敞口一端，其中第一通光孔[A]和第三通光孔[C]正对所述第一同心圆周，第二通光孔[B]和第四通光孔[D]正对所述第二同心圆周；时序斩波器组件[9]放置在双光路组件[8]中，其中，第一通光孔[A]和第三通光孔[C]位于第一光路中，第二通光孔[B]和第四通光孔[D]位于第二光路中；进行灵敏度线性标定时，所述灵敏度线性测量装置替代所述取样斩波器组件[1]而放置在所述光电探测器[2]的前方，所述标准激光光源[7]输出功率为变量P_i的连续激光进入所述双光路组件[8]后分成两束光并分别进入第一光路和第二光路且i为标定时的功率采样数，当第二叶片[9-1]的每个选光孔组的各通孔相继与第一和第二通光孔[A、B]导通时，传递标准器的光电探测器[2]输出由V₁、V₃和V₂构成的多个电压脉冲序列，其中，V₁是第一束光的测量电压，V₃是第一和第二束光的合光束测量电压，V₂是第二束光的测量电压；所述数字电压表[3]采集所述电压脉冲序列并送入所述计算机系统[4]，所述灵敏度线性标定模块的功能是通过相应的计算公式获得所述灵敏度随响应电压变化的灵敏度线性标定曲线和所述测量不确定度随响应电压变化的测量不确定度标定曲线。

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