CN101598801A - 电容式加速度检波器中间可动电极 - Google Patents
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Abstract
一种电容式加速度检波器中间可动电极，涉及电容式加速度检波器，设有质量块，质量块上均布支撑梁，支撑梁连接边框内侧，质量块上设有金属极板，支撑梁为直形支撑梁，制造工艺简单，成本低，制作过程中不容易形成应力集中，不容易造成变形断裂，电容量一致性好，噪声小，性能稳定，波形失真小，适用于电容式加速度检波器。
Description
技术领域
本发明涉及电容式加速度检波器，具体说是一种电容式加速度检波器中间可动电极。
背景技术
我们知道，现有的电容式加速度检波器中间可动电极，如美国专利局1997年7月29日公布的专利号为5652384，名称为L形支撑梁结构的传感器，中间可动电极设有质量块，质量块四个侧边上下对应设有L形支撑梁，上下两层八条L形支撑梁连接边框内侧中部，质量块上设有金属极板。这种电容式加速度检波器中间可动电极，由于质量块四个侧边上下对应设有L形支撑梁，L形支撑梁有90°拐角，制造工艺复杂，成本高，制作过程中容易形成应力集中，影响支撑梁的强度，容易造成变形断裂，使电容量一致性差，噪声大，性能不稳定，波形失真大，甚至毁坏检波器。
发明内容
本发明解决的技术问题是，解决L形支撑梁制造工艺复杂，成本高，制作过程中容易形成应力集中，影响支撑梁的强度，容易造成变形断裂，使电容量一致性差，噪声大，性能不稳定，波形失真大，甚至毁坏检波器的问题，提供一种制造工艺简单，成本低，制作过程中不容易形成应力集中，不容易造成变形断裂，电容量一致性好，噪声小，性能稳定，波形失真小的电容式加速度检波器中间可动电极。
本发明的技术方案是，设有质量块，质量块上均布支撑梁，支撑梁连接边框内侧，质量块上设有金属极板，主要结构特点是，支撑梁为直形支撑梁。
本发明支撑梁位于质量块边角，垂直于质量块与边框。
本发明支撑梁位于质量块侧边中间，垂直于质量块与边框。
本发明支撑梁位于质量块尖角与边框内角上。
本发明支撑梁位于质量块边角，平行于质量块侧边和边框。
本发明支撑梁为单层支撑梁。
本发明与边框、质量块、支撑梁相对应平行设有下边框、下质量块、下支撑梁，边框与下边框贴合成整体，为整体边框，质量块与下质量块贴合成整体，为整体质量块，支撑梁和下支撑梁形成双层支撑梁。
本发明支撑梁和下支撑梁并列对齐。
本发明支撑梁和下支撑梁交错分布。
本发明的有益效果是，由于支撑梁为直形支撑梁，制造工艺简单，成本低，制作过程中不容易形成应力集中，不容易造成变形断裂，电容量一致性好，噪声小，性能稳定，波形失真小。本发明适用于电容式加速度检波器。
附图说明
图1、图2是本发明的一种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图1是主视图，图2是图1的A-A剖视图；
图3、图4是本发明的又一种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图3是主视图，图4是图3的B-B剖视图；
图5、图6是本发明的又一种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图5是主视图，图6为图5的C-C剖视图；
图7、图8是本发明的又一种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图7是主视图，图8为图7的D-D剖视图；
图9、图10是本发明的又一种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图9是主视图，图10为图9的E-E剖视图；
图11、图12是本发明的又一种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图11是主视图，图12为图11的F-F剖视图；
图13、图14是本发明的又一种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图13是主视图，图14为图13的G-G剖视图；
图15、图16是本发明的又一种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图15是主视图，图16为图15的H-H剖视图；
图17、图18、图19、图20是本发明的又一种结构示意图，也是一种实施例的示意图，图17是主视图，图18是图17的J-J剖视图，图19是图18的K-K剖视图，图20为图17的I-I剖视图；
实施方式
实施例1：
如图1、图2所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块1，质量块1上均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支撑梁，支撑梁2位于质量块1边角，垂直于质量块1与边框3，制造工艺简单，成本低，制作过程中不容易形成应力集中，不容易造成变形断裂，电容量一致性好，噪声小，性能稳定，波形失真小。
实施例2：
如图3、图4所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块1，质量块1上均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支撑梁，支撑梁2位于质量块1侧边中间，垂直于质量块1与边框3内侧，制造工艺简单，成本低，制作过程中不容易形成应力集中，不容易造成变形断裂，电容量一致性好，噪声小，性能稳定，波形失真小。
实施例3：
如图5、图6所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块1，质量块1上均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支撑梁，支撑梁2位于质量块1尖角与边框3内角上，制造工艺简单，成本低，制作过程中不容易形成应力集中，不容易造成变形断裂，电容量一致性好，噪声小，性能稳定，波形失真小。
实施例4：
如图7、图8所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块1，质量块1上均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支撑梁，支撑梁2位于质量块1边角，平行于质量块1侧边和边框3，从图中可看出，支撑梁2较长，灵敏度高，制造工艺简单，成本低，制作过程中不容易形成应力集中，不容易造成变形断裂，电容量一致性好，噪声小，性能稳定，波形失真小。
实施例5：
如图9、图10所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块1，质量块1上均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支撑梁，支撑梁2位于质量块1边角，垂直于质量块1与边框3，与边框3、质量块1、支撑梁2相对应平行设有下边框7、下质量块6、下支撑梁5，边框3与下边框7贴合成整体，为整体边框，质量块1与下质量块6贴合成整体，为整体质量块，支撑梁2和下支撑梁5形成双层支撑梁，支撑梁2和下支撑梁5并列对齐，质量块振动稳定，波形失真小，整体质量块质量大，灵敏度高。
实施例6：
如图11、图12所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块1，质量块1上均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支撑梁，支撑梁2位于质量块1侧边中间位置，垂直于质量块1与边框3内侧，与边框3、质量块1、支撑梁2相对应平行设有下边框7、下质量块6、下支撑梁5，边框3与下边框7贴合成整体，为整体边框，质量块1与下质量块6贴合成整体，为整体质量块，支撑梁2和下支撑梁5形成双层支撑梁，支撑梁2和下支撑梁5并列对齐，质量块振动稳定，波形失真小，整体质量块质量大，灵敏度高。
实施例7：
如图13、图14所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块1，质量块1上均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支撑梁，支撑梁2位于质量块1尖角与边框3内角上，与边框3、质量块1、支撑梁2相对应平行设有下边框7、下质量块6、下支撑梁5，边框3与下边框7贴合成整体，为整体边框，质量块1与下质量块6贴合成整体，为整体质量块，支撑梁2和下支撑梁5形成双层支撑梁，支撑梁2和下支撑梁5并列对齐，质量块振动稳定，波形失真小，整体质量块质量大，灵敏度高。
实施例8：
如图15、图16所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块1，质量块1上均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支撑梁，支撑梁2位于质量块1边角，平行于质量块1侧边和边框3，与边框3、质量块1、支撑梁2相对应平行设有下边框7、下质量块6、下支撑梁5，边框3与下边框7贴合成整体，为整体边框，质量块1与下质量块6贴合成整体，为整体质量块，支撑梁2和下支撑梁5形成双层支撑梁，支撑梁2和下支撑梁5并列对齐，质量块振动稳定，波形失真小，整体质量块质量大，灵敏度高。
实施例9：
如图17、图18、图19、图20所示的电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块1，质量块1上均布支撑梁2，支撑梁2连接边框3内侧，质量块1上设有金属极板4，支撑梁2为直形支撑梁，支撑梁2位于质量块1边角，平行于质量块1侧边和边框3，与边框3、质量块1、支撑梁2相对应平行设有下边框7、下质量块6、下支撑梁5，边框3与下边框7贴合成整体，为整体边框，质量块1与下质量块6贴合成整体，为整体质量块，支撑梁2和下支撑梁5形成双层支撑梁，从图中可以看出，支撑梁2和下支撑梁5平行于质量块1、下质量块6、边框3、下边框7，支撑梁2和下支撑梁5可以设计的较长，支撑梁2和下支撑梁5交错分布，从图中可以看出，支撑梁2和下支撑梁5交错90°分布，可以稳定支撑质量块，整体质量块质量大，同时支撑梁数量相对较少，有利于提高灵敏度和动态范围，波形失真小。
Claims (9)
1、一种电容式加速度检波器中间可动电极，设有质量块，质量块上均布支撑梁，支撑梁连接边框内侧，质量块上设有金属极板，其特征是：支撑梁为直形支撑梁。
2、根据权利要求1所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是：所说的支撑梁位于质量块边角，垂直于质量块与边框。
3、根据权利要求1所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是：所说的支撑梁位于质量块侧边中间，垂直于质量块与边框。
4、根据权利要求1所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是：所说的支撑梁位于质量块尖角与边框内角上。
5、根据权利要求1所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是：所说的支撑梁位于质量块边角，平行于质量块侧边和边框。
6、根据权利要求1或2或3或4或5所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是：所说的支撑梁为单层支撑梁。
7、根据权利要求1或2或3或4或5所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是：所说的边框、质量块、支撑梁相对应平行设有下边框、下质量块、下支撑梁，边框与下边框贴合成整体，为整体边框，质量块与下质量块贴合成整体，为整体质量块，支撑梁和下支撑梁形成双层支撑梁。
8、根据权利要求7所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是：所说的支撑梁和下支撑梁并列对齐。
9、根据权利要求7所述的电容式加速度检波器中间可动电极，其特征是：所说的支撑梁和下支撑梁交错分布。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNA2009100166754A CN101598801A (zh) | 2009-06-26 | 2009-06-26 | 电容式加速度检波器中间可动电极 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CNA2009100166754A CN101598801A (zh) | 2009-06-26 | 2009-06-26 | 电容式加速度检波器中间可动电极 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN101598801A true CN101598801A (zh) | 2009-12-09 |
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ID=41420304
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNA2009100166754A Pending CN101598801A (zh) | 2009-06-26 | 2009-06-26 | 电容式加速度检波器中间可动电极 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN101598801A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106199071A (zh) * | 2016-06-27 | 2016-12-07 | 中北大学 | 一种抗高过载低量程电容式加速度传感器及其制造方法 |
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2009
- 2009-06-26 CN CNA2009100166754A patent/CN101598801A/zh active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN106199071A (zh) * | 2016-06-27 | 2016-12-07 | 中北大学 | 一种抗高过载低量程电容式加速度传感器及其制造方法 |
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Open date: 20091209 |